缺陷電連接的檢測的制作方法
【專利摘要】本發明的實施例公開了一種有缺陷電連接的檢測。該實施例涉及集成電路，所述集成電路包括至少兩個電連接和與至少一個電連接相鄰地布置的至少一個線圈，其中至少一個線圈中的每個線圈都包括至少一個繞組，并且其中至少一個線圈被布置在集成電路上或集成電路中。
【專利說明】缺陷電連接的檢測
【技術領域】
[0001] 本發明的實施例涉及集成電路，具體地涉及到集成電路的電連接，即將芯片(裸 片）與外部管腳連接的銅夾或鍵合接線。
【背景技術】
[0002] 為了共享電流負載，若干電連接可以被布置為并聯連接。然而，如果到集成電路的 電連接中的一個變得有缺陷，斷裂或者脫落，那么到集成電路的電流穿過剩余電連接輸送， 這可能最終使電路遭到破壞，并且因此導致其中嵌入有集成電路的模塊或設備的故障。
【發明內容】
[0003] 本發明的第一實施例涉及一種集成電路，該集成電路包括至少兩個電連接、以及 與至少一個電連接相鄰地布置的至少一個線圈，其中至少一個線圈中的每個都包括至少一 個繞組，并且其中至少一個線圈被布置在集成電路上或在集成電路中。
[0004] 集成電路涉及半導體設備，該半導體設備可選地包括鍵合到襯底或電路板的無源 組件。集成電路也可以指連接到例如芯片外殼的管腳的芯片或硅片（即裸片）。
[0005] 線圈可以具體地包括一個繞組或多個繞組；線圈優選地為開放，從而可以確定在 線圈端部處的電壓；這一電壓可以基于電磁感應。流經電連接的電流改變它附近的磁場； 該改變可以由所述線圈檢測到，這提供基于電流的改變的電壓。如果連接中的一個突然故 障，引起電流的改變，這能夠被檢測到并且進一步經由所述至少一個線圈處理。
[0006] 注意，本文所指的"并聯連接"針對彼此并聯電連接的連接，即，從而電流被分為若 干(相等的）電流部分，每個這一部分通過(完好的）并聯連接中的一個來輸送。
[0007] 第二實施例涉及用于確定到集成電路的有缺陷的電連接的設備；其中設備被布置 用于經由在電連接附近至少一個線圈中感應的電壓，來確定在若干并聯電連接中的電流改 變；并且設備被布置用于基于在至少一個線圈中感應的電壓，來確定若干并聯電連接中的 哪個有缺陷。
[0008] 第三實施例涉及一種用于確定到集成電路的有缺陷的電連接的方法，其中經由在 位于電連接附近的至少一個線圈中感應的電壓，在若干并聯電連接中的電流改變得以確 定；并且其中基于在至少一個線圈中感應的電壓，若干并聯電連接中的哪個有缺陷得以確 定。
[0009] 第四實施例針對一種用于確定到集成電路的有缺陷的電連接的設備，該設備包括 比較器件，該比較器件用于將來自連接到集成電路的與至少一個電連接相鄰地布置的至少 一個線圈的信號與參考信號比較；并且包括處理邏輯，所述處理邏輯連接到比較器件的輸 出，其中所述處理邏輯提供取決于在至少一個線圈中感應的電壓的輸出信號。
[0010] 第五實施例涉及一種用于確定有缺陷的電連接的系統，該系統包括若干電連接， 該電連接并聯地連接到集成電路；該系統包括至少一個線圈，其被布置在集成電路上或在 集成電路中，與若干電連接中的至少一個相鄰；并且包括設備，所述設備用于在若干電連接 中確定有缺陷的電連接；其中設備被布置用于經由在至少一個線圈中由至少一個相鄰電連 接所感應的電壓，來確定在并聯電連接的至少一個中的電流改變；并且該設備被布置用于 基于在至少一個線圈中感應的電壓，來確定若干并聯電連接中的哪個有缺陷。
[0011] 第六實施例針對一種用于確定到集成電路的有缺陷的電連接的系統，該系統包括 用于經由在位于電連接附近的至少一個線圈中感應的電壓，來確定在若干并聯電連接中的 電流改變的器件；并且包括用于基于在至少一個線圈中感應的電壓，來確定若干并聯電連 接中的哪個有缺陷的器件。
