本揭露的一些實施方式涉及一種光感測器陣列、一種制造近紅外光感測器裝置的方法及一種近紅外光感測器裝置。
背景技術:
1、以下內容是關于半導體結構制造技術、半導體裝置制造技術、影像感測器技術及相關的先前技術。
技術實現思路
1、根據一些實施方式,一種光感測器陣列包括多個光感測器的陣列、經圖案化金屬層及多個嵌入光柵。光感測器的陣列包括用以偵測至少在設計基準紅外波長下的紅外光的多個紅外光感測器。經圖案化金屬層設置于光感測器的陣列上,經圖案化金屬層包括設置于光感測器的陣列中的光感測器之間的多個金屬網格線及設置于各別的紅外光感測器的多個光接收表面上的多個金屬光柵。嵌入光柵形成于各別的紅外光感測器的光接收表面中并與各別的金屬光柵對準且位于各別的金屬光柵之下。紅外光感測器的每一者的金屬光柵及對準的嵌入光柵形成表面電漿極化子結構,表面電漿極化子結構用以與在設計基準紅外波長下的光耦合,以在各別的紅外光感測器的光接收表面處形成表面電漿極化子。
2、根據一些實施方式,一種制造近紅外光感測器裝置的方法包括以下步驟。提供用以偵測至少在設計基準紅外波長下的紅外光的近紅外光感測器。在近紅外光感測器的光接收表面中形成嵌入光柵。在嵌入光柵上形成金屬光柵。嵌入光柵與金屬光柵的組合形成表面電漿極化子結構,表面電漿極化子結構用以與在設計基準紅外波長下的光耦合,以在近紅外光感測器的光接收表面處形成表面電漿極化子。
3、根據一些實施方式,一種近紅外光感測器裝置包括近紅外光感測器及表面電漿極化子結構。近紅外光感測器用以偵測至少在設計基準紅外波長下的紅外光。表面電漿極化子結構至少包括嵌入于近紅外光感測器的光接收表面中的嵌入光柵,表面電漿極化子結構用以與在設計基準紅外波長下的光耦合,以在近紅外光感測器的光接收表面處形成表面電漿極化子。
1.一種光感測器陣列,其特征在于,包含:
2.如權利要求1所述的光感測器陣列,其特征在于,其中所述多個光感測器的該陣列包含形成于一硅基材料上及/或一硅基材料中的一互補金屬氧化物半導體影像感測器。
3.如權利要求2所述的光感測器陣列,其特征在于,其中所述多個嵌入光柵包含嵌入于各別的所述多個紅外光感測器的所述多個光接收表面中的多個嵌入金屬光柵。
4.如權利要求3所述的光感測器陣列,其特征在于,其中各別的所述多個紅外光感測器的每一者的該嵌入金屬光柵為設置于各別的該紅外光感測器的該光接收表面上的該金屬光柵至該各別紅外光感測器的該光接收表面中的一延伸。
5.如權利要求2所述的光感測器陣列,其特征在于,其中所述多個嵌入光柵包含形成于各別的所述多個紅外光感測器的所述多個光接收表面中的多個溝槽,其中所述多個溝槽至少部分地填充有空氣。
6.如權利要求5所述的光感測器陣列,其特征在于,其中所述多個溝槽加襯有至少一個介電層。
7.如權利要求1所述的光感測器陣列,其特征在于,其中所述多個光感測器的該陣列進一步包含用以偵測紅光的多個紅光感測器、用以偵測藍光的多個藍光感測器及用以偵測綠光的多個綠光感測器,且其中該光感測器陣列進一步包含:
8.一種制造近紅外光感測器裝置的方法,其特征在于,包含:
9.一種近紅外光感測器裝置,其特征在于,包含:
10.如權利要求9所述的近紅外光感測器裝置,其特征在于,其中該嵌入光柵包含形成于該近紅外光感測器的該光接收表面中且至少部分地填充有空氣的多個溝槽。