干燥裝置以及干燥方法

專利名稱：干燥裝置以及干燥方法
發明的詳細說明本發明涉及適合干燥半導體薄片的干燥技術，特別涉及為控制干燥不良、實現裝置小型化及低成本化而進行的改進。
背景技術：


圖16是作為本發明背景的傳統干燥裝置構成的正斷面圖。該干燥裝置151是以半導體薄片的干燥為目的而構成的裝置。在裝置151上，設有上方開口的處理槽171。在處理槽171側壁上方部分的內側，沿處理槽171的側壁安裝冷卻蛇形管162。冷卻蛇形管162采用石英管，冷卻水在其內部流動。
在處理槽171底部的正下方，設置加熱器170。并且，在處理槽171的內部——底部與上方開口端之間的位置，固定接受器皿166。在該接受器皿166的底部，連接排水用的配管180。另外，在處理槽171的上部，設有滅火噴嘴172，以便在處理槽171內部起火時噴出滅火用氣體。
在使用裝置151的時候，首先，在處理槽171的內部，注入IPA液167(異丙醇)。調整處理槽171的深度使液面達不到接受器皿166的底部。而且，使冷卻水在冷卻蛇形管162的內部流動。
打開加熱器170，加熱IPA液167。結果，IPA液167被氣化，產生IPA蒸汽165。該IPA蒸汽165充滿處理槽171的內部。IPA蒸汽165在冷卻蛇形管162附近被冷卻凝結。即，冷卻蛇形管162可起到防止IPA蒸汽165漏到處理槽171外面的作用。
因此，在處理槽171的內部，在底部附近的液體儲存部169內儲存IPA液167；而在蒸汽填充部168內，充滿IPA蒸汽165。蒸汽填充部168是從液體儲存部169的上方直到設置冷卻蛇形管162附近的空間。在蒸汽填充部168內充滿IPA蒸汽165后，開始對作為處理對象的半導體薄片163進行處理。即，將多塊半導體薄片163和裝載它們的容器164在水洗處理完后用保持吊臂161吊下并從處理槽171的上方插入蒸汽填充部168內。如圖16所示那樣，裝有半導體薄片163的容器164由保持吊臂161保持在接受器皿166正上方的位置。
這樣，充滿蒸汽填充部168的IPA蒸汽165慢慢凝結溶入到附著在半導體薄片163及容器164表面的水滴中。其結果是將水滴實質上變成了IPA的液滴，從半導體薄片163和容器164的表面滑落下來。這樣，就實現了被水滴潤濕的半導體薄片163和容器164的干燥。滑落下來的IPA液滴被接受器皿166回收，通過配管180排到外部。
當干燥處理完后，容器164被保持吊臂161拉上取到處理槽171的外面。之后，將取到處理槽171外面的容器164送到下一個處理工序。而在處理槽171內，放入新的半導體薄片163和容器164。這樣，可反復地進行半導體薄片163和容器164的干燥處理。
發明解決的課題然而，如上所述那樣，在傳統裝置151上，是通過采用有冷卻水流動的冷卻蛇形管162冷卻IPA蒸汽165，來防止IPA蒸汽165漏到處理槽171外部的。因此，存在這樣的問題，即，IPA蒸汽165對于流過冷卻蛇形管162的冷卻水的溫度及流量的影響很敏感。也即是，當冷卻水的條件改變時，隨之，蒸汽填充部168的容積、和IPA蒸汽165的濃度等IPA蒸汽165的狀態參數會改變。
一旦IPA蒸汽165的狀態改變，凝結在半導體薄片163和容器164表面的IPA蒸汽165的量發生變化。其結果是產生不能充分干燥的干燥不良現象。而這是導致裝有半導體薄片163的半導體裝置合格率低下的主要原因之一。
另外，在處理槽171內必須有多余的空間用于設置冷卻蛇形管162，這是阻礙裝置小型化的主要原因。并且，存在這樣的問題為了防止金屬污染到半導體薄片163，冷卻蛇形管162采用石英管，而石英管造價高，因此，裝置的制造成本高。而且，還存在這樣的問題由于采用石英管制作的冷卻蛇形管162結構復雜，在發生故障時裝置的修復需要較長的時間以及較高的費用。
該發明的目的是為解決傳統技術中的上述問題而提供的一種干燥技術，在抑制干燥不良的同時，實現小型化、低成本化以及可迅速修復的功能。
解決課題的方法第1發明的裝置是通過儲存并加熱上述水溶性的溶解液，使從上述溶解液中產生的蒸汽在處理對象表面凝結來對該處理對象表面進行干燥的干燥裝置。在該干燥裝置上，設有可儲存溶解液的容器狀處理槽、可加熱儲存在上述處理槽內的上述溶解液的加熱器、以及在上述開口部兩側相對設置的噴嘴及排氣設備。上述處理槽規定向上開口的開口部在上面。
而上述排氣設備規定排氣口的開口朝向上述噴嘴；上述噴嘴，在接受氣體供給時，形成朝向上述排氣口并覆蓋上述開口部的上述氣體的噴流；上述排氣設備可將通過上述排氣口吸進的上述氣體排向外部；上述處理槽，設有隨著從下方接近上述開口部而向內側圓滑彎曲的側壁。
第2發明的裝置，是在第1發明的干燥裝置上，進一步設有可自由開閉地覆蓋上述開口部的蓋。
第3發明的裝置，是在第1發明或第2發明的干燥裝置上，進一步設有切換閥。該切換閥，其輸出方連通上述噴嘴，并可自由切換地選擇多個輸入方中的一方連通輸出方。
第4發明的裝置，是在第3發明的干燥裝置上，進一步設有供給惰性氣體的惰性氣體供給設備、供給滅火用氣體的滅火用氣體供給設備、監測上述處理槽內火災發生并將所定信號輸出的傳感器、以及控制器。該控制器根據上述傳感器輸出的信號控制上述切換閥的切換動作。
而上述多個輸入方中的一方連接上述惰性氣體供給設備，上述多個輸入方中的另一方連接上述滅火用氣體供給設備；上述控制器在收到信號時，控制上述切換閥，將上述切換閥選擇的輸入方從連接上述惰性氣體供給設備的輸入方切換到連接上述滅火用氣體供給設備的輸入方。
