半導體清洗設備的刷子運動裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種半導體清洗設備的刷子運動裝置。
【背景技術】
[0002]晶圓清洗對于半導體工業是極為重要的，在半導體器件以及集成電路的制造工藝中，幾乎每一步工藝都涉及到清洗，而且集成電路的集成度越高，制造工序越多，所需要的清洗工序也就越多。在諸多的清洗工序中，只要其中有一步清洗工序達不到要求，則前功盡棄，導致整批集成電路芯片的良率下降甚至報廢。
[0003]半導體清洗設備中，刷子往往需要上下運動，但是，現有技術中并沒有一種適當的控制刷子上下運動的裝置。
【發明內容】
[0004]本發明要解決的技術問題是提供一種半導體清洗設備的刷子運動裝置，能夠實現刷子的彈性運動，使得刷子的運動更加靈活、穩定。
[0005]為解決上述技術問題，本發明提供了一種半導體清洗設備的刷子運動裝置，包括:
[0006]殼體，所述殼體內具有空腔，所述空腔在所述殼體的一端具有開口 ；
[0007]彈簧，設置在所述殼體的空腔內，其第一端與所述殼體相固定；
[0008]滑動塊，設置在所述殼體的空腔內，其第一端與所述彈簧的第二端固定，其第二端用于固定刷子，在平衡狀態下，所述滑動塊和刷子的重力與所述彈簧的彈力平衡。
[0009]根據本發明的一個實施例，所述殼體的側壁具有開口，該裝置還包括:
[0010]懸臂，其第一端與所述滑動塊固定，其第二端從所述開口伸出；
[0011]緩沖器，固定在所述開口上方的殼體外壁上，對向上回彈的懸臂進行緩沖。
[0012]根據本發明的一個實施例，所述緩沖器包括:
[0013]外殼，固定在所述開口上方的殼體外壁上；
[0014]彈性伸縮件，設置在所述外殼內，在外力作用下彈性伸縮。
[0015]根據本發明的一個實施例，所述滑動塊的第一端經由固定銷與所述彈簧的第二端固定，其中，所述固定銷的第一端與所述彈簧的第二端固定，所述固定銷的第二端與所述滑動塊的第一端固定。
[0016]根據本發明的一個實施例，所述空腔的頂部具有掛鉤，所述彈簧的第一端可拆卸地固定在所述掛鉤上。
[0017]與現有技術相比，本發明具有以下優點:
[0018]本發明實施例的刷子運動裝置中，將刷子固定在滑動塊上，而滑動塊則與彈簧相連，從而實現了刷子的彈性運動。在平衡狀態下，滑動塊和刷子的重力與彈簧的彈力平衡；在刷子頭部受力時，滑動塊逐漸下移，拉伸的彈簧對滑動塊施加向上的拉力，促使其回位。
[0019]進一步而言，本發明實施例的刷子運動裝置還具有緩沖器，當滑動塊向上回彈時，可以對滑動塊起到緩沖作用，防止受力過大造成滑動塊的上下往復振動，實現了平穩受力。
【附圖說明】
[0020]圖1是本發明實施例的半導體清洗設備的刷子運動裝置的剖面結構圖；
[0021]圖2是本發明實施例的半導體清洗設備的刷子運動裝置的正視圖；
[0022]圖3是本發明實施例的半導體清洗設備的刷子運動裝置的俯視圖。
【具體實施方式】
[0023]下面結合具體實施例和附圖對本發明作進一步說明，但不應以此限制本發明的保護范圍。
[0024]參考圖1至圖3，本實施例的刷子運動裝置包括:殼體10、彈簧11、滑動塊12、懸臂13、緩沖器14以及固定銷15。
[0025]進一步而言，該殼體10的內部具有空腔，該空腔在殼體10的一端具有開口，以供滑動塊12移動。殼體10的形狀可以是任何適當的形狀，例如可以呈圓柱狀。
[0026]彈簧11設置在殼體10的空腔內，彈簧11的第一端與殼體10相固定。作為一個非限制性的例子，殼體10的空腔頂部具有掛鉤16，該掛鉤16固定在空腔頂部上，彈簧11的第一端可拆卸地固定在掛鉤16上，例如可以鉤在掛鉤16上，以便于拆卸和安裝。
[0027]滑動塊12設置在殼體10的空腔內，其第一端與彈簧11的第二端固定，其第二端用于固定刷子。進一步而言，滑動塊12與彈簧11呈上下分布，彈簧11在空腔的上部，滑動塊12在空腔的下部。開口的尺寸可以略大于滑動塊12的尺寸，以使得滑動塊12可以自由移動。在平衡狀態下，彈簧11在滑動塊12和刷子的重力作用下被向下拉伸，滑動塊12和刷子的重力與彈簧11的彈力平衡。
