分選機以及部件檢查裝置制造方法

分選機以及部件檢查裝置制造方法
【專利摘要】本發明提供分選機以及部件檢查裝置，其中，分選機具備：基臺，其具有開口部；第1手部，其輸送輸送對象物；第1輸送部，其將第1手部向開口部的上方輸送并下降；第2手部，其輸送輸送對象物；第2輸送部，其將第2手部向開口部的上方輸送并下降；以及控制部，其控制第1輸送部的動作和第2輸送部的動作，具有第1手部和第2手部朝向開口部的上方相互靠近，并排配置于開口部的狀態。
【專利說明】分選機以及部件檢查裝置
[0001]本申請是申請日為2012年08月28日、申請號為201210310719.6、發明名稱為“分
選機以及部件檢查裝置”的發明申請的分案申請。
【技術領域】
[0002]本發明涉及對輸送對象物進行輸送的分選機(Handler)以及具備該分選機的部件檢查裝置，特別涉及將輸送對象物輸送至設置于基臺的開口部的分選機以及具備該分選機的部件檢查裝置。
【背景技術】
[0003]以往公知有檢查半導體芯片等電子部件的電氣特性的部件檢查裝置。這種部件檢查裝置例如構成為包含:具備安裝電子部件的檢查插座的測試器(tester)、搭載該測試器并且將檢查前的電子部件輸送至測試器的分選機。
[0004]這樣的分選機具有輸送部，該輸送部具備利用真空吸附保持收納于供給托盤的多個電子部件的手部。輸送部使保持了電子部件的手部移動至檢查插座上后，使該手部朝向檢查插座下降，將電子部件壓入檢查插座。由此，檢查插座的端子和電子部件的端子電連接，檢查電子部件的電氣特性。若電子部件的檢查結束，則輸送部使手部移動，使該手部保持的檢查后的電子部件從檢查插座脫離后，使該手部移動至回收托盤，使該手部保持的電子部件排出至回收托盤。而且，輸送部使手部吸附收納于供給托盤的新的電子部件，使手部再次朝向檢查插座移動。
[0005]然而，為了高效進行這種電子部件的檢查，優選使檢查后的電子部件從檢查插座脫離后至將下一電子部件配置于檢查插座的時間較短。因此，為了縮短這樣的時間，在專利文獻I公開了以下的分選機。
[0006]S卩，專利文獻I所記載的分選機具有相互獨立控制的一對輸送部，針對利用該一對輸送部輸送的電子部件的檢查在共用的檢查插座中交替進行。在進行保持于一方的輸送部的手部的電子部件的檢查期間，另一方的輸送部使從手部排出檢查后的電子部件，且使該手部重新保持檢查前的電子部件，使在檢查插座的附近待機。根據這樣的構成，保持于一方的輸送部的手部的電子部件從檢查插座脫離后，立即將保持于另一方的輸送部的手部的電子部件配置于檢查插座。因此，能夠高效地進行電子部件的檢查。
[0007]專利文獻1:日本特開2002-148307號公報
[0008]近些年，為了提高電子部件的檢查效率，在一次的檢查中，嵌入至檢查插座的電子部件的個數逐漸增多。然而，若通過手部壓入的電子部件的個數增多，則會帶來手部本身的大型化、重量化，使得電子部件的輸送速度降低、電子部件的輸送距離增大。因此，在上述的分選機中，雖通過使手部大型化，能夠使嵌入至檢查插座的電子部件增加，但在抑制手部的大型化所引起的輸送速度降低、輸送距離增大的輸送效率降低的方面，依然留有改善的余地。
【發明內容】

[0009]本發明是鑒于上述實際情況而完成的，其目的在于提供維持手部能夠保持的輸送對象物的個數，且增加配置于設置在基臺的開口部的輸送對象物的個數，且能夠高效地進行多個輸送對象物的輸送的分選機以及部件檢查裝置。
[0010]本發明的方式之一的分選機具備:基臺，其具有開口部；第I輸送部，其具有保持輸送對象物的第I手部，使該第I手部移動至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動；第2輸送部，其具有保持輸送對象物的第2手部，使該第2手部移動至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動；以及控制部，其控制上述第I輸送部的動作和上述第2輸送部的動作，具有上述第I手部以及上述第2手部從相互分離的位置以相互不同的方向移動至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動，從而該第I手部和該第2手部鄰接配置于上述開口部的狀態。
[0011]另外，本發明的方式之一的部件檢查裝置具備:檢查電子部件的測試器；搭載上述測試器，且將上述電子部件壓入至該測試器的檢查插座的分選機，上述分選機具備:基臺，其具有使上述檢查插座露出的開口部；第I輸送部，其具有保持輸送對象物的第I手部，使該第I手部移動至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動；第2輸送部，其具有保持輸送對象物的第2手部，使該第2手部移動至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動；控制部，其控制上述第I輸送部的動作和上述第2輸送部的動作，具有上述第I手部以及上述第2手部從相互分離的位置以相互不同的方向移動至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動，從而該第I手部和該第2手部鄰接配置于上述開口部的狀態。
[0012]根據本發明的方式之一，具有第I手部和第2手部以朝向與開口部對置的位置相互靠近的方式移動后，朝向開口部移動，從而并排配置于開口部的狀態。因此，與僅通過第I手部將輸送對象物輸送至開口部的方式和僅通過第2手部將輸送對象物輸送至開口部的方式相比，能夠維持該手部能夠保持的輸送對象物的個數，且增加輸送至開口部的輸送對象物的個數。即，不使手部大型化，就能夠增加輸送至開口部的輸送對象物的個數。因此，手部的大型化引起的輸送速度的降低、輸送距離的增大被抑制，所以使向作為輸送目的地的開口部輸送的輸送對象物的個數增加，且能夠高效地進行多個輸送對象物的輸送。
[0013]在本發明的方式之一，上述第I輸送部使上述第I手部在上述開口部配置上述第I手部的第I位置和進行利用上述第I手部的輸送對象物的保持以及排出的第I交接位置之間移動，上述第2輸送部使上述第2手部在上述開口部配置上述第2手部的第2位置和進行利用上述第2手部的輸送對象物的保持以及排出的第2交接位置之間移動，具有配置于上述第I位置的上述第I手部以及配置于上述第2位置的上述第2手部以從上述開口部脫離的方式移動后，朝向各自的交接位置向相互不同的方向移動的狀態。
[0014]根據本發明的方式之一，由于第I手部和第2手部以從與開口部對置的位置相互遠離的方式移動，所以第I手部一邊保持后續的輸送對象物一邊移動的時刻和第2手部一邊保持后續的輸送對象物一邊移動的時刻容易重合。其結果，通過第I輸送部移動至開口部的第I手部和通過第2輸送部移動至開口部的第2手部容易再次在開口部相互鄰接。因此，上述的效果更加顯著。
[0015]本發明的方式之一具備:第I梭動構件，其分別設置有將要由上述第I手部保持的上述輸送對象物供給至該第I手部的第I供給托盤和從該第I手部回收上述第I手部排出的上述輸送對象物的第I回收托盤；第2梭動構件，其分別設置有將要由上述第2手部保持的上述輸送對象物供給至該第2手部的第2供給托盤和從該第2手部回收上述第2手部保持的上述輸送對象物的第2回收托盤，上述控制部控制上述第I梭動構件的動作和上述第2梭動構件的動作，將配置于上述第I交接位置的托盤交替更換成上述第I供給托盤和上述第I回收托盤，且將配置于上述第2交接位置的托盤交替更換成上述第2供給托盤和上述第2回收托盤。
[0016]這里，在供給托盤和回收托盤是共用的托盤的情況下，從手部排出該手部保持的輸送對象物后至保持下一輸送對象物的期間，依次執行從托盤回收從該手部排出的輸送對象物，將下一輸送對象物供給至該托盤。即，手部必須待機至下一輸送對象物被供給至托盤，由此存在輸送對象物的輸送效率顯著下降的問題。
[0017]在該點上，若是上述的方式，將配置于各交接位置的托盤交替更換成供給托盤和回收托盤。因此，在交接位置從供給托盤接受了輸送對象物的供給的手部再次返回至交接位置的期間，能夠將配置于交接位置的托盤從供給托盤更換成回收托盤。而且，在回收托盤被配置于交接位置的期間，能夠將下一輸送對象物供給至供給托盤。
[0018]另外，若從手部向配置于交接位置的回收托盤排出輸送對象物，則為了將新的輸送對象物供給至手部，將配置于交接位置的托盤更換成供給托盤。在供給托盤被配置于交接位置的期間，能夠回收排出至回收托盤的輸送對象物。
[0019]換句話說，在上述的方式之一，能夠在各手部移動的期間進行向供給托盤的輸送對象物的供給和從回收托盤的輸送對象物的回收。其結果，與供給托盤和回收托盤為共用的托盤的情況相比，在輸送對象物的保持以及排出時，能夠縮短手部的待機時間。因此，能夠順暢地進行利用手部的輸送對象物的供給以及回收。
[0020]本發明的方式之一具有在上述第I交接位置配置有上述第I供給托盤，且在上述第2交接位置配置有上述第2供給托盤的狀態。
[0021]根據本發明的方式之一，由于在第I交接位置配置第I供給托盤，且在第2交接位置配置第2供給托盤，所以在向第I手部供給輸送對象物時，能夠向第2手部供給輸送對象物。因此，能夠縮短在第I手部和第2手部朝向與開口部對置的位置相互靠近前，另一方的手部等待向一方的手部供給輸送對象物結束的期間。