第5發明的裝置，是在第1發明至第3發明的任何一項發明的干燥裝置上，上述噴嘴在接受氣體供給時，可自由切換選擇生成下面兩種氣體噴流中的任何一種噴向上述排氣口并覆蓋上述開口部的上述氣體的噴流、以及噴向上述處理槽內部的上述氣體的噴流。
第6發明的裝置，是在第5發明的干燥裝置上，上述噴嘴設有內側噴嘴構件、裝在該內側噴嘴構件外側的外側噴嘴構件；上述內側噴嘴構件在內部規定了從單一的流入口分為兩個流出口的流路；上述外側噴嘴構件規定了兩個開口部；上述內側噴嘴構件與上述外側噴嘴構件的一方相對另一方可以自由轉動，根據轉動的位置只選擇上述內側噴嘴構件的上述兩個流出口的任何一個與上述外側噴嘴構件的上述兩個開口部的任何一個接合；第7發明的裝置，是在第5發明或第6發明的干燥裝置上，進一步設有監測上述處理槽內火災發生并將預定信號輸出的傳感器、以及控制器，該控制器根據上述傳感器輸出的信號控制上述噴嘴的切換動作；上述控制器在收到信號時，控制上述噴嘴，將向上述排氣口的噴流切換到向上述處理槽內部的噴流。
第8發明的裝置，是在第3發明的干燥裝置上，進一步設有供給常溫惰性氣體的常溫氣體供給設備、供給冷卻惰性氣體的冷卻氣體供給設備、以及控制上述切換閥切換動作的控制器；上述多個輸入方中的一方連接上述常溫惰性氣體供給設備、上述多個輸入方中的另一方連接上述冷卻惰性氣體供給設備；上述控制器只在上述處理對象放入上述處理槽內部時，控制上述切換閥使上述噴嘴生成的上述噴流變成冷卻后的上述惰性氣體的噴流。
第9發明的裝置，是在第4發明或第8發明的干燥裝置上，設置了多個設有上述處理槽、上述加熱器、上述噴嘴、上述排氣設備、以及上述切換閥的機組單元；還設置了分為兩個分支的配管；兩種氣體供給設備是單獨分開的，并且，分別通過上述兩個分支的配管，共同連通上述多個機組單元中每一個上述切換閥。
第10發明的裝置，是在第1發明至第4發明中任何一項發明的干燥裝置上，設有逆止閥，使上述噴嘴在接受上述氣體供給時打開該氣體的流路、而在不接受上述氣體供給時關閉該氣體的流路。
第11發明的裝置，是在第1發明或第2發明的干燥裝置上，進一步設有供給惰性氣體的惰性氣體供給設備，該惰性氣體供給設備與上述噴嘴連接。
第12發明的裝置，是在第11發明的干燥裝置上，進一步設有配管以及在該配管的至少一部分設置的冷卻設備；上述惰性氣體供給設備通過上述配管與上述噴嘴連接；上述冷卻裝置可以冷卻流過上述配管的上述惰性氣體。
第13發明的裝置，是在第1發明至第12發明中任何一項發明的干燥裝置上，進一步設有接受器皿以及設在該接受器皿底部的配管。上述接受器皿設在上述處理槽內部并位于上述處理槽底部與上述處理槽的上述開口部之間，而該配管用于排出注入上述接受器皿內的液體。
第14發明的方法是在采用第1發明至第13發明中任何一項發明的干燥裝置對上述處理對象的表面進行干燥處理的干燥方法上，設有以下工序1、準備上述干燥裝置；2、通過向上述處理槽中供入上述溶解液，將上述溶解液儲存在上述處理槽中的某處；3、通過向上述噴嘴供給上述惰性氣體，生成上述惰性氣體的噴流，以覆蓋上述開口部；4、打開上述加熱器加熱上述溶解液；5、以橫切上述噴流同時穿過上述開口部的方式將上述處理對象插入上述處理槽中；6、將插入后的上述處理對象保持在上述溶解液的液面上方，并利用加熱后產生的上述溶解液的蒸汽干燥上述處理對象的表面；7、在干燥處理工序結束后，再以橫切上述噴流同時穿過上述開口部的方式將上述處理對象取到上述處理槽外部。
發明的效果在第1發明的裝置上，通過向噴嘴提供惰性氣體生成惰性氣體的噴流，其結果是，形成一種覆蓋處理槽開口部的屏障。因為處理槽設有彎曲的側壁，所以，惰性氣體的屏障可有效地阻止由溶解液生成的蒸汽向外部流出。因此，不必設計傳統裝置上必需的冷卻蛇形管。
由于不需設置冷卻蛇形管，所以，充滿處理槽內部的蒸汽狀態穩定。其結果是緩和甚至消除了干燥不良現象。而且，因為可以節省安裝冷卻蛇形管所必需的處理槽11的上層部，所以，還可實現裝置的小型化。并且，由于不設置復雜而又昂貴的冷卻蛇形管，所以，可以減少裝置的制造成本以及維修費用、實現修復的快速化。
在第2發明的裝置上，由于設有覆蓋并可自由開閉處理槽開口部的蓋，所以，在沒有放入處理對象的時候，利用蓋將開口部封閉，即使噴嘴不噴出惰性氣體，也可維持處理槽內蒸汽的狀態一定。因此，可以節省惰性氣體的使用量。
在第3發明的裝置上，由于設有切換閥，所以，可根據需要選擇多種氣體中的一種提供給噴嘴。例如，通常時候向噴嘴提供惰性氣體，而在處理槽內起火的時候，則提供滅火用氣體等。
在第4發明的裝置上，由于在切換閥上連接氮氣供給設備以及滅火用氣體供給設備，并且設有控制設備，該控制設備根據檢測火焰的傳感器所發出的信號控制切換閥，所以，當處理槽內起火的時候，自動從噴嘴噴出滅火用氣體。即，火焰會自動被撲滅。并且，由于不用單獨設置滅火用噴嘴，因此，自然實現了裝置的小型化。
在第5發明的裝置上，由于噴嘴可自由切換所提供的氣體向排氣口和處理槽內部兩者的任何一方噴出，所以，通常時候向排氣口噴射氣體，而在處理槽內起火的非常時候，則可向處理槽內部噴射氣體。因此，可有效地防止處理槽內部起火。
在第6發明的裝置上，利用內側噴嘴構件和外側噴嘴構件中的一方相對另一方的轉動，可以切換氣體的噴流方向。即，設計了以簡單的構造得以切換氣體噴流方向的噴嘴。
在第7發明的裝置上，由于設有控制器，該控制器根據監測火焰的傳感器的信號控制噴嘴的切換動作，所以，當處理槽內起火的時候，自動從噴嘴向處理槽內部噴射氣體。即，火焰可自動且有效地被撲滅。
