本申請涉及但不限于光電探測器,尤其涉及一種紅外光電探測器的制備方法和紅外光電探測器。
背景技術:
1、紅外光電探測器是一種對紅外輻射敏感的器件,其可以把肉眼不可見的紅外輻射轉換為可見或者可測量的信號。
2、暗電流噪聲是半導體紅外光電探測器噪聲一個很重要的來源,現有的紅外光電探測器由于材料和結構的限制,其暗電流噪聲普遍較高,較高的暗電流噪聲將導致紅外光電探測器的信號噪聲和開關閾值偏高,降低紅外光電探測器的靈敏度,在使用過程中,當探測目標的紅外輻射強度低于開關閾值時,紅外光電探測器無法識別出目標。
技術實現思路
1、以下是對本文詳細描述的主題的概述。本概述并非是為了限制權利要求的保護范圍。
2、本申請實施例提供了一種紅外光電探測器的制備方法和紅外光電探測器,能夠提升紅外光電探測器的靈敏度。
3、為實現上述目的,本申請實施例的第一方面提出了一種紅外光電探測器的制備方法,包括:對襯底層的其中一側進行掩膜刻蝕,以使所述襯底層的一側形成感光面,其中,所述襯底層背離所述感光面的一側為接觸面,所述襯底層由磷化銦制成;將所述襯底層的感光面上的所述磷化銦氧化為氧化銦;在所述感光面的表面進行鍍金處理,將鍍金處理后的所述襯底層進行退火處理,以使所述感光面的表面形成金量子點;在所述接觸面設置p型電極層,在所述感光面設置n型電極層,得到紅外光電探測器。
4、在一實施例中,所述將所述襯底層的感光面上的所述磷化銦氧化為氧化銦,包括:在流動氧氣環境下,將所述襯底層加熱至預設的第一加熱溫度并持續預設的第一加熱時長,以將所述感光面上的所述磷化銦氧化為氧化銦。
5、在一實施例中,所述氧氣的流速范圍為1sccm至5sccm。
6、在一實施例中,所述第一加熱溫度的范圍為500攝氏度至800攝氏度。
7、在一實施例中,所述第一加熱時長的范圍為1小時至10小時。
8、在一實施例中,所述在所述感光面的表面進行鍍金處理,將鍍金處理后的所述襯底層進行退火處理,以使所述感光面的表面形成金量子點,包括:通過磁控濺射方法在所述感光面的表面濺射一層金膜;將覆蓋所述金膜的所述襯底層放置于流動氮氣環境下,將所述襯底層加熱至預設的第二加熱溫度并持續預設的第二加熱時長,以在所述感光面表面形成金量子點。
9、在一實施例中,所述氮氣的流速范圍為1sccm至5sccm。
10、在一實施例中,所述第二加熱溫度的范圍為500攝氏度至800攝氏度。
11、在一實施例中,所述第二加熱時長的范圍為1分鐘至5分鐘。
12、為實現上述目的,本發明還提出了一種紅外光電探測器,所述紅外光電探測器由第一方面所述的制備方法進行制造得到。
13、本申請提出的紅外光電探測器的制備方法和紅外光電探測器,本申請實施例的紅外光電探測器的制備方法包括:對襯底層的其中一側進行掩膜刻蝕,以使所述襯底層的一側形成感光面,其中,所述襯底層背離所述感光面的一側為接觸面,所述襯底層由磷化銦制成;將所述襯底層的感光面上的所述磷化銦氧化為氧化銦;在所述感光面的表面進行鍍金處理,將鍍金處理后的所述襯底層進行退火處理,以使所述感光面的表面形成金量子點;在所述接觸面設置p型電極層,在所述感光面設置n型電極層,得到紅外光電探測器。根據本申請實施例提供的方案,通過在襯底層的其中一側進行掩膜刻蝕,形成感光面,感光面上形成多個納米孔洞結構,從而能夠增大襯底層對紅外光線的吸收面積;然后,通過在感光面的表面進行鍍金處理,并通過退火處理將感光面表面的金元素轉換為金量子點,能夠有效降低襯底層中的暗電流,強化探測器捕獲光線的能力,同時也提高了襯底層的光電轉換效率,從而提升紅外光電探測器的靈敏度。
14、本申請的其它特征和優點將在隨后的說明書中闡述,并且,部分地從說明書中變得顯而易見,或者通過實施本申請而了解。本申請的目的和其他優點可通過在說明書、權利要求書以及附圖中所特別指出的結構來實現和獲得。
1.一種紅外光電探測器的制備方法,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述將所述襯底層的感光面上的所述磷化銦氧化為氧化銦,包括:
3.根據權利要求2所述的制備方法,其特征在于,所述氧氣的流速范圍為1sccm至5sccm。
4.根據權利要求2所述的制備方法,其特征在于,所述第一加熱溫度的范圍為500攝氏度至800攝氏度。
5.根據權利要求2所述的制備方法,其特征在于,所述第一加熱時長的范圍為1小時至10小時。
6.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述在所述感光面的表面進行鍍金處理,將鍍金處理后的所述襯底層進行退火處理,以使所述感光面的表面形成金量子點,包括:
7.根據權利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述氮氣的流速范圍為1sccm至5sccm。
8.根據權利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述第二加熱溫度的范圍為500攝氏度至800攝氏度。
9.根據權利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述第二加熱時長的范圍為1分鐘至5分鐘。
10.一種紅外光電探測器,其特征在于,所述紅外光電探測器由權利要求1至9任意一項所述的制備方法進行制造得到。