顯示器件轉印定位裝置及其方法
【專利摘要】一種顯示器件轉印定位裝置及其方法，所述顯示器件轉印定位裝置，用于將芯片轉印定位到基板上，包括轉印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉印到所述基板的表面上；電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應的感應單元，所述第一電極陣列設置在所述基板上，所述感應單元設置在所述轉印頭的與所述基板相對應的轉印表面上。上述顯示器件轉印定位裝置及其方法，能更加精確、簡單地進行定位，并可以根據轉印頭和基板之間的互感信息，確定芯片抓取是否缺失。
【專利說明】顯示器件轉印定位裝置及其方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及顯示器件【技術領域】，特別是涉及一種顯示器件轉印定位裝置和一種顯示器件轉印定位方法。
【背景技術】
[0002]轉印指的是將中間載體薄膜上的圖文采用相應的壓力轉移到承接物上的一種印刷方法，目前，轉印技術已廣泛應用到顯示裝置的制造中。在使用轉印技術制造顯示裝置的技術中，轉印時，需要轉印頭將預制好的芯片轉印到基板(例如:玻璃基板)表面，因此，要對轉印頭進行定位，從而精確地將芯片轉印到基板的對應位置。
[0003]一般地，轉印頭定位的方法主要是采用光學定位，對于抓取個別芯片進行轉印時，采用該方法，難以將個別芯片的對位標志標記在動態顯示區的內部，即不能準確地定位個別芯片。此外，在對所有芯片進行轉印后，需進行光學檢測來確定是否有轉印缺失，該方法不能實時監控轉印率。
【發明內容】
[0004]基于此，為了解決個別芯片難以準確定位和實時監控轉轉印率的問題，提供一種顯示器件轉印定位裝置及其方法。
[0005]一種顯示器件轉印定位裝置，用于將芯片轉印定位到基板上，所述裝置包括:
[0006]轉印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉印到所述基板的表面上；
[0007]電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應的感應單元，所述第一電極陣列設置在所述基板上，所述感應單元設置在所述轉印頭的與所述基板相對應的轉印表面上。
[0008]在其中一個實施例中，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單元，所述第一電極單元在所述第一電極陣列的一個方向上相互連接，且相鄰兩個所述第一電極單元之間形成互感電容。
[0009]在其中一個實施例中，所述第一電極單元的形狀為多邊形。
[0010]在其中一個實施例中，所述感應單元為電容傳感器，用于感應所述第一電極陣列的互感電容。
[0011]在其中一個實施例中，所述感應單元為第二電極陣列，用于和所述第一電極陣列之間形成互感電容。
[0012]在其中一個實施例中，所述第二電極陣列包括至少一個第二電極單元。
[0013]還有必要提供一種顯示器件轉印定位方法。
[0014]一種顯示器件轉印定位方法，所述方法包括:
[0015]制作電容組件，其中，所述電容組件包括第一電極陣列，以及與所述第一電極陣列對應的感應單元，在基板上制作第一電極陣列，并在轉印頭上制作與所述第一電極陣列對應的感應單元，并將所述第一電極陣列和所述感應單元接入到控制電路中；
[0016]在所述基板垂直的方向上，移動所述轉印頭，并測量所述第一電極陣列和所述感應單元之間的互感信號值，根據預先設定的互感信號值，確定所述轉印頭距離所述基板的垂直高度；
[0017]測量所述感應單元和所述第一電極陣列上的各個位置之間的互感信號值，并根據所述互感信號值，定位所述轉印頭的水平位置。
[0018]在其中一個實施例中，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單元，且所述第一電極單兀在所述第一電極陣列在一個方向上相互連接。
[0019]在其中一個實施例中，所述方法還包括根據所述轉印頭和所述基板之間的互感信號，確定轉印到所述基板上的芯片的狀態。