在第8發明的裝置上，在切換閥上連接常溫氣體供給設備和冷卻氣體供給設備，并且設有控制設備，該控制設備控制切換閥，只在處理對象放入時，從噴嘴噴出冷卻后的惰性氣體。因此，提高了處理對象干燥的均勻性，同時，節省了冷卻后的惰性氣體的使用量。
在第9發明的裝置上，用一個氣體供給設備，通過分支的配管連接分屬多個單元中的多個切換閥。因此，裝置的規模較小，而且，也可適應大批量的處理對象。
在第10發明的裝置上，由于噴嘴設有逆止閥，所以，當惰性氣體供應停止時，可防止溶解液產生的可燃性蒸汽侵入連接噴嘴的配管內。
在第11發明的裝置上，由于噴嘴上連接惰性氣體供給設備，所以，可生成惰性氣體的噴流將處理槽的開口部覆蓋。因此，不需要傳統裝置上必需的冷卻蛇形管，因冷卻蛇形管而帶來的處理對象的干燥不良、高制造成本等問題得以緩解甚至消除。并且，還可實現裝置的小型化。
在第12發明的裝置上，由于在連接惰性氣體供給設備和切換閥的配管上設有冷卻裝置，所以，在放入處理對象的時候，可將冷卻后的惰性氣體噴在處理對象上。因此，可提高處理對象干燥的均勻性。
在第13發明的裝置上，由于設有接受器皿和配管，所以，溶解液的蒸汽凝結在處理對象表面后，變成液滴從處理對象上落下的時候，該液滴被接受器皿接住，并從配管流到外部。因此，可防止落下的液滴污染儲存在處理槽中的溶解液。
在第14發明的方法中，采用第1發明至第13發明中任何一項發明的裝置對處理對象——例如半導體薄片等的表面進行干燥處理。因此，在干燥處理工序中，處理對象受到充滿處理槽內部的穩定的蒸汽沐浴。其結果，緩解甚至消除了處理對象的干燥不良，獲得良好的處理效果。
附圖的簡單說明圖1實施例1裝置的正斷面圖；圖2實施例1裝置的斷面斜視圖；圖3實施例2裝置的正斷面圖；圖4實施例3裝置的斷面斜視圖；圖5實施例3裝置另一例子的斷面斜視圖；圖6圖5裝置中噴嘴的外觀斜視圖；圖7圖6中所示噴嘴的局部外觀斜視圖；圖8圖6中所示噴嘴的斷面圖；圖9圖6中所示噴嘴的斷面圖；圖10圖6中所示噴嘴驅動裝置的說明圖；圖11實施例3裝置的又一例子的概要圖；圖12實施例4裝置中噴嘴的斷面圖；圖13實施例4裝置中噴嘴另一例子的斷面圖；圖14實施例5裝置的正斷面圖；圖15實施例5裝置另一例子的正斷面圖；圖16傳統裝置的正斷面圖。
發明的實施例<1、實施例1>
首先，對實施例1的干燥裝置101進行說明。
<1-1裝置的構成>
圖1是干燥裝置101的正斷面圖。圖2是干燥裝置101的斷面斜視圖。不只是干燥裝置101，所有例舉的實施例所示的干燥裝置都是以半導體薄片3的干燥為目的而構成的裝置。
如圖1及圖2所示那樣，在干燥裝置101上設有處理槽11。處理槽11是只在上部開口的容器。即，規定向上方開口的開口部22在處理槽11的上部。而處理槽11的側壁隨著從下方逐漸接近開口部11而向內側圓滑彎曲。
在處理槽11的上部，在上述開口部22兩側相對設置一列噴嘴13以及槽狀的排氣裝置14。這些噴嘴13分別與配管19的一端連接。而該配管19的另一端與氮氣供給裝置18連接。氮氣供給裝置18，例如是可作為工廠設備之一的裝置。設在排氣裝置14上的排氣口開口向著噴嘴13。
另外，在處理槽11底部的正下方，設置加熱器10。并且，在處理槽11的內部——底部與上方開口部22之間的位置，固定接受器皿6。在該接受器皿6的底部，連接排水用配管20的一端，該配管20貫通處理槽11的側壁，引向外部。
<1-2、裝置的動作原理>
該裝置101在使用的時候有以下的要領。首先，在處理槽11的內部，供給適合水洗后半導體薄片3干燥的溶劑，例如IPA液7。調節所供給的IPA液7的量使液面在底于接受器皿6底部的位置。
而氮供給裝置18供給的氮氣通過配管19提供給噴嘴13。這樣，氮氣從噴嘴13噴出。由于噴嘴13是列狀設置的，所以，噴出的氮氣——即氮氣的噴流21形成膜狀，將開口部22完全覆蓋。而噴流21回收到面向噴嘴13開口的排氣裝置14的排氣口。排氣裝置14可將通過排氣口吸進的噴流21排向外部。
并且，給加熱器10通電。這樣，加熱器10產生的熱通過處理槽11的底部傳遞給IPA液7。加熱IPA液7的目的是使IPA液7氣化，由此產生IPA蒸汽5。該IPA蒸汽5充滿處理槽11的內部。即，處理槽11的內部被分為儲存IPA液7的液體儲存部9和位于上部充滿IPA蒸汽5的蒸汽填充部8。
IPA蒸汽5受到噴流21的阻擋，難以通過開口部22飛散到處理槽11的外面。而噴流21是從噴嘴13向排氣裝置14的排氣口噴射的氮氣噴流。即，IPA蒸汽5幾乎全部停留在蒸汽填充部8內。也即是，噴流21起到一種阻止氣體通過的屏障的作用。
在充滿蒸汽填充部8的IPA蒸汽5的狀態穩定后，可開始進行對作為處理對象的半導體薄片3的處理。即，將多塊半導體薄片3和裝載它們的容器4在水洗處理完后用保持吊臂1吊下、并從開口部22的上方橫切噴流21通過開口部22插入蒸汽填充部168內。裝有半導體薄片3的容器4由保持吊臂1保持在蒸汽填充部8的內部并位于接受器皿6正上方的位置。
這時，充滿蒸汽填充部8的IPA蒸汽5慢慢凝結溶到附著在半導體薄片3及容器4表面的水滴中。因為IPA在水中的溶解度高，所以大量溶入水滴中。其結果是將水滴實質上變成了IPA的液滴，重量增加。而IPA的液滴，由于其重量的作用使其從半導體薄片3和容器4的表面滑落下來。
這樣，就實現了被水滴潤濕的半導體薄片3和容器4的干燥。滑落下來的IPA的液滴被接受器皿6回收，通過配管20排到外部，即，混入水滴和微量雜質的IPA液體不與IPA液7混合，而是排到處理槽11的外面。從而保持了儲存在液體儲存部9的IPA液7的高純度。
