改善PERC高效電池EL良率的工藝的制作方法

本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池片制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種改善perc(鈍化發(fā)射極背面接觸太陽(yáng)能電池)高效電池el良率的工藝。

背景技術(shù)：

目前常規(guī)退火是高溫去水汽，增加氧化鋁的致密性，在實(shí)際的生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)，爐管工藝次數(shù)達(dá)到一定量時(shí)，制程電池片el測(cè)試檢測(cè)出硅片的表面有黑點(diǎn)存在，voc偏低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是：為了解決現(xiàn)有技術(shù)爐管工藝次數(shù)達(dá)到一定量時(shí)，硅片退火去水汽時(shí)，所制程的電池片el測(cè)試時(shí)，存在硅片表面有黑點(diǎn)存在且voc偏低的問(wèn)題，現(xiàn)提供一種改善perc(鈍化發(fā)射極背面接觸太陽(yáng)能電池)高效電池el良率的工藝。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種改善perc(鈍化發(fā)射極背面接觸太陽(yáng)能電池)高效電池el良率的工藝，該工藝包括以下步驟：

a、將爐管內(nèi)的溫度提升至800±200℃，然后向爐管內(nèi)通入5000±1000sccm氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，去除爐管內(nèi)雜質(zhì)物；

b、接著向爐管內(nèi)通入5000±1000sccm氧氣，將步驟a中不能去除的雜質(zhì)進(jìn)行氧化反應(yīng)；

c、將爐管內(nèi)的溫度降至500±200℃，將里面的雜質(zhì)凝固，變成粉塵，通入氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，將雜質(zhì)氧化反應(yīng)后的生成物吹除；

d、最后將硅片送入爐管內(nèi)進(jìn)行退火處理。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的改善perc高效電池el良率的工藝將沉淀在爐管里的雜質(zhì)通過(guò)提升溫度，通入氮?dú)夂脱鯕?，將雜質(zhì)氧化反應(yīng)并吹除后，再進(jìn)行退火處理，voc和效率有所提升，el無(wú)異常，

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是對(duì)比例1中常規(guī)高溫去水汽制成電池片后的el示意圖；

圖2是實(shí)施例1中高溫去水汽后制成電池片后的el示意圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成，方向和參照(例如，上、下、左、右、等等)可以?xún)H用于幫助對(duì)附圖中的特征的描述。因此，并非在限制性意義上采用以下具體實(shí)施方式，并且僅僅由所附權(quán)利要求及其等同形式來(lái)限定所請(qǐng)求保護(hù)的主題的范圍。

實(shí)施例1

一種改善perc高效電池el良率的工藝，該工藝包括以下步驟：

a、將爐管內(nèi)的溫度提升至800±200℃，然后向爐管內(nèi)通入5000±1000sccm氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，去除爐管內(nèi)雜質(zhì)物；

b、接著向爐管內(nèi)通入5000±1000sccm氧氣，將步驟a中不能去除的雜質(zhì)進(jìn)行氧化反應(yīng)；

c、將爐管內(nèi)的溫度降至500±200℃，將里面的雜質(zhì)凝固，變成粉塵，通入氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，將雜質(zhì)氧化反應(yīng)后的生成物吹除；

d、最后將硅片送入爐管內(nèi)進(jìn)行退火處理，硅片送入爐管內(nèi)保持恒定溫度，通過(guò)高溫去除水汽，增加硅片表面氧化鋁的致密性。

對(duì)比例1

常規(guī)技術(shù)只采用實(shí)施例1中的步驟d。

用上述實(shí)施例1中的工藝和對(duì)比例1中的工藝分別制備2000片硅片，性能對(duì)比如下表1：

表1：

表1中：以對(duì)比例1中各項(xiàng)參數(shù)的正常數(shù)值為基準(zhǔn)點(diǎn)，高于對(duì)比例1中各項(xiàng)參數(shù)的正常數(shù)值為正值，低于對(duì)比例1中各項(xiàng)參數(shù)的正常數(shù)值為負(fù)值；

結(jié)合表1，實(shí)施例1中的改善perc高效電池el良率的工藝相比于對(duì)比例1中的常規(guī)退火工藝制備的電池片，voc和效率有所提升，對(duì)比圖1和圖2，el無(wú)異常。

上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書(shū)上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池片制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種改善PERC高效電池EL良率的工藝，該工藝包括以下步驟：a、將爐管內(nèi)的溫度提升至800±200℃，然后向爐管內(nèi)通入5000±1000sccm氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，去除爐管內(nèi)雜質(zhì)物；b、接著向爐管內(nèi)通入5000±1000sccm氧氣，將步驟a中不能去除的雜質(zhì)進(jìn)行氧化反應(yīng)；c、將爐管內(nèi)的溫度降至500±200℃，通入氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，將雜質(zhì)氧化反應(yīng)后的生成物吹除；d、最后將硅片送入爐管內(nèi)進(jìn)行退火處理，本發(fā)明的改善PERC高效電池EL良率的工藝將沉淀在爐管里的雜質(zhì)通過(guò)提升溫度，通入氮?dú)夂脱鯕猓瑢㈦s質(zhì)氧化反應(yīng)并吹除后，再進(jìn)行退火處理，Voc和效率有所提升，EL無(wú)異常。

技術(shù)研發(fā)人員：高翔;孫鐵囤;姚偉忠
受保護(hù)的技術(shù)使用者：常州億晶光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.20
技術(shù)公布日：2017.11.07