一種芯片專用清洗治具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種芯片專用清洗治具。治具包括底板和側板，所述側板包括平行的第一側板和第二側板、與第一側板垂直的第三側板和第四側板，其特征在于，所述底板上設置有多個橫板和多個豎板，所述橫板與第一側板平行，所述豎板與第三側板平行，所述橫板的兩側均連接有多個與橫板垂直的限位板，第一側板和第二側板朝里的一側也連接有與第一側板垂直的限位板。本實用新型的治具對芯片清洗的效果好且損傷小，一次可清洗多個芯片，限位板對芯片起限位作用，在清洗時，芯片不會隨著清洗液流動而與治具側板或者芯片互相之間發生摩擦，減少對芯片的損害，限位板之間的間隔可以充分讓清洗液接觸芯片。
【專利說明】一種芯片專用清洗治具
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種清洗裝置，尤其涉及一種芯片專用清洗治具。
【背景技術】
[0002]芯片清洗是每一個芯片制備過程中必不可少的過程，其目的在于使芯片表面的污染物盡可能地降低，使得元件獲得良好而穩定的特性，以及使制程具有良好的再現性。
[0003]申請號為201310311113.9的《一種LED芯片清洗提籃》公開了一種LED芯片清洗提籃。清洗提籃包括:抓取板、調整板、調整螺釘、前后板、固定板，前后板與兩個固定板組成提籃主體，前后板與固定底部設有調整板，調整板一端通過圓軸固定在前后板上，另一端通過調整螺釘連接在固定板上，調整板角度通過調整螺釘，其傾斜角度可在0° -6°之間任意調節；前后板上端設有抓取板，用于抓取提籃。該提籃清洗效果好，但容易對芯片表面造成磨損。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在于克服現有技術的不足，而提供一種芯片專用清洗治具。
[0005]本實用新型是通過以下技術方案來完成的:
[0006]一種芯片專用清洗治具，包括底板和側板，所述側板包括平行的第一側板和第二側板、與第一側板垂直的第三側板和第四側板，所述底板上設置有多個橫板和多個豎板，所述橫板與第一側板平行，所述豎板與第三側板平行，所述橫板的兩側均連接有多個與橫板垂直的限位板，第一側板和第二側板朝里的一側也連接有與第一側板垂直的限位板。
[0007]所述的一種芯片專用清洗治具，所述底板有多個，互相平行設置，所述第三側板和第四側板上開有多個相對的凹槽，可同時放置多個底板。
[0008]所述的一種芯片專用清洗治具，所述限位板的上端為斜面。
[0009]所述的一種芯片專用清洗治具，所述一個橫板上的多個限位板之間的間隔相等。
[0010]所述的一種芯片專用清洗治具，所述不同橫板上的限位板的長度相等。
[0011]所述的一種芯片專用清洗治具，所述豎板上開有網格狀通孔。
[0012]本實用新型所達到的有益效果:本實用新型的治具對芯片清洗的效果好且損傷小，一次可清洗多個芯片，限位板對芯片起限位作用，在清洗時，芯片不會隨著清洗液流動而與治具側板或者芯片互相之間發生摩擦，減少對芯片的損害，限位板之間的間隔可以充分讓清洗液接觸芯片。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的俯視圖。
[0014]圖2為圖1的AA向剖視圖。
[0015]圖中:1、底板,21、第一側板，22、第二側板，23、第三側版，24、第四側板，3、橫板，4、豎板，5、限位板，6、網格狀通孔。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖對本實用新型作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0017]如圖所示，本實用新型的一種芯片專用清洗治具，包括底板1和側板，所述側板包括平行的第一側板21和第二側板22、與第一側板21垂直的第三側板23和第四側板24，所述底板1上設置有多個橫板3和多個豎板4，所述橫板3與第一側板21平行，所述豎板4與第三側板23平行，所述橫板3的兩側均連接有多個與橫板2垂直的限位板5，第一側板21和第二側板22朝里的一側也連接有與第一側板21垂直的限位板5。所述限位板5的上端為斜面。所述一個橫板3上的多個限位板5之間的間隔相等。所述不同橫板3上的限位板5的長度相等。所述豎板4上開有網格狀通孔6。
[0018]限位板5上端為斜面方便取放芯片；豎版4上的網格狀通孔6，可以充分讓清洗液進入治具，多個限位板5之間的間隔相等，限位板5的長度相等，方便制作。
[0019]圖1和2所示的為只有一層底板的治具的示意圖，但是底板1可以有多個，多個底板互相平行設置，在第三側板23和第四側板24上開有多個相對的凹槽(未示出)，則可同時放置多個底板1。底板1為多個即可增加一次清洗芯片的量，由于底板1可放置在第三側板23和第四側板24上開有多個相對的凹槽(未示出)上，則根據清洗的數量選擇底板1的多少；
[0020]本實用新型的治具在使用時，將芯片置于橫板3上的限位板5之間，限位板對芯片起一個限位作用，即可將治具置于超聲波清洗機中進行清洗。
[0021]以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變形，這些改進和變形也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種芯片專用清洗治具，包括底板和側板，所述側板包括平行的第一側板和第二側板、與第一側板垂直的第三側板和第四側板，其特征在于，所述底板上設置有多個橫板和多個豎板，所述橫板與第一側板平行，所述豎板與第三側板平行，所述橫板的兩側均連接有多個與橫板垂直的限位板，第一側板和第二側板朝里的一側也連接有與第一側板垂直的限位板。
2.根據權利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述底板有多個，互相平行設置，所述第三側板和第四側板上開有多個相對的凹槽，可同時放置多個底板。
3.根據權利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述限位板的上端為斜面。
4.根據權利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述一個橫板上的多個限位板之間的間隔相等。
5.根據權利要求1或4所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述不同橫板上的限位板的長度相等。
6.根據權利要求1所述的一種芯片專用清洗治具，其特征在于，所述豎板上開有網格狀通孔。
【文檔編號】H01L21/68GK204220588SQ201420570477
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年9月30日 優先權日:2014年9月30日
【發明者】周天毫 申請人:蘇州速騰電子科技有限公司