[0022]本發明的方式具有在上述第I交接位置配置上述第I回收托盤，且在上述第2交接位置配置上述第2回收托盤的狀態。
[0023]根據本發明的方式之一，由于在第I交接位置配置第I回收托盤，且在第2交接位置配置第2回收托盤，因此在回收第I手部保持的輸送對象物時，能夠回收第2手部保持的輸送對象物。因此，能夠縮短在第I手部和第2手部從與開口部對置的位置相互遠離后，另一方的手部等待針對一方的手部的回收輸送對象物結束的期間。
[0024]在本發明的方式之一，上述控制部以在相同的時刻進行對上述第I交接位置的上述第I供給托盤的配置和對上述第2交接位置的上述第2供給托盤的配置的方式控制上述第I梭動構件的動作和上述第2梭動構件的動作，并且，上述控制部以在相同的時刻進行對上述第I交接位置的上述第I回收托盤的配置和對上述第2交接位置的上述第2回收托盤的配置的方式控制上述第I梭動構件的動作和上述第2梭動構件的動作。[0025]根據本發明的方式之一，由于第I梭動構件和第2梭動構件進行相同的動作，所以能夠有效縮短另一方的手部等待針對一方的手部的供給輸送對象物結束的期間。另外，也能夠更加有效地縮短另一方的手部等待針對一方的手部的回收輸送對象物結束的期間。
[0026]在本發明的方式之一中，上述控制部以在相同的時刻進行利用上述第I手部的上述輸送對象物的保持和利用上述第2手部的上述輸送對象物的保持的方式控制上述第I輸送部的動作和上述第2輸送部的動作，并且，上述控制部以在相同的時刻進行利用上述第I手部的上述輸送對象物的排出和利用上述第2手部的上述輸送對象物的排出的方式控制上述第I輸送部的動作和上述第2輸送部的動作。
[0027]根據本發明的方式之一，由于第I輸送部和第2輸送部進行相同的動作,所以能夠更加有效地縮短另一方的手部等待針對一方的手部供給輸送對象物結束的期間。另外，也能夠更加有效地縮短另一方的手部等待針對一方的手部的回收輸送對象物結束的期間。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是表示搭載有本發明的一實施方式的分選機的部件檢查裝置的全體構成的構成圖。
[0029]圖2是示意地表示該實施方式的分選機的端面構造的端面圖。
[0030]圖3是表示該實施方式的分選機的電氣構成的框圖。
[0031]圖4是表不該實施方式的分選機的第I工作方式的時序圖。
[0032]圖5(a)?(d)是表示第I工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。
[0033]圖6(a)?(d)是表示第I工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。
[0034]圖7是表不該實施方式的分選機中的第2工作方式的時序圖。
[0035]圖8(a)?(d)是表示第2工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。
[0036]圖9(a)、(b)是表示第2工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。
[0037]圖10是表示該實施方式的分選機中的第3工作方式的時序圖。
[0038]圖11(a)?(d)是表示第3工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。
[0039]圖12(a)?(C)是表示第3工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。
[0040]圖13是表不該實施方式的分選機中的第4工作方式的時序圖。
[0041]圖14(a)?(d)是表示第4工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。
【具體實施方式】
[0042]以下，參照圖1?圖14對將本發明的分選機具體化的一實施方式進行說明。首先，參照圖1以及圖2對使用了分選機的部件檢查裝置的構成進行說明。
[0043]部件檢查裝置的構成
[0044]如圖1所示，在分選機10的基臺11上設置有搭載各種機械手的搭載面Ila作為上表面，該搭載面Ila的大部分被罩部件12覆蓋。被上述罩部件12和搭載面Ila圍起的空間亦即輸送空間的濕度和溫度通過從部件檢查裝置的外部供給的干燥空氣維持在規定的值。
[0045]在基臺11的搭載面Ila上，沿一個方向延伸的4個傳送帶沿與該傳送帶的輸送方向正交的方向排列。4個傳送帶中，在傳送帶的排列方向亦即X方向的一側敷設有一個供給用傳送帶Cl，在X方向的另一側敷設有3個回收用傳送帶C2、C3、C4。而且，利用供給用傳送帶Cl，將供給用傳送帶托盤Cla從罩部件12的外側輸送至內側。而且，利用回收用傳送帶C2、C3、C4，將回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a從罩部件12的內側輸送至外側。此外，在供給用傳送帶托盤Cla收納有作為輸送對象物的多個電子部件T，而且，在回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a收納有檢查后的多個電子部件T。此外，在本實施方式的供給用傳送帶托盤Cla以及回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a中，沿X方向以及Y方向以矩陣狀收納多個電子部件T。
[0046]在上述基臺11的搭載面Ila上搭載有在X方向相互相對的供給機械手20和回收機械手40。供給機械手20配置于供給用傳送帶Cl的Y方向，另外，回收機械手40配置于回收用傳送帶C2、C3、C4的Y方向。
[0047]供給機械手20具有沿Y方向延伸的固定軸亦即供給側固定引導件21、與供給側固定引導件21連結的可動軸亦即供給側可動引導件22、與供給側可動引導件22連結且沿供給側可動引導件22移動的供給用手部單元23。
[0048]供給側可動引導件22是從供給側固定引導件21向回收機械手40側延伸的可動軸，以沿Y方向能夠往復運動的方式與供給側固定引導件21連結。供給用手部單元23是配置于供給側可動引導件22的搭載面Ila側的手端操作裝置，以沿X方向能夠往復運動的方式與供給側可動引導件22連結。而且，供給用手部單元23以能夠從供給側可動引導件22朝向搭載面IIa下降，和從搭載面IIa側朝向供給側可動引導件22上升的方式與供給側可動引導件22連結。
[0049]而且，供給側可動引導件22沿供給側固定引導件21向供給用傳送帶Cl側移動，且供給用手部單元23沿供給側可動引導件22移動至供給用傳送帶托盤Cla的上方。由此，載置于供給用傳送帶托盤Cla的電子部件T被供給用手部單元23的吸盤吸附，然后從供給用傳送帶托盤被抬起。另外，從該狀態，供給側可動引導件22沿供給側固定引導件21從供給用傳送帶Cl上離開，從而被供給用手部單元23吸附的電子部件T被供給至上述的輸送空間內的規定的位置。此外，本實施方式的供給用手部單元23同時吸附保持多個電子部件。
[0050]回收機械手40與供給機械手20相同，具有沿Y方向延伸的固定軸亦即回收側固定引導件41、與回收側固定引導件41連結的可動軸亦即回收側可動引導件42、與回收側可動引導件42連結且沿回收側可動引導件42在X方向移動的回收用手部單元43。
[0051]回收側可動引導件42是從回收側固定引導件41向供給機械手20側延伸的可動軸，以能夠沿Y方向往復運動的方式與回收側固定引導件41連結。回收用手部單元43是配置于回收側可動引導件42的搭載面Ila側的手端操作裝置，以能夠沿X方向往復運動的方式與回收側可動引導件42連結。另外，回收用手部單元43以能夠從回收側可動引導件42朝向搭載面Ila下降和從搭載面Ila側朝向回收側可動引導件42上升的方式與回收側可動引導件42連結。
[0052]而且，回收側可動引導件42沿回收側固定引導件41向回收用傳送帶C2、C3、C4側移動，且回收用手部單元43沿著回收側可動引導件42移動至回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a的上方。由此，被回收用手部單元43的吸盤吸附的電子部件T被載置在回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a上。此外，本實施方式的回收用手部單元43與供給用手部單元23相同，同時吸附保持多個電子部件。
[0053]另外，在罩部件12的內側面且在該內側面的X方向的大致中央固定有沿Y方向延伸的輸送引導件31。在該輸送引導件31的兩端部的下方配設有沿X方向延伸的第I梭動構件(shuttle) 32和同樣沿X方向延伸的第2梭動構件35。
[0054]第I梭動構件32與固定設置于搭載面Ila的沿X方向延伸的第I梭動構件引導件32c連結且沿X方向往復運動。在第I梭動構件32的上述供給機械手20側固定有作為第I供給托盤的供給用梭動構件托盤32a，另外，在第I梭動構件32的上述回收機械手40側固定有作為第I回收托盤的回收用梭動構件托盤32b。在供給用梭動構件托盤32a收納有作為處理對象的檢查前的多個電子部件T，另外，在回收用梭動構件托盤32b收納有檢查后的多個電子部件T。
