一種升華裝置及制作有機發光二極管顯示器件的方法
【專利摘要】本發明涉及顯示裝置制造的【技術領域】，公開了一種升華裝置及制作有機發光二極管顯示器件的方法，該升華裝置包括：發射激光的激光發射單元，以及位于所述激光發射單元上方的光熱轉換單元，所述光熱轉換單元包括：用于設置機材料的升華加熱層，設置于所述升華加熱層下表面的光熱轉化層，以及設置在所述光熱轉化層下表面的多個阻光圖案，且任意兩個相鄰的阻光圖案之間具有透光間隙。本發明的有益效果為：通過采用光熱轉換單元將激光的能量轉化成熱能，使得位于透光間隙的有機材料能夠升華至基板上需要涂覆有機材料的位置，加快了有機膜的涂覆效率，進而提高了有機發光二極管顯示器件的生產效率。
【專利說明】一種升華裝置及制作有機發光二極管顯示器件的方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及到顯示裝置的制作領域，尤其涉及到一種升華裝置及制作有機發光二 極管顯示器件的方法。
【背景技術】
[0002] 有機發光二極管的制成方法有好多種，包括蒸鍍的方法，溶液制成方法，激光熱轉 印方法。目前蒸鍍方法受到設備的影響，產量低，而且無法實現大尺寸的紅綠藍全彩蒸鍍， 只能采用白光加彩膜基板的方法制作。溶液制成法材料價格昂貴，設備維護成本高，器件壽 命低。激光熱轉印目前不是很成熟，沒有用于量產的實績。
【發明內容】
[0003] 本發明提供了一種升華裝置及制作有機發光二極管顯示器件的方法，用以提高有 機發光二極管顯示器件的生產效率。
[0004] 本發明提供了一種升華裝置，用于有機發光二極管顯示器件制作，該升華裝置包 括：發射激光的激光發射單元，以及位于所述激光發射單元上方的光熱轉換單元，所述光熱 轉換單元包括：用于設置有機材料的升華加熱層，設置于所述升華加熱層下表面的光熱轉 化層，以及設置在所述光熱轉化層下表面的多個阻光圖案，且任意兩個相鄰的阻光圖案之 間具有透光間隙。
[0005] 在上述技術方案中，通過采用光熱轉換單元將激光的能量轉化成熱能，使得位于 透光間隙的有機材料能夠升華至基板上需要涂覆有機材料的位置，加快了有機膜的涂覆效 率，進而提高了有機發光二極管顯示器件的生產效率。
[0006] 優選的，還包括設置于所述光熱轉化層下表面并將所述多個阻光圖案包裹住的平 整隔熱透光層。避免阻光圖案受到損壞，同時，使得整個光熱轉換單元的下表面比較平整。
[0007] 優選的，所述光熱轉化層為吲哚菁綠、聚苯胺或碳納米材料中的任一種或兩種以 上材料制作的光熱轉化層。具有良好的轉熱效果。
[0008] 優選的，所述光熱轉化層的厚度為30mm?600mm。保證了光能能夠充分的轉化成 熱能。
[0009] 優選的，所述阻光圖案為黑色光阻材料制作的阻光圖案。具有良好的阻光效果。
[0010] 優選的，所述升華加熱層為鈦、金或鉬中的任一種或兩種以上材料制作的升華加 熱層。能夠有效的吸收熱量，具有較高的升溫。
[0011] 本發明還提供了一種利用上述的升華裝置制作有機發光二極管顯示器件的方法， 包括以下步驟：
[0012] 在形成開關元件和像素電極的基板上間隔設置阻擋條，其中，所述阻擋條之間的 間隙為需要涂覆有機膜的區域；
[0013] 在升華加熱層上設置有機材料層；
[0014] 將設置有阻擋條的基板與升華裝置抵壓接觸，并使有機材料層與阻擋條相對，且 升華裝置上的透光間隙的位置與所述阻擋條之間的間隙的位置相對；
[0015] 通過激光照射升華裝置，位于透光間隙上方的有機材料升華至基板上的阻擋條之 間的間隙內并形成有機膜。
[0016] 在上述技術方案中，通過采用光熱轉換單元將激光的能量轉化成熱能，使得位于 透光間隙的有機材料能夠升華，使其升華至基板上需要涂覆有機材料的位置，加快了有機 膜的涂覆效率，進而提高了有機發光二極管顯示器件的生產效率。
[0017] 優選的，所述在升華加熱層上設置有機材料層具體為：
[0018] 通過旋涂、蒸鍍或打印的方式在升華加熱層上形成有機材料層。可以通過不同的 方式在升華加熱層上設置有機材料。
