一種可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構，此結構主要應用于半導體鍍膜設備傳片腔室中基板的有無及狀態的觀察，屬于半導體薄膜沉積的應用與制備技術領域。
【背景技術】
[0002]現有半導體鍍膜設備為提高產能，在傳片腔室內采用雙層機械手臂傳片，在機械手傳片的過程中，可能會發生滑片、撞片、碎片等現象。為了能夠觀察到雙層機械手臂的傳片狀態，一般采用了比較厚的大透明塑料板，此透明蓋板的材料成本及加工費用極高，表面易受到刮傷。
【發明內容】
[0003]本發明以解決上述問題為目的，設計了一種新型的可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構。該結構將大透明蓋板變換為多個小的透明蓋板，并為一體化結構，實現了對雙層機械手臂傳片時基板有無及狀態的觀察，而且降低了成本。
[0004]為實現上述目的，本發明采用下述技術方案:一種可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構，主要包括升降機構連接板(I)、傳片腔室蓋板(2)及密封圈(3)。所述傳片腔室蓋板⑵上設有多個圓形透明單元(5)。所述圓形透明單元(5)通過密封圈(3)及螺釘A(4)與傳片腔室蓋板(2)密封連接，整個結構呈一體，可通過升降機構連接板(I)后端的氣缸進行開關操作。
[0005]上述升降機構連接板⑴通過螺釘B (6)與傳片腔室蓋板(2)固定連接。
[0006]依據機械手左右手之間的間距及傳片通道位置，參考機械手上基板位置跡線(7)在X和Y方向的交點位置，選取外側交叉點位置，設計的圓形透明單元(5)所在觀察位置結構對稱位，機械手在X或Y任意方向傳取片時，都可觀察到晶圓的有無及狀態。
[0007]本發明的有益效果及特點在于:
[0008]1、本發明實現了一種可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構，四處觀察位置結構對稱，機械手在X或Y任意方向傳取片時，都可觀察到晶圓的有無及狀態；
[0009]2、依附于I的基礎上，多處小透明蓋板的分布替代了比較厚的大透明蓋板，大大的降低了設備的總成本并提高了設備的整體美觀性。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發明的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]實施例
[0012]參照圖1，一種可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構，主要包括升降機構連接板1、傳片腔室蓋板2及密封圈3。所述傳片腔室蓋板2上設有多個圓形透明單元5，圓形透明單元5分布在傳片腔室蓋板2的四個角或中間的位置。所述圓形透明單元5通過密封圈3及螺釘A4與傳片腔室蓋板2密封連接，整個結構呈一體，可通過升降機構連接板I后端的氣缸進行開關操作。
[0013]上述升降機構連接板I通過螺釘B6與傳片腔室蓋板2固定連接。
[0014]上述螺釘A4采用M6內六角螺釘；
[0015]上述螺釘6采用M8內六角螺釘。
[0016]依據機械手左右手之間的間距及傳片通道位置，參考機械手上基板位置跡線7在X和Y方向的交點位置，選取外側交叉點位置，設計的圓形透明單元5所在觀察位置結構對稱位，機械手在X或Y任意方向傳取片時，都可觀察到晶圓的有無及狀態。
【主權項】
1.一種可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構，其特征在于:它包括升降機構連接板、傳片腔室蓋板及密封圈，所述傳片腔室蓋板上設有多個圓形透明單元；所述圓形透明單元通過密封圈及螺釘A與傳片腔室蓋板密封連接，整個結構呈一體。2.如權利要求1所述的可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構，其特征在于:所述升降機構連接板通過螺釘B與傳片腔室蓋板固定連接。3.如權利要求1所述的可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構，其特征在于:所述的圓形透明單元所在觀察位置結構對稱位。
【專利摘要】一種可觀察半導體薄膜設備傳片腔室結構，包括升降機構連接板、傳片腔室蓋板及密封圈。所述傳片腔室蓋板上設有多個圓形透明單元；所述圓形透明單元通過密封圈及螺釘A與傳片腔室蓋板密封連接，整個結構呈一體；所述升降機構連接板通過螺釘B與傳片腔室蓋板固定連接；所述的圓形透明單元所在觀察位置結構對稱位。本發明構思合理，四處觀察位置結構對稱，機械手在X或Y任意方向傳取片時，都可觀察到晶圓的有無及狀態。由于采用了多處小透明蓋板的分布替代了比較厚的大透明蓋板，大大的降低了設備的總成本并提高了設備的整體美觀性。
【IPC分類】H01L21/677
【公開號】CN104952777
【申請號】CN201510212088
【發明人】方仕彩, 吳鳳麗, 姜崴, 廉杰
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請日】2015年4月29日