[0055]而且，第I梭動構件32的供給用梭動構件托盤32a配置于供給側可動引導件22的下方，且回收用梭動構件托盤32b配置于位于輸送引導件31的下方的位置的供給位置。而且，第I梭動構件32的供給用梭動構件托盤32a配置于輸送引導件31的下方，且回收用梭動構件托盤32b配置于位于回收側可動引導件42的下方的位置的回收位置。而且，第I梭動構件32在供給位置和回收位置之間沿X方向往復運動。即，第I梭動構件32在利用供給用手部單元23能夠向供給用梭動構件托盤32a供給電子部件T的供給位置和利用回收用手部單元43能夠從回收用梭動構件托盤32b回收電子部件的回收位置之間往復運動。
[0056]除此之外，第2梭動構件35也與固定設置于搭載面Ila的沿X方向延伸的第2梭動構件引導件35c連結，沿X方向往復運動。在第2梭動構件35的上述供給機械手20側固定有作為第2供給托盤的供給用梭動構件托盤35a，另外，在第2梭動構件35的上述回收機械手40側固定有作為第2回收托盤的回收用梭動構件托盤35b。在供給用梭動構件托盤35a收納作為輸送對象的檢查前的多個電子部件T，另外，在回收用梭動構件托盤35b收納檢查后的多個電子部件T。
[0057]而且，第2梭動構件35的供給用梭動構件托盤35a配置于供給側可動引導件22的下方，且回收用梭動構件托盤35b配置于位于輸送引導件31的下方的位置的供給位置。另外，第2梭動構件35的供給用梭動構件托盤35a配置于輸送引導件31的下方，且回收用梭動構件托盤35b配置于位于回收側可動引導件42的下方的位置的回收位置。而且，第2梭動構件35在供給位置和回收位置之間沿X方向往復運動。即，第2梭動構件35在利用供給用手部單元23能夠向供給用梭動構件托盤35a供給電子部件T的供給位置和利用回收用手部單元43能夠從回收用梭動構件托盤35b回收電子部件T的回收位置之間往復運動。
[0058]另外，在本實施方式的供給用梭動構件托盤32a、35a以及回收用梭動構件托盤32b、35b，在X方向以及Y方向以矩陣狀收納多個電子部件T。即，供給用梭動構件托盤32a、35a通過利用供給用手部單元23接受兩次電子部件T的供給，而載滿電子部件T。另外，回收用梭動構件托盤32b、35b通過利用回收用手部單元43接受兩次電子部件T的回收，而回收全部的電子部件T。
[0059]另外，搭載面Ila中，在輸送空間的大致中央形成有貫通搭載面Ila的矩形狀的開口部45。在該開口部45安裝有與分選機10獨立的裝置亦即測試器的測試頭33。測試頭33是嵌入電子部件T的插座，與用于檢查該電子部件T的檢查電路電連接。[0060]在測試頭33的上表面凹設有能夠同時收納多個電子部件T的檢查用凹部33a，另夕卜，在檢查用凹部33a的底面凹設有能夠與電子部件T的陽端子嵌合的多個陰端子。而且，通過將電子部件T所具有的陽端子嵌入至檢查用凹部33a的陰端子，能夠利用測試器檢查電子部件T的電氣特性。測試器從分選機接受表示檢查開始的電信號，開始電子部件T的檢查，將其檢查結果輸出至分選機10。
[0061]另外，在上述輸送引導件31上沿Y方向排列連結有第I輸送單元34和第2輸送單元36。
[0062]如圖2所示，構成第I輸送單元34的水平移動臂51以能夠沿輸送引導件31往復運動的方式連結。水平移動臂51通過內置的輸送馬達MA正轉或反轉，沿輸送引導件31進行往復運動。在水平移動臂51的下端部連結有相對水平移動臂51能夠上升以及下降的垂直移動臂52。垂直移動臂52通過內置于水平移動臂51的按壓馬達MB正轉或反轉，相對水平移動臂51上升或下降。
[0063]另外，在垂直移動臂52的下端部例如連結有具有多個吸附部54的第I手部53，其中，上述吸附部54是能夠利用真空吸附來吸附電子部件T的手端操作裝置。吸附部54例如由吸嘴、與該吸嘴連接的吸引泵、將壓縮空氣供給至該吸嘴的放氣閥等構成。此外，包含這些輸送引導件31、水平移動臂51、輸送馬達MA、垂直移動臂52、按壓馬達MB以及第I手部53而構成第I輸送部。
[0064]S卩，第I輸送單元34具有第I手部53與第I梭動構件32相互相對的狀態和第I手部53與開口部45相互相對的狀態。另外，第I輸送單兀34使第I手部53在輸送引導件31和搭載面Ila之間沿Z方向上升以及下降。
[0065]而且，第I輸送單元34利用第I手部53保持收納于第I梭動構件32的供給用梭動構件托盤32a的檢查前的電子部件T，將電子部件T從作為輸送源的第I梭動構件32的上方輸送至測試頭33的上方。另外，第I輸送單元34以第I手部53保持處于測試頭33的檢查后的電子部件T，使第I手部53返回作為輸送源的第I往返機32的上方。而且，第I輸送單元34將第I手部53保持的電子部件T輸送至第I梭動構件32的回收用梭動構件托盤32b。
[0066]此外，本實施方式中，在第I手部53移動的范圍內，在第I手部53配置于第I檢查位置的狀態下，將電子部件T嵌入至測試頭33。另外，在第I手部53移動的范圍內，在第I手部53配置于第I交接位置的狀態下，利用第I梭動構件32中的任意的托盤進行電子部件T的交接。
[0067]如圖2所示，構成第2輸送單元36的水平移動臂56以沿輸送引導件31能夠往復運動的方式連結。水平移動臂56通過內置的輸送馬達MA正轉或反轉，沿輸送引導件31往復運動。在水平移動臂56的下端部連結有相對水平移動臂56能夠上升以及下降的垂直移動臂57。垂直移動臂57通過內置于水平移動臂51的按壓馬達MB正轉或反轉，相對水平移動臂51上升或下降。
[0068]另外，在垂直移動臂57的下端部例如連結有具有多個吸附部59的第2手部58，其中，上述吸附部59是利用能夠真空吸附來吸附電子部件T的手端操作裝置。吸附部59例如由吸附用的吸嘴、與該吸嘴連接的吸引泵、向該吸嘴供給壓縮空氣的放氣閥等構成。此夕卜，包含這些輸送引導件31、水平移動臂56、輸送馬達MA、垂直移動臂57、按壓馬達MB以及第2手部58而構成第2輸送部。
[0069]g卩，第2輸送單元36具有第2手部58與第2梭動構件35相互相對的狀態和第2手部58與開口部45相互相對的狀態。另外，第2輸送單兀36使第2手部58在輸送引導件31和搭載面Ila之間沿Z方向上升以及下降。
[0070]而且，第2輸送單元36利用第2手部58保持收納于第2梭動構件35的供給用梭動構件托盤35a的檢查前的電子部件T，將電子部件T從作為輸送源的第2梭動構件35的上方輸送至測試頭33的上方。另外，第2輸送單元36利用第2手部58保持處于測試頭33的檢查后的電子部件T，使第2手部58返回至作為輸送源的第2梭動構件35的上方。而且，第2輸送單元36將第2手部58所保持的電子部件T輸送至第2梭動構件35的回收用梭動構件托盤35b。
[0071 ] 此外，本實施方式中，在第2手部58移動的范圍內，在第2手部58配置于第2檢查位置的狀態下，將電子部件T嵌入至測試頭33。另外，在第2手部58移動的范圍內，在第2手部58配置于第2交接位置的狀態下，利用第2梭動構件35中的任意的托盤進行電子部件T的交接。
[0072]另外，分選機10的開口部45形成為第I手部53和第2手部58在Y方向能夠排列插入的大小。即，開口部45形成為，沿Y方向排列配置第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T，能夠將這些電子部件T安裝到測試頭33的大小。
[0073]分選機10的電氣構成
[0074]參照圖3，以分選機10的電氣構成為中心對上述部件檢查裝置的電氣構成進行說明。上述分選機10所具備的構成控制部的控制裝置60以具有中央處理裝置(CPU)、非易失性存儲器(ROM)以及易失性存儲器(RAM)的微型計算機為中心而構成。控制裝置60基于存儲于上述ROM以及RAM的各種數據以及程序，進行分選機10的動作所涉及的各種控制。
[0075]在控制裝置60電連接有使傳送帶馬達MC旋轉驅動的傳送帶驅動部61。在傳送帶驅動部61連接有檢測傳送帶馬達MC的旋轉位置的編碼器EMC。傳送帶驅動部61基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMC輸入的傳送帶馬達MC的旋轉位置，生成傳送帶馬達MC的驅動電流，且將該驅動電流輸出至傳送帶馬達MC。傳送帶馬達MC通過進行與上述驅動電流對應的旋轉，來驅動上述傳送帶Cl?C4。此外,按每個傳送帶Cl?C4設置有上述傳送帶驅動部61以及傳送帶馬達MC，而且，針對各傳送帶馬達MC設置編碼器EMC。即，控制裝置60在使各傳送帶Cl?C4的動作相互獨立的方式下進行控制。
[0076]另外，在控制裝置60電連接有使X軸馬達MX旋轉驅動的X軸引導件驅動部62。在X軸引導件驅動部62連接有檢測X軸馬達MX的旋轉位置的編碼器EMX。X軸引導件驅動部62基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMX輸入的旋轉位置，生成X軸馬達MX的驅動電流，且將該驅動電流輸出至X軸馬達MX。X軸馬達MX通過進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，來使上述手部單元23、43沿可動引導件22、42往復運動。此外，分別針對供給用手部單元23以及回收用手部單元43設置有上述X軸引導件驅動部62以及X軸馬達MX，而且，針對各X軸馬達MX設置編碼器EMX。