[0028]滑動塊12與刷子之間的連接方式優選為可拆卸式連接，以便于拆卸和更換刷子。
[0029]作為一個非限制性的例子，彈簧11的第二端與滑動塊12的第一端之間可以通過固定銷15固定。其中，固定銷15的第一端與彈簧11的第二端固定，固定銷15的第二端與滑動塊12的第一端固定。
[0030]當然，固定銷15僅僅是示例，滑動塊12與彈簧11之間的連接方式還可以是其他的適當方式，例如二者可以直接連接。
[0031]殼體10的側壁可以具有開口，該開口與內部的空腔連通，懸臂13自該開口伸出。進一步而言，懸臂的第一端與滑動塊12固定，第二端自開口伸出該空腔。緩沖器14固定在開口上方的殼體10的外壁上，對向上回彈的懸臂13進行緩沖。
[0032]緩沖器14可以提供阻尼式的緩沖。作為一個非限制性的例子，緩沖器14可以包括外殼和彈性伸縮件，其中外殼固定在開口上方的殼體10的外壁上，彈性伸縮件設置在外殼內，在外力作用下彈性伸縮。
[0033]更加具體而言，當刷子的頭部受力被向下牽引時，滑動塊12隨著向下，固定在滑動塊12上的懸臂13也下移，彈簧11受力拉伸；在刷子頭部的受力消除時，刷子、滑動塊12以及懸臂13將在彈簧11拉力的作用下回彈，緩沖器14將對回彈的懸臂13進行緩沖，使得懸臂13向上回彈的速度降低，也就是在緩沖器14的緩沖作用下，緩緩上移，而不會劇烈回彈撞擊殼體10，也不會造成懸臂13和滑動塊12的上下震動，使得回彈時的運動更加平穩。
[0034]本發明雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發明，任何本領域技術人員在不脫離本發明的精神和范圍內，都可以做出可能的變動和修改，因此本發明的保護范圍應當以本發明權利要求所界定的范圍為準。
【主權項】
1.一種半導體清洗設備的刷子運動裝置，其特征在于，包括: 殼體，所述殼體內具有空腔，所述空腔在所述殼體的一端具有開口 ； 彈簧，設置在所述殼體的空腔內，其第一端與所述殼體相固定； 滑動塊，設置在所述殼體的空腔內，其第一端與所述彈簧的第二端固定，其第二端用于固定刷子，在平衡狀態下，所述滑動塊和刷子的重力與所述彈簧的彈力平衡。2.根據權利要求1所述的半導體清洗設備的刷子運動裝置，其特征在于，所述殼體的側壁具有開口，該裝置還包括: 懸臂，其第一端與所述滑動塊固定，其第二端從所述開口伸出； 緩沖器，固定在所述開口上方的殼體外壁上，對向上回彈的懸臂進行緩沖。3.根據權利要求2所述的半導體清洗設備的刷子運動裝置，其特征在于，所述緩沖器包括: 外殼，固定在所述開口上方的殼體外壁上； 彈性伸縮件，設置在所述外殼內，在外力作用下彈性伸縮。4.根據權利要求1所述的半導體清洗設備的刷子運動裝置，其特征在于，所述滑動塊的第一端經由固定銷與所述彈簧的第二端固定，其中，所述固定銷的第一端與所述彈簧的第二端固定，所述固定銷的第二端與所述滑動塊的第一端固定。5.根據權利要求1所述的半導體清洗設備的刷子運動裝置，其特征在于，所述空腔的頂部具有掛鉤，所述彈簧的第一端可拆卸地固定在所述掛鉤上。
【專利摘要】本發明提供了一種半導體清洗設備的刷子運動裝置，包括：殼體，所述殼體內具有空腔，所述空腔在所述殼體的一端具有開口；彈簧，設置在所述殼體的空腔內，其第一端與所述殼體相固定；滑動塊，設置在所述殼體的空腔內，其第一端與所述彈簧的第二端固定，其第二端用于固定刷子，在平衡狀態下，所述滑動塊和刷子的重力與所述彈簧的彈力平衡。本發明能夠實現刷子的彈性運動，使得刷子的運動更加靈活、穩定。
【IPC分類】H01L21/67, B08B1/00
【公開號】CN105304523
【申請號】CN201410366503
【發明人】吳均, 程成, 金一諾, 王堅, 王暉
【申請人】盛美半導體設備（上海）有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2014年7月29日