減小閘閥開閉時振動的反應腔及機臺的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種半導體制備工藝的設備，具體涉及一種減小閘閥開閉時振動的反應腔及機臺。
【背景技術】
[0002]目前，半導體制備流程中常用的美國泛林公司(Lam)生產的Lam9400DFM型和Lam9600DFM型反應腔,在閘閥(gate valve)關閉的時候會負載制動(load lock),由于制動力非常大，會對反應腔造成振動。并且如果其他反應腔正在進行工藝過程中，其很容易會由于振動而導致反應腔壓力變化，并導致工藝停止。
【發明內容】
[0003]本發明提供一種減小閘閥開閉時振動的反應腔及機臺，可減小閘閥開閉時對反應腔及其所在機臺造成的振動。
[0004]為實現上述目的，本發明提供一種減小閘閥開閉時振動的反應腔，該反應腔與其它腔室的連接口處設有閘閥，所述閘閥的開閉為氣動控制，其設有用于控制該閘閥打開的第一氣路和用于控制閘閥關閉的第二氣路；其特點是，
上述閘閥的第一氣路和第二氣路上分別設有控制氣體流量的針閥，延長閘閥開閉時間。
[0005]上述第一氣路上設有氣壓計，實時檢測控制閘閥打開的氣路的氣壓。
[0006]上述氣壓計采用數字壓力計。
[0007]控制上述閘閥開閉的氣路內傳輸清潔干燥的壓縮空氣。
[0008]上述反應腔通過閘閥連接傳輸腔。
[0009]一種半導體制備機臺，其特點是，該機臺設有上述的反應腔。
[0010]本發明減小閘閥開閉時振動的反應腔及機臺和現有技術的半導體反應腔相比，其優點在于，本發明中控制閘閥開閉的氣路加設針閥，調節控制閘閥開閉氣路的氣體流量，控制閘閥的開閉速度，用來延長閘閥的開閉時間，可從小于I秒延長至3秒，從而減少閘閥開閉做造成的振動，保證機臺上其他腔室的正常工作；
本發明中控制閘閥打開的氣路上設有壓力計，可實時檢測控制閘閥打開的氣路內的氣體壓力，由操作人員實時勘察，保證閘閥正常工作。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發明減小閘閥開閉時振動的反應腔的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0012]以下結合附圖，進一步說明本發明的具體實施例。
[0013]如圖1所示，本發明公開一種實現減小閘閥開閉時振動的反應腔，其包含有用于制備半導體器件的反應腔1，該反應腔I與其它腔室的連接口處設有閘閥(gate value) 2。本實施例中，閘閥2設置在反應腔I與傳輸腔3之間的連接口處。
[0014]該閘閥2的開閉為氣動控制，其設有用于控制該閘閥2打開的第一氣路5和用于控制閘閥2關閉的第二氣路6。該第一氣路5和第二氣路6中傳輸的氣體為清潔干燥的壓縮空氣(CDA)。
[0015]閘閥2的第一氣路5和第二氣路6上分別設有控制氣體流量的針閥4，該針閥4可用于調節第一氣路5和第二氣路6的氣體流速和流量，從而控制閘閥進行開閉操作的動作時間，此處為了降低閘閥開閉所造成的振動，即通過針閥4延長閘閥2的開閉時間，實現將閘閥開閉時間從小于I秒延長至大約3秒。
[0016]第一氣路5上設有氣壓計7，用于實時檢測控制閘閥打開的氣路內清潔干燥的壓縮空氣(CDA)的氣壓。該氣壓計采用數字壓力計(digital pressure gauge),可實時檢測控制閘閥打開的氣路內的氣體壓力，由操作人員實時勘察，保證閘閥正常工作。
[0017]本發明還公開了一種半導體制備機臺，該機臺設有以上所描述的減小閘閥開閉時振動的反應腔。
[0018]盡管本發明的內容已經通過上述優選實施例作了詳細介紹，但應當認識到上述的描述不應被認為是對本發明的限制。在本領域技術人員閱讀了上述內容后，對于本發明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發明的保護范圍應由所附的權利要求來限定。
【主權項】
1.一種減小閘閥開閉時振動的反應腔，該反應腔與其它腔室的連接口處設有閘閥，所述閘閥的開閉為氣動控制，其設有用于控制該閘閥打開的第一氣路和用于控制閘閥關閉的第二氣路；其特征在于， 所述閘閥的第一氣路和第二氣路上分別設有控制氣體流量的針閥，延長閘閥開閉時間。2.如權利要求1所述的減小閘閥開閉時振動的反應腔，其特征在于，所述第一氣路上設有氣壓計，實時檢測控制閘閥打開的氣路的氣壓。3.如權利要求2所述的減小閘閥開閉時振動的反應腔，其特征在于，所述氣壓計采用數字壓力計。4.如權利要求1所述的減小閘閥開閉時振動的反應腔，其特征在于，控制所述閘閥開閉的氣路內傳輸清潔干燥的壓縮空氣。5.如權利要求1所述的減小閘閥開閉時振動的反應腔，其特征在于，所述反應腔通過閘閥連接傳輸腔。6.一種半導體制備機臺，其特征在于，該機臺設有如權利要求1至5中任意一項權利要求所述的反應腔。
【專利摘要】本發明公開一種減小閘閥開閉時振動的反應腔，該反應腔與其它腔室的連接口處設有閘閥，所述閘閥的開閉為氣動控制，其設有用于控制該閘閥打開的第一氣路和用于控制閘閥關閉的第二氣路；閘閥的第一氣路和第二氣路上分別設有控制氣體流量的針閥，延長閘閥開閉時間。本發明中控制閘閥開閉的氣路加設針閥，調節控制閘閥開閉氣路的氣體流量，控制閘閥的開閉速度，用來延長閘閥的開閉時間，可從小于1秒延長至3秒，從而減少閘閥開閉做造成的振動，保證機臺上其他腔室的正常工作。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN104934343
【申請號】CN201410099788
【發明人】張軍, 包中誠
【申請人】上海華虹宏力半導體制造有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2014年3月18日