[0020]上述顯示器件轉印定位裝置及其方法，通過制作電容組件，該電容組件包括在基板的表面上制作的電極陣列，和在轉印頭上制作的與電極陣列相對應的感應單元，在轉印定位過程中，通過電路將電極陣列和感應單元接入到控制電路中，從而可以轉印頭和基板之間的互感信號，據轉印頭和基板之間的距離以及位置關系，定位轉印頭的位置，能更加精確、簡單地進行定位，并可以根據轉印頭和基板之間的互感信息，確定芯片抓取是否缺失。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0021]圖1為本發明第一實施例的顯示器件轉印定位裝置的結構示意圖；
[0022]圖2為圖1中第一電極陣列的結構示意圖；
[0023]圖3為本發明第二實施例的顯示器件轉印定位裝置的結構示意圖；
[0024]圖4為本發明實施例的顯示器件轉印定位方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0025]為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的【具體實施方式】做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節以便于充分理解本發明。但是本發明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本發明內涵的情況下做類似改進，因此本發明不受下面公開的具體實施的限制。
[0026]本發明的顯示器件轉印定位裝置，用于將芯片轉印定位到基板上，包括轉印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉印到所述基板的表面上；電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應的感應單元，所述第一電極陣列設置在所述基板上，所述感應單元設置在所述轉印頭的與所述基板相對應的轉印表面上。
[0027]在本發明的第一實施例中，如圖1所示，需轉印的芯片30為一個時，所述裝置包括轉印頭20和電容組件，其中，電容組件包括第一電極陣列12和與第一電極陣列12對應的感應單元。在本實施例中，基板10為玻璃基板，轉印頭20要將芯片30轉印到玻璃基板的目標位置13上。具體地，如圖1和圖2所示，基板10的表面上覆蓋有膜11，膜11上刻蝕有第一電極陣列12。從圖中可知，第一電極陣列12包括多個第一電極單兀121,第一電極單兀121在第一電極陣列12在一個方向上相互連接，即第一電極單兀121構成第一電極陣列12,在一個方向上,各個第一電極單兀121依次連接在一起,而在另一個方向上,各個第一電極單元121是相互獨立的，因此，每個第一電極單元121和其相鄰的第一電極單元121之間均能形成電容，產生互感信號。此外，第一電極單元121的形狀為多邊形，也可以是其他閉合的圖形。在本實施例中，在膜11上刻蝕的第一電極陣列12為由至少一個電容組成的陣列，即第一電極單元121為電容，且電容的形狀為菱形，電容和電容之間相當于兩個電極，因此，所有的電容組成的陣列，構成第一電極陣列12。
[0028]為了精確地將轉印頭移到正確的位置，在轉印頭20的轉印表面上設置與第一電極陣列12對應的感應單元，感應單元可以感應轉印頭20與基板10之間的互感信號，從而確定轉印頭20的位置。其中，感應單元可以為電容傳感器，該電容傳感器直接安裝在轉印頭20，用于感應第一電極陣列12的互感電容，其中，互感電容由第一電極陣列12中的電容之間產生的。感應單元也可以為第二電極陣列，該第二電極陣列和第一電極陣列12相當于電容的兩個電極，從而和第一電極陣列12之間形成互感電容。需要說明的是，第二電極陣列也包括至少一個第二電極單元，第二電極單元構成第二電極陣列，第二電極陣列的結構等參考上述第一電極陣列12。
