一種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及一種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的方法，屬于太陽能電池 領域。
【背景技術】
[0002] 目前，太陽能電池的生產工藝主要包括清洗制絨、擴散、刻蝕、PECVD、絲網印刷以 及燒結等。在太陽能電池的主要制造工藝中，擴散形成PN結，PN結是太陽能電池的核心， 對光伏轉換效率起著至關重要的作用。擴散爐管溫度在820 °C左右，擴散工序環境溫度在 25 °C左右，擴散硅片進、出爐管時，較高的溫差使硅片產生較大的熱應力，此時的碳化硅槳 運行速度較大易使硅片隱裂，從而降低電池片良品率。單面擴散時，硅片背靠背，破片率較 低。由單面擴散改為雙面擴散后，每個石英舟槽只有一片硅片，硅片缺少了相互支撐，較高 的溫差更易使硅片隱裂。如果只是降低進、出舟速度，擴散進、出舟的時間會較長，擴散產能 會降低，生產成本會增加。
【發明內容】
[0003] 本發明的目的是提供一種降低雙面擴散破片率增縮短擴散工藝時間的方法。采用 不同的進、出舟速度，空槳運行時以擴散設備所要求的最大速度運行，從而使擴散的破片率 較低，擴散進、出舟時間較短，從而可提升擴散產能。硅片從進、出爐管時以較低的速度運 行，降低熱應力，降低擴散破片率。
[0004] -種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的方法，步驟如下： (1) 將清洗制絨干凈的硅片裝滿石英舟，將裝滿硅片的石英舟放置于碳化硅槳上，打開 爐門； (2) 碳化硅槳運行至前限位； (3) 碳化硅槳運行至下限位； (4) 空槳運行至后限位，關閉爐門； (5) 打開爐門，空槳運行至前限位； (6) 空槳運行至上限位； (7) 碳化硅槳運行至后限位，關閉爐門。
[0005] -種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的方法，具體步驟如下： (1) 將清洗制絨干凈的硅片裝滿石英舟，將裝滿硅片的石英舟放置于碳化硅槳上，打開 爐門； (2) 碳化娃槳先以600~800 mm/min的速度運行至石英舟與爐管口的交界面處，再以 200~400 mm/min的速度運行至前限位處； (3) 碳化娃槳以300~600 mm/min的速度運行至下限位； (4) 空槳以設備所要求的最大速度1000 mm/min運行至后限位，關閉爐門； (5) 打開爐門，空槳以設備所要求的最大速度1000 mm/min運行至后限位； (6) 碳化娃槳以300~600 mm/min的速度運行至上限位； (7) 碳化娃槳先以600~800 mm/min的速度運行至石英舟與爐管口的交界面處，再以 200~300 mm/min的速度運行至后限位處，關閉爐門。
[0006] 本發明的優點在于：采用本發明不同的進、出舟速度，使擴散的破片率較低，擴散 進、出舟時間較短，從而可提升擴散產能；硅片從進、出爐管時以較低的速度運行，降低熱應 力，降低擴散破片率。
【具體實施方式】
[0007] 以下所述的僅是本發明所公開的降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的優選 實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明所創造構思的前提 下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。
[0008] 實施例1 : 一種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的方法，其具體步驟如下： (1) 將清洗制絨干凈的硅片裝滿石英舟，將裝滿硅片的石英舟放置于碳化硅槳上，打開 爐門； (2) 碳化娃槳先以700 mm/min的速度運行至石英舟與爐管口的交界面處，再以300 mm/ min的速度運行至前限位處； (3) 碳化娃槳以500 mm/min的速度運行至下限位； (4) 空槳以設備所要求的最大速度1000 mm/min運行至后限位，關閉爐門； (5) 打開爐門，空槳以設備所要求的最大速度1000 mm/min運行至后限位。
[0009] (6)碳化娃槳以500 mm/min的速度運行至上限位； (7)碳化娃槳先以700 mm/min的速度運行至石英舟與爐管口的交界面處，再以250 mm/ min的速度運行至后限位處，關閉爐門。
[0010] 對比例： 傳統工藝的雙面擴散具體步驟如下： (1) 將清洗制絨干凈的硅片裝滿石英舟，將裝滿硅片的石英舟放置于碳化硅槳上，打開 爐門； (2) 碳化娃槳以400 mm/min的速度運行至前限位處； (3) 碳化娃槳以50 mm/min的速度運行至下限位； (4) 空槳以650 mm/min的速度運行至后限位，關閉爐門； (5) 打開爐門，空槳以650 mm/min的速度運行至后限位； (6) 碳化娃槳以50 mm/min的速度運行至上限位； (7) 碳化硅槳以400 mm/min的速度運行至后限位處，關閉爐門。
[0011] 實施例和對比例的時間和擴散破片率進行比較，結果如下表所示：
通過上述數據可看出，本發明所提供的一種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的 方法，通過碳化硅槳在不同階段以不同的運行速度，可降低雙面擴散破片率0. 3%以上，縮 短擴散時間約7分鐘。
【主權項】
1. 一種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的方法，其特征在于，步驟如下： (1) 將清洗制絨干凈的硅片裝滿石英舟，將裝滿硅片的石英舟放置于碳化硅槳上，打開 爐門； (2) 碳化硅槳運行至前限位； (3)碳化硅槳運行至下限位； (4)空槳運行至后限位，關閉爐門； (5)打開爐門，空槳運行至前限位； (6) 空槳運行至上限位； (7) 碳化硅槳運行至后限位，關閉爐門。2. 根據權利要求1所述的一種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的方法，其特征 在于： (1) 將清洗制絨干凈的硅片裝滿石英舟，將裝滿硅片的石英舟放置于碳化硅槳上，打開 爐門； (2)碳化娃槳先以600~800mm/min的速度運行至石英舟與爐管口的交界面處，再以 200~400mm/min的速度運行至前限位處； (3)碳化娃槳以300~600mm/min的速度運行至下限位； (4)空槳以設備所要求的最大速度1000mm/min運行至后限位，關閉爐門； (5)打開爐門，空槳以設備所要求的最大速度1000mm/min運行至后限位； (6)碳化娃槳以300~600mm/min的速度運行至上限位； (7)碳化娃槳先以600~800mm/min的速度運行至石英舟與爐管口的交界面處，再以 200~300mm/min的速度運行至后限位處，關閉爐門。
【專利摘要】本發明公開了一種降低雙面擴散破片率縮短擴散工藝時間的方法。本發明為將清洗制絨后的硅片進行磷擴散，其特征在于進、出舟時以不同的速度運行，空槳運行時以擴散設備所要求的最大速度運行，縮短擴散運行時間，增加擴散產能。硅片從進、出爐管時以較低的速度運行，降低熱應力，降低擴散破片率。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號】CN105206708
【申請號】CN201510590327
【發明人】曹江偉, 楊曉琴, 陳園, 王晗
【申請人】江西展宇新能源股份有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年9月17日