[0077]在控制裝置60連接有使Y軸馬達MY旋轉驅動的Y軸引導件驅動部63。在Y軸引導件驅動部63連接有檢測Y軸馬達MY的旋轉位置的編碼器EMY。Y軸引導件驅動部63基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMY輸入的旋轉位置，生成Y軸馬達MY的驅動電流，且將該驅動電流輸出至Y軸馬達MY。Y軸馬達MY通過進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，使上述可動引導件22、42沿固定引導件21、41往復運動。此外，分別針對供給側可動引導件22以及回收側可動引導件42設置有上述Y軸引導件驅動部63以及Y軸馬達MY，另外，針對各Y軸馬達MY設置編碼器EMY。
[0078]在控制裝置60連接有具有手部馬達驅動部64a和閥驅動部64b的手部單元驅動部64。其中，在手部馬達驅動部64a連接有檢測手部馬達MZ的旋轉位置的編碼器EMZ。手部馬達驅動部64a基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMZ輸入的旋轉位置，生成手部馬達MZ的驅動電流，且將該驅動電流輸出至手部馬達MZ。手部馬達MZ通過進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，使上述手部單元23、43上升以及下降。
[0079]在閥驅動部64b連接有設置于手部單元23、43的前端的吸引閥SVl和放氣閥DVl。閥驅動部64b基于從控制裝置60輸入的吸引閥SVl的開閉指令，生成吸引閥SVl的驅動信號，且將該驅動信號輸出至吸引閥SV1。吸引閥SVl通過進行與輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，以規定的吸引力吸引上述電子部件T。另外，閥驅動部64b基于從控制裝置60輸入的放氣閥DVl的開閉指令，生成放氣閥DVl的驅動信號，且將該驅動信號輸出至放氣閥DV1。放氣閥DVl通過進行與輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，從吸盤送出壓縮空氣。此外，分別針對供給用手部單元23以及回收用手部單元43設置有上述手部單元驅動部64、手部馬達MZ、吸引閥SVl以及放氣閥DV1，而且，分別針對手部馬達MZ設置有編碼器EMZ。即，控制裝置60以使供給用手部單元23的動作和回收用手部單元43的動作相互獨立的方式進行控制。
[0080]另外，在控制裝置60連接有使梭動構件馬達MS旋轉驅動的梭動構件驅動部65。在梭動構件驅動部65連接有檢測梭動構件馬達MS的旋轉位置的編碼器EMS。梭動構件驅動部65基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMS輸入的旋轉位置，生成梭動構件馬達MS的驅動電流，且將該驅動電流輸出至梭動構件馬達MS。梭動構件馬達MS通過進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，使梭動構件32、35沿上述引導件32c、35c滑動。此夕卜，分別針對第I梭動構件32以及第2梭動構件35設置有上述梭動構件驅動部65以及梭動構件馬達MS，而且，針對各梭動構件馬達MS設置有編碼器EMS。S卩，控制裝置60以使第I梭動構件32的動作和第2梭動構件35的動作相互獨立的方式進行控制。
[0081]另外，在控制裝置60連接有具有輸送馬達驅動部66a、按壓馬達驅動部66b以及吸引閥驅動部66c的輸送單元驅動部66。
[0082]在輸送馬達驅動部66a連接有檢測輸送馬達MA的旋轉位置的編碼器EMA。輸送馬達驅動部66a基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMA輸入的旋轉位置，生成輸送馬達MA的驅動電流，且將該驅動電流輸出至輸送馬達MA。輸送馬達MA通過進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，使上述水平移動臂沿上述輸送引導件31往復運動。此外，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36設置有上述輸送馬達驅動部66a，而且，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36也設置有編碼器EMA。
[0083]在按壓馬達驅動部66b連接有檢測按壓馬達MB的旋轉位置的編碼器EMB。按壓馬達驅動部66b基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMB輸入的旋轉位置，生成按壓馬達MB的驅動電流，且將該驅動電流輸出至按壓馬達MB。按壓馬達MB通過進行與輸入的上述驅動電流對應的旋轉，使垂直移動臂上升以及下降。此外，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36設置有上述按壓馬達驅動部66b，而且，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36也設置有編碼器EMB。
[0084]在閥驅動部66c連接有分別設置于第I手部53以及第2手部58的吸引閥SV2和放氣閥DV2。閥驅動部66c基于從控制裝置60輸入的吸引閥SV2的開閉指令，生成吸引閥SV2的驅動信號，且將該驅動信號輸出至吸引閥SV2。而且，吸引閥SV2通過進行與輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，以規定的吸引力吸引上述電子部件T。另外，閥驅動部66c基于從控制裝置60輸入的放氣閥DV2的開閉指令，生成放氣閥DV2的驅動信號，且將該驅動信號輸出至放氣閥DV2。而且，放氣閥DV2通過進行與輸入的上述驅動信號對應的開閉動作，從手部的吸附部送出壓縮空氣。此外，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36設置有吸引閥SV2以及放氣閥DV2，而且，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36也設置有閥驅動部66c。S卩，控制裝置60以使第I輸送單元34的動作和第2輸送單元36的動作相互獨立的方式進行控制。
[0085]另外，在控制裝置60電連接有收納于分選機10的測試器69。控制裝置60在第I手部53配置于第I檢查位置,且第2手部58配置于第2檢查位置時，向測試器69輸出表示開始檢查的信號。測試器69通過接受檢查開始信號，開始電子部件T的檢查，若檢查結束，則將表示檢查結束的信號與其檢查結果一起輸出至控制裝置60。
[0086]分選機10的工作方式
[0087]接下來，參照圖4?圖14對上述的構成的分選機10的工作方式進行說明。其中，以下對相互不同的4個工作方式進行說明，在各工作方式中，說明用測試器69實施電子部件T的檢查的期間亦即指數循環時間(index cycle time)最少的情況。圖4、7、10、13分別是表不相互不同的4個工作方式的時序圖,橫軸的I個刻度表不0.2秒。首先,對分選機10進行的動作中的、下述動作A?動作J進行說明。
[0088]供給動作A
[0089]供給用手部單元23在吸附了收納于供給用傳送帶托盤的電子部件T后，向作為供給對象的供給用梭動構件托盤的上方移動。而且，使手部在Z方向往復移動后，將電子部件T供給至該供給用梭動構件托盤。這些一系列動作亦即供給動作A需要2.2秒。S卩，若通過I次的供給動作A輸送8個電子部件T，則供給用手部單元23每I小時能夠向供給用梭動構件托盤輸送最多13090個供給用傳送帶托盤的電子部件T。
[0090]供給升降動作B
[0091]在上述供給動作A中，供給用手部單元23在Z方向下降以及上升來吸附供給用傳送帶托盤的電子部件T的動作、在Z方向下降以及上升將電子部件T載置到供給用梭動構件托盤上的動作這些各動作的供給升降動作B需要0.4秒。
[0092]輸送動作C
[0093]輸送單元34、36在使手部53、58從交接位置的上方移動至檢查位置的上方的動作、使手部53、58從檢查位置的上方移動至交接位置的上方的動作這些各動作的輸送動作C需要0.5秒。此時，輸送單元34、36使2個手部53、58朝向檢查位置的上方的開口部45的上方相互靠近，在使2個手部53、58并排的狀態下配置在各自的檢查位置。另外，輸送單元34、36使2個手部53、58移動，使得從并排在各自的檢查位置的狀態，從開口部45上升后2個手部53、58相互遠離。[0094]手部升降動作D
[0095]輸送單元34、36在使手部在交接位置的上方下降以及上升從而將供給用梭動構件托盤的電子部件T吸附于手部的動作、使手部在交接位置的上方下降以及上升從而將電子部件排出至回收用梭動構件托盤的動作這些各動作的升降動作需要0.3秒。
