專利名稱：輸送系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種輸送系統，特別是集成半導體生產的一種輸送系統。此外本發明還涉及用于中間貯存的裝置和生產過程中產品的輸送。
現代工業通常以其高度自動化為特征。這既涉及到生產過程中產品本身的加工也涉及到生產過程中產品從一個加工裝置輸送到另一個加工裝置。特別是在半導體工業中高度自動化是絕對必要的，這樣才能具有國際競爭能力。
集成半導體產品生產時，產品要經過多達600個加工步驟，其中一大部分只有用高度專門化的加工裝置在潔凈環境里才能進行。這里往往由若干同樣的加工裝置組合成一個加工區(“Bay車間”)，其中通常將若干個加工區一起安排在工廠樓房中的同一層內。
為使要加工的半導體晶片輸送到各個加工區或加工裝置，在也安排有加工裝置的工廠樓房的同一層也設置輸送系統。在此在兩個加工區之間的運輸，例如可通過在樓層(“單軌”)的頂棚軌道上運行的車輛進行。在各個加工區經常設置有中間倉庫，所謂的“儲料器”(“stocker”)，它可用于加工區指定的半導體晶片的短時間貯存。
半導體晶片從一個中間倉庫輸送到實際加工的裝置可采用機器人，軌道上運行的機器人，樓層地面上軌道運行的車輛或通過樓層地面上無人駕駛車輛(“Automated Guided Vehiches AGV自動指揮車輛”)。
但這種輸送系統有一系列缺點，其中之一是輸送速度太慢。從一個加工裝置輸送到另一個加工裝置要10分鐘或更多時間。另外輸送控制軟件非常復雜。于是必須繞過障礙物，特別是加工裝置，和放棄輸送優先權。有時出現超前過程，則必須考慮交叉和分支。此外在加工區的中間倉庫需要大的安置場地，此場地利用于本來的生產有更大意義。
因此本發明的任務是，提供一種輸送系統以及一種用于中間貯存和用于加工中產品的輸送裝置，它們可避免和減少迄今為止輸送系統上述的缺點。
此任務由按權利要求1的輸送系統，以及按權利要求10的用于中間貯存的裝置和用于加工中產品的輸送的裝置予以解決。本發明其它有利的實施方式，結構和觀點從本說明的從屬權利要求中和附圖中可看到。
按本發明提供一種輸送系統用于輸送在加工中的產品，特別是集成半導體產品至安裝在樓房里的加工裝置，在那里這些產品進行各加工步驟。按本發明的輸送系統的特征在于，輸送系統和加工裝置通過樓房的天花板隔開和通過樓層的天花板的開孔有一從輸送系統到加工裝置的供料線。
本發明的輸送系統具有的優點是，它從結構上與加工裝置隔離開，因此可達到明顯較高的輸送速度。在輸送系統的平面上每一個位置自由選擇地到達，即使出現故障，任何時間人都可以到達。控制軟件的復雜性可明顯減少。在加工裝置的平臺上或樓層上可節省常常在天花板上采用的軌道。加工裝置平面上的空間高度可減少至1米。輸送系統的設計變得簡單，因現只需保持很少的超凈間的環境。輸送系統的建造和維護不受加工裝置的影響。此外本發明的輸送系統很容易適應于加工裝置的任何布置。經常只需為此匹配一個控制軟件。
優選將輸送系統安排在加工裝置上方。在目前一般的半導體工廠中樓層一層挨一層，安裝加工裝置樓層上方的樓層，只是采用所謂的“過濾器通風單元”(“Filter Fan Uuits”)用于超凈空氣的供應，這樣這里可提供足夠的地方。
此外優選的是，如果從輸送系統通過在樓房天花板的開孔進入加工裝置的供料線作為升降梯構成的話。此升降梯可附帶作為可接受的短時間的中間倉庫。
按本發明的輸送系統另一個優選的實施形式是在此輸送系統中至少準備一個倉庫區用于在加工中產品的中間貯存。按此方式在加工裝置的平面或樓層上加工區中的中間倉庫可被節省。這樣每一加工區可多安裝一個或兩個加工裝置。
其中優選的是倉庫區作為平面水平的場地建造。這樣可按簡單方式對加工中的產品實現快速，自由可選擇的存取。
優選的是，輸送系統劃分為分加工區，其中劃分的分加工區各至少有一區內輸送系統和通過至少一個區間輸送系統相互連接。特別優選的是，如果倉庫區也按加工區劃分或在本發明的輸送系統內相應的設置許多倉庫區。與此相應的優選的是，如果輸送系統到加工裝置的供料線通過區內輸送系統可達到。
此外優選的是，如果區內輸送系統是包括一個夾持器的運輸起重機和區間輸送系統是作為運輸系統或作為軌道運行系統構成的。
除此之外按本發明提供一種用于中間貯存和用于輸送加工中的產品的裝置，特別是為按本發明的輸送系統。此裝置有一倉庫區用于在加工中的產品的中間貯存和一個輸送裝置用于輸送在加工中的產品。此裝置的特征在于，倉庫區作為平面水平的場地構成的。這樣可按簡單的方式對加工中的產品實現快速，可處由選擇的存取。
輸送裝置優選這樣布置，在加工中的產品在第一個入口/出口區，倉庫區和至少一個第二個入口/出口區之間可來回運輸。因此在加工中的產品例如可由區間輸送系統通過有關倉庫區至通到加工裝置的供料線。
其中優選的是，如果按本發明裝置的輸送裝置包括一個帶有夾持器的運輸起重機。
本發明借助于附圖進一步進行解釋，表示如下
圖1，按本發明的輸送系統的圖解說明，圖2，按本發明的輸送系統的另一圖解說明，圖3，按本發明的用于加工中產品的中間貯存和輸送的裝置。
圖1表示按本發明輸送系統1的圖解說明。按本發明的輸送系統1是通過樓房天花板7與加工裝置5隔離開，該裝置是布置在輸送系統1下面的一層內。作為升降梯形成的供料線4穿過樓房天花板的開孔8(見圖2)連接輸送系統1與加工裝置5。
加工裝置5組合成各加工區6。與此相應的輸送系統1也劃分為若干分區2。其中分區2各包括一個按本發明的裝置10用于中間貯存和用于在加工中的產品的輸送，如它參照圖3所解釋的。分區2通過區間輸送系統3相連接，此系統包括在走廊的平面上沿軌道運行的車輛(圖中未表示)。
圖2表示按本發明的輸送系統1的另一圖解說明，如圖1所示，按本發明的輸送系統1通過樓房天花板7與加工裝置5隔離開，這些裝置安排在輸送系統1下面一層內。作為升降梯形成的供料線4通過樓房天花板7的開孔8連接輸送系統1與加工裝置5。
在加工裝置樓層的下面是另外的一層9；這一層容納其它的輔助設備。
輸送系統1和加工裝置5通過在結構上的隔離可達到明顯高的輸送速度。輸送系統1平面上的每一位置可自由選擇地到達。如果一旦出現故障，任何時間都可到出事點處理。如已解釋過的，輸送系統1可建造和維護保養不受加工裝置5的影響。除此之外按本發明的輸送系統1很容易適應于加工裝置5的任何布置。經常只需為此匹配控制軟件。
圖3表示用圖解說明，按本發明用于中間貯存和用于輸送在加工中產品20的裝置10。本發明的裝置10構成本發明的輸送系統1的一部分。按本發明的裝置10各在分區2中構成一個區內輸送系統(見圖1)。
按本發明的裝置10包括作為輸送裝置的運輸起重機14，它有一在軌道18上運行的帶有伸縮臂16的車箱15。在伸縮臂16的末端裝有一個夾持器17。運輸起重機14安排在倉庫區11的上方，倉庫區是建成平面，水平的場地。在加工中的產品20在倉庫區排列成三排。在此情況在加工中的產品20是由半導體晶片組成的，它們合并在所謂的散裝箱(Losen)中。