[0012] 第七實施例涉及一種用于確定有缺陷的電連接的系統，該系統包括若干電連接， 其連接到若干集成電路；至少一個線圈，其被與電連接的至少一個相鄰地布置；設備，用于 在若干電連接中確定有缺陷的電連接。該設備被布置用于經由在至少一個線圈中由至少一 個相鄰電連接所感應的電壓，來確定在電連接的至少一個中的電流改變；并且設備被布置 用于基于在至少一個線圈中感應的電壓，來確定若干并聯電連接中的哪個有缺陷。
[0013] 電連接可以被應用到一個集成電路（即，芯片或裸片）或若干集成電路，其中若干 集成電路相互并聯電連接。這允許確定在若干集成電路之間的電流改變。還有一個選項 是，到這些集成電路中的每個集成電路的每個連接都包括至少一個(具體地為若干個）鍵合 接線。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014] 參照附圖示出并描述本發明的實施例。附圖用于說明基本原理，因此僅圖示用于 理解基本原理的必要方面。附圖未按比例繪制。在附圖中，相同的標號表示相似的特征。
[0015] 圖1示出位于芯片的接觸區域內的鍵合接線以及用于基于在與所述鍵合接線相 鄰地布置的線圈中感應的電壓來產生輸出信號的處理電路的示意圖布置；
[0016] 圖2示出用于測量并處理由線圈檢測到的信號的示例性電路圖；
[0017] 圖3示出包括以平面方式被布置在鍵合的兩側的線圈的示例性實施方式；
[0018] 圖4示出集成電路的示例性側視圖，該集成電路具有被布置在芯片一側上或者平 行于芯片一側的環路；
[0019] 圖5示出包括在圖1的比較元件的輸出處的信號連同通過如圖1所示的鍵合接線 的電流信號的時序圖。
【具體實施方式】
[0020] 如果電流改變的絕對值大于零（即abs(di/dt)>0)并且引起的磁場的至少一部分 與線圈相互作用，那么將感應出電壓。例如，在芯片上的鍵合連接在至少很短的距離上承載 平行于芯片表面的電流（電流可能因此在單個點上不進入或離開芯片)。在下文中，用語"承 載電流"隱含在連接中發生電流改變（di/dt)。
[0021] 功率半導體(例如，功率開關或斷路器）經由銅夾或鍵合接線而電連接。為了允許 高電流流經這一連接，在芯片上并聯地使用若干連接(具體地，鍵合接線)。電連接的質量對 于高載流容量很重要。連接可以受制于若干參數，例如，
[0022] -可以經由連接被輸送的電流，
[0023] 一熱導率，
[0024] -接觸電阻。
[0025] 連接有缺點以及所導致的電路失靈的一個主要原因是基于物理退化的，例如至少 一個鍵合接線脫離了到芯片的連接而來的破壞，例如由于經過大量開關周期之后的熱應 力、或者由于接線斷裂。
[0026] 因此本發明提出一種解決方案，其允許通過確定流經若干并聯布置的鍵合接線的 電流的改變，來檢測鍵合接線的退化或者失效。如果鍵合接線中的一個變得有缺陷(例如斷 裂或脫落)，那么電流在剩余鍵合接線中分布。這可能引起芯片失效，因為更高的電流將穿 過更少的剩余鍵合接線輸送，該鍵合接線可能在設計上不能承載如此高的電流。
[0027] 檢測到有缺陷的鍵合接線或連接總體上允許在實際失效發生之前及時地發起對 策。例如，可以通過關閉設備或它的一部分而進入安全狀態。作為備選，可以減小穿過有缺 陷的接線輸送的電流，以避免電路故障。此外，檢測到失效允許提供反饋，例如"在芯片B模 塊A中的有缺陷的接線"等，這充分地簡化了電路或設備的故障診斷、替換和/或修復。
[0028] 所提出的解決方案具體地利用了檢測在鍵合接線附近的磁場的改變。這一磁場改 變可以通過至少一個線圈或環路來檢測。
