一種peek晶片夾的制作方法
【專利摘要】本實用新型屬于電子半導體產業領域,具體涉及一種用于電子半導體產業領域的PEEK晶片夾。該晶片夾為PEEK材料,由上夾塊和下夾塊組成,所述下夾塊的長度大于上夾塊的長度,所述上夾塊前端和下夾塊前端構成夾持部,所述上夾塊后端和下夾塊后端構成手持部,且所述上夾塊后端和下夾塊后端固定連接,所述下夾塊前端的左右兩邊還設置有放置晶片中心區域的限位柱。該晶片夾結構簡單,容易操作,而且能夠避開晶片中心區域,適用雙面勻膠顯影工藝;采用PEEK材料制成,能夠使晶片保持純度,且無雜質析出,無污染,耐高溫。
【專利說明】—種PEEK晶片夾
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于電子半導體產業領域,具體涉及一種用于電子半導體產業領域的PEEK晶片夾。
【背景技術】
[0002]聚醚醚酮(PEEK)樹脂是一種性能優異的特種工程塑料,與其他特種工程塑料相比具有更多顯著優勢,具有耐高溫,機械性能優異等優點。PEEK樹脂是理想的電絕緣體,在高溫、高壓和高濕度等惡劣的工作條件下,仍能保持良好的電絕緣性能,因此電子信息領域逐漸成為PEEK樹脂第二大應用領域,在半導體工業中,常用來制造晶圓承載器、電子絕緣膜片以及各種連接器件。
[0003]集成電路制造技術的飛速發展,對各半導體工藝設備提出了更高的要求。對晶片旋轉加工的時候一般需要承片臺,當工藝要求晶片表面不能直接和承片臺接觸時,一般采用真空吸附。現在的許多工藝要求雙面勻膠顯影,這就要求加工時對晶片的工藝區不能接觸,傳統的真空吸附方式會直接接觸晶片的中心區域,因此在雙面勻膠顯影工藝中就變得不適用了,因此就需要一種非真空吸附且能夠避開晶片中心區域的晶片夾持機構。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在于:克服現有技術存在的缺陷,提出一種PEEK晶片夾,該晶片夾結構簡單,而且能夠避開晶片中心區域。
[0005]本實用新型的目的通過下述技術方案來實現:
[0006]一種PEEK晶片夾,所述晶片夾為PEEK材料,由上夾塊和下夾塊組成,所述下夾塊的長度大于上夾塊的長度,所述上夾塊前端和下夾塊前端構成夾持部,所述上夾塊后端和下夾塊后端構成手持部,且所述上夾塊后端和下夾塊后端固定連接,所述下夾塊如端的左右兩邊還設置有放置晶片中心區域的限位柱。
[0007]作為優選,所述上夾塊前端和下夾塊前端均為圓弧刃形,所述上夾塊前端和下夾塊前端的弧度為η/Γπ/3,可以防止在加緊過程中因接觸面積小而夾裂晶片。
[0008]進一步優選的,所述限位柱為圓柱形。
[0009]進一步優選的,所述上夾塊和下夾塊的中段均設置有凹槽,主要是為了減薄、方便用力加緊晶片。
[0010]進一步優選的,所述上夾塊后端和下夾塊后端采用螺栓固定連接,方便拆裝。
[0011]本實用新型的有益效果:本實用新型一種PEEK晶片夾,該晶片夾結構簡單,容易操作,而且能夠避開晶片中心區域,適用雙面勻膠顯影工藝;采用PEEK材料制成,能夠使晶片保持純度,且無雜質析出,無污染,耐高溫。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解,本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型,并不構成對本實用新型的不當限定。
[0013]圖1為本實用新型的結構示意圖,
[0014]圖2為圖1的側視圖,
[0015]圖中標記:1-上夾塊,2-下夾塊,3-下夾塊前端,4-上夾塊前端,5-限位柱,6-凹槽,7-螺栓,8-上夾塊后端,9-下夾塊后端。
【具體實施方式】
[0016]需要說明的是,在不沖突的情況下,本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。
[0017]如圖1和圖2所示,一種PEEK晶片夾,晶片夾為PEEK材料,由上夾塊1和下夾塊2組成,下夾塊2的長度大于上夾塊1的長度,可以起到定位作用,防止使用過程中碰掉晶片;上夾塊如端4和下夾塊如端3構成夾持部,用來夾持晶片,上夾塊后端8和下夾塊后端9構成手持部,且上夾塊后端8和下夾塊后端9采用螺栓7固定連接,下夾塊前端3的左右兩邊還設置有放置晶片中心區域的限位柱5,限位柱5為圓柱形。上夾塊前端4和下夾塊前端3均為圓弧刃形,上夾塊前端4和下夾塊前端3的弧度為π /Γπ /3,這樣設計可以防止在加緊過程中因接觸面積小而夾裂晶片。上夾塊1和下夾塊2中段均設置有凹槽6,主要是為了減薄、方便用力加緊晶片。
[0018]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種PEEK晶片夾,其特征在于:所述晶片夾為PEEK材料,由上夾塊(I)和下夾塊(2)組成,所述下夾塊(2 )的長度大于上夾塊(I)的長度,所述上夾塊前端(4 )和下夾塊前端(3 )構成夾持部,所述上夾塊后端(8)和下夾塊后端(9)構成手持部,且所述上夾塊后端(8)和下夾塊后端(9)固定連接,所述下夾塊前端(3)的左右兩邊還設置有放置晶片中心區域的限位柱(5)。
2.根據權利要求1所述的PEEK晶片夾,其特征在于:所述上夾塊前端(4)和下夾塊前端(3)均為圓弧刃形,所述上夾塊前端(4)和下夾塊前端(3)的弧度為/4?/3。
3.根據權利要求1所述的PEEK晶片夾,其特征在于:所述限位柱(5)為圓柱形。
4.根據權利要求1所述的PEEK晶片夾,其特征在于:所述上夾塊(I)和下夾塊(2)的中段均設置有凹槽(6)。
5.根據權利要求1至4任一項所述的PEEK晶片夾,其特征在于:所述上夾塊后端(8)和下夾塊后端(9)采用螺栓(7)固定連接。
【文檔編號】H01L21/683GK204067326SQ201420455279
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2014年8月13日 優先權日:2014年8月13日
【發明者】譚宗尚, 李軍, 陳威 申請人:常州君華特種工程塑料制品有限公司