一種柔性基板處理裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種柔性基板處理裝置，通過微調主動輥輪的實時轉速以使其線速度保持恒定，從而保證柔性基板在處理液中的處理時間一致，簡化了設備結構，降低了成本。本實用新型提供的柔性基板處理裝置，包括：處理槽，用于盛放處理液；定位輥輪，位于所述處理液液面的下方；主動輥輪和從動輥輪，位于所述處理液液面的上方；還包括：檢測單元，用于采集所述主動輥輪的轉動周期；計算單元，用于獲取主動輥輪的轉動周期，計算并輸出滿足所需線速度時，需要的主動輥輪的角速度數值；以及微調單元，用于獲取并將主動輥輪的角速度調整至所述計算單元計算的角速度數值。
【專利說明】
一種柔性基板處理裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及半導體制造技術領域，具體涉及一種卷對卷處理裝置。
【背景技術】
[0002]由于柔性基板具有可卷曲的特點，所以可利用卷對卷裝置對柔性基板進行卷繞轉動處理，實現低成本、高效率的生產。但是在現有的卷對卷工藝中，由于卷繞柔性基板的輥輪是勻速旋轉的，那么隨著柔性基板卷繞層數的不斷變化，柔性基板的移動線速度也在不停變化，從而使得柔性基板在處理液中的浸泡時間隨著輥輪半徑的變化而變化，導致柔性基板上的器件尺寸不均勻，影響柔性顯示產品的品質。
[0003]為解決上述技術問題，業內主要提供以下兩種技術方案:一種是通過排液和補液的方式來調整處理液的液面高度，以實現柔性基板在處理液中浸泡時間恒定的效果；另一種是根據基板實時線速度的變化量來調整定位輥輪在處理液中的位置，以使柔性基板在處理液中的時間保持恒定。
[0004]但是上述技術方案都需要在原有設備的基礎上另外再加硬件裝置(如移動排液組件或者位移調整裝置)，來調整處理液的液位或是定位輥輪的位置，使得設備結構更加復雜，也相應地增加了成本。
【實用新型內容】
[0005]有鑒于此，本實用新型實施例提供了一種柔性基板處理裝置，通過微調主動輥輪的實時轉速以使其線速度保持恒定，從而保證柔性基板在處理液中的處理時間一致，簡化了設備結構，降低了成本。
[0006]本實用新型一實施例提供的一種柔性基板處理裝置，包括:處理槽，用于盛放處理液;定位輥輪，位于所述處理液液面的下方;主動輥輪和從動輥輪，位于所述處理液液面的上方;還包括:檢測單元，用于采集所述主動輥輪的轉動周期;計算單元，用于獲取主動輥輪的轉動周期，計算并輸出滿足所需線速度時，需要的主動輥輪的角速度數值；以及微調單元，用于獲取并將主動輥輪的角速度調整至所述計算單元計算的角速度數值；
[0007]其中，所述檢測單元為計數器，用于記錄主動輥輪的旋轉圈數，并將所述主動輥輪的旋轉圈數反饋給所述計算單元；
[0008]其中，所述檢測單元為傳感器，其中，待處理的柔性基板上設置有標記；
[0009]其中，所述標記為等距離間隔設置的圖案；
[0010]其中，所述傳感器為數字傳感器，用于監測并記錄卷繞在主動輥輪的連續柔性基板上所經過的標記數目，并將所述標記數目反饋給所述計算單元；
[0011]其中，所述傳感器為電荷耦合器件傳感器，用于記錄相鄰兩個標記通過所述主動棍輪時所經歷的時間間隔，并將記錄結果反饋給所述計算單元；
[0012]其中，相鄰兩個標記間的距離為所述柔性基板沿移動方向的長度；
[0013]其中，所述計算單元為計算機或者服務器；
[0014]其中，所述處理液為刻蝕液、清洗液或者剝離液中的一種。
[0015]本實用新型實施例提供的柔性基板處理裝置，通過檢測單元和計算單元檢測計算出當柔性基板移動速度保持恒定時，主動輥輪需要的角速度，然后通過微調單元對主動輥輪的轉速進行微調，即可保證柔性基板在處理液中的浸泡時間保持恒定，不需要額外的硬件裝置即可實現柔性基板上器件尺寸的均勻性，保證了柔性顯示產品品質的同時，簡化了設備結構，降低了成本。
【附圖說明】
[0016]圖1所示為本實用新型一實施例提供的一種柔性基板處理裝置的結構示意圖。
