一種前端開口硅片片盒的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種前端開口硅片片盒，所述前端開口硅片片盒包含形成有用于存放晶圓腔體的本體、位于本體兩側內壁的擱片構件，以及位于所述本體正面的蓋體，其特征在于，所述本體上設置有若干單向氣流閥。在所述前端開口硅片片盒所述本體上設置有若干單向氣流閥，在對其進行真空包裝時，可以保證其內部的氣體被完全抽出，使其內部實現真正意義上的真空；同時，單向氣流閥還能阻止外部空氣進入前開口硅片片盒，使其內部的真空環境保持的更持久，這就有效地避免了晶圓產品產生結晶缺陷，從而避免了晶圓良率降低，甚至報廢。
【專利說明】
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種半導體工藝設備【技術領域】，特別是涉及一種前端開口硅片片 盒。 一種前端開口娃片片盒
【背景技術】
[0002] 在半導體制造過程中，在半導體制程完成后，將晶圓送交給客戶時，為了減少對 晶圓的顆粒污染，很多時候會使用作為密閉型的前端開口硅片片盒，稱之為FOSB (Front Opening Shipping Box)。在將該前端開口娃片片盒交給客戶之前，需要對其進行密封包裝 處理，以防止空氣中的水汽或污染物進入前端開口硅片片盒對晶圓造成污染。現有技術中， 一般都是將前端開口硅片片盒裝入包裝袋中，而后將裝有前端開口硅片片盒的包裝袋抽真 空。但由于目前的前端開口硅片片盒蓋上盒蓋之后是密封的，當對其進行真空包裝時，實際 上只是將包裝袋抽成真空了，前端開口硅片片盒內部的空氣是無法抽出的，其內部并沒有 達到真空的效果，前端開口硅片片盒內部的空氣依然存在，由于空氣中存在有水汽，此時， 如果晶圓產品10中含F量較高，其中的水汽就會導致這些含F量高的晶圓產品10產生結 晶缺陷11，如圖la和lb所不，從而導致晶圓良率降低，甚至報廢。
[0003] 鑒于此，有必要設計一種新的結構以解決上述技術問題。 實用新型內容
[0004] 鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種前端開口硅片片 盒，用于解決現有技術中由于前端開口硅片片盒蓋上盒蓋之后是密封的，當對其進行真空 包裝時，只能將包裝袋抽成真空，而前端開口硅片片盒內部的空氣是無法抽出的，其內部并 沒有達到真空的效果，前端開口硅片片盒內部的空氣依然存在，由于空氣中存在有水汽，此 時，如果晶圓產品中含F量較高，其中的水汽就會導致這些含F量高的晶圓產品產生結晶缺 陷，從而導致晶圓良率降低，甚至報廢的問題。
[0005] 為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種前端開口硅片片盒，所述 前端開口硅片片盒包含形成有用于存放晶圓腔體的本體、位于本體兩側內壁的擱片構件， 以及位于所述本體正面的蓋體，其特征在于，所述本體上設置有若干單向氣流閥。
[0006] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述單向氣流閥設置于本 體底部、上部、以及兩側側壁未設置擱片構件的區域。
[0007] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述單向氣流閥至少包 含：連通所述腔體與外界的氣體通孔，位于所述氣體通孔內的至少一組具有固定端和自由 端的擋氣片，位于所述擋氣片固定端的固定裝置和位于所述擋氣片自由端、靠近所述腔體 一側的阻擋裝置。
[0008] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述氣體通孔的截面為正 方形、長方形或圓形。
[0009] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述單向氣流閥包含3? 5組擋氣片。
[0010] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述擋氣片為剛性薄片或 彈性薄片。
[0011] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述擋氣片為正方形、長 方形或圓形。
[0012] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述擋氣片的高度hi小于 或等于所述氣體通孔的高度h 2。
[0013] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述固定裝置的高度113小 于或等于所述氣體通孔的高度h 2 ;所述阻擋裝置的高度h4小于或等于所述氣體通孔的高度 h2。
[0014] 作為本實用新型的前端開口硅片片盒的一種優選方案，所述擋氣片的長度U大于 所述固定裝置與所述阻擋裝置之間的距離L 2、且小于或等于氣體通孔的長度L3。
[0015] 如上所述，本實用新型的前端開口硅片片盒，具有以下有益效果：在所述前端開口 硅片片盒所述本體上設置有若干單向氣流閥，在對其進行真空包裝時，可以保證其內部的 氣體被完全抽出，使其內部實現真正意義上的真空；同時，單向氣流閥還能阻止外部空氣進 入前開口硅片片盒，使其內部的真空環境保持的更持久，這就有效地避免了晶圓產品產生 結晶缺陷，從而避免了晶圓良率降低，甚至報廢。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016] 圖la至lb顯示為現有技術中前端開口硅片片盒中晶圓受水汽影響產生結晶缺陷 的示意圖。