[0029] 注意到，用語環路和線圈可以被可互換地使用。線圈以及環路可以具有至少一個 繞阻。在環路或線圈的末端處，電壓能夠基于電磁感應得以確定。還有一個選項為提供若 干線圈以用于檢測磁場的改變，所述線圈中的每一個具有至少一個繞組。
[0030] 更進一步地，本文所指的鍵合接線為如何電連接芯片或硅片的一個示例；其它電 連接，例如導電材料(例如，銅）的夾可以相應地使用。
[0031] 例如，兩個線圈（每個具有至少一個繞阻）可以被放在與鍵合接線相鄰的芯片上。 由于磁感應原理，如果電流均勻地散布(在鍵合接線連接良好并且有序的情況下)，那么在 線圈中引起的電壓(基本上）等于零。如果鍵合接線中的一個脫落，那么感應電壓因此顯著 地改變，允許檢測到這一有缺陷的狀態。
[0032] 圖1示出位于芯片107的接觸區域104內的鍵合接線101、102和103的示意性布 置。線圈105位于區域104中在鍵合接線101和102之間，并且線圈106位于區域104中 在鍵合接線102和103之間。線圈105、106中的每一個可以包括至少一個繞阻。線圈105、 106可以具體地被實現為測量環路。
[0033] 線圈105連接到包括整流器和放大器的組件118,該組件將從線圈105導出的信號 在適當的信號調節之后供應到節點113 (正極)和節點114 (負極)。相應地，線圈106連接 到可以包括放大器、濾波器或整流器的組件108,該組件將從線圈106獲取的信號在適當的 信號調節之后供應到節點113和114。整流器可以被實施為橋式或Graetz整流器。
[0034] 節點113經由電阻器115連接到節點117。節點117連接到比較元件112 (例如， 比較器或運算放大器）的第一輸入。比較元件112的第二輸入連接到參考電壓VMflll。節 點117還經由電容器109連接到節點114。而且，節點117經由電阻器110連接到節點114， 其中所述電阻器110優選地具有比電阻器115大得多的電阻。節點114還作為參考電位饋 送到比較元件112。比較元件112經由輸出116供應比較結果，這允許檢測鍵合連接沒有正 確地工作。
[0035] 如果鍵合接線101至103的電連接是完好的，那么電流在這些鍵合接線101至103 上均勻地分布，即鍵合接線的每一個承載(基本上)相同量的電流I。在這種情形下，由線圈 105檢測到的電壓Vi (基本上）等于零。對于由線圈106檢測到的電壓V2也是如此。
[0036] 如果鍵合接線101至103中的一個變得無法操作或者不在承載相同量的電流I，那 么電流在鍵合接線101至103上的分布改變，這就在線圈105或106中的至少一個中感應 出電壓(取決于遭遇失效的實際鍵合接線)。基于這一感應電壓，鍵合接線中的電流分布的 改變可以被檢測到，并且感應電壓可以用作用于進一步處理的出錯信號。
[0037] 這一方法還可以用于確定有缺陷的鍵合接線的數目。基于這一數目，可以做出決 定如何繼續，具體地如何控制開關元件。例如，可能只要預確定數目的并聯鍵合接線是完好 的，就不需要動作。在一些應用中，察覺到有缺陷的連接就足夠了。根據信號調節和對線圈 信號的處理，有可能檢測到哪個連接有缺陷，或者將所有的局部出錯信號組合為公共出錯 信號。
[0038] 溫度測量單元119可以被提供為與組件118并聯，以檢測在線圈105中所感應的 電壓并且基于這一電壓確定溫度信息。線圈105可以通過監視線圈電阻(其取決于溫度)的 變化來用于測量溫度的目的。這一溫度測量優選地在流經鍵合接線的電流沒有改變時施 行。相應地，測量單元120可以被提供為與組件108并聯，以檢測在線圈106中所感應的電 壓并且基于這一電壓確定溫度信息。
