一種真空規管的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種真空規管，尤其涉及一種復合真空規管。
【背景技術】
[0002]在真空測量中，電阻規管和冷陰極電離規管都是目前使用廣泛的真空測量規管。電阻規管規管由于其熱絲經特殊工藝處理，具有壓強測量范圍寬、性能穩定、一致性好、反映時間快、壽命長等優點;冷陰極電離規管也是目前應用廣泛的一種高真空電離規管，在器件制造、真空鍍膜以及真空冶金等領域作中使用，但是，冷陰極電離規管其測量范圍在低真空時的測量范圍有限，隨著真空測試應用越來越廣泛，將電阻規管和冷陰極電離規管的進行復合的真空規管也是亟待解決的問題。
【發明內容】
[0003]本發明提供一種真空規管，所述真空規管為電阻規管和冷陰極電離規管的復合真空規管，能夠拓展冷陰極電離規管的低真空的測量范圍，同時滿足高低真空測量范圍測試的需要，本發明所述的技術方案是:
一種真空規管，所述真空規管包括電阻規管、冷陰極電離規管、置于真空規管外側的永磁組件、用以連接真空測量設備與真空規管的高壓插座，所述真空規管還包括法蘭組件、陽極組件，所述陽極組件與法蘭組件固定連接;所述法蘭組件包括刀口法蘭和焊接于刀口法蘭上的管體，所述管體設有安裝電阻規管和陽極組件的腔室，所述刀口法蘭設有焊料槽，所述管體置于刀口法蘭的焊料槽中并與刀口法蘭焊接固定;所述陽極組件包括壓板、已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽極桿，所述壓板上設有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規管、陶瓷組件的腔室。
[0004]所述的一種真空規管，所述陽極組件和法蘭組件的連接處設有焊接槽，陽極組件和法蘭組件通過焊接固定連接。
[0005]所述的一種真空規管，所述壓板上的安裝電阻規管的腔室為通孔以及位于通孔上的臺階。
[0006]所述的一種真空規管，所述壓板還設有用以安裝高壓插座的安裝孔。
[0007]所述的一種真空規管，所述刀口法蘭為CF35法蘭。
[0008]采用本發明的技術方案提供的一種新的結構的電阻復合真空規管，其測量范圍可以達到105Pa-10—7Pa，拓展了冷陰極電離規管的測量上限。
【附圖說明】
[0009]圖1本發明實施例的真空規管結構圖；
圖2本發明實施例的法蘭主視圖；
圖3本發明實施例的法蘭俯視圖；
圖4本發明實施例的管體剖視圖； 圖5本發明實施例的管體俯視圖；
圖6本發明實施例法蘭組件的剖視圖；
圖7本發明實施例的陽極組件；
圖8本發明實施例的壓板主視圖；
圖9本發明實施例的壓板俯視圖
圖中1-電阻規管、2-永磁組件、3—高壓插座、4 一法蘭組件、5—陽極組件、6—刀口法蘭、7—管體、8—管體安裝電阻規管腔室、9 一焊料槽、10—壓板、11 一已金屬化的陶瓷件、12—陽極桿、13—壓板上安裝電阻規管的腔室、14 一壓板上安裝陶瓷組件的腔室、15—管體上安裝陽極組件的腔室。
具體實施例實施例
[0010]本發明實施例所述的一種真空規管，包括電阻規管、冷陰極電離規管、置于真空規管外側的永磁組件、用以連接真空測量設備與真空規管的高壓插座，所述真空規管還包括法蘭組件、陽極組件，所述陽極組件和法蘭組件的連接處設有焊接槽，陽極組件和法蘭組件通過焊接固定連接;所述法蘭組件包括CF35刀口法蘭(也可選用其他接口的法蘭)和焊接于CF35刀口法蘭上的管體，所述管體設有安裝電阻規管和陽極組件的腔室，所述CF刀口法蘭設有焊料槽，所述管體置于CF35刀口法蘭的焊料槽中并與CF35刀口法蘭焊接固定;所述陽極組件包括壓板、已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽極桿，所述壓板上設有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規管、陶瓷組件的腔室，所述壓板上的安裝電阻規管的腔室為Φ5的通孔以及位于通孔上的7X2的臺階，所述通孔的臺階用以放置焊料，能將電阻規管焊接于壓板上，所述壓板還設有用以安裝高壓插座的螺釘孔。
【主權項】
1.一種真空規管，所述真空規管包括電阻規管、冷陰極電離規管、置于真空規管外側的永磁組件、用以連接真空測量設備與真空規管的高壓插座，其特征在于，所述真空規管還包括法蘭組件、陽極組件，所述陽極組件與法蘭組件固定連接;所述法蘭組件包括刀口法蘭和焊接于刀口法蘭上的管體，所述管體設有安裝電阻規管和陽極組件的腔室，所述刀口法蘭設有焊料槽，所述管體置于刀口法蘭的焊料槽中并與刀口法蘭焊接固定;所述陽極組件包括壓板、已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽極桿，所述壓板上設有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規管、陶瓷組件的腔室。2.如權利要求1所述的一種真空規管，其特征在于，所述陽極組件和法蘭組件的連接處設有焊接槽，陽極組件和法蘭組件通過焊接固定連接。3.如權利要求1或2所述的一種真空規管，其特征在于，所述壓板上的安裝電阻規管的腔室包括通孔以及位于通孔上的臺階。4.如權利要求3所述的一種真空規管，其特征在于，所述壓板還設有用以安裝高壓插座的螺釘孔。5.如權利要求4所述的一種真空規管，其特征在于，所述刀口法蘭為CF35法蘭。
【專利摘要】本發明公開了一種真空規管，所述真空規管包括電阻規管、冷陰極電離規管、置于真空規管外側的永磁組件、用以連接真空測量設備與真空規管的高壓插座，所述真空規管還包括法蘭組件、陽極組件；所述法蘭組件包括刀口法蘭和焊接于刀口法蘭上的管體，所述管體設有安裝電阻規管和陽極組件的腔室；所述陽極組件包括壓板、已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽極桿，所述壓板上設有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規管、陶瓷組件的腔室；采用所述真空規管其測量范圍可以達到105Pa-10-7Pa,拓展了冷陰極電離規管的測量上限。
【IPC分類】H01J41/02, H01J41/06
【公開號】CN105489465
【申請號】CN201610022654
【發明人】陳旗
【申請人】成都國光電氣股份有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2016年1月14日