[0019] 優選的，在所述將設置有阻擋條的基板與升華裝置抵壓接觸，并使有機材料層與 阻擋條相對，且升華裝置上的透光間隙的位置與所述阻擋條之間的間隙的位置相對的步驟 之前還包括：
[0020] 將設置有阻擋條的基板以及設置有有機材料層的升華裝置放置于真空腔室內。提 高了有機材料升華的效果。
[0021] 優選的，在所述通過激光照射升華裝置，位于透光間隙上方的有機材料升華至基 板上的阻擋條之間的間隙內并形成有機膜的步驟之后還包括：通過灰化去除所述升華加熱 層上殘留的有機材料。從而可以重復利用升華裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022] 圖1為本發明實施例提供的設置有阻擋條的基板的俯視圖；
[0023] 圖2為本發明實施例提供的升華裝置的光熱轉換單元的結構示意圖；
[0024] 圖3為本發明實施例提供的升華裝置的結構示意圖；
[0025] 圖4為本發明實施例提供的升華裝置的使用狀態參考圖；
[0026] 圖5為本發明實施例提供的升華裝置形成有機膜的參考示意圖。
[0027] 附圖標記：
[0028] 10-基板 11-阻擋條 20-升華裝置
[0029] 21-升華加熱層22-光熱轉化層 23-阻光圖案
[0030] 24-透光間隙 25-平整隔熱透光層26-激光發射單元
[0031] 30-有機材料
【具體實施方式】
[0032] 為了提高有機發光二極管顯示器件的生產效率，本發明實施例提供了一種升華裝 置及制作有機發光二極管顯示器件的方法，在本發明實施例的技術方案中，通過采用激光 照射有機材料，使得有機材料升華至顯示器件的基板上，從而提高了有機發光二極管顯示 器件的生產效率。為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，以下以非限制性的實施例 為例對本發明作進一步詳細說明。
[0033] 如圖3所示，圖3示出了本發明實施例提供的升華裝置的結構示意圖。
[0034] 本發明實施例提供了一種升華裝置，用于有機發光二極管顯示器件制作，該升華 裝置20包括：發射激光的激光發射單元26,以及位于所述激光發射單元26上方的光熱轉 換單元，所述光熱轉換單元包括：用于設置有機材料30的升華加熱層21 ;設置于所述升華 加熱層21下表面的光熱轉化層22,以及設置在所述光熱轉化層22下表面的多個阻光圖案 23,且任意兩個相鄰的阻光圖案23之間具有透光間隙24。
[0035] 在上述實施例中提供的升華裝置20在使用時，首先將有機材料30涂覆到升華裝 置20上，一并參考圖1、圖2、圖4和圖5,其中，圖1為基板10的俯視圖，圖2為升華裝置20 的光熱轉換單元的結構示意圖，圖4和圖5為升華裝置20的使用狀態參考圖。具體的，如 圖1和圖2所示，基板10上不用涂覆有機材料30的區域通過阻擋條11遮擋，阻擋條11之 間的間隙為需要涂覆有機材料30的區域。如圖4所示，在升華裝置20和基板10對置時， 阻光圖案23之間的透光間隙24與阻擋條11隔開的有機材料30涂覆區域相對應，應當可 以理解的是透光間隙24的寬度應當等于或者略小于阻擋條11之間的間隙寬度。如圖5所 示，通過激光照射光熱轉換單元，照射到阻光圖案23的位置的激光被阻光圖案23遮擋住， 照射到透光間隙24的激光穿過透光間隙24后照射到光熱轉化層22,此時，光熱轉化層22 吸收激光的能量并轉化成熱能，生成的熱能加熱升華加熱層21使得升華加熱層21的溫度 升高。此時，由于透光間隙24的寬度應當等于或者略小于阻擋條11之間的間隙寬度，從而 保證位于透光間隙24上方的有機材料30在升華加熱層21的加熱情況下升華，揮發至基板 10上的有機材料30涂覆區域，并冷卻形成有機膜層，完成有機膜的涂覆。通過本實施例提 供的升華裝置20加快了有機膜的涂覆效率，提高了有機發光二極管顯示器件的生產效率。
[0036] 較佳的，該升華裝置20還包括設置于光熱轉化層22下表面并將多個阻光圖案23 包裹住的平整隔熱透光層25。通過平整隔熱透光層25將多個阻光圖案23包裹起來，避免 阻光圖案23受到損壞，同時，使得整個光熱轉換單元的下表面比較平整，便于移動。