[0039] 還有一種選項是，將測量單元119和120組合為單個單元，該單個單元連接到線圈 105和106中的每一個。另一種選項是，在溫度達到或超過預定義閾值的情況下，測量單元 發出警告信號或者應用控制信號。
[0040] 圖5示出包括信號504的時序圖，該信號代表如圖1所示的由線圈105和106所 感應的電壓Vi和V 2的組合，其可以用于在比較元件112的輸出處生成信號。如該時序圖所 示為在時間t中通過鍵合接線101的電流信號501、通過鍵合接線102的電流信號502、以 及通過鍵合接線103的電流信號503。鍵合接線101至103并聯地電耦合；因此如果所有 的鍵合接線101至103都是完好的，那么它們應當承載基本上相同量的電流。鍵合接線101 至103可以例如連接到集成電路的引腳，該引腳示例性地稱作"該連接"。在圖5的示例中， 假設電流以高值或低值輸送到該連接。低值示例性地為零，即，沒有電流輸送。然而，電流 可以輸送到該連接或者從該連接輸送，并且其可以具有高或零之外的值。
[0041] 在時間tl處，通過該連接的電流從高改變到零。這一改變花費由在時間tl和時 間t2之間的時間間隔來指示的一些時間。在時間tl之前，信號501至503具有相同的值， 因此信號504等于零。由于在線圈到不同的鍵合接線101至103的耦合的不對稱，在tl和 t2之間電流從高到零的改變并沒有引起一樣的電流信號501至503,這在該時間間隔期間 引起信號504的一些波動。然而，假設鍵合接線101至103仍是完好的并且在tl和t2之 間指示的信號504的波動507低于上閾值505并且高于下閾值506,即在由上閾值505和下 閾值506限定的帶內。
[0042] 在時間t3處，鍵合接線103脫落（S卩，變得有缺陷）并且不再可以承載任何到該鏈 接的電流或來自該連接的電流。由于在時間t3處鍵合接線101至103的任一個都不承載 任何電流，所以鍵合接線103的該缺陷沒有立即變得明顯。
[0043] 然而在時間t4處，電流切換到高，并且電流開始流向該連接，但是僅經由鍵合接 線101和102 (因為在時間t3處鍵合接線103變得有缺陷，信號503為零)。由于圖1所示 的電路，在線圈106中感應處高得多的電壓，因為鍵合接線103不再能夠貢獻任何感應電壓 (否則其已經減小或補償在線圈106中感應的電壓V2)。因此，在時間t4和時間t5之間的 時間間隔期間，信號504比閾值505更高。從時間t5開始，在該連接中的電流改變已經結 束并且達到電流的高值(僅經由鍵合接線101和102輸送)。
[0044] 在時間t6處，鍵合接線102變得有缺陷，這是由于經由鍵合接線101和102所承載 的到該連接的電流高值，引起在鍵合接線102中的電流突然該變并且因此導致在線圈105 中感應峰值電壓，該峰值電壓表現為在信號504中的峰值508。峰值508在由上閾值和下閾 值505和506限定的帶之外，并且因此能夠被識別為缺陷。
[0045] 在時間t7處，到該連接的電流開始從高回到零。在該示例中，僅鍵合接線101還 正確地連接并且輸送電流的任何改變。如下文所描述，電流花費從時間t7至時間t8以回 到零。在信號501中的電流的改變在線圈105中感應電壓，沒有補償流經鍵合接線102(或 鍵合接線103)的電流。因此，這一感應電壓引起信號504超過下閾值506。
[0046] 信號504超過（S卩，高于）上閾值505或者超過（S卩，低于）下閾值506指示在鍵合 接線101至103中的至少一個中出現缺陷。還可以確定出現多少缺陷以及/或者鍵合接線 中的哪個被損壞。