[0029]在本發明的第二實施例中，如圖3所示，需轉印的芯片30為多個時，該裝置包括轉印頭20和電容組件，其中，電容組件包括第一電極陣列12和與第一電極陣列12對應的感應單元。在本實施例中，基板10為玻璃基板，轉印頭20要將芯片30轉印到玻璃基板的目標位置13上。具體地，如圖1和圖2所示，基板10的表面上覆蓋有膜11，膜11上刻蝕有第一電極陣列12。從圖中可知，第一電極陣列12包括多個第一電極單兀121,第一電極單兀121在第一電極陣列12在一個方向上相互連接，即第一電極單兀121構成第一電極陣列12,在一個方向上,各個第一電極單兀121依次連接在一起,而在另一個方向上,各個第一電極單元121是相互獨立的，因此，每個第一電極單元121和其相鄰的第一電極單元121之間均能形成電容，產生互感信號。此外，第一電極單元121的形狀為多邊形，也可以是其他閉合的圖形。在本實施例中，在膜11上刻蝕的第一電極陣列12為由至少一個電容組成的陣列，即第一電極單元121為電容，且電容的形狀為菱形，電容和電容之間相當于兩個電極，因此，所有的電容組成的陣列，構成第一電極陣列12。
[0030]為了精確地將轉印頭移到正確的位置，在每個轉印頭20的轉印表面上設置與第一電極陣列12對應的感應單元，感應單元可以感應轉印頭20與基板10之間的互感信號，從而確定轉印頭20的位置。其中，感應單元可以為電容傳感器，該電容傳感器直接安裝在轉印頭20，用于感應第一電極陣列12的互感電容。感應單元也可以為第二電極陣列，該第二電極陣列和第一電極陣列12相當于電容的兩個電極，從而和第一電極陣列12之間形成互感電容。需要說明的是，第二電極陣列也包括至少一個第二電極單元，第二電極單元構成第二電極陣列，第二電極陣列的結構等參考上述第一電極陣列。需要說明的是，不同的轉印頭上的感應單元可以不同，即并不是都是電容傳感器或都是第二電極陣列。
[0031]對應于上述顯示器件轉印定位裝置，本發明還提供一種顯示器件轉印定位方法，如圖4所示，首先，執行SI，制作電容組件，其中，該電容組件包括第一電極陣列12，以及與第一電極陣列12對應的感應單元，即在基板10上制作第一電極陣列12，并在轉印頭20上制作與第一電極陣列12對應的感應單元，并將第一電極陣列12和感應單元接入到控制電路中。具體地，在本實施例中，利用像素發光區之間的區域或者下層區域，通過化學氣相沉積的方法，在基板10上沉積一層氧化銦錫(Indium tin oxide, ITO)膜，在ITO膜上依次沉積一層絕緣層和一層金屬層，再通過光刻的方法刻蝕出第一電極陣列12，第一電極陣列12由多個第一電極單兀121構成，第一電極單兀121在第一電極陣列12在一個方向上相互連接，即第一電極單兀121構成第一電極陣列12,在一個方向上,各個第一電極單兀121依次連接在一起，而在另一個方向上，各個第一電極單兀121是相互獨立的，因此，每個第一電極單元121和其相鄰的第一電極單元121之間均能形成電容，產生互感信號。此外，第一電極單元121的形狀為多邊形，也可以是其他閉合的圖形。在本實施例中，在膜11上刻蝕的第一電極陣列12為由至少一個電容組成的陣列，即第一電極單元121為電容，且電容的形狀為菱形，電容和電容之間相當于兩個電極，因此，所有的電容組成的陣列，構成第一電極陣列12。
[0032]對于感應單元，可以為轉印頭20上安裝的電容傳感器，也可以為第二電極陣列，該第二電極陣列的制作方法和上述的第一電極陣列12的制作方法相同。
[0033]接著，執行S2，在基板10垂直的方向上，移動轉印頭20，并測量第一電極陣列12和感應單元之間的互感信號值，根據預先設定的互感信號值，確定轉印頭20距離基板10的垂直高度。具體地，由SI中可知，在轉印定位過程中，將第一電極陣列12和感應單元通過電路接入到控制電路中，當感應單元為電容傳感器時，其可以感應基板10的互感電容的變化，根據預先設定的互感信號值，確定感應到的互感電容為預先設定的互感信號值時的位置為轉印頭20距離基板10的垂直高度，即在垂直基板的方向上，定位了轉印頭20的位置。當感應單元為第二電極陣列時，通過改變與基板10之間的距離，從而改變與基板10之間的電容，根據預先設定值，定位轉印20距離基板10的垂直高度。
[0034]接著，執行S3，測量感應單元和第一電極陣列12上的各個位置之間的互感信號值，并根據該互感信號值，定位轉印頭20的水平位置。具體地，在轉印頭20距離基板10的垂直高度確定的情況下，轉印頭20在平行于基板10表面的平面上移動，可以確定轉印頭20和基板10的各個位置之間的互感信號值，根據芯片30實際需要轉印到基板10上的位置所對應的互感信號值，定位轉印頭20的水平位置。通過上述方法，就可以定位轉印頭20的位置，從而可以精確地將芯片30轉印到基板10的目標位置13上。此外，基板上的第一電極陣列可以配合后續器件制作，達到內置觸摸屏的功能。