[0096]梭動構件動作F
[0097]各梭動構件32、35在供給位置和回收位置之間移動需要0.4秒。
[0098]回收動作G
[0099]回收用手部單元43吸附回收用梭動構件托盤的電子部件T后，向回收用傳送帶托盤的上方移動。而且，將手部在Z方向往復移動后，移動至收納作為下次的回收對象的電子部件T的回收用梭動構件托盤的上方。針對這些一系列的動作的回收動作G，回收用手部單元43需要2.2秒。S卩，若通過I次的回收動作G回收的電子部件T為8個，則回收用手部單元43每I小時能夠將最多13090個回收用梭動構件托盤的電子部件T輸送至回收用傳送帶托盤。
[0100]回收升降動作H
[0101]在上述回收動作G中，回收用手部單元43在Z方向下降以及上升吸附回收用梭動構件托盤的電子部件T的動作、在Z方向下降以及上升將電子部件T載置到回收用傳送帶托盤上的動作這些各動作的回收升降動作H需要0.4秒。
[0102]待機動作J
[0103]回收用手部單元43在為了吸附供給用梭動構件托盤32a的電子部件T而第I手部53在Z方向的往復移動期間，不從回收用梭動構件托盤32b回收電子部件T,而是待機。而且，回收用手部單元43在為了吸附供給用梭動構件托盤35a的電子部件T而第2手部58在Z方向的往復移動的期間，也不從回收用梭動構件托盤35b回收電子部件T，而是待機。
[0104]第I工作方式
[0105]接下來，參照圖4?圖6對分選機10中的第I工作方式進行說明。在第I工作方式中，各梭動構件32、35和各輸送單元34、36以滿足下述條件I?條件5的方式動作。
[0106]<條件1>各輸送單元34、36的輸送動作C相互同步。
[0107]<條件2>在各輸送單元34、36的手部升降動作D中，相對于回收用梭動構件托盤的手部升降動作D相互同步。
[0108]<條件3>在各輸送單元34、36的手部升降動作D中，相對于供給用梭動構件托盤的手部升降動作D相互同步。
[0109]<條件4>朝向各梭動構件32、35的供給位置的梭動構件動作F相互同步。
[0110]<條件5>朝向各梭動構件32、35的回收位置的梭動構件動作F相互同步。
[0111]首先，在圖4所示的時刻t0，各梭動構件32、35均配置于供給位置，各手部53、58配置于檢查位置，進行被各手部53、58吸附的電子部件T的檢查(參照圖5(a))。而且，若從時刻t0經過0.8秒，則在時刻tl，電子部件T的檢查結束。若電子部件T的檢查結束，則各手部53、58從檢查位置向上方移動，接著，以朝向交接位置的上方相互遠離的方式進行輸送動作C后，進而針對回收梭動構件托盤進行上述手部升降動作D (參照圖5(b))。
[0112]若利用各手部53、58結束手部升降動作D，則在時刻t2，各梭動構件32、35開始朝向回收位置的梭動構件動作F(參照圖5(c))。接下來，若各梭動構件32、35到達回收位置，則在時刻t3，各手部53、58針對供給用梭動構件托盤開始手部升降動作D。而且，若供給用梭動構件托盤32a、35a的電子部件T被各手部53、58吸附，則各手部53、58在時刻t4以朝向檢查位置的上方相互靠近的方式開始輸送動作C。
[0113]此外，在從時刻t3至時刻t4的期間，各梭動構件32、35配置于回收位置，回收用手部單元43在回收用梭動構件托盤32b的上方進行上述待機動作J。若該待機動作J結束，則回收用手部單元43針對回收用梭動構件托盤32b開始上述回收動作G。
[0114]此時，在從時刻t3經過0.8秒后的時刻t5，如圖5(d)所示，首先，從回收用梭動構件托盤32b回收一部分的電子部件T。接下來，在從時刻t4經過4.4秒后的時刻t6，如圖6(a)所示，回收回收用梭動構件托盤32b的全部的電子部件T。
[0115]若回收用梭動構件托盤32b的電子部件T被回收，則回收用手部單元43在時刻t6繼續針對回收用梭動構件托盤35b開始上述回收動作G。
[0116]此時，回收用手部單元43首先在回收用梭動構件托盤35b和回收用傳送帶托盤C4a之間往復I次，將回收用梭動構件托盤35b的一部分的電子部件T回收至回收用傳送帶托盤C4a。接下來，為了吸附處于回收用梭動構件托盤35b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進行回收升降動作H。而且，在從時刻t6經過2.6秒后的時刻t7，如圖6(b)所示，回收回收用梭動構件托盤32b的全部的電子部件T。
[0117]若第2梭動構件35的電子部件T被回收，則各梭動構件32、35從時刻t7進行朝向供給位置的梭動構件動作F (參照圖6 (c))。而且，若結束梭動構件動作F，則供給用手部單元23從時刻t8針對供給用梭動構件托盤32a開始上述供給動作A。
[0118]此時，為了在 第I梭動構件32配置于供給位置的時刻t8準時開始電子部件T的供給，從時刻t8的1.8秒前，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T在第I梭動構件32的上方待機。而且，在時刻t8，供給用手部單元23開始供給升降動作B。接下來，供給用手部單元23再次在供給用傳送帶托盤Cla和供給用梭動構件托盤32a之間往復，進行向供給用梭動構件托盤32a供給剩余的電子部件T的供給動作A (參照圖6 (d))。
[0119]若向第I梭動構件32供給電子部件T，則供給用手部單元23在時刻t9，繼續針對供給用梭動構件托盤35a開始上述供給動作A。
[0120]此時，供給用手部單元23在第2梭動構件35的供給用梭動構件托盤35a和供給用傳送帶托盤Cla之間往復2次，將供給用傳送帶托盤Cla的電子部件T供給至供給用梭動構件托盤35a。而且，若向第2梭動構件35供給電子部件T，則各梭動構件32、35在時刻tl I，成為與前面的時刻t2的狀態相同的狀態。
[0121]這里，與相對于前面的時刻t2的時刻tl相當的時刻是相對于時刻til的時刻tio。在第I工作方式中，若設定該時刻tio作為檢查結束的時刻，則從時刻tl至時刻tio的15.2秒成為指數循環時間，從時刻t5至時刻tio的13.2秒成為測試時間。換句話說，在第I工作方式中，若電子部件T的測試時間為13.2秒以下，則維持指數循環時間15.2秒。此時的每I個小時的電子部件T的處理數為，
[0122]3600 秒 +15.2 秒 X 32 個=236.8…X 32 ~236X32=7552 個。
[0123]另一方面，在第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T交替配置于開口部45的構成的分選機中，若將各手部53、58的調換時間設為0.4秒，將測試時間設為7.3秒,則每I個小時的處理數為，[0124]3600 秒 +7.7 秒 X 16 個=467.5...X 16 ^ 467 X 16=7472 個。
[0125]即，若電子部件T的測試時間為7.3秒以上，則第I工作方式的分選機10能夠檢查更多的電子部件T。
[0126]第2工作方式
[0127]接下來，參照圖7~圖9對分選機10中的第2工作方式進行說明。在第2工作方式中，各梭動構件32、35和各輸送單元34、36以僅滿足上述的條件中的、條件I~4的方式進行動作。
[0128]其中，在第2工作方式中，圖7中的從時刻tl至時刻t5的期間與第I工作方式中的從時刻tl至時刻t5的期間進行相同的動作。因此，在第2工作方式中，對與第I工作方式不同的部分進行詳細說明。
[0129]與第I工作方式相同，回收用手部單元43在時刻t4針對回收用梭動構件托盤32b開始上述回收動作G。
[0130]此時，回收用手部單元43在回收用梭動構件托盤32b和回收用傳送帶托盤C3a之間往復I次，將回收用梭動構件托盤32b的電子部件T回收至回收用傳送帶托盤C3a。接下來，為了吸附處于回收用梭動構件托盤35b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進行回收升降動作H，之后，第I梭動構件32向供給位置移動。由此，在時刻t4的2.6秒后的時刻t6，如圖8(a)所示，回收回收用梭動構件托盤32b的全部的電子部件T。而且，在時刻t6的0.4秒后的時刻t7，如圖8(b)所示，第I梭動構件32配置于供給位置。 [0131]若第I梭動構件32配置于供給位置，則供給用手部單元23在時刻t7，針對供給用梭動構件托盤32a開始上述供給動作A。
[0132]此時，為了在第I梭動構件32配置于供給位置的時刻t7準時地供給電子部件T，從時刻t7的1.8秒前，供給用手部單元23預先使供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動構件32的上方待機。而且，在時刻t7，供給用手部單元23開始供給升降動作B。而且，供給用手部單元23在供給用傳送帶托盤Cla和供給用梭動構件托盤32a之間再次往復，將電子部件T供給至供給用梭動構件托盤32a。由此，在時刻t7的2.6秒后的時刻t9，第I梭動構件32的供給用梭動構件托盤32a載滿電子部件T。
