工藝流程建立的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種工藝流程建立的方法。
【背景技術】
[0002]半導體芯片的制造是按照工藝流程的設定一步一步的執行，在執行完某一工藝步驟之后，才能執行下一步驟。一條完整的工藝流程的工藝步驟通常會大于800個。新的產品下貨之前，必須將整條工藝流程一步一步的建立完成，之后才能用于生產。采用這樣的方法建立新工藝流程就比較復雜，需要更多的時間，較易出現錯誤。
[0003]由于一條工藝流程中往往具有相同的工藝步驟，例如相同的薄膜沉積步驟，相同的刻蝕步驟，相同的研磨步驟等等。在對工藝流程中的某一工藝步驟進行修改時，例如對薄膜沉積步驟進行工藝參數的修改，就需要對一條工藝流程中所有相同的薄膜沉積步驟一一修改，一方面較為繁瑣、耗時耗力，另外一方面容易出錯，可操作性不強。
[0004]若對新的技術進行工藝流程的建立，新技術中工藝流程的一些工藝步驟很多也與現有的工藝流程中的一些工藝步驟相同，然而現有技術中對新工藝的工藝流程建立時，也是需要將所有的工藝步驟一一建立起，比較耗時耗力，易出錯。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在于提供一種工藝流程建立的方法，能夠快速簡單的建立起工藝流程，避免工藝流程建立出現差錯。
[0006]為了實現上述目的，本發明提出了一種工藝流程建立的方法，包括步驟:
[0007]建立流程模塊，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中；
[0008]對流程模塊進行調用，建立工藝流程。
[0009]進一步的，所述方法還包括對流程模塊進行分類，將流程模塊分為成熟模塊和非成熟模塊。
[0010]進一步的，所述成熟模塊能直接調用，所述非成熟模塊需按照工藝步驟分步處理。
[0011]進一步的，所述非成熟模塊經實驗論證后可轉化為成熟模塊。
[0012]進一步的，所述流程模塊采用預定的命名規則。
[0013]進一步的，所述命名規則為特征尺寸+技術名稱+工藝步驟+器件功能。
[0014]與現有技術相比，本發明的有益效果主要體現在:將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中，在對工藝流程建立時，相同的工藝步驟便可通過調用某一流程模塊即可，無需按照工藝步驟一一形成，若對某一工藝步驟進行修改時，只需對相應的工藝模塊進行修改即可完成對所有相同的工藝步驟的修改，從而能夠快速簡單的建立起工藝流程，避免工藝流程建立出現差錯。
【附圖說明】
[0015]圖1為本發明一實施例中工藝流程建立的方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0016]下面將結合示意圖對本發明的工藝流程建立的方法進行更詳細的描述，其中表示了本發明的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本發明，而仍然實現本發明的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本發明的限制。
[0017]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本發明由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須做出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。
[0018]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發明。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
[0019]請參考圖1，在本實施例中，提出了、一種工藝流程建立的方法，包括步驟:
[0020]SlOO:建立流程模塊，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中；
[0021]S200:對流程模塊進行調用，建立工藝流程。
[0022]在本實施例中，可以按照不同的技術名稱(TECH)把相同的制程和功能的工藝步驟劃分為同一流程模塊中，以多晶硅(Poly)工藝步驟為例，根據生產線上形成Poly的種類不同，可以得到Poly模塊l、Poly模塊2、Poly模塊3等等，在后續工藝需要形成Poly時，針對不同的技術名稱和特征尺寸調用不同的Poly模塊即可，其余工藝步驟的調用和Poly模塊的用法一致。
[0023]在本實施例中，所述方法還包括對流程模塊進行分類，將流程模塊分為成熟模塊和非成熟模塊。其中，所述成熟模塊是在眾多工藝流程中已經被廣泛應用且得到驗證的模塊，而非成熟模塊是可以用來調試實驗、處于調試階段或者全新工藝流程的模塊。即，所述成熟模塊能直接調用，所述非成熟模塊需按照工藝步驟分步處理，對工藝步驟進行調試等處理，所述非成熟模塊經實驗論證后可轉化為成熟模塊。
[0024]在本實施例中，所述流程模塊采用預定的命名規則，所述命名規則為特征尺寸+技術名稱+工藝步驟+器件功能(Size+Tech+Layer+Funct1n)。這樣便于系統針對不同的特征尺寸、技術名稱、工藝步驟以及器件功能來自動的調用相應的流程模塊。
[0025]例如，在新建一個工藝流程時，根據不同的工藝步驟調用不同的流程模塊，相同的工藝步驟則調用同一個流程模塊，無需一步一步按照工藝步驟來建立工藝流程；在對某一工藝流程中的某一工藝步驟進行修改時，現有技術中通常需要修改所有相同的工藝步驟，而本發明中只需修改該工藝步驟所屬的流程模塊即可完成對所有相同的工藝步驟的修改。
[0026]綜上，在本發明實施例提供的工藝流程建立的方法中，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中，在對工藝流程建立時，相同的工藝步驟便可通過調用某一流程模塊即可，無需按照工藝步驟一一形成，若對某一工藝步驟進行修改時，只需對相應的工藝模塊進行修改即可完成對所有相同的工藝步驟的修改，從而能夠快速簡單的建立起工藝流程，避免工藝流程建立出現差錯。
[0027]上述僅為本發明的優選實施例而已，并不對本發明起到任何限制作用。任何所屬技術領域的技術人員，在不脫離本發明的技術方案的范圍內，對本發明揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發明的技術方案的內容，仍屬于本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種工藝流程建立的方法，包括步驟: 建立流程模塊，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中； 對流程模塊進行調用，建立工藝流程。
2.如權利要求1所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述方法還包括對流程模塊進行分類，將流程模塊分為成熟模塊和非成熟模塊。
3.如權利要求2所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述成熟模塊能直接調用，所述非成熟模塊需按照工藝步驟分步處理。
4.如權利要求3所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述非成熟模塊經實驗論證后可轉化為成熟模塊。
5.如權利要求1所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述流程模塊采用預定的命名規則。
6.如權利要求5所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述命名規則為特征尺寸+技術名稱+工藝步驟+器件功能。
【專利摘要】本發明提出了一種工藝流程建立的方法，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中，在對工藝流程建立時，相同的工藝步驟便可通過調用某一流程模塊即可，無需按照工藝步驟一一形成，若對某一工藝步驟進行修改時，只需對相應的工藝模塊進行修改即可完成對所有相同的工藝步驟的修改，從而能夠快速簡單的建立起工藝流程，避免工藝流程建立出現差錯。
【IPC分類】H01L21-00
【公開號】CN104752150
【申請號】CN201310739300
【發明人】卞邦芬, 許亮
【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2013年12月27日