此外裝置10具有兩個進/出口區12和13。其中進/出口區12用于從區間輸送系統3(見圖1)接納半導體晶片和進/出口區13用于從升降梯4接納半導體晶片，升降梯進入加工裝置5(見圖1或2)。
通過倉庫區11可節省迄今在加工區6普遍采用的中間貯存。這樣每一個加工區6可接納一個或兩個附加的加工裝置5。
權利要求
1.輸送系統(1)用于在加工中的產品，特別是集成半導體產品輸送到安排在樓房里的加工裝置(5)，在那里對在加工中的產品(20)進行各加工步驟，其特征在于，輸送系統(1)和加工裝置(5)是通過樓房的天花板(7)隔離開的和供料線(4)從輸送系統(1)通過在樓房天花板(7)的開孔(8)到加工裝置(5)。
2.按權利要求1的輸送系統(1)，其特征在于，輸送系統(1)安排在加工裝置(5)上方。
3.按權利要求1或2的輸送系統(1)，其特征在于，供料線(4)從輸送系統通過在樓房天花板(7)的開孔(8)到加工裝置(5)，它是作為升降梯形成的。
4.按權利要求1至3之一的輸送系統(1)，其特征在于，至少設置一個倉庫區(11)用于在加工中產品(20)的中間貯存。
5.按權利要求4的輸送系統(1)，其特征在于，倉庫區(11)是一平面，水平的場地。
6.按權利要求1至5之一的輸送系統(1)，其特征在于，輸送系統(1)按加工區(6)劃分，其中分區(2)各至少有一個區內輸送系統(10)和通過至少一個區間輸送系統(3)相互連接。
7.按權利要求6的輸送系統(1)，其特征在于，供料線(4)從輸送系統(1)通過區內輸送系統(10)可達加工裝置(5)。
8.按權利要求6或7的輸送系統，其特征在于，區內輸送系統(10)包括一個帶有夾持器(17)的運輸起重機(14)。
9.按權利要求6至8之一的輸送系統，其特征在于，區間輸送系統(3)是作為運輸系統或作為軌道運行系統形成的。
10.用于中間貯存和用于在加工中產品的輸送的裝置(10)，特別是用于按權利要求1至9之一的輸送系統(1)的裝置，帶有一個倉庫區(11)用于在加工中產品(20)的中間貯存和一個輸送裝置(14)用于在加工中產品的輸送，其特征在于，倉庫區(11)是一平面，水平的場地。
11.按權利要求10的裝置(10)，其特征在于，輸送裝置(14)是這樣形式構成的，在加工中的產品(20)在第一個進/出口區(12)，倉庫區(11)和至少一個第二個進/出口區(13)之間可來回運輸。
12.按權利要求10或11的裝置(10)，其特征在于，輸送裝置(14)是作為帶有夾持器的運輸起重機構成的。
全文摘要
本發明提供一種輸送系統用于輸送在生產中的產品,特別是集成半導體產品到樓房中安排的加工裝置,在那里對這些在加工中的產品要進行各加工步驟。本發明的輸送系統的特征在于,輸送系統和加工裝置是通過樓房的天花板隔離開的和通過樓房的天花板的開孔有一從輸送系統到加工裝置的供料線。按本發明的輸送系統具有的優點是,它從結構上與加工裝置隔離開,因此使之達到明顯較高的輸送速度。在輸送系統平面上的每一位置可自由選擇地到達和在任何時候即使出現故障也可達到。此外可明顯減少控制軟件的復雜性。
文檔編號H01L21/677GK1278361SQ98810826
公開日2000年12月27日 申請日期1998年8月27日 優先權日1997年8月29日
發明者J·格里辛, H·雅尼格 申請人:因芬尼昂技術股份公司, 奧特納C·L·S·股份有限公司