[0133]另一方面，在時刻t7和時刻t9之間的時刻t8，回收用手部單元43針對回收用梭動構件托盤35b開始上述回收動作G。
[0134]此時，時刻t8從由回收用梭動構件托盤32b回收電子部件T的時刻t6經過1.8秒。因此，回收用手部單元43在時刻t8之前，移動至回收用梭動構件托盤35b的上方(參照圖8(c))。而且，回收用手部單元43從時刻t8在第2梭動構件35的回收用梭動構件托盤35b和回收用傳送帶托盤C4a之間往復I次，將回收用梭動構件托盤35b的電子部件T回收至回收用傳送帶托盤C4a(參照圖8(d))。接下來，為了吸附處于回收用梭動構件托盤35b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43開始回收升降動作H，如圖9(a)所示，在從時刻t8經過2.6秒后的時刻tlO，回收回收用梭動構件托盤35b的全部的電子部件T。
[0135]若從回收用梭動構件托盤35b回收電子部件T，則第2梭動構件35從時刻tlO進行朝向供給位置的梭動構件動作F (參照圖9 (b))。而且，若梭動構件動作F結束，則供給用手部單元23針對供給用梭動構件托盤35a從時刻til開始上述供給動作A。
[0136]此時，為了在第2梭動構件35配置于供給位置的時刻til準時地開始電子部件T的供給，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動構件32的上方待機。此外，在時刻tlO的1.8秒前的時刻t9，供給用梭動構件托盤32a載滿電子部件T。因此，供給用手部單元23連續進行針對第I梭動構件32的電子部件T的供給和針對第2梭動構件35的電子部件T的供給。而且，供給用手部單元23在針對供給用梭動構件托盤35a進行供給升降動作B后，進行針對供給用梭動構件托盤35a的供給動作A，向供給用梭動構件托盤35a供給剩余的電子部件T。由此，各梭動構件32、35在時刻tl3成為與前面的時刻t2中的狀態相同的狀態。
[0137]這里，與相對于前面的時刻t2的時刻tl相當的時刻是相對于時刻tl3的時刻tl2。在第2工作方式中，若設定該時刻tl2作為檢查結束的時刻，則從時刻tl至時刻tl2的10.8秒為指數循環時間，從時刻t5至時刻tl2的8.8秒為測試時間。換句話說，在第2工作方式中，若電子部件T的測試時間為8.8秒以下，則維持指數循環時間10.8秒。此時的每I個小時的電子部件T的處理數為，
[0138]3600 秒 +10.8 秒 X 32 個=333.3…X 32 ~333X32=10656 個。
[0139]另一方面，在第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T被交替配置于開口部45的構成的分選機中，若將各手部53、58的調換時間設為0.4秒，將測試時間設為5.0秒，則每I個小時 的處理數為，
[0140]3600 秒 +5.4 秒 X 16 個=666.6...X 16 ^ 666X 16=10656 個。
[0141]即，若電子部件T的測試時間超過5.0秒，則第2工作方式的分選機10能夠檢查處理更多的電子部件T。
[0142]第3工作方式
[0143]接下來，參照圖10~圖12對分選機10中的第3工作方式進行說明。在第3工作方式中，各梭動構件32、35和各輸送單元34、36以僅滿足上述的條件中的、條件I以及條件2的方式進行動作。
[0144]首先，在圖10所示的時刻t0，第I梭動構件32配置于供給位置，第2梭動構件35配置于回收位置，另外，各手部53、58配置于檢查位置，進行被各手部53、58吸附的電子部件T的檢查(參照圖11 (a))。而且，若從時刻t0經過0.6秒，則在時刻tl，第2梭動構件35開始朝向供給位置的梭動構件動作F。
[0145]若第2梭動構件35到達供給位置，則在時刻t3，供給用手部單元23針對供給用梭動構件托盤35a開始供給動作A。此時，為了在第2梭動構件35配置于供給位置的時刻t3準時地開始電子部件T的供給，從時刻t3的1.8秒前，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動構件32的上方待機。而且，若成為時刻t3，則供給用手部單元23進行供給升降動作B后，在供給用傳送帶托盤Cla和供給用梭動構件托盤35a之間往復，進行供給動作A。
[0146]另一方面，若從時刻tl經過0.2秒，則在時刻t2，結束電子部件T的檢查。若電子部件T的檢查結束，則各手部53、58從檢查位置向上方移動，接著，以朝向各交接位置的上方相互遠離的方式進行輸送動作C，之后，針對回收梭動構件托盤進行手部升降動作D (參照圖11 (b))。而且，若從時刻t2經過0.8秒，則第I梭動構件32從時刻t4進行朝向回收位置的梭動構件動作F(參照圖11(c))。
[0147]若朝向第I梭動構件32的回收位置的梭動構件動作F結束，則第I手部53在時刻t5，針對供給用梭動構件托盤開始手部升降動作D。而且，通過第I手部53結束手部升降動作D，第I手部53在時刻t6吸附供給用梭動構件托盤32a的電子部件T (參照圖11 (d))。另一方面，回收用手部單元43在時刻t6，針對回收用梭動構件托盤32b開始上述回收動作G。此外，在從時刻t5至時刻t6期間，回收用手部單元43在回收用梭動構件托盤32b的上方進行上述待機動作J。
[0148]此時，回收用手部單元43在回收用梭動構件托盤32b和回收用傳送帶托盤C3a之間往復I次，將回收用梭動構件托盤32b的一部分的電子部件T回收至回收用傳送帶托盤C3a。接下來，為了吸附處于回收用梭動構件托盤32b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進行回收升降動作H。
[0149]另一方面，若針對供給用梭動構件托盤35a結束供給動作A，則第2梭動構件35在時刻t7，開始朝向回收位置的梭動構件動作F。由此，在從時刻t7經過了 0.4秒的時刻t8，如圖12(a)所示，在供給用梭動構件托盤35a載滿電子部件T的狀態下，第2梭動構件35被配置于回收位置，且從第I梭動構件32的回收用梭動構件托盤32b回收一部分的電子部件T。另外，第2手部58在時刻t8，針對供給用梭動構件托盤35a進行手部升降動作D。而且，第2手部58和已經吸附電子部件T的第I手部53以朝向各自的檢查位置的上方相互靠近的方式開始輸送動作C。由此，在從時刻t8經過了 0.8秒的時刻t9，開始電子部件T的檢查。
[0150]若開始電子部件T的檢查，則各手部53、58在時刻tlO配置于檢查位置，且從回收用梭動構件托盤32b回收全部的電子部件T(參照圖12(b))。另外，第I梭動構件32在時刻tlO，開始朝向供給位置的梭動構件動作F。而且，若從時刻tlO經過0.4秒，則第I梭動構件32在時刻til配置于供給位置(參照圖12(c))。
[0151]若第I梭動構件32配置于供給位置，則供給用手部單元23針對供給用梭動構件托盤32a開始供給動作A。此時，為了在第I梭動構件32配置于供給位置的時刻til準時地供給電子部件T，從時刻til的1.8秒前，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動構件32的上方待機。而且，在時刻tll，供給用手部單元23開始供給升降動作B。接下來，供給用手部單元23在供給用梭動構件托盤32a和供給用傳送帶托盤Cla之間再次往復，在時刻tl3之前，進行將剩余的電子部件T供給至供給用梭動構件托盤32a的供給動作A。
[0152]另外，在處于時刻tll和時刻113之間的時刻tl2，回收用手部單元43針對回收用梭動構件托盤35b開始回收動作G。此外，從時刻tlO至時刻tl2，回收用手部單元43將電子部件T排出至回收用傳送帶托盤C3a，移動至回收用梭動構件托盤35b的上方。
[0153]回收用手部單元43在時刻tl2在回收用梭動構件托盤35b和回收用傳送帶托盤C4a之間往復，回收回收用梭動構件托盤35b的電子部件T。而且，為了吸附處于回收用梭動構件托盤35b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進行回收升降動作H。S卩，在時刻tl2的2.6秒后的時刻tl4，與圖11 (a)所示的時刻tl相同，針對供給用梭動構件托盤32a的電子部件T的供給結束的第I梭動構件32配置于供給位置。另外，在供給用梭動構件托盤35a以及回收用梭動構件托盤35b為空的狀態下，將第2梭動構件35配置于回收位置。
[0154]第2梭動構件35在時刻tl4開始朝向供給位置的梭動構件動作F。而且，供給用手部單元23在時刻tl4的0.4秒后的時刻tl6，針對供給用梭動構件托盤35a開始供給動作A。
[0155]此時，為了在第2梭動構件35配置于供給位置的時刻tl6準時地開始電子部件T的供給，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動構件32的上方待機。此外，在時刻tl6的1.8秒前亦即時刻tl3，供給用梭動構件托盤32a載滿電子部件T。因此，供給用手部單元23連續進行對第I梭動構件32的電子部件T的供給和對第2梭動構件35的電子部件T的供給。而且，供給用手部單元23針對供給用梭動構件托盤35a進行供給升降動作B后，進行針對供給用梭動構件托盤35a的供給動作A，向供給用梭動構件托盤35a供給剩余的電子部件T。由此，各梭動構件32、35在時刻tl6成為與前面的時刻t3的狀態相同的狀態。
