一種硅片清洗的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片清洗機，包括下料臺(1)，設置于下料臺(1)的工作臺面下的傳送鏈條(3)，傳送鏈條(3)用于傳送硅片籃(4)，下料臺(1)對應硅片籃(4)工作位置處設置有至少兩個檢測開關(2)，兩檢測開關(2)沿傳送鏈條(3)的傳動方向并行設置；硅片清洗機還包括根據各檢測開關(2)中任一者檢測到硅片籃(4)的信號，發出停止機械手放下一硅片籃(4)動作的控制器；當各檢測開關均將各檢測信號發送給控制器，控制器對各信號進行分析、判斷，當判斷各檢測信號中的任一者檢測到硅片籃時，便發送停止機械手放下一硅片籃的控制指令于機械手，機械手便會停止向下料臺處放硅片籃，避免了砸籃現象的發生。
【專利說明】一種硅片清洗機
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及硅片生產【技術領域】，特別涉及一種硅片清洗機。
【背景技術】
[0002] 硅片在生產過程中表面可能會存在有機物、無機物等污染雜質，故半導體件生產 過程中硅片必須經過嚴格清洗，否則微量污染也會導致器件失效。
[0003] 其中，硅片清洗機是一種用來清洗硅片表面污漬的自動清洗設備，自動清洗設備 的下料臺的工作臺下設置有傳動鏈條，傳動鏈條用于將盛裝硅片的硅片籃移動出工作臺。 當硅片籃移動出工作臺之后，機械手會將另一硅片籃放置于下料臺的工作臺的下面。為了 避免前一硅片籃未移出，機械手就將下一硅片籃放入，目前采用以下方法。
[0004] 現有技術中，硅片生產廠家使用的清洗機下料臺處有一組對射傳感器檢測是否有 硅片籃，當傳動鏈條將放置硅片的不銹鋼籃移出傳感器對射范圍后設備認為無籃，前一槽 位置處的硅片籃就可以繼續由機械臂提起并放置在下料臺處。
[0005] 然而實際運行中，經常會出現傳送過程中籃卡住或傳送鏈條斷裂的情況，此時載 片盒籃已出傳感的檢測位置，但又未完全傳送出放籃空間，此時設備認為下料臺無籃，機械 臂會后一硅片籃放置位置吊起載片盒籃繼續放置在下料臺，造成砸籃事故，硅片大量破損， 造成生產損失。
[0006] 因此，如何提供一種硅片清洗機，該硅片清洗機可以有效防止砸籃現象的發生，是 現有技術人員亟待解決的技術問題。 實用新型內容
[0007] 本實用新型的目的為提供一種硅片清洗機，該硅片清洗機可以有效防止砸籃現象 的發生。
[0008] 為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種硅片清洗機，包括下料臺，設置于所 述下料臺的工作臺面下的傳送鏈條，所述傳送鏈條用于傳送娃片籃，所述下料臺對應所述 硅片籃工作位置處設置有至少兩個檢測開關，兩檢測開關沿所述傳送鏈條的傳動方向并行 設置；所述硅片清洗機還包括根據各所述檢測開關中任一者檢測到所述硅片籃的信號，發 出停止機械手放下一硅片籃動作的控制器。
[0009] 優選地，所述檢測開關的數量為兩個，分別為第一檢測開關和第二檢測開關，所述 第一檢測開關靠近所述硅片籃工作位置的中間位置，所述第二檢測開關靠近所述硅片籃工 作位置的尾端。
[0010] 優選地，所述第一檢測開關和所述第二檢測開關均為由兩個傳感器組成的一組對 射傳感器，各所述對射傳感器中的兩個傳感器分居于所述工作臺的兩側。
[0011] 優選地，所述控制器為所述硅片清洗機的可編程控制器，所述第一檢測開關和所 述第二檢測開關的信號輸出端分別通過信號線連接所述硅片清洗機的可編程控制器接收 端口。
[0012] 優選地，還包括檢測開關安裝座，用于將各監測開關固定于所述下料臺，所述檢測 開關安裝座包括圍成一腔體的頂壁、底壁以及兩側壁，所述檢測開關設于所述腔體內。
[0013] 優選地，兩所述側壁均具有向外的折彎部，所述折彎部低于所述底壁的高度；所述 折彎部固定連接所述下料臺。
