一種吸附裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體設備領域，特別涉及一種吸附裝置。
【背景技術】
[0002]晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在半導體專用設備制造過程中，需要通過晶圓減薄機對晶片背面多余的基體材料去除一定的厚度來實現晶圓減薄。吸附裝置是晶圓減薄機的關鍵部件，在磨削過程中，晶圓通過真空吸附在承片臺系統上，進行旋轉，這一工藝過程需要實現旋轉連通。傳統的旋轉連通系統的設計主要采用0型密封圈進行密封，普通的0型密封圈在長時間的旋轉過程中，磨損比較大，使用壽命較短，并且容易引起泄露，對設備存在極大的危害性，影響設備的運行可靠性;且旋轉通道通常設計在側面，由于通道接頭的存在，會使旋轉連通系統的外形增大，導致整個裝置占用空間就會增大。
【發明內容】
[0003]本發明提供了一種吸附裝置，其目的是為了解決現有的晶圓吸附裝置的旋轉連通系統采用普通的0型密封圈容易引起泄露，對設備存在極大的危害性且旋轉通道通常設計在側面導致裝置占用空間較大的問題。
[0004]為了達到上述目的，本發明的實施例提供了一種吸附裝置，包括:吸盤結構，與吸盤結構固定連接的旋轉軸結構，以及位于旋轉軸結構內部的密封圈結構；
[0005]吸盤結構包括:與旋轉軸結構連接的托盤，位于托盤上的第一吸附部和多個第二吸附部；
[0006]旋轉軸結構包括:旋轉軸本體以及套設在旋轉軸本體外圍的定位裝置；
[0007]旋轉軸本體設有與第一吸附部相通第一通道，與第二吸附部相通第二通道，以及與第二通道連通的第三通道;第一通道位于旋轉軸本體的中心，第三通道為環形；
[0008]定位裝置上設有用于與第三通道連通的第四通道，以及用于接通第三通道與第四通道的第一開關；
[0009]第一通道、第四通道分別與外界真空氣源連通；
[0010]密封圈結構位于旋轉軸本體與定位裝置之間；密封圈結構包括密封圈本體以及滑環，密封圈本體固定在滑環外圍。
[0011]優選地，第一吸附部位于吸盤結構的中心位置，第二吸附部位于第一吸附部外圍。
[0012]優選地，密封圈結構設有兩個，分別位于第三通道的上方和下方。
[0013]優選地，第一吸附部和第二吸附部的材質為多孔陶瓷。
[0014]優選地，旋轉軸結構設有軸承結構。
[0015]優選地，第一通道、第四通道上分別設有用于與外界真空氣源接通的開關。
[0016]優選地，第四通道通過延長通道與外界真空氣源連通。
[0017]本發明的上述方案至少包括以下有益效果:
[0018]本發明提供的吸附裝置，旋轉軸結構內采用第一通道與第四通道的雙通道的設計，兩個通道之間互不影響，可適用于多種尺寸的晶圓；吸盤結構內分別與第一通道、第四通道連通的通道沒有通道接頭的存在，減小了吸附裝置的占用空間；且密封圈結構中設置了滑環，使密封圈本體與旋轉軸本體之間產生的摩擦大大減少，一方面減少能量損失，一方面可延長密封圈結的使用壽命。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發明的實施例提供的吸附裝置的結構示意圖；
[0020]圖2為圖1的A-A向剖視圖；
[0021]圖3為圖2的B處放大圖；
[0022]圖4為本發明的實施例提供的旋轉軸本體的軸向剖視圖；
[0023]圖5為本發明的實施例提供的定位裝置的軸向剖視圖；
[0024]圖6為本發明的實施例提供的密封圈結構的結構示意圖；
[0025]圖7為圖6的C-C向剖視圖。
[0026]附圖標記說明:
[0027]1、吸盤結構；2、旋轉軸結構；3、定位裝置;4、密封圈結構;5、托盤;6、第一吸附部；
7、第二吸附部;8、第一通道;9、第二通道；10、第三通道；11、第四通道；12、第一開關；13、軸承結構；14、延長通道;15、密封圈本體;16、滑環;17、旋轉軸本體。
【具體實施方式】
[0028]為使本發明要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0029]參見圖1及圖2，本發明針對現有的問題，提供了一種吸附裝置，包括:吸盤結構1，與吸盤結構1固定連接的旋轉軸結構2，以及位于旋轉軸結構2內部的密封圈結構4。
[0030]吸盤結構1包括:與旋轉軸結構2連接的托盤5，位于托盤5上的第一吸附部6和多個第二吸附部7;優選地，第一吸附部6位于吸盤結構1的中心位置，第二吸附部7位于第一吸附部6外圍，其中，第一吸附部6用于吸附直徑較小(小于第一吸附部6的直徑或與第一吸附部6的直徑近似)晶圓，對于直徑較大的晶圓，可通過第二吸附部7單獨吸附或者第一吸附部6與第二吸附部7同時吸附。
[0031]優選地，第一吸附部6和第二吸附部7的材質為多孔陶瓷，其中，多孔陶瓷的透氣性較高，適用于制作吸附裝置。
[0032]參見圖2-圖5，旋轉軸結構2包括:旋轉軸本體17以及套設在旋轉軸本體17外圍的定位裝置3;其中，在吸附裝置工作的過程中，定位裝置3固定不動，而旋轉軸本體17接受外界驅動而旋轉。
[0033]旋轉軸本體17設有與第一吸附部6相通第一通道8，與第二吸附部7相通第二通道9，以及與第二通道9連通的第三通道10;第一通道8位于旋轉軸本體17的中心，第三通道10為環形;優選地，旋轉軸結構2設有軸承結構13。
[0034]定位裝置3上設有用于與第三通道10連通的第四通道11，以及用于接通第三通道10與第四通道11的第一開關12;