[0156]這里，與相對于前面的時刻t3的時刻t2相當的時刻是相對于時刻tl5的時刻tl6。若作為檢查結束的時刻設定該時刻tl5，則從時刻t2至時刻tl5的8.8秒為指數循環時間，從時刻t9至時刻tl5的4.8秒為測試時間。換句話說，在第3工作方式中，若電子部件T的測試時間為4.8秒以下，則維持指數循環時間8.8秒。此時的每I個小時的電子部件T的處理數為，
[0157]3600 秒 +8.8 秒 X 32 個=409.0…X 32 ~409X32=13088 個。
[0158]另一方面，在第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T被交替配置于開口部45的構成的分選機中，若將各手部53、58的調換時間設為0.4秒，將測試時間設為4.0秒，則每I個小時的處理數為，
[0159]3600 秒 +4.4 秒 X 16 個=818.1...X 16 ^ 818 X 16=13088 個。
[0160]即，若電子 部件T的測試時間超過4.0秒，則第3工作方式的分選機10能夠檢查處理更多的電子部件T。
[0161]第4工作方式
[0162]接下來，參照圖13~圖14對分選機10中的第4工作方式進行說明。在第4工作方式中，與其他的工作方式相比，供給動作A以及回收動作G所需要的時間不同。即，供給動作A以及回收動作G分別需要1、4秒。另外，在第4工作方式中，各梭動構件32、35和各輸送單元34、36以僅滿足上述的條件中的、條件I的方式動作。
[0163]此外，在第4工作方式中，在時刻tl電子部件T的檢查結束。該時刻tl中的分選機10的各梭動構件32、35是與第3工作方式中的時刻to相同的狀態。因此，針對第4工作方式的時刻tl，通過圖14(a)圖示，省略其詳細的說明。
[0164]若在時刻tl電子部件T的檢查結束，則各手部53、58從檢查位置向上方移動，接著，以朝向各交接位置的上方相互遠離的方式進行輸送動作C，之后，僅第I手部53針對回收用梭動構件托盤32b進行手部升降動作D。
[0165]第2梭動構件35在從時刻tl經過0.6秒后的時刻t2，開始朝向供給位置的梭動構件動作F。而且，在從時刻t2經過了 0.4秒后的時刻t4，第2手部58針對回收用梭動構件托盤35b進行手部升降動作D。另外，在時刻t4，供給用手部單元23針對供給用梭動構件托盤35a開始供給動作A。
[0166]此時，為了在第2梭動構件35配置于供給位置的時刻t4準時地供給電子部件T，從時刻t4的1.0秒前亦即時刻tl，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第2梭動構件35的上方待機。而且，若到時刻t4，則供給用手部單元23進行供給升降動作B后，在供給用傳送帶托盤Cla和供給用梭動構件托盤35a之間往復，進行供給動作A。
[0167]另一方面，第I梭動構件32在從時刻11經過了 0.8秒后的時刻t3，開始朝向回收位置的梭動構件動作F。而且，在時刻t3的0.4秒后的時刻t5，第I手部53針對供給用梭動構件托盤32a進行手部升降動作D。
[0168]另外，回收用手部單元43在從時刻t5經過0.4秒后的時刻t6，針對回收用梭動構件托盤32b開始回收動作G。此外，從時刻t5至時刻t6的期間，回收用手部單元43在回收用梭動構件托盤32b的上方進行待機動作J。而且，回收用手部單元43在時刻t6在回收用梭動構件托盤32b和回收用傳送帶托盤C3a之間往復I次，進行回收動作G (參照圖14(b))。接著，為了吸附處于回收用梭動構件托盤32b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進行回收升降動作H。即，在從時刻t6經過1.8秒后的時刻t9，從回收用梭動構件托盤32b回收全部的電子部件T。
[0169]第I梭動構件32在上述時刻t9開始朝向供給位置的梭動構件動作F。供給用手部單元23在從時刻t9經過0.4秒后的時刻tlO，針對供給用梭動構件托盤32a開始供給動作A。
[0170]此時，為了在第I梭動構件32配置于供給位置的時刻tlO準時地供給電子部件T，從時刻tio的1.0秒前的時刻t7，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動構件32的上方待機。而且，若到時刻tlO，則供給用手部單元23針對供給用梭動構件托盤32a開始供給升降動作B。接著，供給用手部單元23在供給用梭動構件托盤32a和供給用傳送帶托盤Cla之間再次往復，進行將剩余的電子部件T供給至供給用梭動構件托盤32a的供給動作A。即，在時刻tlO的1.8秒后的時刻tl3，供給用梭動構件托盤35a載滿電子部件T。
[0171]另一方面，第2梭動構件35在上述時刻t7，開始朝向回收位置的梭動構件動作F。即，如圖14 (c)所示，在向供給用梭動構件托盤35a供給了電子部件T的狀態下，開始朝向回收位置的梭動構件動作F。而且,在從時刻t7經過了 0.4秒后的時刻t8,第2手部58進行針對供給用梭動構件托盤35a的供給升降動作B，之后，各手部53、58以朝向各自的檢查位置的上方相互靠近的方式進行輸送動作C。即，如圖14(d)所示，在時刻t8的0.8秒后的時刻tll，將各手部53、58配置于檢查位置，且將一部分的電子部件T供給至第I梭動構件32的供給用梭動構件托盤32a。
[0172]回收用手部單元43在從上述時刻tll經過0.4秒后的時刻tl2，針對回收用梭動構件托盤35b開始回收動作G。此外，回收用手部單元43在從時刻t9至時刻tl2，將回收的電子部件T排出至回收用傳送帶托盤C3a，并移動至回收用梭動構件托盤35b的上方。而且，回收用手部單元43在時刻tl2在回收用梭動構件托盤35b和回收用傳送帶托盤C4a之間往復，進行回收動作G。接著，回收用手部單元43為了吸附處于回收用梭動構件托盤35b的剩余的電子部件T，進行回收升降動作H。即，在從時刻tl2經過了 1.8秒后的時刻^4，從第2梭動構件35的回收用梭動構件托盤35b回收全部的電子部件T。由此，各梭動構件32、35在時刻tl4成為與前面的時刻t2的狀態相同的狀態。
[0173]這里，與相對于前面的時刻t2的時刻tl相當的時刻是相對于時刻tl4的時刻tl3。若作為檢查結束的時刻設定該時刻tl3，則從時刻tl至時刻tl3的5.6秒為指數循環時間，從時刻tll至時刻tl3的1.6秒為測試時間。換句話說，若電子部件T的測試時間為1.6秒以下，則維持指數循環時間5.6秒。此時的每I個小時的電子部件T的處理數為，
[0174]3600 秒 + 5.6 秒 X 32 個=642.8…X 32 ~642 X 32=20544 個。
[0175]另一方面，在第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T被交替地配置于開口部45的構成的分選機中，若將測試時間設為1.6秒，則由于測試時間過短，僅處理與供給用以及回收用手部單元23、43的輸送能力對應的部分。即，若電子部件T的測試時間為1.6秒以下，第4工作方式的分選機10能夠檢查處理更多的電子部件T。
[0176]如以上說明所示，根據本實施方式，能夠得到以下列舉的效果。
[0177](I)在基臺11形成有第I手部53和第2手部58能夠并排配置的開口部45。因此，第I手部53的電子部件T和第2手部的電子部件T被并排嵌入至測試頭33。即，在這樣的以2個手部構成的分選機10中，能夠在同時期檢查最多的電子部件T。其結果，無需像僅將各手部53、58的一方保持的電子部件T嵌入至測試頭33的構成的分選機那樣，增加同時期配置于開口部45的電子部件T的數量，而使各手部53、58大型化。即，抑制裝置的大型化，維持各手部53、58能夠保持的電子部件T的數量，且能夠使配置于開口部45的電子部件T的數量增加。因此，抑制手部的大型化所帶來的輸送速度的降低、輸送距離的增大，所以使向開口部45輸送的電子部件T的個數增加，能夠高效地進行電子部件T的輸送。
[0178](2)由于在相同的第I交接位置進行基于第I手部53的電子部件T的吸附和排出，所以與在不同的位置進行這些動作的構成相比，能夠抑制第I手部53的移動路徑以及使第I手部53移動的機構的復雜化。同樣，由于在相同的第2交接位置進行基于第2手部58的電子部件T的吸附和排出，所以與不同的位置進行這些動作的構成相比，能夠抑制第2手部58的移動路徑以及使第2手部58移動的機構的復雜化。據此能夠抑制分選機10的大型化。
[0179](3)由于使第I手部53以及第2手部58沿著輸送引導件31移動的輸送馬達相互不同，所以能夠在Z方向與開口部45對置的位置以相同的時刻或不同的時刻分別配置各手部 53、58。