[0017] 圖2a顯示為本實用新型的前端開口硅片片盒的示意圖。
[0018] 圖2b顯示為本實用新型的前段開口硅片片盒中的單向氣流閥沿圖2a中AA'方向 的截面俯視圖。
[0019] 圖2c顯示為本實用新型的前段開口硅片片盒中的單向氣流閥沿圖2a中BB'方向 的截面圖。
[0020] 圖2d顯示為本實用新型的前段開口硅片片盒進行真空包裝時單向氣流閥沿圖2a 中AA'方向的截面俯視圖。
[0021] 元件標號說明
[0022] 10 晶圓廣品
[0023] 11 結晶缺陷
[0024] 20 本體
[0025] 21 擱片構件
[0026] 22 蓋體
[0027] 23 單向氣流閥
[0028] 231 氣體通孔
[0029] 232 擋氣片
[0030] 232a 擋氣片固定端
[0031] 232b 擋氣片自由端
[0032] 233 固定裝置
[0033] 234 阻擋裝置
[0034] h 擋氣片的高度
[0035] h2 氣體通孔的高度
[0036] h3 固定裝置的高度
[0037] h4 阻擋裝置的高度
[0038] Li 擋氣片的長度
[0039] L2 固定裝置與阻擋裝置之間的距離
[0040] L3 氣體通孔的長度
【具體實施方式】
[0041] 以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說 明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點與功效。本實用新型還可以通過另 外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節也可以基于不同觀點與應 用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。
[0042] 請參閱圖2a至圖2d。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅 用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用 新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大 小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用 新型所揭示的技術內容得能涵蓋的范圍內。同時，本說明書中所引用的如"上"、"下"、"左"、 "右"、"中間"及"一"等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的 范圍，其相對關系的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的 范疇。
[0043] 請參閱圖2a至圖2d，本實用新型提供一種前端開口硅片片盒，所述前端開口硅片 片盒包含形成有用于存放晶圓腔體的本體20、位于本體兩側內壁的擱片構件21，以及位于 所述本體20正面的蓋體22,其特征在于，所述本體20上設置有若干單向氣流閥23。
[0044] 具體的，所述單向氣流閥23可以設置于所述本體20的底部，也可以設置于所述本 體20的上部，還可以設置于所述本體20的兩側側壁上。在對所述前段開口硅片片盒進行 真空包裝時，為了使其內部達到最好的真空效果，作為一種優選方案，本實施例中，優選地， 單向氣流閥23同時分布于所述本體20的底部、上部，以及兩側側壁上。
[0045] 需要說明的是，當單向氣流閥23分布于本體20的兩側側壁上時，由于其兩側內壁 設置有擱片構件21，此時，即使在該區域對應的側壁上設置單向氣流閥23,單向氣流閥23 也會被擱片構件21所阻擋而不能內外貫通，在抽真空的過程中不能發揮其應有的作用，故 所述單向氣流閥23應設置于兩側側壁未設置擱片構件21的區域。
[0046] 圖2b顯示為單向氣流閥沿圖2a中AA'方向的截面俯視圖，如圖2b所示，所述單 向氣流閥23至少包含：連通所述腔體與外界的氣體通孔231，位于所述氣體通孔231內的 至少一組具有固定端232a和自由端232b的擋氣片232,位于所述擋氣片固定端232a的固 定裝置233和位于所述擋氣片自由端232b、靠近所述腔體一側的阻擋裝置234。
[0047] 具體的，所述氣體通孔231的截面可以為正方形、長方形或圓形。
[0048] 具體的，所述擋氣片固定端232a固定在固定裝置233內，擋氣片自由端232b搭在 阻擋裝置234靠近外部的一側，在對所示前端開口硅片片盒進行抽真空的時候，擋氣片自 由端232b在腔體內氣體沖力的作用下向外打開，抽真空完成后，擋氣片自由端232b又會重 新歸位至阻擋裝置234靠近外部的一側；當外界氣體壓強大于腔體內壓強時，外界氣體對 擋氣片232產生向內的沖力，但由于擋氣片自由端232b被阻擋裝置234做阻擋，擋氣片并 不會向內打開，從而實現真正意義上的單向通氣效果，在將腔體內部氣體抽出的同時，還有 效地阻止了外部氣體的進入。
[0049] 具體的，所述單向氣流閥23包含3?5組的擋氣片232 ;所述擋氣片232可以是 一個活動薄片，該活動薄片既可以為剛性薄片，又可以是彈性薄片，其在外力的作用下可以 發生相應的彎曲運動；所述擋氣片232可以為正方形、長方形或圓形，其形狀與所述通氣孔 231的截面形狀相匹配。