[0014] 優選地，所述折彎部上設置有螺栓孔，所述折彎部通過穿過所述螺栓孔的螺栓固 定連接所述下料臺。
[0015] 當各檢測開關均將各檢測信號發送給控制器，控制器對各信號進行分析、判斷，當 判斷各檢測信號中的任一者檢測到硅片籃時，便發送停止機械手放下一硅片籃的控制指令 于機械手，機械手便會停止向下料臺處放硅片籃，避免了砸籃現象的發生。當然，當控制器 判斷各檢測信號均未檢測到硅片籃時，便發送機械手放下一硅片籃的控制指令于機械手， 機械手繼續放置硅片籃于下料臺下放的相應位置。
[0016] 這樣，根據機械手的工作狀態，操作人員也可以了解處于下料臺處的硅片籃是否 出現問題。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017] 圖1為本實用新型一種實施例中硅片清洗機的結構示意圖；
[0018] 圖2為本實用新型一種實施例中檢測開關安裝座的結構示意圖。
[0019] 其中，圖1-2中附圖標記和部件名稱之間的一一對應關系如下所示：
[0020] 1下料臺、2檢測開關、3傳送鏈條、4硅片籃、5螺釘、6檢測開關安裝座、61頂壁、62 底壁、63側壁、631折彎部、63la螺栓孔。
【具體實施方式】
[0021] 本實用新型的核心為提供一種硅片清洗機，該硅片清洗機可以有效防止砸籃現象 的發生。
[0022] 為了使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和具 體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。
[0023] 請參考圖1，圖1為本實用新型一種實施例中硅片清洗機的結構示意圖。
[0024] 本實用新型提供了一種硅片清洗機，包括下料臺1，設置于下料臺1的工作臺面下 的傳送鏈條3,傳送鏈條3用于傳送硅片籃4,本實用新型中的硅片清洗機中的下料臺1對 應硅片籃4工作位置處設置有至少兩個檢測開關2,兩檢測開關2沿傳送鏈條3的傳動方向 并行設置。
[0025] 硅片清洗機還包括根據各檢測開關2中任一者檢測到硅片籃4,發出停止機械手 放下一硅片籃4的控制器，具體控制如下所示。
[0026] 當各檢測開關2均將各檢測信號發送給控制器，控制器對各信號進行分析、判斷， 當判斷各檢測信號中的任一者檢測到硅片籃4時，便發送停止機械手放下一硅片籃4的控 制指令于機械手，機械手便會停止向下料臺1處放硅片籃4,避免了砸籃現象的發生。當然， 當控制器判斷各檢測信號均未檢測到硅片籃4時，便發送機械手放下一硅片籃4的控制指 令于機械手，機械手繼續放置硅片籃4于下料臺1下放的相應位置。
[0027] 這樣，根據機械手的工作狀態，操作人員也可以了解處于下料臺1處的硅片籃4是 否出現問題。
[0028] 在一種優選的實施方式中，檢測開關2的數量可以為兩個，分別為第一檢測開關 和第二檢測開關，第一檢測開關靠近硅片籃4工作位置的中間位置，第二檢測開關靠近硅 片籃4工作位置的尾端。
[0029] 本實施例中，盡量將檢測開關2安裝于硅片籃4移出工作臺方向的尾端位置，有利 于獲取比較準確的檢測信號。
[0030] 具體地，上述實施例中的第一檢測開關和第二檢測開關均為由兩個傳感器組成的 一組對射傳感器，各對射傳感器中的兩個傳感器分居于工作臺的兩側。
[0031] 上述各實施例中，控制器可以為硅片清洗機的可編程控制器，第一檢測開關和第 二檢測開關的信號輸出端分別通過信號線連接硅片清洗機的可編程控制器接收端口。
[0032] 本實施方式中，在節省成本的前提下，可以對現有設備進行盡量少的部件的增加， 可以僅通過對現有設備控制器程序的更改實現上述有益效果。
[0033] 以下本文給出了第一檢測開關和第二檢測開關安裝的一種優選的實施方式，詳見 以下描述。
[0034] 請參考圖2,圖2為本實用新型一種實施例中檢測開關安裝座6的結構示意圖。