[0047] 圖2示出用于測量目的的示例性電路圖。線圈105U06的信號被饋送到比較器 202的第一輸入。參考信號V Mf201被饋送到比較器202的第二輸入。比較器202的輸出 提供出錯信號203,該信號經由RC元件(低通)被饋送到處理邏輯204并且進一步經由驅動 器205被饋送到開關元件206 (S卩，斷路器)。開關元件206從而能夠基于出錯信號203而 斷開。參考信號V,ef201經由局部接地參考電位（也被稱作地）被供電，RC元件的電容器與 一個管腳連接以接地，處理邏輯204和驅動器205鏈接到作為參考電位的地，并且開關元件 206的發射極連接到地。
[0048] 在測量到線圈105和106兩者處的電壓的情況下，可以確定鍵合接線101至103 中的哪個脫落了。如果鍵合接線101至103是完好的，以下關系適用：
[0049] wm
[0050] 在鍵合接線101脫落的情況下，關系變為：
[0051] Vi ^ 0
[0052] 并且在鍵合接線103脫落的情況下，關系變為：
[0053] V2 關 0
[0054] 在中間的鍵合接線102脫落的情況下，以上關系變為：
[0055] V\ 尹 0 且 V2 尹 0
[0056] 然而，注意到"等于零"也包括其中各自的電壓以較不嚴格的方式基本上等于零的 情況。然而，如果鍵合接線脫落，那么與完好情形比較，電壓改變。利用根據圖2的至少一 個測量電路，這一改變被可以清晰地檢測到。尤其是，根據具體的使用情況，"等于零"可以 包括"等于預定義的值"的情形。例如，由于其它(更多或更少的）在鍵合接線101至103周 圍的相鄰鍵合接線的作用，側邊效應可以在線圈105和106中感應電壓。而且，電路的環境 或周圍可以感應不為零的電壓。然而，此處描述的基于鍵合接線變得有缺陷這一事實的電 壓改變可以基于感應電壓(磁場的改變）的量來被檢測到，并且提供相當獨立于在其中使用 電路的環境的可靠的出錯信號。
[0057] 所討論的方法可以擴展到多于三個鍵合接線和/或鍵合接線的不同布置。
[0058] 作為一個選項，線圈可以用于溫度測量。在這一情況下，監視線圈的電阻的變化 (其取決于溫度)。優選地，在流經鍵合接線的電流中沒有改變時進行溫度測量。由于線圈 的接線隨其溫度改變其電阻，可以使用所述線圈來進行溫度測量。
[0059] 可以在電流不改變時（S卩，當di/dt=0時)進行溫度測量。因此，在線圈中沒有感應 電壓。
[0060] 如所指示的，測量在由線圈包圍的區域內的磁場的改變。因此，線圈充當沒有芯部 的電流互感器。可以基于下列示例性的值來估計測量的電壓：
[0061] di/dt=100A/ μ s ； μ r=l ；L=lmm ；H=2mm ；r=1mm,
[0062] 其中di/dt是電流隨時間的改變，μ,是相對磁導率，L是線圈的長度，H是線圈的 高度，以及r是離開鍵合接線的距離。上述引起測量區域S達到
[0063] S = 2 · l(T6m2
[0064] 因此線圈中的電壓達到
[0065]
【權利要求】
1. 一種集成電路 一包括至少兩個電連接， 一包括與所述電連接中的至少一個電連接相鄰地布置的至少一個線圈， 一其中所述至少一個線圈中的每個線圈都包括至少一個繞組， 一其中所述至少一個線圈被布置在所述集成電路上或在所述集成電路中。
2. 根據權利要求1所述的集成電路，其中所述至少一個電連接包括并聯連接以共享電 流負載的若干電連接。
3. 根據權利要求1所述的集成電路，其中所述至少一個電連接將所述集成電路的一部 分與管腳連接。
4. 根據權利要求1所述的集成電路，其中至少一個線圈被布置在至少兩個電連接之 間。
5. 根據權利要求4所述的集成電路，其中至少一個線圈與一個電連接相鄰地布置。
