專利名稱:旁軸氦氖雙頻激光器的制作方法
本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域：
:激光器本
實用新型內(nèi)容
說明公知的氦氖雙頻激光器激光諧振腔腔長因材料膨脹系數(shù)較大，一般需要予熱30分鐘以上才能開始工作，而且長時間工作穩(wěn)定性差，工作中常出現(xiàn)跳?，F(xiàn)象，使雙頻激光干涉儀不能連續(xù)穩(wěn)定工作，效率很低。由于壓電陶瓷元件位于激光腔內(nèi)，使該件加工困難。針對上述缺點，我們研制成功一種能克服上述缺點，而且制造工藝簡單的旁軸氦氖雙頻激光器。
本附圖為旁軸氦氖雙頻激光器結(jié)構(gòu)圖，其各另件名稱如下1——陽級 2——氦氖氣體3——陰級 4——磁鐵5——外殼 6——放電毛細管7——鏡片 8——彈簧9——玻璃球面定位片 10——中間帶孔玻璃墊片11——球面高反射膜片 12——平面帶環(huán)形槽高反射膜片13——壓電陶瓷環(huán) 14——空心壓電陶瓷柱15——帶孔鏡片本實用新型的技術(shù)要點是，放電毛細管(6)采用零膨脹微晶玻璃材料，使激光器開機后能立即並能長時間連續(xù)穩(wěn)定地工作；將壓電陶瓷環(huán)(13)由激光腔內(nèi)移到激光腔外，使其加工簡單、確保精度。本實用新型的旁軸氦氖雙頻激光器由陽極(1)、氦氖氣體(2)、磁鐵(4)、外殼(5)、放電毛細管(6)、鏡片(7)、彈簧(8)、玻璃球面定位片(9)、中間帶孔玻璃墊片(10)、球面高反射膜片(11)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)、壓電陶瓷環(huán)(13)空心壓電陶瓷柱(14)、帶孔鏡片(15)組成。其中壓電陶瓷環(huán)(13)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)、空心壓電陶瓷柱(14)和帶孔鏡片(15)位于激光諧振腔外端部，與放電毛細管(6)同心並用膠連成一個整體。鏡片(7)用膠連結(jié)在外殼(5)的另一端。放電毛細管(6)、球面高反射膜片(11)、中間帶孔玻璃墊片(10)、玻璃球面定位片(9)、彈簧(8)位于外殼(5)內(nèi)，依靠彈簧(8)的彈力通過玻璃球面定位片(9)、中間帶孔玻璃墊片(10)使平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)的帶環(huán)形槽端面和球面高反射膜片(11)的端面分別與放電毛細管(6)的端面緊密貼合。陰極(3)置于外殼(5)的旁側(cè)，磁鐵(4)套裝在外殼(5)上；放電毛細管(6)內(nèi)徑為φ0.90～1.20毫米。外徑最好為φ20～30毫米，以確保其剛性，防止形變對激光諧振腔平行度的影響；放電毛細管(6)與外殼(5)之間的配合以滑配合為宜；由放電毛細管(6)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)、氦氖氣體(2)、及球面高反射膜片(11)形成激光諧振腔。該腔與激光器的外殼(5)為分離組合，這樣避免了激光器的外殼因受熱產(chǎn)生的變形對激光諧振腔的影響。盡管由于外殼(5)和放電毛細管(6)的膨脹系數(shù)不同而使用兩者在軸向有相對移動，但由于彈簧(8)的作用，始終將平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)和球面高反射膜片(11)緊緊地貼合在放電毛細管(6)的兩端；壓電陶瓷(13)、空心壓電陶瓷柱(14)、帶孔鏡片(15)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)和穩(wěn)頻電路構(gòu)成激光器穩(wěn)頻裝置。當激光器發(fā)出的光偏離譜線中心時，PLZT(鋯鈦酸鋯鑭)接收的偏差信號由電器反饋系統(tǒng)反饋到壓電陶瓷環(huán)(13)上。由于電致伸縮效應(yīng)，使壓電陶瓷環(huán)(13)伸長或縮短，通過空心壓電陶瓷柱(14)迫使平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)的中間鍍膜區(qū)沿著激光諧振腔腔長方向作量的平行移動，以補償因受熱而引起的激光諧振腔腔長的變化，這就能達到氦氖雙頻激光器開機立即工作和長時間穩(wěn)定連續(xù)工作的目的。本實用新型的旁軸氦氖雙頻激光器的頻率穩(wěn)定性為1×10-9，由將壓電陶瓷環(huán)(13)移到激光器腔外和陰極為旁軸結(jié)構(gòu)，降低了加工精度的要求，大大提高了合格率和加工效率，降低了成本。
權(quán)利要求
1.一種氦氖雙頻激光器，其特征在于所說的氦氖雙頻激光器的壓電陶瓷環(huán)(13)和空心壓電陶瓷柱(14)位于該激光器激光諧振腔外端部，並與放電毛細管(6)同心，用膠將壓電陶瓷環(huán)(13)，空心壓電陶瓷柱(14)、平面帶環(huán)形槽高反射膜片(12)和帶孔鏡片(15)貼合連接成一體。
2.一種根據(jù)權(quán)利要求
1所說的氦氖雙頻激光器，其特征在于所說的放電毛細管(6)的材料為零膨脹微晶玻璃，其外徑為20～30毫米，內(nèi)孔直徑為0.90～1.20毫米。
專利摘要
本旁軸氦氖雙頻激光器的放電毛細管用零膨脹微晶玻璃制成，其外徑為20～30毫米，內(nèi)徑為0.90～1.20毫米，并與外殼分離。壓電陶瓷環(huán)和空心壓電陶瓷柱位于激光諧振腔外，因而使激光諧振腔工作穩(wěn)定、制造簡便，開機即能長時間連續(xù)穩(wěn)定工作，其頻率穩(wěn)定度達到1×10
文檔編號H01S3/223GK85200507SQ85200507
公開日1986年7月2日 申請日期1985年4月1日
發(fā)明者俞成棟, 鈕家汶, 羨一民 申請人:機械工業(yè)部成都工具研究所導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan