一種硅片清洗廢水回收再利用系統的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片清洗廢水回收再利用系統，包括回收裝置、預清洗機、化膠槽、超聲波水槽和過濾網，所述回收裝置通過管道分別與預清洗機、化膠槽、超聲波水槽和過濾網連接；所述回收裝置包括用于向儲水罐抽送硅片清洗后廢水的抽水泵、儲水罐和分配水泵，所述抽水泵、儲水罐和分配水泵通過管道依次連接。本實用新型將清洗硅片后的廢水重新收集后用于其他清洗環節，節約了用水的同時，也減少了其他清洗環節前水加溫的成本，不僅提高了設備工作效率，也降低了電能的消耗，為車間降低了生產成本。
【專利說明】 一種硅片清洗廢水回收再利用系統
【技術領域】
[0001]本實用涉及一種廢水回收再利用系統，特別是，涉及一種硅片清洗廢水回收再利用系統。
【背景技術】
[0002]硅片清洗機水浪費是很嚴重的，每臺清洗機單耗水量為3m3/h，每臺清洗機每天排放的廢水約為72噸。硅片車間需要用水較多的項目大致分為三類:清洗硅片、清洗硅塊、清洗設備及工裝。其中清洗硅片為最后一道工序，需要的水潔凈度較高，清洗硅塊要求使用水的潔凈度較低，清洗設備及工裝主要包括過濾網的沖洗、超聲波水槽、化膠槽以及預清洗設備，對水質要求不高。而且，清洗硅片后廢水溫度在30°C左右，正符合生產中其他清洗環節對水溫的要求，直接排放造成水資源的浪費。
實用新型內容
[0003]為了克服現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種硅片清洗廢水回收再利用系統，將清洗硅片后的廢水重新收集后用于其他清洗環節，節約了用水的同時，也減少了其他清洗環節前水加溫的成本，不僅提高了設備工作效率，也降低了電能的消耗，為車間降低了生產成本。
[0004]為解決上述問題，本實用新型所采用的技術方案如下:
[0005]一種硅片清洗廢水回收再利用系統，包括回收裝置、預清洗機、化膠槽、超聲波水槽和過濾網，所述回收裝置通過管道分別與預清洗機、化膠槽、超聲波水槽和過濾網連接；所述回收裝置包括用于向儲水罐抽送硅片清洗后廢水的抽水泵、儲水罐和分配水泵，所述抽水泵、儲水罐和分配水泵通過管道依次連接。
[0006]優選的，所述回收裝置還包括過濾器，所述過濾器設置在抽水泵前端的管道上。
[0007]優選的，所述回收裝置還包括液位傳感器，所述液位傳感器設置在儲水罐上部。
[0008]優選的，所述回收裝置還包括時間繼電器，所述時間繼電器與液位傳感器串聯。
[0009]優選的，所述預清洗機、化膠槽、超聲波水槽和過濾網上分別設置有控制分配水泵開閉的傳感器。
[0010]相比現有技術，本實用新型的有益效果在于:
[0011]1、本實用新型將清洗硅片后的廢水重新收集后用于其他清洗環節，節約了用水的同時，也減少了其他清洗環節前水加溫的成本，不僅提高了設備工作效率，也降低了電能的消耗，為車間降低了生產成本；
[0012]2、本實用新型回收廢水的同時對廢水進行過濾,減少了廢水中雜質對后續工序的影響，保證了后續工序的正常進行；
[0013]3、本實用新型將液位傳感器和時間繼電器串聯，有效保證儲水罐內水位的同時，減少了注水時水位波動對液位傳感器的影響，使得廢水回收裝置更穩定；
[0014]4、本實用新型通過傳感器控制分配水泵的開閉，實現了廢水利用的自動化，大大提高了工作效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型中硅片清洗廢水回收再利用系統結構示意圖；
[0016]其中，I為回收裝置，101為抽水泵，102為儲水罐，103為分配水泵，104為過濾器，105為液位傳感器，106為時間繼電器，2為預清洗機，3為化膠槽，4為超聲波水槽，5為過濾網。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明。
[0018]如圖1所示，為硅片清洗廢水回收再利用系統，包括回收裝置1、預清洗機2、化膠槽3、超聲波水槽4和過濾網5，回收裝置I通過管道分別與預清洗機2、化膠槽3、超聲波水槽4和過濾網5連接；回收裝置I包括用于向儲水罐102抽送硅片清洗后廢水的抽水泵101、儲水罐102和分配水泵103，抽水泵101、儲水罐102和分配水泵103通過管道依次連接。回收裝置還包括過濾器104，過濾器104設置在抽水泵101前端的管道上。回收裝置I還包括液位傳感器105，液位傳感器105設置在儲水罐102上部。所述回收裝置I還包括時間繼電器106，時間繼電器106通過電路與液位傳感器105串聯，通過時間繼電器的緩沖，實現了儲水罐進水的連續性，避免水波對液位傳感器的影響。
[0019]在一個具體實施例中，硅片清洗廢水回收再利用系統的預清洗機2、化膠槽2、超聲波水槽4和過濾網5上分別設置有傳感器，通過傳感器感應控制分配水泵的開閉，從而實現各工序的自動化控制。
[0020]使用時，抽水泵101從硅片清洗后排水的廢水溝中抽取經過過濾器104過濾的廢水至儲水罐102，然后根據人為觀察或者傳感器信號，將廢水經過分配水泵103分配到預清洗機2、化膠槽3、超聲波水槽4和過濾網5。系統運作過程中，液位傳感器105和時間繼電器106相互配合，保證儲水罐102內水位，達到一定高度時抽水泵101停止運行。
[0021]對本領域的技術人員來說，可根據以上描述的技術方案以及構思，做出其它各種相應的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應該屬于本實用新型權利要求的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種硅片清洗廢水回收再利用系統，其特征在于，包括回收裝置(I)、預清洗機(2)、化膠槽(3)、超聲波水槽(4)和過濾網(5)，所述回收裝置(I)通過管道分別與預清洗機(2)、化膠槽(3)、超聲波水槽(4)和過濾網連接(5);所述回收裝置(I)包括用于向儲水罐(102)抽送硅片清洗后廢水的抽水泵(101)、儲水罐(102)和分配水泵(103)，所述抽水泵(101)、儲水罐(102)和分配水泵(103)通過管道依次連接。
2.如權利要求1所述的硅片清洗廢水回收再利用系統，其特征在于，所述回收裝置(I)還包括過濾器(104)，所述過濾器(104)設置在抽水泵(101)前端的管道上。
3.如權利要求1所述的硅片清洗廢水回收再利用系統，其特征在于，所述回收裝置(I)還包括液位傳感器(105)，所述液位傳感器(105)設置在儲水罐(102)上部。
4.如權利要求3所述的硅片清洗廢水回收再利用系統，其特征在于，所述回收裝置(I)還包括時間繼電器(106)，所述時間繼電器(106)與液位傳感器(105)串聯。
5.如權利要求1-4任一項所述的硅片清洗廢水回收再利用系統，其特征在于，所述預清洗機(2)、化膠槽(3)、超聲波水槽(4)和過濾網(5)上分別設置有控制分配水泵(103)開閉的傳感器。
【文檔編號】H01L21/67GK204074597SQ201420509640
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年9月5日 優先權日:2014年9月5日
【發明者】張建, 狄紅祥, 靳達興 申請人:中衛市銀陽新能源有限公司