6. 根據權利要求1所述的集成電路，其中所述電連接包括鍵合接線。
7. 根據權利要求1所述的集成電路，其中所述電連接包括導電夾。
8. 根據權利要求1所述的集成電路，其中所述至少一個線圈包括供應在所述集成電路 上或者嵌入在所述集成電路中的金屬結構和/或金屬層。
9. 根據權利要求1所述的集成電路，其中所述至少一個線圈被布置為基本上平行于所 述集成電路的表面或者基本上垂直于所述集成電路的所述表面。
10. 根據權利要求1所述的集成電路，其中所述至少一個線圈包括供應在所述集成電 路的若干層上的金屬結構和/或金屬層。
11. 根據權利要求1所述的集成電路，其中所述至少一個線圈用于溫度測量。
12. -種用于確定到集成電路的有缺陷的電連接的設備，其中所述設備被布置 一用于經由在位于所述電連接附近的至少一個線圈中感應的電壓，來確定在若干并聯 電連接中的電流改變， 一用于基于在所述至少一個線圈中感應的所述電壓，來確定所述若干并聯電連接中的 哪個有缺陷。
13. 根據權利要求12所述的設備，其中所述設備被布置用于基于所確定的所述有缺陷 的電連接來發出信號，所述信號指示或包括下列各項中的至少一項： 一所述并聯電連接的哪個有缺陷； 一警告通知； 一必須限制或減少電流的指示，具體地用于減少或限制被輸送到所述剩余電連接的所 述電流的信號； 一出錯信號； 一用于斷開組件的控制信號，所述組件具體地為電子開關、晶體管、IGBT或FET。
14. 根據權利要求12所述的設備，其中所述設備被布置用于基于所述線圈的電阻的改 變來進行溫度測量。
15. 根據權利要求14所述的設備，其中所述設備被布置用于在當通過所述若干電連接 的所述電流的改變為零或基本上為零的階段期間進行所述溫度測量。
16. 根據權利要求12所述的設備，其中所述線圈被用作電流互感器，具體地為沒有芯 部的電流互感器。
17. 根據權利要求12所述的設備，其中所述設備被布置用于基于感應的所述電壓來確 定所述若干并聯電連接中哪個有缺陷，其中在所述有缺陷的電連接附近的所述線圈中感應 的所述電壓不為零或者提供大于預確定的值的變化。
18. 根據權利要求12所述的設備，其中所述若干并聯電連接中有缺陷的電連接的數目 得以確定。
19. 一種用于確定到集成電路的有缺陷的電連接的方法， 一其中經由在位于所述電連接附近的至少一個線圈中感應的電壓，在若干并聯電連接 中的電流改變得以確定， 一其中基于在所述至少一個線圈中感應的所述電壓，所述若干并聯電連接中的哪個有 缺陷得以確定。
20. 根據權利要求19所述的方法，其中基于確定的所述有缺陷的電連接來發出信號， 所述信號指示或包括下列各項中的至少一項： 一所述并聯電連接的哪個有缺陷； 一警告通知； 一必須限制或減少電流的指示，具體地用于減少或限制輸送到所述剩余電連接的所述 電流的信號； 一出錯信號； 一用于斷開組件的控制信號，所述組件具體地為電子開關、晶體管、IGBT或FET。
21. 根據權利要求19所述的方法，其中基于所述線圈的電阻的改變來進行溫度測量。
22. 根據權利要求21所述的方法，其中在當通過所述若干電連接的所述電流的改變為 零或基本上為零的階段期間進行所述溫度測量。
23. 根據權利要求19所述的方法，其中所述線圈被用作電流互感器，具體地為沒有芯 部的電流互感器。
24. 根據權利要求19所述的方法，其中基于感應的所述電壓來確定所述若干并聯電連 接中哪個有缺陷，其中在所述有缺陷的電連接附近的所述線圈中感應的所述電壓不為零或 者提供大于預確定的值的變化。