[0037] 具體的，上述實施中的升華裝置20中的光熱轉化層22、阻光圖案23、升華加熱層 21可以選用不同的材料來制作。其中，光熱轉化層22可以為吲哚菁綠、聚苯胺或碳納米材 料中的任一種或兩種以上材料制作的光熱轉化層22,或者采用貴金屬材料制作，其中，在采 用兩種上述材料制作而成時，采用的材料以設定的比例進行混合，該設定比例根據實際情 況而定。
[0038] 優選的，光熱轉化層22的厚度為30mm?600_，如：30mm、50mm、150mm、300mm、 400mm. 500mm或600_等任意介于30_?600_之間的厚度。
[0039] 較佳的，阻光圖案23可以選用黑色光阻材料制作的阻光圖案23,或者其他阻光材 料制作的阻光圖案23,具體不受限制，可以根據生產的實際情況選擇。
[0040] 另外，其中的升華加熱層21可以為鈦、金或鉬中的任一種或兩種以上材料制作的 升華加熱層21，或者采用其他具有較高的傳熱效率的材料制作，其中，在采用兩種上述材料 制作而成時，采用的材料以設定的比例進行混合，該設定比例根據實際情況而定。。
[0041] 本發明實施例還提供了一種利用上述的升華裝置20制作有機發光二極管顯示器 件的方法，包括以下步驟：
[0042] 在形成開關元件和像素電極的基板10上間隔設置阻擋條11，其中，阻擋條11之間 的間隙為需要涂覆有機膜的區域；
[0043] 在升華加熱層21上設置有機材料30層；
[0044] 將設置有阻擋條11的基板10與升華裝置20抵壓接觸，并使有機材料30層與阻 擋條11相對，且升華裝置20上的透光間隙24的位置與阻擋條11之間的間隙的位置相對；
[0045] 通過激光照射升華裝置20,位于透光間隙24上方的有機材料30升華至基板10上 的阻擋條11之間的間隙內并形成有機膜。
[0046] 通過上述制作方法可以看出，本實施例提供的有機發光二極管顯示器件的制作方 法，提高了有機膜的制作效率，同時提高了有機發光二極管顯示器件的的制作效率。
[0047] 下面結合圖1、圖2、圖3、圖4和圖5對上述方法進行詳細的說明。
[0048] 步驟一：在形成開關元件和像素電極的基板10上間隔設置阻擋條11，其中，阻擋 條11之間的間隙為需要涂覆有機膜的區域；
[0049] 具體的，其結構如圖1所示，在形成開關元件和像素電極的基板10上設置阻擋條 11，阻擋條11之間的間隙為需要涂覆有機膜的區域，其中的阻擋條11的端面形狀較佳的采 用倒置的等腰梯形結構，從而具有一定坡度，便于防止有機材料30的擴散和混色，但是阻 擋條11的端面形狀也可以選擇其他不同的形狀，如：矩形；另外，開關元件可以為薄膜晶體 管，繼電器等具有控制開關功能的器件。
[0050] 步驟二：在升華加熱層21上設置有機材料30層；
[0051] 具體的，通過旋涂、蒸鍍或打印的方式在升華加熱層21上形成有機材料30層。
[0052] 其中需要說明的是，步驟一和步驟二的順序不做限定，可以步驟一在先，也可以步 驟二在先，或者步驟一和步驟二同時進行。
[0053] 步驟三：將設置有阻擋條11的基板10以及設置有有機材料30層的升華裝置20 放置于真空腔室內；
[0054] 具體的，在放置時，基板10在上方、升華裝置20在下方，且基板10上設置有阻擋 條11的一面朝向下方，升華裝置20上涂覆有有機材料30的一面朝向上方。
[0055] 步驟四：將設置有阻擋條11的基板10與升華裝置20抵壓接觸，并使有機材料30 層與阻擋條11相對，且升華裝置20上的透光間隙24的位置與所述阻擋條11之間的間隙 的位置相對；
[0056] 具體的，如圖4所示，將基板10和升華裝置20對位，使得透光間隙24與阻光圖案 23之間的間隙相對，對位完成后，基板10和升華裝置20相對運動進行接觸，使得阻擋條11 壓在有機材料30上。
[0057] 步驟五：如圖5所示，通過激光照射升華裝置20,位于透光間隙24上方的有機材 料30升華至基板10上的阻擋條11之間的間隙內并形成有機膜。