[0035] 在一種優選的實施方式中，硅片清洗機還可以包括檢測開關安裝座6,用于將各檢 測開關2固定于所述下料臺1，檢測開關安裝座6包括圍成一腔體的頂壁61、底壁62以及 兩側壁63,檢測開關2設于腔體內部。
[0036] 本實施方式中將檢測開關安裝座6設置為具有腔體結構，并且將檢測開關2設于 腔體內部，檢測開關安裝座6可以對檢測開關2起到很好的保護作用，避免檢測開關2被損 壞。
[0037] 進一步地，為了便于檢測開關安裝座6的固定，兩側壁63可以均具有向外的折彎 部631，折彎部631低于底壁62的高度；折彎部631固定連接所述下料臺1。這樣，不僅便 于檢測開關安裝座6的固定，而且彎折部和底壁62之間具有一定的高度，也便于安裝或拆 卸檢測開關2。
[0038] 對于檢測開關安裝座6的固定方式可以采取多種方式，例如折彎部631上可以設 置有螺栓孔631a，折彎部631通過穿過螺栓孔631a的螺栓固定連接下料臺1。當然也可以 采取焊接等其他方式。
[0039] 以上對本實用新型所提供的一種硅片清洗機進行了詳細介紹。本文中應用了具體 個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本 實用新型的方法及其核心思想。應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離 本實用新型原理的前提下，還可以對本實用新型進行若干改進和修飾，這些改進和修飾也 落入本實用新型權利要求的保護范圍內。
【權利要求】
1. 一種硅片清洗機，包括下料臺（1)，設置于所述下料臺（1)的工作臺面下的傳送鏈條 (3) ，所述傳送鏈條（3)用于傳送硅片籃（4)，其特征在于，所述下料臺（1)對應所述硅片籃 (4) 工作位置處設置有至少兩個檢測開關（2)，兩檢測開關（2)沿所述傳送鏈條（3)的傳動 方向并行設置；所述硅片清洗機還包括根據各所述檢測開關（2)中任一者檢測到所述硅片 籃（4)的信號，發出停止機械手放下一硅片籃（4)動作的控制器。
2. 如權利要求1所述的硅片清洗機，其特征在于，所述檢測開關（2)的數量為兩個，分 別為第一檢測開關（2)和第二檢測開關（2)，所述第一檢測開關（2)靠近所述硅片籃（4)工 作位置的中間位置，所述第二檢測開關（2)靠近所述硅片籃（4)工作位置的尾端。
3. 如權利要求2所述的硅片清洗機，其特征在于，所述第一檢測開關（2)和所述第二檢 測開關（2)均為由兩個傳感器組成的一組對射傳感器，各所述對射傳感器中的兩個傳感器 分居于所述工作臺的兩側。
4. 如權利要求2所述的硅片清洗機，其特征在于，所述控制器為所述硅片清洗機的可 編程控制器，所述第一檢測開關（2)和所述第二檢測開關（2)的信號輸出端分別通過信號 線連接所述硅片清洗機的可編程控制器接收端口。
5. 如權利要求1至4任一項所述的硅片清洗機，其特征在于，還包括檢測開關安裝座 (6)，用于將各監測開關固定于所述下料臺（1)，所述檢測開關安裝座（6)包括圍成一腔體 的頂壁（61)、底壁（62)以及兩側壁（63)，所述檢測開關（2)設于所述腔體內。
6. 如權利要求5所述的硅片清洗機，其特征在于，兩所述側壁（63)均具有向外的折彎 部（631)，所述折彎部（631)低于所述底壁￠2)的高度；所述折彎部￠31)固定連接所述 下料臺（1)。
7. 如權利要求6所述的硅片清洗機，其特征在于，所述折彎部（631)上設置有螺栓孔 (631a)，所述折彎部通過穿過所述螺栓孔（631a)的螺栓固定連接所述下料臺（1)。
【文檔編號】H01L21/67GK203830375SQ201420254600
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月19日 優先權日:2014年5月19日
【發明者】李雙江, 郭釗 申請人:英利能源（中國）有限公司