一種質量分析器與平行透鏡等電位裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種半導體器件制造控制系統，即離子注入機，特別地，涉及一種用于離子注入機的一種質量分析器與平行透鏡等電位裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體制造工藝設備離子注入機中，質量分析器與束線腔是等電位的，而束線腔與平行透鏡是通過塑料件連接起來的。在晶片制造工藝中，有要求質量分析器與平行透鏡的等電位要求。
【發明內容】
[0003]本發明解決了質量分析器與平行透鏡等電位要求。
[0004]本發明通過以下技術方案實現:
[0005]1.一種質量分析器與平行透鏡等電位裝置(圖1)，包括:1氣缸、2氣缸支架、3放電棒、4放電板、5螺母、6接近開關、7連接電纜、8直通接頭，9接近開關安裝組件等。
[0006]其特征在于，3放電棒在I氣缸活塞桿的帶動下可靠地與4放電板接觸，實現質量分析器與平行透鏡電位相同。6接近開關檢測I氣缸到位信號，通知上位機。
[0007]2.1所述的3放電棒，其特征在于由10放電桿、11螺母、12活塞、13彈簧組成(圖2)。
[0008]3.1和2所述的3放電棒，其特征在于10放電桿、11螺母、12活塞、13彈簧組成了一個緩沖裝置，能保證11放電桿與4放電板可靠接觸。
[0009]4.1所述的5螺母，其特征在于緊固3放電棒。
[0010]5.1所述的6接近開關，其特征在于檢測I氣缸是否動作，實現裝置與上位機的通信。
[0011]本發明很好地解決了上述問題，并且具有如下技術效果:
[0012]本發明的結構穩定可靠，通過6接近開關可以檢測I氣缸是否運動，從而通知上位機該裝置是否運動。
【附圖說明】
[0013]【附圖說明】本發明的【具體實施方式】。在圖中，相同的附圖標記表示相同的部件。
[0014]圖1是本發明的一種實施方式的結構圖，圖中，3放電棒在I氣缸的活塞桿帶動下，與4放電板接觸。
[0015]圖2是3放電棒的結構圖，說明了 3放電棒的緩沖結構。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖的具體實施例對本發明作進一步介紹，但不作為對本發明的限定。
[0017]I氣缸通過2氣缸支架固定在與質量分析器等電位的支架上。
[0018]3放電棒，由10放電桿、11螺母、12活塞、13彈簧組成(圖2)，13彈簧置于10放電桿內，12活塞和11螺母封閉13彈簧。
[0019]3放電棒通過5螺母緊固在I氣缸的活塞桿上。
[0020]3放電棒在5氣缸活塞桿的帶動下，12活塞通過壓縮13彈簧可靠地與固定在平行透鏡上的4放電板接觸，實現質量分析器與靶室電位相同
[0021 ] 6接近開關，通過9接近開關安裝組件安裝在I氣缸外壁，檢測I氣缸是否動作，通過7連接電纜實現裝置與上位機的通信。
[0022]本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，或者慣用手段的直接替換，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【主權項】
1.一種質量分析器與平行透鏡等電位裝置(圖1)，包括:I氣缸、2氣缸支架、3放電棒、4放電板、5螺母、6接近開關、7連接電纜、8直通接頭，9接近開關安裝組件等。 其特征在于，3放電棒在I氣缸活塞桿的帶動下可靠地與4放電板接觸，實現質量分析器與平行透鏡電位相同。6接近開關檢測I氣缸到位信號，通知上位機。
2.如權利要求1所述的3放電棒，其特征在于由10放電桿、11螺母、12活塞、13彈簧組成(圖2)。
3.權利要求1和2所述的3放電棒，其特征在于10放電桿、11螺母、12活塞、13彈簧組成了一個緩沖裝置，能保證11放電桿與4放電板可靠接觸。
4.權利要求1所述的5螺母，其特征在于緊固3放電棒。
5.權利要求1所述的6接近開關，其特征在于檢測I氣缸是否動作，實現裝置與上位機的通信。
【專利摘要】一種質量分析器與平行透鏡等電位裝置，包括：1氣缸、2氣缸支架、3放電棒、4放電板、5螺母、6接近開關、7連接電纜、8直通接頭，9接近開關安裝組件等。其特征在于，放電棒在氣缸活塞桿的帶動下可靠地與放電板接觸，實現質量分析器與平行透鏡電位相同。本發明的結構穩定可靠，通過接近開關可以檢測氣缸是否運動，從而通知上位機該裝置是否運動。
【IPC分類】H01J37-08, H01J37-10, H01J37-36
【公開號】CN104576270
【申請號】CN201310507651
【發明人】高升
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2013年10月24日