[0017]圖2所示為本實用新型另一實施例提供的一種柔性基板處理裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0019]如圖1?2所示，本實用新型提供的柔性基板處理裝置，包括:用于盛放處理液11的處理槽12，位于處理液11液面下方的定位輥輪15，位于處理液11液面上方的主動輥輪13和從動輥輪14，還包括檢測單元17，用于采集主動輥輪13的轉動周期，計算單元，用于獲取主動輥輪13的轉動周期，計算并輸出滿足所需線速度時，需要的主動輥輪13的角速度數值，以及主動輥輪13，用于獲取計算單元計算的角速度數值，并將主動輥輪13的角速度調整至該數值。在本實用新型一實施例中，該計算單元為計算機或者服務器。
[0020]其中，圖1所示為本實用新型一實施例提供的柔性基板處理裝置的結構示意圖。在本實施例中，檢測單元17為計數器，該計數器與主動輥輪13連接，用來記錄主動輥輪13的旋轉圈數m并將數值m反饋給計算單元，其初始值為零，主動輥輪13每旋轉一周，計數器記錄的旋轉圈數111就加一。根據公式￥ = '/￥打='/￥*(1'()+1]1#1())(其中，ro為主動棍輪13的自有半徑，ho為單層柔性基板18的厚度)可知，主動輥輪13的線速度V是其旋轉圈數m和角速度w的函數，旋轉圈數m通過計數器已檢測出，要想獲得所需的線速度V，計算單元利用上述公式計算出相應的w然后發送給微調單元，微調單元即可對主動輥輪13的角速度進行調整，使其為W。
[0021]圖2所示為本實用新型另一實施例提供的柔性基板處理裝置的結構示意圖。在本實用新型一實施例中，檢測單元17為傳感器，具體為數字傳感器，靠近主動輥輪13設置，其中，待處理的柔性基板18上設置有標記19，該標記19為等距離間隔設置的圖案，其圖案可以設置在基板的邊緣，也可以設置在其他位置，其間隔距離可以根據柔性基板18沿移動方向的長度1的倍數來設置，比如在本實施例中，選擇1的1/2倍作為兩個標記19的間隔距離，當然，也可以選擇其他倍數，本實用新型對此不作具體限定。數字傳感器用于監測并記錄卷繞在主動輥輪13的連續柔性基板18上所經過的標記19數目，并將該數目反饋給計算單元，數字傳感器是通過檢測周期對標記19進行計數的，進而獲取主動輥輪13的半徑/直徑變化量，具體過程為，數字傳感器實時監測主動輥輪13上連續轉動的柔性基板18，每當監測到一個標記19，就累計數值加一，再將累計的數值η反饋給計算單元。根據設定的相鄰兩個標記19間的距離與1的關系，即可推斷出主動輥輪13上通過的柔性基板18的層數kn，其中，k為間隔距離與1的比值。例如，在本實施例中，由于選擇1的1/2倍作為兩個標記19的間隔距離，那么每經過兩個標記19才可判斷為經過一層柔性基板18，則k = l/2，再根據如下公式:1ο*h0*kn = 3i(r2-r()2)(其中，ho為單層柔性基板18的厚度，r為kn層柔性基板18卷繞后主動輥輪13的半徑，Π)為主動輥輪13的自有半徑)，計算單元即可計算出kn層柔性基板18卷繞后主動棍輪13的半徑r，進而根據v=w*r計算出滿足所需的線速度V時，需要的w數值并將計算結果輸出給微調單元，微調單元根據獲取的w數值即可實現對主動輥輪13角速度的微調。
[0022]在本實用新型另一實施例中，檢測單元17為電荷耦合器件傳感器，基板18的邊緣間隔設置固定間距為1的標記19，相鄰兩個標記19構成的直線與柔性基板18的移動方向平行，電荷耦合器件傳感器靠近主動輥輪13設置，用于記錄相鄰兩個標記19通過主動輥輪13時所經歷的時間間隔，并將記錄結果反饋給計算單元，電荷耦合器件傳感器是通過檢測標記19帶來的電荷周期變化進行累計獲取半徑/直徑變化的，具體過程為，每通過一個標記19，便通過電荷變化量記錄下與上一個標記19通過時所經歷的時間間隔并反饋給計算單元，然后將時間清零，重新開始計時并監測記錄下一個標記19通過時的時間間隔，計算單元通過電荷耦合器件傳感器反饋的柔性基板18上相鄰兩個標記19的時間，便可計算出每層柔性基板18的移動線速度，再根據以下兩個公式:vn=wn*rn，vn’ =wn’*rn+i(其中，vn為第η個柔性基板18的實時線速度，wn為第η個柔性基板18通過時主動輥輪13的實時角速度，rn為第η個柔性基板18通過時主動輥輪13的半徑，νη’為第η+1層柔性基板18需要達到的移動速度，因需要保持柔性基板18的移動速度恒定，SPvn’應為初始線速度vo，Wn’為滿足線速度^’時主動輥輪13所需的角速度，即第η+1層柔性基板18需要調整到的角速度，可近似相等)，即可計算出第Π+1層柔性基板18滿足線速度Vn’(VO)時所需要的角速度Wn’ ,Wn' =Vn'*wn/Vn，Vn’已知，vn通過1以及電荷耦合器件傳感器檢測的時間數據已計算出，wn即為上次調整過的K’，通過迭代算法即可計算出所需的wn’并輸出給微調單元，微調單元根據獲取的數值即可對主動輥輪13的角速度進行微調。
[0023]本實用新型實施例提供的柔性基板處理裝置，通過檢測單元和計算單元檢測計算出當柔性基板移動速度保持恒定時，主動輥輪需要的角速度，然后通過微調單元對主動輥輪的轉速進行微調，即可保證柔性基板在處理液中的浸泡時間保持恒定，不需要額外的硬件裝置即可實現柔性基板上器件尺寸的均勻性，保證了柔性顯示產品品質的同時，簡化了設備結構，降低了成本。
[0024]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種柔性基板處理裝置，包括: 處理槽，用于盛放處理液； 定位輥輪，位于所述處理液液面的下方； 主動輥輪和從動輥輪，位于所述處理液液面的上方;其特征在于，還包括: 檢測單元，用于采集所述主動輥輪的轉動周期； 計算單元，用于獲取主動輥輪的轉動周期，計算并輸出滿足所需線速度時，需要的主動輥輪的角速度數值;以及 微調單元，用于獲取并將主動輥輪的角速度調整至所述計算單元計算的角速度數值。2.根據權利要求1所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述檢測單元為計數器，用于記錄主動輥輪的旋轉圈數，并將所述主動輥輪的旋轉圈數反饋給所述計算單元。3.根據權利要求1所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述檢測單元為傳感器，其中，待處理的柔性基板上設置有標記。4.根據權利要求3所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述標記為等距離間隔設置的圖案。5.根據權利要求3所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述傳感器為數字傳感器，用于監測并記錄卷繞在主動輥輪的連續柔性基板上所經過的標記數目，并將所述標記數目反饋給所述計算單元。6.根據權利要求3所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述傳感器為電荷耦合器件傳感器，用于記錄相鄰兩個標記通過所述主動輥輪時所經歷的時間間隔，并將記錄結果反饋給所述計算單元。7.根據權利要求6所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，相鄰兩個標記間的距離為所述柔性基板沿移動方向的長度。8.根據權利要求1至7任一所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述計算單元為計算機或者服務器。9.根據權利要求1至7任一所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述處理液為刻蝕液、清洗液或者剝離液中的一種。
【文檔編號】H01L21/67GK205692808SQ201620669112
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年6月29日 公開號201620669112.0, CN 201620669112, CN 205692808 U, CN 205692808U, CN-U-205692808, CN201620669112, CN201620669112.0, CN205692808 U, CN205692808U
【發明人】周俊, 朱剛
【申請人】昆山國顯光電有限公司