一種等離子體刻蝕硅片夾具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種等離子體刻蝕硅片夾具，包括上夾板、下夾板、螺絲螺桿以及位于上夾板與下夾板之間的墊片，所述上夾板、下夾板上設有與螺絲螺桿相配合的通孔，上夾板、下夾板通過通孔套設在可調節兩塊夾板間距的螺絲螺桿上，螺絲螺桿上端穿過上夾板并向外延伸，延伸部分與上夾板之間設有螺母；下端固定在下夾板的通孔內；在上夾板與下夾板上各設有一組對稱的矩形長條，所述的上夾板上的矩形長條與下夾板上的矩形長條相互對立。本實用新型可以用更小的力使硅片疊加的更緊密減小內部的刻蝕，同時壓片在硅片其他位置不施加力，不會使硅片產生隱裂，既改善了刻蝕效果同時避免了整體壓力過大造成硅片損傷。
【專利說明】一種等離子體刻蝕硅片夾具
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于夾具領域，具體涉及一種等離子體刻蝕硅片夾具。
【背景技術】
[0002]太陽能電池生產中有一道工序叫做等離子體刻蝕工序，該工序的目的是利用等離子體激發四氟化碳和氧氣對硅片四邊進行刻蝕。由于等離子體對硅片的刻蝕沒有選擇性，滲透性強，所以硅片常被放在夾具中，并在表面加一層蓋板施加一定的壓力，防止過刻。目前行業中使用的夾具一般都由兩塊平板和兩側螺桿組成。夾具在硅片上施加的力被分散在整個硅片上，邊緣容易出現夾不緊造成過刻，并且當硅片有切割痕、異物時容易造成硅片隱裂。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的在于克服上述現有技術的不足，提供一種等離子體刻蝕硅片夾具，既能保證刻蝕效果，還可以減少夾具對硅片的損傷。
[0004]本實用新型所述的一種等離子體刻蝕硅片夾具，包括上夾板、下夾板、螺絲螺桿以及位于上夾板與下夾板之間的墊片，所述上夾板、下夾板上設有與螺絲螺桿相配合的通孔，上夾板、下夾板通過通孔套設在可調節兩塊夾板間距的螺絲螺桿上，螺絲螺桿上端穿過上夾板并向外延伸，延伸部分與上夾板之間設有螺母；下端固定在下夾板的通孔內；在上夾板與下夾板上各設有一組對稱的矩形長條，所述的上夾板上的矩形長條與下夾板上的矩形長條相互對立。
[0005]進一步改進，所述的矩形長條離上、下夾板四條邊的距離相等，相對距離為125cm或 156cm。
[0006]進一步改進，所述的墊片位于硅片與矩形長條之間。
[0007]進一步改進，所述的墊片為四氟墊片。
[0008]本實用新型的有益效果在于:
[0009]與現有技術相比，本實用新型所述的夾具，采用矩形長條夾住硅片，壓片的力施加在硅片邊緣，可以用更小的力使硅片疊加的更緊密減小內部的刻蝕，同時壓片在硅片其他位置不施加力，不會使硅片產生隱裂，既改善了刻蝕效果同時避免了整體壓力過大造成硅片損傷。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]如圖1所示，本實用新型所述的一種等離子體刻蝕硅片夾具，包括上夾板1、下夾板2、螺絲螺桿3以及位于上夾板I與下夾板2之間的墊片4，所述上夾板1、下夾板2上設有與螺絲螺桿3相配合的通孔，上夾板1、下夾板2通過通孔套設在可調節兩塊夾板間距的螺絲螺桿3上，螺絲螺桿3上端穿過上夾板I并向外延伸，延伸部分與上夾板I之間設有螺母5 ;下端固定在下夾板2的通孔內；在上夾板I與下夾板2上各設有一組對稱的矩形長條6，所述的上夾板I上的矩形長條6與下夾板2上的矩形長條6相互對立；所述的上夾板I上的矩形長條6與下夾板2上的矩形長條6之間設有硅片7，所述的墊片4位于硅片7與矩形長條6之間。
[0012]所述的矩形長條6離上、下夾板1、2四條邊的距離相等，相對距離為125cm或者156cm0
[0013]所述的墊片4為四氟墊片。
[0014]本實用新型提供了一種等離子體刻蝕硅片夾具，以上所述僅是本實用新型的優選實施方法，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干改進，這些改進也應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種等離子體刻蝕硅片夾具，包括上夾板(I)、下夾板(2)、螺絲螺桿(3)以及位于上夾板(I)與下夾板(2)之間的墊片(4)，所述上夾板(I)、下夾板(2)上設有與螺絲螺桿(3)相配合的通孔，上夾板(I)、下夾板(2)通過通孔套設在可調節兩塊夾板間距的螺絲螺桿(3)上，螺絲螺桿(3)上端穿過上夾板(I)并向外延伸，延伸部分與上夾板(I)之間設有螺母(5);下端固定在下夾板(2)的通孔內；其特征在于，在上夾板(I)與下夾板(2)上各設有一組對稱的矩形長條(6)，所述的上夾板(I)上的矩形長條(6)與下夾板(2)上的矩形長條(6)相互對立。
2.根據權利要求1所述的等離子體刻蝕硅片夾具，其特征在于，所述的矩形長條(6)離上、下夾板(1、2)四條邊的距離相等，相對距離為125cm或156cm。
3.根據權利要求1所述的等離子體刻蝕硅片夾具，其特征在于，所述的墊片(4)位于硅片與矩形長條(6)之間。
4.根據權利要求1或3所述的等離子體刻蝕硅片夾具，其特征在于，所述的墊片(4)為四氟墊片。
【文檔編號】H01L31/18GK204118100SQ201420421292
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年7月29日 優先權日:2014年7月29日
【發明者】蔣建寶 申請人:無錫賽晶太陽能有限公司