[0035]第一通道8、第四通道11分別與外界真空氣源連通。
[0036]在旋轉軸本體17旋轉的過程中，吸盤結構1隨著旋轉軸本體17旋轉，因此，第一吸附部6與第一通道8的相對位置、第二吸附部7相通第二通道9的相對位置保持不變。同時，由于第一通道8位于旋轉軸本體17的中心，所以不受旋轉軸本體17的旋轉影響；第二通道9由于通過環形的第三通道10與第四通道11聯通，同樣不受旋轉軸本體17的旋轉影響，與第四通道11保持聯通。
[0037]參見圖3、圖6及圖7，密封圈結構4位于旋轉軸本體17與定位裝置3之間；密封圈結構4包括密封圈本體15以及滑環16，密封圈本體15固定在滑環16外圍。其中，由于滑環16的作用，使密封圈本體15與旋轉軸本體17之間產生的摩擦大大減少，一方面減少能量損失，一方面可延長密封圈結構4的使用壽命。
[0038]優選地，密封圈結構4設有兩個，分別位于第三通道10的上方和下方，形成一個密閉空間。
[0039]優選地，第一通道8、第四通道11上分別設有用于與外界真空氣源接通的開關。
[0040]優選地，第四通道11通過延長通道14與外界真空氣源連通，其中，第一通道8將外界真空氣源通入第一吸附部6，第四通道11先后通過第三通道10、第二通道9將外界真空氣源通入第二吸附部7，使吸盤結構1完成吸附工作。
[0041]本發明提供的吸附裝置，旋轉軸結構2內采用第一通道8、第四通道11的雙通道的設計，兩個通道之間互不影響；吸盤結構1內分別與第一通道8、第四通道11連通的通道沒有通道接頭的存在，減小了吸附裝置的占用空間；且密封圈結構4中設置了滑環16，使密封圈本體15與旋轉軸本體17之間產生的摩擦大大減少，一方面減少能量損失，一方面可延長密封圈結構4的使用壽命。
[0042]以上所述是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護范圍。
【主權項】
1.一種吸附裝置，其特征在于，包括:吸盤結構(1)，與所述吸盤結構(1)固定連接的旋轉軸結構(2)，以及位于所述旋轉軸結構(2)內部的密封圈結構(4); 所述吸盤結構(1)包括:與所述旋轉軸結構(2)連接的托盤(5)，位于所述托盤(5)上的第一吸附部(6)和多個第二吸附部(7); 所述旋轉軸結構(2)包括:旋轉軸本體(17)以及套設在所述旋轉軸本體(17)外圍的定位裝置(3); 所述旋轉軸本體(17)設有與所述第一吸附部(6)相通第一通道(8)，與所述第二吸附部(7)相通第二通道(9)，以及與所述第二通道(9)連通的第三通道(10);所述第一通道(8)位于所述旋轉軸本體(17)的中心，所述第三通道(10)為環形； 所述定位裝置(3)上設有用于與所述第三通道(10)連通的第四通道(11)，以及用于接通所述第三通道(10)與第四通道(11)的第一開關(12); 所述第一通道(8)、第四通道(11)分別與外界真空氣源連通； 所述密封圈結構(4)位于所述旋轉軸本體(17)與定位裝置(3)之間；所述密封圈結構(4)包括密封圈本體(15)以及滑環(16)，所述密封圈本體(15)固定在所述滑環(16)外圍。2.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述第一吸附部(6)位于所述吸盤結構(1)的中心位置，所述第二吸附部(7)位于所述第一吸附部(6)外圍。3.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述密封圈結構(4)設有兩個，分別位于所述第三通道(10)的上方和下方。4.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述第一吸附部(6)和第二吸附部(7)的材質為多孔陶瓷。5.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述旋轉軸結構(2)設有軸承結構(13)。6.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述第一通道(8)、第四通道(11)上分別設有用于與外界真空氣源接通的開關。7.根據權利要求1所述的吸附裝置，其特征在于，所述第四通道(11)通過延長通道(14)與外界真空氣源連通。
【專利摘要】本發明提供了一種吸附裝置，包括：吸盤結構，與吸盤結構固定連接的旋轉軸結構，以及位于旋轉軸結構內部的密封圈結構；吸盤結構包括：與旋轉軸結構連接的托盤，位于托盤上的第一吸附部和多個第二吸附部；旋轉軸結構包括：旋轉軸本體以及套設在旋轉軸本體外圍的定位裝置；旋轉軸本體設有與第一吸附部相通第一通道，與第二吸附部相通第二通道，以及與第二通道連通的第三通道；密封圈結構位于旋轉軸本體與定位裝置之間；密封圈結構包括密封圈本體以及滑環，密封圈本體固定在滑環外圍。本發明解決了現有的晶圓吸附裝置的旋轉連通系統采用普通的O型密封圈容易引起泄露，對設備存在極大的危害性且旋轉通道通常設計在側面導致裝置占用空間較大的問題。
【IPC分類】H01L21/683
【公開號】CN105428296
【申請號】CN201510856924
【發明人】衣忠波, 王仲康, 王欣, 張敏杰, 梁津
【申請人】北京中電科電子裝備有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年11月30日