當半導體薄片3和容器4干燥處理完后，裝有半導體薄片3的容器4被保持吊臂1拉上取到處理槽11的外面。之后，將取出的容器4送到下一個處理工序。而在處理槽11的蒸汽填充部8內，放入新的半導體薄片3和容器4。這樣，可反復進行半導體薄片3和容器4的干燥處理。
<1-3、裝置的優點>
在裝置101上，不但噴流21有效發揮屏障的功能，處理槽11的形狀也有很好的作用。如圖2所示那樣，由IPA液7產生的IPA蒸汽5沿處理槽11的側壁上升。而如前所述那樣，處理槽11的側壁在開口部22附近隨著接近開口部22而向內側圓滑彎曲。
所以，IPA蒸汽5的氣流在處理槽11的上部附近沿側壁的彎曲部向內側圓滑彎曲。IPA蒸汽5在蒸汽填充部8的上部冷卻的結果，是IPA蒸汽5的氣流逐漸向下流動。即，在蒸汽填充部8中，如圖2所示那樣，沿流線23產生了IPA蒸汽5的對流。
結果，噴流21有效地阻止了充滿蒸汽填充部8的IPA蒸汽5通過開口部22向外面流出。裝置101上處理槽11的特殊形狀有效地提高了噴流21作為屏障的功能。因此，傳統裝置151上必需的冷卻蛇形管162在裝置101上已沒有必要。即，通過設計噴嘴13和排氣裝置14，沒有冷卻蛇形管162也能完全抑制IPA蒸汽5從蒸汽填充部8流出。
并且，由于不設冷卻蛇形管162，從而，隨著提供給冷卻蛇形管162的制冷劑狀態的變化所引起的IPA蒸汽165的狀態不穩定也得到消除。即，蒸汽填充部8的容積、充滿蒸汽填充部8的IPA蒸汽5的濃度等穩定。其結果，是半導體薄片3和容器4等處理對象的干燥可以均勻且穩定地進行。即，緩和甚至消除了傳統裝置151上干燥不良的問題，提高了裝有半導體薄片3的半導體裝置的合格率。
另外，噴流21，不但能阻止IPA蒸汽5的流出，還具有防止外部影響波及到蒸汽填充部8中IPA蒸汽5的功能。通常，是在處理槽11開口部22的上方設置提供潔凈空氣的風機。這樣，在開口部22的上方潔凈空氣向下方流動，即，產生向下氣流。
在裝置101上，與傳統裝置151不同，由于噴流21覆蓋開口部22，所以，該向下氣流不會侵入蒸汽填充部8內部。因此，蒸汽填充部8中的IPA蒸汽5不會受到向下氣流的干擾。這一點也有利于IPA蒸汽5的容積、濃度等IPA蒸汽5狀態參數的穩定。
如上所述，在裝置101上，利用兩重作用抑制IPA蒸汽5的狀態變化。其結果是緩和甚至消除了干燥不良。并且，因為不設冷卻蛇形管162，所以，維持IPA蒸汽5所必需的對制冷劑溫度、流量等的復雜的控制，則不再是必要的。即，還具有裝置操作簡單的優點。
并且，因為不設冷卻蛇形管162，所以，可以節省安裝冷卻蛇形管162所必需的處理槽11的上層部。即，還具有裝置小型化的優點。并且，由于不設置石英管的冷卻蛇形管162，所以，裝置的結構簡單，制造成本、維修所需的時間、維修費用的任何一項都會降低。
另外，雖然所示例子中是采用IPA作為儲存在處理槽11中的溶劑，但只要是適合用作水洗后的處理對象進行干燥的溶劑，也可采用其它物質。即，一般可使用沸點比水低、氣化潛熱比水小、且相對水的溶解度高的有機溶劑。例如，TFEA(三氟乙基乙醇)、HFIPA(六氟丙醇)、PFPA(五氟丙醇)等較適合。
另外，雖然所示例子中通過配管19提供給噴嘴13的氣體是采用氮氣，但一般只要是化學穩定性好的氣體，即惰性氣體，也可采用其它氣體。例如，可采用氬氣等非活性氣體。不過，氮氣是惰性氣體中最廉價的，并具有容易得到的優點。
并且。雖然所示例子中是設置一列噴嘴13，利用其產生膜狀覆蓋開口部22的噴流21，但也可設置能產生膜狀噴流21的單一噴嘴取代一列噴嘴13。
<2、實施例2>
圖3是實施例2的干燥裝置結構的正斷面圖。該裝置102設有覆蓋開口部22并可自由開閉的蓋15。在這點上具有與裝置101不同的特征。為了使蓋15的開閉自如，如圖3所示那樣，設置連接蓋15的操作器24。操作器24，根據來自圖中未畫出的控制器的信號，通過沿水平方向移動蓋15，使蓋15開閉。
由于設有開閉自由的蓋15，在裝置102不運轉時、在進行運轉的準備工作時、或者即使在運轉中但沒有將半導體薄片3和容器4放入處理槽11中等時候，都可用蓋15將開口部22封閉。在此期間，因為開口部22被蓋15堵塞，所以，不必向噴嘴13提供氮氣。
而在裝置102運轉且沒有放入半導體薄片3和容器4之前，開始向噴嘴13提供氮氣，利用噴流21形成屏障，同時可打開蓋15。這時，可將噴流21形成屏障之后的時間定為蓋15打開的時間。
在干燥完畢、將半導體薄片3和容器4取出之后，將蓋15關閉，同時可停止向噴嘴13提供氮氣。可將蓋15關閉之后的時間定為停止向噴嘴13提供氮氣的時間。
裝置102可如上操作，這樣，不會破壞IPA蒸汽5狀態的穩定性，并可節約氮氣的使用量。在生產批量大的工廠，氮氣的使用成本也不能忽視。并且，由于縮短了噴嘴13的工作時間，使噴嘴13的損耗降低，還具有裝置壽命延長的優點。
<3、實施例3>
下面，對實施例3進行說明。
<3-1、裝置的整體構成及動作原理>
圖4是該實施例干燥裝置構成的斷面斜視圖。該裝置103，其噴嘴13兼作設置在傳統裝置上的滅火噴嘴172，在這點上與裝置102具有不同特征。
如圖4所示那樣，一端分別連接在多個噴嘴13上的多個配管19，其另一端相互連接成共同的一端，并且，該端與切換閥34的輸出方相連。在切換閥34上，除一個輸出方外，還設有2個輸入方。而切換閥34選擇2個輸入方中的任何一方與輸出方連接。