[0058] 具體的，通過激光照射升華裝置20,照射到阻光圖案23的位置的激光被阻光圖案 23遮擋住，照射到透光間隙24的激光穿過透光間隙24后照射到光熱轉化層22,此時，光熱 轉化層22吸收激光的能量并轉化成熱能，生成的熱能加熱升華加熱層21使得升華加熱層 21的溫度升高，此時，由于透光間隙24的寬度應當等于或者略小于阻擋條11之間的間隙寬 度，從而保證位于透光間隙24上方的有機材料30在升華加熱層21的加熱情況下升華，揮 發至基板10上的有機材料30涂覆區域，并冷卻形成有機膜層。
[0059] 步驟六：通過灰化去除升華加熱層21上殘留的有機材料30。
[0060] 通過上述具體的描述可以看出，本實施例提供的有機發光二極管顯示器件的制作 方法，提高了有機膜的制作效率，同時提高了有機發光二極管顯示器件的的制作效率。
[0061] 顯然，本領域的技術人員可以對本發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精 神和范圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬于本發明權利要求及其等同技術的范圍 之內，則本發明也意圖包含這些改動和變型在內。
【權利要求】
1. 一種升華裝置，用于有機發光二極管顯示器件制作，其特征在于，包括發射激光的激 光發射單元，以及位于所述激光發射單元上方的光熱轉換單元，所述光熱轉換單元包括：用 于設置有機材料的升華加熱層，設置于所述升華加熱層下表面的光熱轉化層，以及設置在 所述光熱轉化層下表面的多個阻光圖案，且任意兩個相鄰的阻光圖案之間具有透光間隙。
2. 如權利要求1所述的升華裝置，其特征在于，還包括設置于所述光熱轉化層下表面 并將所述多個阻光圖案包裹住的平整隔熱透光層。
3. 如權利要求1或2所述的升華裝置，其特征在于，所述光熱轉化層為吲哚菁綠、聚苯 胺或碳納米材料中的任一種或兩種以上材料制作的光熱轉化層。
4. 如權利要求3所述的升華裝置，其特征在于，所述光熱轉化層的厚度為30mm? 600mm〇
5. 如權利要求1或2所述的升華裝置，其特征在于，所述阻光圖案為黑色光阻材料制作 的阻光圖案。
6. 如權利要求1或2所述的升華裝置，其特征在于，所述升華加熱層為鈦、金或鉬中的 任一種或兩種以上材料制作的升華加熱層。
7. -種利用權利要求1所述的升華裝置制作有機發光二極管顯示器件的方法，其特征 在于，包括以下步驟： 在形成開關元件和像素電極的基板上間隔設置阻擋條，其中，所述阻擋條之間的間隙 為需要涂覆有機膜的區域； 在升華加熱層上設置有機材料層； 將設置有阻擋條的基板與升華裝置抵壓接觸，并使有機材料層與阻擋條相對，且升華 裝置上的透光間隙的位置與所述阻擋條之間的間隙的位置相對； 通過激光照射升華裝置，位于透光間隙上方的有機材料升華至基板上的阻擋條之間的 間隙內并形成有機膜。
8. 如權利要求7所述的制作有機發光二極管顯示器件的方法，其特征在于，所述在升 華加熱層上設置有機材料層具體為： 通過旋涂、蒸鍍或打印的方式在升華加熱層上形成有機材料層。
9. 如權利要求7所述的制作有機發光二極管顯示器件的方法，其特征在于，在所述將 設置有阻擋條的基板與升華裝置抵壓接觸，并使有機材料層與阻擋條相對，且升華裝置上 的透光間隙的位置與所述阻擋條之間的間隙的位置相對的步驟之前還包括： 將設置有阻擋條的基板以及設置有有機材料層的升華裝置放置于真空腔室內。
10. 如權利要求7所述的制作有機發光二極管顯示器件的方法，其特征在于，在所述通 過激光照射升華裝置，位于透光間隙上方的有機材料升華至基板上的阻擋條之間的間隙內 并形成有機膜的步驟之后還包括：通過灰化去除所述升華加熱層上殘留的有機材料。
【文檔編號】H01L51/56GK104157796SQ201410344594
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2014年7月18日 優先權日:2014年7月18日
【發明者】趙德江 申請人:京東方科技集團股份有限公司