真空吸筆的制作方法

本申請涉及吸取工具的，具體而言，涉及一種真空吸筆。

背景技術：

1、在晶圓生產技術行業，會使用真空吸筆來對晶圓(硅晶片)取出或者放置，真空吸筆整體形狀和大小與一般鋼筆類似，一端需要連接外部的壓縮空氣源，另一端設置吸嘴。常見的硅片真空吸筆通常包括依次連接的握持部、筆桿部和吸盤，握持部具有管腔，管腔連通真空負壓，吸盤的吸孔經筆桿部所設氣道與所述管腔連通，握持部的管壁上設有連通管腔的泄壓孔，操作人員通過開閉泄壓孔實現負壓吸附。

2、現有的真空吸筆(例如：申請公布號為：cn106449508a，名稱為：一種吸取硅電池片的可伸縮真空吸筆)在常見的硅片真空吸筆的基礎上引入可伸縮氣體通道管，可伸縮氣體通道管分別與握持部和吸盤相連接，然而這種真空吸筆在調節長度時，操作人員需要分別對握持部和吸盤施加力，才能拉長或壓縮可伸縮氣體通道管，這就使得操作收到限制，并且可伸縮氣體管道容易發生偏移導致吸取不精確。

技術實現思路

1、本申請提供了一種真空吸筆，以解決現有技術中不易對真空吸筆的長度進行調節的問題。

2、根據本申請提供的一種真空吸筆，包括：真空發生器、吸附結構和管道結構。管道結構第一端與真空發生器相連通，管道結構第二端與吸附結構相連通，管道結構包括負壓管道、第一套管和第二套管，負壓管道套設在第一套管與第二套管內，第一套管可移動地套設在第二套管內，第一套管壁上開設有多個卡槽，第二套管上設置有與卡槽相配合的卡制按鈕。

3、在一些實施例中，卡制按鈕包括操作部和卡制部，卡制部和操作部相連接，卡制部朝向卡槽的方向，操作部可轉動地安裝在第二套管壁上，卡制部的厚度沿遠離操作部的方向逐漸減小，真空吸筆具有卡制部位于卡槽內的卡制狀態，或卡制部脫離卡槽的伸縮狀態。

4、在一些實施例中，管道結構還包括第一連接管道和第二連接管道，第一連接管道設置在第一套管的頂壁上，與負壓管道對應設置，第二連接管道設置在第二套管的底部，與負壓管道對應設置。

5、在一些實施例中，負壓管道為鐵氟龍波紋伸縮管或鐵氟龍彈簧伸縮管。

6、在一些實施例中，吸附結構包括吸附管道和吸附腔，吸附管道第一端與第一連接管道相連通，吸附管道第二端與吸附腔相連通。

7、在一些實施例中，吸附管道第一端具有第一外螺紋，第一連接管道具有與第一外螺紋相配合的第一內螺紋。

8、在一些實施例中，吸附腔上開設有多個吸附孔。

9、在一些實施例中，管道結構還包括第三套管，第三套管具有連通部，連通部第一端與第二連接管道相連通，連通部第二端與真空發生器相連通。

10、在一些實施例中，連通部第一端具有第二外螺紋，第二連接管道具有與第二外螺紋相配合的第二內螺紋。

11、在一些實施例中，第三套管還具有握持部，連通部穿設在握持部內。

12、應用本申請的技術方案，管道結構第一端與真空發生器相連通，管道結構第二端與吸附結構相連通，這就使得吸附結構維持了負壓的環境，能夠對晶圓進行吸取，管道結構包括負壓管道、第一套管和第二套管，負壓管道套設在第一套管和第二套管內，第一套管可移動地套設在第二套管內，通過第一套管在第二套管內的移動進行高度的調節，第一套管壁上開設有多個卡槽，第二套管上設置有與卡槽相配合的卡制按鈕，卡制按鈕與卡槽相抵頂時，第一套管在第二套管內的移動受到限制，卡制按鈕與卡槽相分離時，第一套管可在第二套管內移動，根據不同的需求將第一套管移至不同的位置，并通過卡槽和卡制按鈕的配合，實現第一套管的固定。操作人員通過操作卡制按鈕，移動第一套管即可實現對真空吸筆的長度調節。本申請的技術方案有效地解決了現有技術中不易對真空吸筆的長度進行調節的問題。

技術特征：

1.一種真空吸筆，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的真空吸筆，其特征在于，所述卡制按鈕包括操作部(331)和卡制部(332)，所述卡制部(332)和所述操作部(331)相連接，所述卡制部(332)朝向所述卡槽(321)的方向，所述操作部(331)可轉動地安裝在所述第二套管(33)壁上，所述卡制部(332)的厚度沿遠離所述操作部(331)的方向逐漸減小，所述真空吸筆具有所述卡制部(332)位于所述卡槽(321)內的卡制狀態，或所述卡制部(332)脫離所述卡槽(321)的伸縮狀態。

3.根據權利要求2所述的真空吸筆，其特征在于，所述管道結構(30)還包括第一連接管道(34)和第二連接管道(35)，所述第一連接管道(34)設置在所述第一套管(32)的頂壁上，與所述負壓管道(31)對應設置，所述第二連接管道(35)設置在所述第二套管(33)的底部，與所述負壓管道(31)對應設置。

4.根據權利要求3所述的真空吸筆，其特征在于，所述負壓管道(31)為鐵氟龍波紋伸縮管或鐵氟龍彈簧伸縮管。

5.根據權利要求3所述的真空吸筆，其特征在于，所述吸附結構(20)包括吸附管道(21)和吸附腔(22)，所述吸附管道(21)第一端與所述第一連接管道(34)相連通，所述吸附管道(21)第二端與所述吸附腔(22)相連通。

6.根據權利要求5所述的真空吸筆，其特征在于，所述吸附管道(21)第一端具有第一外螺紋，所述第一連接管道(34)具有與所述第一外螺紋相配合的第一內螺紋。

7.根據權利要求5所述的真空吸筆，其特征在于，所述吸附腔(22)上開設有多個吸附孔。

8.根據權利要求3所述的真空吸筆，其特征在于，所述管道結構(30)還包括第三套管(36)，所述第三套管(36)具有連通部(361)，所述連通部(361)第一端與所述第二連接管道(35)相連通，所述連通部(361)第二端與所述真空發生器(10)相連通。

9.根據權利要求8所述的真空吸筆，其特征在于，所述連通部(361)第一端具有第二外螺紋，所述第二連接管道(35)具有與所述第二外螺紋相配合的第二內螺紋。

10.根據權利要求9所述的真空吸筆，其特征在于，所述第三套管(36)還具有握持部(362)，所述連通部(361)穿設在所述握持部(362)內。

技術總結
本申請涉及一種真空吸筆，包括：真空發生器、吸附結構和管道結構。管道結構第一端與真空發生器相連通，管道結構第二端與吸附結構相連通，管道結構包括負壓管道、第一套管和第二套管，負壓管道套設在第一套管與第二套管內，第一套管可移動地套設在第二套管內，第一套管壁上開設有多個卡槽，第二套管上設置有與卡槽相配合的卡制按鈕。本申請的技術方案有效地解決了現有技術中不易對真空吸筆的長度進行調節的問題。

技術研發人員：袁廷云,賈釗,胡恒廣
受保護的技術使用者：青島旭芯互聯科技研發有限公司
技術研發日：20240126
技術公布日：2024/10/21