這些輸入方中的一方，通過配管36連接提供氮氣的氮氣供給裝置18。而另一方，通過配管37連接提供二氧化碳等滅火用氣體的高壓儲氣瓶等滅火用氣體供給裝置35。即，切換閥34的作用是選擇由氮氣供給裝置18提供的氮氣和滅火用氣體供給裝置35提供的滅火用氣體中任何一方送至配管19。在通常動作時，切換閥34選擇輸送氮氣的配管36與配管19連通。而氮氣由氮氣供給裝置18提供。
在處理槽11內部，安裝熱敏傳感器31；在開口部22上方設置火焰傳感器32。熱敏傳感器31在處理槽11內部的溫度上升到處理槽11內部要起火時，輸出所定信號。該信號通過信號輸送線38傳遞給控制器33，火焰傳感器32通過例如紅外線檢測火焰的產生，并輸出所設信號。該信號通過信號輸送線39傳遞給控制器33。控制器33在接收到熱敏傳感器31或火焰傳感器32中至少一方的信號時，通過信號輸送線40將驅動信號傳遞給切換閥34。
當切換閥34接收到該驅動信號時，將與配管19連通的配管從配管36切換到配管37。其結果是滅火用氣體從滅火用氣體供給裝置35通過配管37、切換閥34、以及配管19提供給噴嘴13。噴嘴13噴出滅火用氣體取代氮氣。這樣，可自動撲滅處理槽11內部產生的火焰。
由于不僅是氮氣，滅火用氣體也可從噴嘴13噴出，所以，不必另外設置傳統裝置151上的滅火用噴嘴172。即，可使裝置簡化，同時，也可降低裝置的成本。另外，處理槽11不必因設置滅火用噴嘴172而增大。這有利于裝置的進一步小型化。
<3-2、噴嘴的理想形式>
圖5是干燥裝置的正斷面圖，其中噴嘴13的構造為進一步理想化的形式。在該裝置104上，其特點是氮氣噴流21方向與滅火用氣體噴流41的方向不同。即，在噴嘴13上設有與切換閥34的動作聯動的可動機構。氮氣噴出的時候，是使噴流21向排氣裝置14的排氣口噴射；而滅火用氣體噴出的時候，是使噴流41向處理槽11內部噴射，即，直接向起火的部分噴射。因此，可有效地撲滅處理槽11內部產生的火焰。
圖6是設在裝置104上的噴嘴13的外觀斜視圖。該噴嘴13在配管19的前端部可自由轉動地安裝圓筒狀的外側噴嘴構件42。而且，在相當于該外側噴嘴構件42底部的前端部、且偏離中心的一部分，形成開口部43；而在側壁的一部分形成開口部44。開口部44位于側壁中央接近開口部43的位置。
圖7是去掉外側噴嘴構件42后噴嘴13的外觀斜視圖。在配管19的前端部，固定同樣是圓筒狀的內側噴嘴構件45。外側噴嘴構件42可轉動地結合在內側噴嘴構件45上。外側噴嘴構件42緊密結合在內側噴嘴構件45上并覆蓋其表面。在相當于內側噴嘴構件45底部的前端部、偏離中心的一部分，形成開口部46(流出口)；而在側壁的一部分形成開口部47(流出口)。開口部47位于側壁中央接近開口部46側的相反側。
圖8是噴出氮氣時噴嘴13的斷面圖。內側噴嘴構件45固定成開口部47朝向處理槽11內部，即，向下的形式。配管19的內部與內側噴嘴構件45內部形成的流路48連通。而且，流路48的前端部分成兩個分支流路，這些分支流路分別連通開口部46以及開口部47。
通向開口部46的分支流路，沿著內側噴嘴構件45的中心軸設計；通向開口部47的分支流路，則沿逐漸偏離中心軸的方向彎曲。該分支流路在開口部47的方向，是在朝向外側噴嘴構件42前端部方向與徑向之間的方向，即，斜下方的方向。
噴出氮氣的時候，外側噴嘴構件42的轉動位置設定在開口部43與開口部46重合的位置。這時，開口部44與開口部47相互位于相反側的位置；開口部47被外側噴嘴構件42的側壁堵塞。因此，由配管19提供的氮氣，通過開口部43噴出，形成朝向排氣裝置14排氣口的噴流21。
圖9是噴出滅火用氣體時噴嘴13的斷面圖。噴出滅火用氣體的時候，外側噴嘴構件42的轉動位置設定在從圖8的位置轉動180°后的位置，即，開口部44與開口部47重合的位置。這時，開口部43與開口部46位于以前端部中心為對稱軸的轉動對稱位置；開口部46被外側噴嘴構件42的前端部堵塞。因此，由配管19提供的滅火用氣體，通過開口部44向斜下方噴出，形成朝向處理槽11內部的噴流41。
圖10是轉動外側噴嘴構件42的驅動機構的一個例子的示意圖。在該例子中，在外側噴嘴構件42的凸緣部外周形成齒輪；在排成一列的噴嘴13中這些齒輪相互嚙合。并且，驅動部49——例如設有馬達的驅動部——上設計的齒輪與其中一個噴嘴13上設計的齒輪嚙合。
當控制器33向切換閥34發送驅動信號時，同時也向驅動部49發送驅動信號。驅動部49接收到驅動信號后，即驅動齒輪轉動。其結果是，設在一列噴嘴13上的外側噴嘴構件42一起轉動。該轉動動作使外側噴嘴構件42轉動180°。這樣，噴嘴13與切換閥34聯動，調到可噴出滅火用氣體的狀態。
圖10只是驅動外側噴嘴構件42的一個例子，也可以采用其它的驅動機構。例如，可在一列噴嘴13的每一個噴嘴上單獨設置驅動部49。另外，也可采用與驅動部49不同的、不使用齒輪的驅動機構。進而，還可固定外側噴嘴構件42而使內側噴嘴構件45自由轉動，也可獲得同樣的效果，在裝置104上，與裝置103不同，由于噴流41朝向處理槽11內部，所以，也可不必另外使用二氧化碳等滅火用氣體。即，在圖4的構成中，不設滅火用氣體供給裝置35、切換閥34，即使在起火時，也可向配管19提供氮氣。這時，控制器33只向驅動部49發出驅動信號。即，在裝置104上，不但可達到有效滅火的目的，還可使裝置的構成更加簡化。
<3-3、設有多個處理槽的裝置>
圖11是干燥裝置例子的簡單概要圖，該干燥裝置是將裝置103或裝置104中的處理槽11設計成多個。雖然圖示中被簡化了，但處理槽11上設置的加熱器10、一列噴嘴13、以及其它裝置部分是以對應處理槽11的個數或列數設置的。即，設置多個包含單獨處理槽11、加熱器10等的單元。
如圖11所示那樣，切換閥34也是對應處理槽11、與處理槽11設置數量相同。即，切換閥34也包含在單元中。而且，這些多個切換閥34，通過多根配管19分別與設在多個處理槽11上的多列的噴嘴13連接。即，從切換閥34到處理槽11的多個裝置部分的每一個，均與裝置103或裝置104中的對應部分相同。
向多個切換閥34的一輸入方提供氮氣的配管36，設有一根干管以及從干管上分出的多根分支管。而且，干管連接在氮氣供給裝置18——例如工廠內設置的用于提供氮氣的設備等上；分支管連接在切換閥34的一輸入方上。
同樣，向多個切換閥34的另一輸入方提供滅火用氣體的配管40設有一根干管以及從干管上分出的多根分支管。而且，干管連接在滅火用氣體供給裝置35上；分支管連接在切換閥34的這一輸入方上。切換閥34在通常動作時，選擇輸送氮氣的配管36連通配管19；起火時，則選擇輸送滅火用氣體的配管40。這點與裝置103、104相同。
裝置105由于有上述的構成，所以滅火用氣體供給裝置35不必對應處理槽11的個數增加。與裝置103、104一樣，滅火用氣體供給裝置35只要有1個就可以了。另外，氮氣供給裝置18同樣有1個就可以了。這樣，裝置105，盡管設有多個處理槽11，適合進行大批量半導體薄片3的處理，但滅火用氣體供給裝置35等的規模卻可以比較小。這有利于裝置整體的簡化、小型化，并且，降低了制造成本。
<4、實施例4>
圖12是設在實施例4的干燥裝置上的噴嘴13的構成斷面圖。該裝置如圖12所示那樣，在噴嘴13上設有逆止閥。在這點上具有與裝置102或裝置103不同的特征。
在該噴嘴13上，在配管19的前端部設有內側噴嘴構件51，該內側噴嘴構件51設有節流部；而節流部的構成情況是沿中心軸向噴嘴13的前端部，內徑逐漸減小，至最小內徑處之后，則內徑反之逐漸增大。在該內側噴嘴構件51的外側，裝有外側噴嘴構件55。例如，外側噴嘴構件55可利用螺紋57固定在配管19上。
外側噴嘴構件55為圓筒狀。在其底部形成開口部58。并且，彈簧56的一端固定在底部上；在該彈簧56的另一端連接可動栓54。可動栓54由圓錐體52和圓錐體52頂部的導向軸53構成。即，可動栓54通過彈簧56裝在外側噴嘴構件55上。
導向軸53是這樣的棒狀體其直徑的大小使其能在內側噴嘴構件51的最小內徑處充分自由地穿插。導向軸53的長度設計得充分長，即使在彈簧56收縮到最大限度時也能使導向軸53插在內側噴嘴構件51的最小內徑部分。另外，導向軸53圓錐體52的底面直徑設計得比內側噴嘴構件51的最小內徑大。
因此，當彈簧56因還原力而伸長時，圓錐體52與內側噴嘴構件51的內壁面相接。其結果，通過配管19提供的氣體的流路被堵塞。另一方面，當彈簧56收縮時，由于圓錐體52離開內側噴嘴構件51的內壁面，所以，流路被打開。
這時，由于導向軸53常插在內側噴嘴構件51的最小內徑部分，所以，可動栓54的(活動)狀態常保持在一定范圍。因此，流過內側噴嘴構件51與可動栓54之間的氣體不會紊亂。并且，可動栓54也可順滑進行打開、關閉流路的動作。
通過配管19提供氮氣或滅火用氣體的時候，利用氣體的壓力將可動栓54向流動方向壓出，在內側噴嘴構件51與可動栓54之間打開流路。其結果是氣體通過開口部58向噴嘴13的外部噴出。彈簧56強度的大小設定在利用氣體的壓力容易推動可動栓54將流路打開的程度。
在通過配管19的氮氣以及滅火用氣體的任何一方氣體都停止供應的時候，因為彈簧56在還原力的作用下使圓錐體52與內側噴嘴構件51的內壁面相接，所以，可動栓54與內側噴嘴構件51之間的流路關閉。因此，可防止充滿處理槽11內部的IPA蒸汽5通過噴嘴13進入配管19。即，只要在噴嘴13上進行簡單的改造，就可以防止作為可燃性氣體的IPA蒸汽5侵入不必要的裝置的各個部位、或者工廠設備中，從而發生不測。
噴嘴13上設計的可逆閥構造，不限于圖12所示的例子。圖13是噴嘴13上設計的可逆閥構造的另一例子的斷面圖。即使在該噴嘴13上，也與圖12所示例子一樣，設有節流部的內側噴嘴構件51裝在配管19的前端部，在該內側噴嘴構件51的外側，裝配外側噴嘴構件61。
另外，設有圓錐體63的可動栓66通過彈簧68裝在外側噴嘴構件61上，這一點也一樣。并且，圓錐體63的形狀設計為在彈簧68伸長時、圓錐體63的外壁面與內側噴嘴構件51的內壁面相接、從而關閉氣體的流路的形式，這一點也相同。
圖13的噴嘴13，可動栓66不設導向軸53，而是通過可自由滑動地支撐在外側噴嘴構件61內壁形成的槽62上保持其狀態，在這一點上具有與圖12不同的特征。外側噴嘴構件61為圓筒狀，其底部形成開口部67作為氣體噴出口。
并且，在側壁的內表面上，以中心軸為中心對稱形成至少兩條槽62，并使槽62沿中心軸延伸。在可動栓66上，除圓錐體63以外，還設有與圓錐體63連成一體的軸65、以及從軸65向槽62突出的突起64。而且，突起64的前端部可滑動地裝在槽62上。
即，突起64通過被槽62引導滑動使可動栓66在某一定范圍活動。通過配管19提供氮氣或滅火用氣體時，利用氣體的壓力在可動栓66與內側噴嘴構件51之間打開流路；當哪一方的氣體都停止供應的時候，流路關閉。這個動作與圖12的噴嘴13相同。因此，可獲得與圖12的噴嘴13同樣的效果，即，可防止IPA蒸汽5通過噴嘴13進入配管19。
<5、實施例5>
圖14是實施例5的干燥裝置構成的正斷面圖。該裝置106，在配管19的一處設有用于冷卻流過配管19的氮氣的冷卻器71。在這點上具有與實施例1～4的各裝置不同的特征。在冷卻器71上，可使用例如電子冷熱元件、水冷機構、或者空氣冷卻機構等。并且，在冷卻器71上，通過信號線連接控制器72。