25. -種用于確定到集成電路的有缺陷的電連接的設備， 一包括比較器件，以用于將來自連接到集成電路的與至少一個電連接相鄰地布置的至 少一個線圈的信號與參考信號比較， 一包括處理邏輯，所述處理邏輯連接到所述比較器件的所述輸出，其中所述處理邏輯 提供取決于在所述至少一個線圈中感應的電壓的輸出信號。
26. 根據權利要求25所述的設備，其中所述輸出信號連接到功率開關或斷路器。
27. 根據權利要求25所述的設備，其中所述輸出信號經由驅動器連接到功率開關或斷 路器。
28. 根據權利要求25所述的設備，其中所述比較器件的所述輸出經由低通連接到所述 處理邏輯。
29. 根據權利要求25所述的設備，其中所述電連接將所述集成電路與管腳連接。
30. 根據權利要求25所述的設備，其中若干電連接并聯地電連接，并且其中所述至少 一個線圈與所述電連接的至少一個電連接相鄰地布置，具體地在至少兩個電連接之間。
31. 根據權利要求25所述的設備，其中所述至少一個線圈被布置在所述集成電路上或 在所述集成電路中。
32. 根據權利要求25所述的設備，其中所述至少一個線圈是微線圈。
33. 根據權利要求25所述的設備，其中所述比較器件是比較器。
34. -種用于確定有缺陷的電連接的系統 一包括若干電連接，所述若干電連接并聯地連接到集成電路， 一包括至少一個線圈，所述至少一個線圈被布置在所述集成電路上或在所述集成電路 中，與所述若干電連接中的至少一個電連接相鄰， 一包括用于確定在所述若干電連接中的有缺陷的電連接的設備，其中所述設備被布置 一用于經由在所述至少一個線圈中由至少一個相鄰的電連接所感應的電壓，來確定在 所述并聯電連接中的至少一個并聯電連接中的電流改變， 一用于基于在所述至少一個線圈中感應的所述電壓，來確定所述若干并聯電連接中的 哪個有缺陷。
35. 根據權利要求34所述的系統，其中所述設備被布置用于基于感應的所述電壓來確 定所述若干并聯電連接中的哪個有缺陷，其中在所述有缺陷的電連接附近的所述線圈中感 應的所述電壓不為零或者提供大于預確定的值的變化。
36. -種用于確定到集成電路的有缺陷的電連接的系統，包括： 一用于經由在位于所述電連接附近的至少一個線圈中感應的電壓，來確定在若干并聯 電連接中的電流改變的器件， 一用于基于在所述至少一個線圈中感應的所述電壓，來確定所述若干并聯電連接中的 哪個有缺陷的器件。
37. 根據權利要求36所述的系統，包括用于基于感應的所述電壓來確定所述若干并聯 電連接中的哪個有缺陷的器件，其中在所述線圈中感應的所述電壓不為零或者提供大于預 確定的值的變化。
38. -種用于確定有缺陷的電連接的系統 一包括若干電連接，所述若干電連接被連接到若干集成電路， 一包括至少一個線圈，所述至少一個線圈與所述電連接的至少一個電連接相鄰地布 置， 一包括用于在所述若干電連接中確定有缺陷的電連接的設備，其中所述設備被布置 一用于經由在所述至少一個線圈中由至少一個相鄰電連接所感應的電壓，來確定在所 述電連接中的至少一個電連接中的電流改變， 一用于基于在所述至少一個線圈中感應的所述電壓，來確定所述若干并聯電連接中的 哪個有缺陷。
39. 根據權利要求38所述的系統，其中所述設備被布置用于基于感應的所述電壓來確 定所述電連接中的哪個有缺陷，其中在所述有缺陷的電連接附近的所述線圈中感應的所述 電壓不為零或者提供大于預確定的值的變化。
【文檔編號】H01L23/64GK104101811SQ201410145461
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年4月11日 優先權日:2013年4月14日
【發明者】F·約斯特, J·巴倫舍恩, P·G·布勒克霍夫 申請人:英飛凌科技奧地利有限公司