[0035]對于上述本發明的第二實施例，當需轉印的芯片30為多個時，還可以確定芯片30是否有缺失，具體地，先確定在沒有芯片30時，轉印頭20和基板10之間的互感信號值，在轉印過程中，即在有芯片30時，確定轉印頭20和基板10之間的互感信號值，比較兩者情況下的互感信號值，若互感信號異常，則表明該轉印頭20下對應的芯片30缺失。
[0036]上述顯示器件轉印定位裝置及其方法，通過制作電容組件，該電容組件包括在基板的表面上制作的電極陣列，和在轉印頭上制作的與電極陣列相對應的感應單元，在轉印定位過程中，通過電路將電極陣列和感應單元接入到控制電路中，從而可以轉印頭和基板之間的互感信號，據轉印頭和基板之間的距離以及位置關系，定位轉印頭的位置，能更加精確、簡單地進行定位，并可以根據轉印頭和基板之間的互感信息，確定芯片抓取是否缺失。此外，基板上的第一電極陣列可以配合后續器件制作，達到內置觸摸屏的功能。
[0037]以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【權利要求】
1.一種顯示器件轉印定位裝置，用于將芯片轉印定位到基板上，其特征在于，所述顯示器件轉印定位裝置包括: 轉印頭，位于所述基板上方，用于將芯片轉印到所述基板的表面上； 電容組件，所述電容組件包括第一電極陣列和與所述第一電極陣列對應的感應單元，所述第一電極陣列設置在所述基板上，所述感應單元設置在所述轉印頭的與所述基板相對應的轉印表面上。
2.根據權利要求1所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單兀，所述第一電極單兀在所述第一電極陣列的一個方向上相互連接，且相鄰兩個所述第一電極單元之間形成互感電容。
3.根據權利要求2所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述第一電極單元的形狀為多邊形。
4.根據權利要求1所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述感應單元為電容傳感器，用于感應所述第一電極陣列的互感電容。
5.根據權利要求1所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述感應單元為第二電極陣列，用于和所述第一電極陣列之間形成互感電容。
6.根據權利要求5所述的顯示器件轉印定位裝置，其特征在于，所述第二電極陣列包括至少一個第二電極單元。
7.—種顯示器件轉印定位方法，其特征在于，所述方法包括: 制作電容組件，其中，所述電容組件包括第一電極陣列，以及與所述第一電極陣列對應的感應單元，在基板上制作第一電極陣列，并在轉印頭上制作與所述第一電極陣列對應的感應單元，并將所述第一電極陣列和所述感應單元接入到控制電路中； 在所述基板垂直的方向上，移動所述轉印頭，并測量所述第一電極陣列和所述感應單元之間的互感信號值，根據預先設定的互感信號值，確定所述轉印頭距離所述基板的垂直高度； 測量所述感應單元和所述第一電極陣列上的各個位置之間的互感信號值，并根據所述互感信號值，定位所述轉印頭的水平位置。
8.根據權利要求7所述的顯示器件轉印定位方法，其特征在于，所述第一電極陣列包括至少一個第一電極單兀，且所述第一電極單兀在所述第一電極陣列在一個方向上相互連接。
9.根據權利要求7所述的顯示器件轉印定位方法，其特征在于，所述方法還包括根據所述轉印頭和所述基板之間的互感信號，確定轉印到所述基板上的芯片的狀態。
【文檔編號】H01L21/68GK104465474SQ201410649420
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年11月14日 優先權日:2014年11月14日
【發明者】朱濤, 葛泳, 劉玉成, 劉雪洲 申請人:昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司, 昆山國顯光電有限公司