如圖14所示那樣，將裝載半導體薄片3的容器4在水洗處理完后用保持吊臂1吊下、并從處理槽11上方橫切噴流21插入開口部22的時候，作為噴流21噴出的氮氣，利用冷卻器冷卻到比常溫低的溫度。即，半導體薄片3和容器4在插入開口部22的時候，受到冷卻后的氮氣噴流21的噴灑。
其結果是，表面被水滴潤濕的半導體薄片3和容器4被強行冷卻，使其溫度均勻化。之后，半導體薄片3和容器4通過開口部22放在蒸汽填充部8中所定位置，利用IPA蒸汽5開始進行干燥處理。這時，因為半導體薄片3和容器4的溫度一樣，IPA蒸汽5在它們表面的凝結均勻。其結果，因為干燥過程在整個表面均勻進行，所以，不易產生所謂的干燥斑(斑點)。即，可進一步抑制干燥不良的發生。
在放入半導體薄片3和容器4的時候，控制器72調節冷卻器71開或關的時間，可以噴出充分冷卻后的氮氣形成噴流21。例如，在放入新的半導體薄片3和容器4之前幾分鐘，打開冷卻器71使形成噴流21的氮氣可以預先充分冷卻。控制器72可通過接受某控制裝置的信號——例如控制保持吊臂1動作的控制裝置(圖中未示出)，對應容器4的動作進行冷卻器71的控制。
當半導體薄片3和容器4通過開口部22插入處理槽11之后，例如，冷卻器71回復到關閉狀態。這樣，在控制干燥不良的同時，還可省去不必要的冷卻。另外，在不必要的冷卻不成為特別的問題時，裝置106也可這樣構成即，可以不設控制器72，在裝置106運行期間，冷卻器71可處于常開狀態。
雖然裝置106是冷卻流過配管19的氮氣的構成形式，但采用將預先冷卻的氮氣供給配管19的構成形式，也可獲得同樣的效果。圖15是這樣構成的干燥裝置的正斷面圖。
該裝置107如同裝置103(參照圖4)一樣，在配管19上連接切換閥73的輸出方。而且，切換閥73的二輸入方中的一輸入方通過配管74連接提供常溫氮氣的氮氣供給裝置18；另一輸入方通過配管76連接提供冷卻氮氣的冷卻氮氣供給裝置75。并且，切換閥73，通過信號線連接控制器72。
當應該噴出常溫氮氣形成噴流21的時候，切換閥73選擇輸送常溫氮氣的配管74連通配管19，向噴嘴13提供常溫氮氣。而當應該噴出冷卻氮氣形成噴流21的時候，切換閥73選擇輸送冷卻氮氣的配管76連通配管19，向噴嘴13提供冷卻氮氣。這樣的切換閥73上的切換動作可由控制器72控制。
如上所述，在裝置107上，因為其構成也是根據需要選擇噴出常溫氮氣和冷卻氮氣中的任何一方形成噴流21，所以，與裝置106一樣，在可以控制干燥不良的同時，還可獲得節省冷卻氮氣使用量的效果。
另外，可如圖11所示那樣構成裝置107。在圖11所示裝置中，設計多個處理槽11，在該多個處理槽11中，設計共用的氮氣供給裝置18和滅火用氣體供給裝置35。這樣，可將冷卻氮氣供給裝置75控制在較小規模，同時，可以處理大批量的半導體薄片3。
另外，還可組合裝置107和裝置103(參照圖4)構成干燥裝置。即，可將切換閥73換成設有3個輸入方的切換閥，在3個輸入方中的第1輸入方上連接氮氣供給裝置18；第2輸入方上連接冷卻氮氣供給裝置75；第3輸入方上連接滅火用氣體供給裝置35。在通常運行時，利用控制器72的動作在第1及第2輸入方之間進行切換。在熱敏傳感器31或火焰傳感器32檢測到火焰的非常時刻，可利用控制器33的動作切換到第3輸入方。
符號說明3、半導體薄片(處理對象)；5、IPA蒸汽(蒸汽)；6、接受器皿；7、IPA液(溶解液)；10、加熱器；11、處理槽；13、噴嘴；14、排氣件(排氣設備)；15、蓋；18、氮氣供給裝置(惰性氣體供給設備、常溫氣體供給設備)；19、20、配管；21、噴流；22、開口部；31、熱敏傳感器(傳感器)；32、火焰傳感器(傳感器)；33、控制器(控制設備)；34、73、切換閥；35、滅火用氣體供給裝置(滅火用氣體供給設備)；42、外部噴嘴構件；45、內部噴嘴構件；71、冷卻器(冷卻設備)；75、冷卻氮氣供給裝置(冷卻氣體供給設備)。
權利要求
1.一種干燥裝置，該干燥裝置通過儲存并加熱水溶性的溶解液(7)，使從上述溶解液中產生的蒸汽(5)在處理對象(3)表面凝結來對該處理對象表面進行干燥，其特征在于在該干燥裝置上，設有在上面的規定向上開口的開口部(22)的且可儲存溶解液的容器狀處理槽(11)、可加熱儲存在上述處理槽內的上述溶解液的加熱器(10)、以及在上述開口部兩側相對設置的噴嘴(13)及排氣設備(14)；而上述排氣設備規定排氣口的開口朝向上述噴嘴；上述噴嘴由于受氣體供給的影響而朝向上述排氣口，并且，可產生覆蓋上述開口部的上述氣體的噴流(21)；上述排氣設備可將通過上述排氣口吸進的上述氣體排向外部；上述處理槽，設有隨著從下方接近上述開口部而向內側圓滑彎曲的側壁。
2.如權利要求1所示的干燥裝置，其特征在于進一步設有可自由開閉地覆蓋上述開口部的蓋(15)。
3.如權利要求1所示的干燥裝置，其特征在于進一步設有切換閥(34、73)，切換閥的輸出方連通上述噴嘴，并可自由切換地選擇多個輸入方中的一方連通輸出方。
4.如權利要求3所示的干燥裝置，其特征在于進一步設有供給惰性氣體的惰性氣體供給設備(18)、供給滅火用氣體的滅火用氣體供給設備(35)、監測上述處理槽內火災發生并將所定信號輸出的傳感器(31，32)、以及控制器(33)；該控制器根據上述傳感器輸出的信號控制上述切換閥的切換動作；而上述多個輸入方中的一方連接上述惰性氣體供給設備、上述多個輸入方中的另一方連接上述滅火用氣體供給設備；上述控制器在收到信號時，控制上述切換閥，將上述切換閥選擇的輸入方從連接上述惰性氣體供給設備的輸入方切換到連接上述滅火用氣體供給設備的輸入方。