[0050] 圖2c顯示為單向氣流閥沿圖2a中BB'方向的截面圖，如圖2c所示，所述擋氣片 232的高度匕小于或等于所述氣體通孔231的高度h 2，優選地，所述擋氣片232的高度h等 于所述氣體通孔231的高度h2。
[0051] 具體的，所述固定裝置233的高度h3小于或等于所述氣體通孔231的高度h 2，優 選地，所述固定裝置233的高度h3等于所述氣體通孔231的高度h2 ;所述阻擋裝置234的 高度h4小于或等于所述氣體通孔231的高度h2，優選地，;所述阻擋裝置234的高度h 4等于 所述氣體通孔231的高度h2。
[0052] 具體的，所述擋氣片232的長度U大于所述固定裝置233與所述阻擋裝置234之 間的距離L 2、且小于或等于氣體通孔231的長度L3，優選地，所述擋氣片232的長度U大于 所述固定裝置233與所述阻擋裝置234之間的距離L 2、且小于氣體通孔231的長度L3。
[0053] 圖2d顯示為真空包裝時單向氣流閥沿圖2a中AA'方向的截面俯視圖，如圖2d所 示，當對所述前端開口硅片片盒進行真空包裝時，腔體內殘存的氣體進入氣體通孔231，沖 擊擋氣片232,由于擋氣片固定端232a被固定裝置233所固定，此時，在氣體的沖擊力下擋 氣片自由端232b向外翹起打開，在擋氣片232打開以后，氣體通過氣體通孔231被抽至外 部。而當真空包裝結束后，擋氣片232依靠其自身的重量，或依靠其良好的彈性自動恢復至 原狀，如圖2b所示。當擋氣片232恢復至自然狀態以后，由于擋氣片自由端232b被位于腔 體一側的阻擋裝置234所阻擋，此時，即使腔體與外界存在較大的壓力差，擋氣片232始終 保持關閉狀態，這就很好的阻止了外界氣體進入所述前端開口硅片片盒內部。
[0054] 綜上所述，本實用新型提供一種前端開口硅片片盒，在所述前端開口硅片片盒所 述本體上設置有若干單向氣流閥，在對其進行真空包裝時，可以保證其內部的氣體被完全 抽出，使其內部實現真正意義上的真空；同時，單向氣流閥還能阻止外部空氣進入前開口硅 片片盒，使其內部的真空環境保持的更持久，這就有效地避免了晶圓產品產生結晶缺陷，從 而避免了晶圓良率降低，甚至報廢。
[0055] 上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新 型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行 修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精 神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1. 一種前端開口硅片片盒，包含形成有用于存放晶圓腔體的本體、位于本體兩側內壁 的擱片構件，以及位于所述本體正面的蓋體，其特征在于，所述本體上設置有若干單向氣流 閥。
2. 根據權利要求1所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述單向氣流閥設置于本 體底部、上部、以及兩側側壁未設置擱片構件的區域。
3. 根據權利要求1所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述單向氣流閥至少包含： 連通所述腔體與外界的氣體通孔，位于所述氣體通孔內的至少一組具有固定端和自由端的 擋氣片，位于所述擋氣片固定端的固定裝置和位于所述擋氣片自由端、靠近所述腔體一側 的阻擋裝置。
4. 根據權利要求3所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述氣體通孔的截面為正 方形、長方形或圓形。
5. 根據權利要求3所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述單向氣流閥包含3?5 組擋氣片。
6. 根據權利要求3所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述擋氣片為剛性薄片或 彈性薄片。
7. 根據權利要求3所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述擋氣片為正方形、長方 形或圓形。
8. 根據權利要求3所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述擋氣片的高度h小于 或等于所述氣體通孔的高度h2。
9. 根據權利要求3所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述固定裝置的高度h3小 于或等于所述氣體通孔的高度h 2 ;所述阻擋裝置的高度h4小于或等于所述氣體通孔的高度 h2。
10. 根據權利要求3所述的前端開口硅片片盒，其特征在于：所述擋氣片的長度Li大于 所述固定裝置與所述阻擋裝置之間的距離L2、且小于或等于氣體通孔的長度L 3。
【文檔編號】H01L21/673GK203895419SQ201420074436
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年2月20日 優先權日:2014年2月20日
【發明者】李劍, 蔣慶紅, 譚玉榮 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司