[0180](4)在第I梭動構件32中，收納檢查前的電子部件T的供給用梭動構件托盤32a和收納檢查后的電子部件T的回收用梭動構件托盤35b不同，且任意一方配置于第I交接位置。因此，在回收用梭動構件托盤32b配置于第I交接位置的情況下，能夠向供給用梭動構件托盤32a供給電子部件T。另一方面，在供給用梭動構件托盤32a配置于第I交接位置的情況下，能夠回收排出至回收用梭動構件托盤32b的電子部件T。第2梭動構件35也相同。即，能夠順利地進行基于各手部53、58的電子部件T的吸附以及排出。
[0181](5)檢查前的電子部件T被供給用手部單元23供給至各梭動構件32、35的供給用梭動構件托盤32a、35a。另外，檢查后的電子部件T被回收用手部單元43從各梭動構件32,35的回收用梭動構件托盤32b、35b回收。根據這樣的構成，與分別和各梭動構件32、35對應地設置供給用手部單元23以及回收用手部單元43的構成相比，能夠抑制分選機大型化。
[0182](6)在第1工作方式以及第2工作方式中，能夠在短期間進行基于各手部53、58的檢查后的電子部件T的排出和檢查前的電子部件T的吸附，所以與其他的工作方式相比，SP便是測試時間較長 的電子部件T，也能夠維持指數循環時間。
[0183](7)在第2工作方式、第3工作方式以及第4工作方式中，以在供給位置配置各梭動構件32、35的時刻以及在回收位置配置各梭動構件32、35的時刻中，至少一個不同的時刻來進行。根據這樣的構成，例如能夠同時期進行使用了供給用手部單元23的針對第I梭動構件32的電子部件T的供給，和使用了回收用手部單元43的針對第2梭動構件35的電子部件T的回收。因此，與第I工作方式相比，能夠使指數循環時間縮短。
[0184](8)在第3工作方式以及第4工作方式中，以在各手部53、58吸附電子部件T的時刻，以及各手部53、58排出電子部件T的時刻中至少一個不同的時刻來進行。根據這樣的構成，例如，能夠使與向各梭動構件供給電子部件T的時刻，從各梭動構件回收電子部件T的時刻相關的自由度提高。因此，預計指數循環時間的進一步縮短化。
[0185]此外，也能夠像以下那樣適當變更上述實施方式來實施。
[0186]也可以是輸送對象物被多個供給用手部單元分別供給至多個供給用托盤的構成。根據這樣的構成，也能夠在相同的時刻分別向多個供給用托盤供給輸送對象物。
[0187]也可以是輸送對象物被多個回收用手部單元分別從多個回收用托盤回收的構成。根據這樣的構成，也能夠在相同的時刻針對多個回收用托盤進行輸送對象物的回收。
[0188]還可以是針對一個手部供給輸送對象物的位置，和從該一個手部回收輸送對象物的位置相互不同的構成。
[0189]使2個手部移動的輸送馬達可以是共用的一個馬達。根據這樣的構成，容易使2個手部的動作同步。
[0190]也可以是從開口部上升的2個手部在相互不同的時刻返回至輸送源的方式。
[0191]在部件檢查裝置中，不限于測試器和分選機分別設置的方式，也可以是測試器和分選機一體設置的方式。
[0192]符號說明:
[0193]T...電子部件；C1...供給用傳送帶；C2、C3、C4...回收用傳送帶；Cla...供給用傳送帶托盤；C2a、C3a、C4a...回收用傳送帶托盤；MA...輸送馬達；MC...傳送帶馬達；MS...梭動構件馬達；MX...X軸馬達；ΜΥ...Y軸馬達；ΜΖ...手部馬達；EMA、EMC、EMS、EMX、EMY, EMZ...編碼器；SV1、SV2...吸引閥；DV1、DV2...放氣閥；10...分選機；11...基臺；Ila...搭載面；12...罩部件；20...供給機械手；21...供給側固定引導件；22...供給側可動引導件；23...供給用手部單兀；31...輸送引導件；32...弟I fe動構件；32a...供給用梭動構件托盤；32b...回收用梭動構件托盤；32c...第I梭動構件引導件；33...測試頭；32a...檢查用凹部；34...第I輸送單元；35...第2梭動構件；35a...供給用梭動構件托盤；35b...回收用梭動構件托盤；35c...第2梭動構件引導件；36...第2輸送單元；
40...回收機械手；41...回收側固定引導件；42...回收側可動引導件；43...回收用手部單元；45...開口部；51...水平移動臂；52...垂直移動臂；53...第I手部；54...吸附部；56...水平移動臂；57...垂直移動臂；58...第2手部；59...吸附部；60...控制裝置；
61...傳送帶驅動部；62...X軸引導件驅動部；63...Y軸引導件驅動部；64...手部單元驅動部；64a...手部馬達驅動部；64b...吸引閥驅動部；65...梭動構件驅動部；66...輸送單元驅動部；66a...輸送馬達驅動部；66b...按壓馬達驅動部；66c...吸引閥驅動部；
69...測試器。
【權利要求】
1.一種分選機，其特征在于， 所述分選機具備: 基臺，其具有配置輸送對象物的開口部； 第I輸送部，其具有保持所述輸送對象物的第I手部，且使所述第I手部朝向所述開口部移動；以及 第2輸送部，其具有保持所述輸送對象物的第2手部，且使所述第2手部朝向所述開口部移動， 所述第I手部以及所述第2手部在從相互分離的位置以相互不同的方向同時移動至所述開口部的位置后，朝與朝向所述開口部進行所述移動的方向不同的方向移動。
2.根據權利要求1所述的分選機，其特征在于， 所述第I輸送部使所述第I手部在所述開口部配置所述第I手部的第I位置和利用所述第I手部進行輸送對象物的保持以及排出的第I交接位置之間移動， 所述第2輸送部使所述第2手部在所述開口部配置所述第2手部的第2位置和利用所述第2手部進行輸 送對象物的保持以及排出的第2交接位置之間移動， 具有:配置于所述第I位置的所述第I手部以及配置于所述第2位置的所述第2手部以從所述開口部脫離的方式移動后，朝向各自的交接位置而向相互不同的方向移動的狀態。
3.根據權利要求2所述的分選機，其特征在于， 所述分選機具備: 第I梭動構件，其分別設置有將要由所述第I手部保持的所述輸送對象物供給至該第I手部的第I供給托盤和將所述第I手部排出的所述輸送對象物從該第I手部回收的第I回收托盤； 第2梭動構件，其分別設置有將要由所述第2手部保持的所述輸送對象物供給至該第2手部的第2供給托盤和將所述第2手部保持的所述輸送對象物從該第2手部回收的第2回收托盤；以及 控制部，其控制所述第I輸送部的動作和所述第2輸送部的動作， 所述控制部控制所述第I梭動構件的動作和所述第2梭動構件的動作， 將配置于所述第I交接位置的托盤交替更換成所述第I供給托盤和所述第I回收托盤，且將配置于所述第2交接位置的托盤交替更換成所述第2供給托盤和所述第2回收托盤。
4.根據權利要求3所述的分選機，其特征在于， 具有:在所述第I交接位置配置所述第I供給托盤，且在所述第2交接位置配置所述第2供給托盤的狀態。
5.根據權利要求3或4所述的分選機，其特征在于， 具有:在所述第I交接位置配置所述第I回收托盤，且在所述第2交接位置配置所述第2回收托盤的狀態。
6.根據權利要求3或4所述的分選機，其特征在于， 所述控制部以在相同的時刻進行對所述第I交接位置的所述第I供給托盤的配置和對所述第2交接位置的所述第2供給托盤的配置的方式控制所述第I梭動構件的動作和所述第2梭動構件的動作，并且，所述控制部以在相同的時刻進行對所述第I交接位置的所述第I回收托盤的配置和對所述第2交接位置的所述第2回收托盤的配置的方式控制所述第I梭動構件的動作和所述第2梭動構件的動作。
7.根據權利要求5所述的分選機，其特征在于， 所述控制部以在相同的時刻進行對所述第I交接位置的所述第I供給托盤的配置和對所述第2交接位置的所述第2供給托盤的配置的方式控制所述第I梭動構件的動作和所述第2梭動構件的動作，并且， 所述控制部以在相同的時刻進行對所述第I交接位置的所述第I回收托盤的配置和對所述第2交接位置的所述第2回收托盤的配置的方式控制所述第I梭動構件的動作和所述第2梭動構件的動作。
8.根據權利要求7所述的分選機，其特征在于， 所述控制部以在相同的時刻進行利用所述第I手部的所述輸送對象物的保持和利用所述第2手部的所述輸送對象物的保 持的方式控制所述第I輸送部的動作和所述第2輸送部的動作，并且， 所述控制部以在相同的時刻進行利用所述第I手部的所述輸送對象物的排出和利用所述第2手部的所述輸送對象物的排出的方式控制所述第I輸送部的動作和所述第2輸送部的動作。
9.一種部件檢查裝置，其特征在于， 所述部件檢查裝置具備檢查電子部件的測試器、和具有配置所述電子部件的開口部的基臺， 所述部件檢測裝置具備: 基臺，其具有開口部； 第I輸送部，其具有保持所述電子部件的第I手部，且使所述第I手部朝向所述開口部移動；以及 第2輸送部，其具有保持所述電子部件的第2手部，且使所述第2手部朝向所述開口部移動， 所述第I手部以及所述第2手部在從相互分離的位置以相互不同的方向同時移動至所述開口部的位置后，朝與朝向所述開口部進行所述移動的方向不同的方向移動。
【文檔編號】H01L21/677GK103996642SQ201410105549
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2012年8月28日 優先權日:2011年9月6日
【發明者】長谷川信夫, 藤森廣明, 下島聰興 申請人:精工愛普生株式會社