5.如權利要求1至3中任何一項所示的干燥裝置，其特征在于上述噴嘴，在接受氣體供給時，可自由切換選擇生成下面兩種氣體噴流中的任何一種，即，噴向上述排氣口并覆蓋上述開口部的上述氣體的噴流(21)、以及噴向上述處理槽內部的上述氣體的噴流(41)。
6.如權利要求5所示的干燥裝置，其特征在于上述噴嘴設有內側噴嘴構件(45)、以及裝在該內側噴嘴構件外側的外側噴嘴構件(42)；上述內側噴嘴構件在內部規定了從單一的流入口(48)分為兩個流出口(46，47)的流路；上述外側噴嘴構件規定了兩個開口部(43，44)；上述內側噴嘴構件與上述外側噴嘴構件的一方相對另一方可以自由轉動，根據轉動的位置只選擇上述內側噴嘴構件的上述兩個流出口的任何一方與上述外側噴嘴構件的上述兩個開口部的任何一方接合。
7.如權利要求5所示的干燥裝置，其特征在于上述噴嘴設有列狀設置的多個噴嘴；上述多個噴嘴的每一個噴嘴都設有內側噴嘴構件(45)、以及裝在該內側噴嘴構件外側的外側噴嘴構件(42)；上述內側噴嘴構件在內部規定了從單一的流入口(48)分為兩個流出口(46，47)的流路；上述外側噴嘴構件規定了兩個開口部(43，44)；上述內側噴嘴構件與上述外側噴嘴構件的一方相對另一方可以自由轉動，根據轉動的位置只選擇上述內側噴嘴構件的上述兩個流出口的任何一方與上述外側噴嘴構件的上述兩個開口部的任何一方接合。
8.如權利要求5所示的干燥裝置，其特征在于進一步設有監測上述處理槽內火災發生并將所定信號輸出的傳感器(31，32)、以及控制設備(33)，該控制設備根據上述傳感器輸出的信號控制上述噴嘴的切換動作；上述控制器在收到信號時，控制上述噴嘴，將向上述排氣口的噴流切換到向上述處理槽內部的的噴流。
9.如權利要求3所示的干燥裝置，其特征在于進一步設有供給常溫惰性氣體的常溫氣體供給設備(18)、供給冷卻惰性氣體的冷卻氣體供給設備(75)、以及控制上述切換閥切換動作的控制設備(33)；上述多個輸入方中的一方連接上述常溫惰性氣體供給設備、上述多個輸入方中的另一方連接上述冷卻惰性氣體供給設備；上述控制設備只在上述處理對象放入上述處理槽內部時，控制上述切換閥，使上述噴嘴生成的上述噴流變成冷卻后的上述惰性氣體的噴流。
10.如權利要求4或權利要求9所示的干燥裝置，其特征在于設置了多個設有上述處理槽、上述加熱器、上述噴嘴、上述排氣設備、以及上述切換閥的單元；還設置了分為兩個分支的配管；兩種氣體供給設備是單獨分開的，并且，分別通過上述兩個分支的配管，共同連通上述多個單元中每一個上述切換閥。
11.如權利要求1至權利要求4中任何一項所述的干燥裝置，其特征在于設有逆止閥，使上述噴嘴在接受上述氣體供給時打開該氣體的流路，而在不接受上述氣體供給時關閉該氣體的流路。
12.如權利要求1或權利要求2所述的干燥裝置，其特征在于進一步設有供給惰性氣體的惰性氣體供給設備(18)，該惰性氣體供給設備與上述噴嘴連接。
13.如權利要求12所述的干燥裝置，其特征在于進一步設有配管(19)以及在該配管的至少一部分設置的冷卻設備(71)；上述惰性氣體供給設備通過上述配管與上述噴嘴連接；上述冷卻設備可以冷卻流過上述配管的上述惰性氣體。
14.如權利要求1至權利要求4以及9中任何一項所述的干燥裝置，其特征在于進一步設有接受器皿(6)以及設在該接受器皿底部的配管(20)；上述接受器皿設在上述處理槽內部并位于上述處理槽底部與上述處理槽的上述開口部之間，而該配管用于排出注入上述接受器皿內的液體。
15.一種干燥方法，其特征在于在通過儲存并加熱上述水溶性的溶解液(7)，使從上述溶解液中產生的蒸汽(5)在處理對象(3)表面凝結來對該處理對象表面進行干燥的干燥裝置上，設有以下工序1、準備可儲存溶解液的容器狀處理槽(11)，處理槽(11)規定有在上面向上開口的開口部(22)，并設有隨著從下方接近上述開口部而向內側圓滑彎曲的側壁；2、通過向上述處理槽中供入上述溶解液，將上述溶解液儲存在上述一部分處理槽中；3、生成上述惰性氣體的噴流，以覆蓋上述開口部；4、排出形成噴流并覆蓋上述開口部的上述惰性氣體；5、加熱上述溶解液；6、以橫切上述噴流同時穿過上述開口部的方式將上述處理對象插入上述處理槽中；7、將插入后的上述處理對象保持在上述溶解液的液面上方，并利用加熱后產生的上述溶解液的蒸汽，干燥上述處理對象表面的干燥處理工序；8、在干燥處理工序結束后，再以橫切上述噴流同時穿過上述開口部的方式將上述處理對象取到上述處理槽外部。
全文摘要
本發明的目的是使IPA蒸汽的狀態穩定,緩解甚至消除干燥不良現象。在設于處理槽(11)上方的開口部(22)兩側相對設置噴嘴(13)以及排氣件(14)。處理槽(11)的側壁隨著從下方附近接近開口部(22)而向內側圓滑彎曲。噴嘴(13)將氮氣供給裝置提供的氮氣噴向排氣件(14)的排氣口,并形成覆蓋開口部(22)的噴流(21)。由于處理槽(11)的側壁彎曲,噴流(21)可有效發揮屏障的功能。所以,不再需要傳統裝置上必需的冷卻蛇形管。因此,消除了因冷卻蛇形管而引起的IPA蒸汽(5)狀態的不穩定性。
文檔編號H01L21/00GK1195763SQ97123190
公開日1998年10月14日 申請日期1997年11月24日 優先權日1997年4月4日
發明者松本曉典, 黑田健, 伴功二, 小西瞳子, 橫井直樹 申請人:菱電半導體系統工程株式會社, 三菱電機株式會社