具有se功能的水平輥道式連續擴散設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備。該設備設置有至少一個制備含有摻雜物質涂層的裝置，通過該涂層制備裝置可以在被擴散物表面PN結區域和SE區域分別制備出密度或濃度或組分不同的含有摻雜物質的涂層，表面附著了上述涂層的被擴散物，始終保持其擴散面朝上，在水平輥道的傳輸下水平移動，依次連續通過高溫處理裝置，不間斷、一次性完成PN結和SE的摻雜。該設備由上片區、含有摻雜物質的涂層區、預熱烘干區、高溫擴散區、冷卻區和出片區六個基本單元組成。該設備不僅有效解決了PN結和選擇發射區摻雜一次完成、連續化生產的問題，而且解決了連續化擴散設備爐內環境氣氛的潔凈度問題。
【專利說明】具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，用于太陽電池片等半導體器件的SE制備和擴散處理。
【背景技術】
[0002]選擇性發射極(selective emitter簡稱SE；)就是在發射極電極下桂表面上制作一個高摻雜濃度區域，金屬電極制作在高濃度區域上，其他區域為低濃度區。高摻雜區使金屬和半導體的接觸電阻下降，低摻雜區有利于提高光生載流子的數量、可提高短路電流，因而可以提高電池的轉換效率，比無SE電池的轉化效率高1%以上，用這種結構制作的硅太陽電池就是選擇發射區電池。新南威爾士大學轉換效率世界第一的PERL電池就是一種SE結構的電池，它采用的是實驗室光刻工藝，經過了數次氧化、擴散、對準過程，在大規模太陽電池工業生產中很難推廣。還有一種SE制備工藝是將高濃度磷漿如電極柵線狀印刷到硅片表面，然后將硅片放入常規管式擴散爐中進行擴散，高濃度磷漿在擴散過程中從印刷區揮發沉積到非印刷區，但這樣揮發沉積得到的磷濃度過低，為彌補其不足，需要在擴散時通入氮氣和三氯氧磷氣體作為磷源的補充，因為使用了三氯氧磷，所以只能在密閉的管式擴散爐中完成。這種SE的制備技術需要在常規擴散之前增加一道磷漿印刷工序、并且不能實現連續化生產。
[0003]管式擴散爐是目前最常用的擴散設備之一，它是將硅片站立放入裝載架、推進擴散爐中，通以氮氣和三氯氧磷(POCl3)氣體，在800°C?1000°C之間高溫處理使磷擴散進硅片內部，在硅片表面形成PN結。管式擴散是雙面、批次擴散，以間歇方式運行，即每管擴散數百片、循環反復操作。管式擴散的優點是密閉操作，擴散環境潔凈度高，電池轉換效率高；缺點是需要通過人工或特殊的工具將部件放在支架上，不能連續化作業，產能低、擴散成本高。同時由于摻雜物質擴散以氣態方式預制在部件表面，擴散結果與爐子的熱場分布、部件在爐中的位置、進氣方式和爐中氣流分布等有關，而造成PN結方塊電阻在同一部件表面均勻分布存在差異，通常每個部件四周方塊電阻低于中間的方塊電阻，不均勻性在5%以上。另外，摻雜物質源三氯氧磷為危險物品，在使用過程中一旦發生紕漏，可能會造成人生安全傷害。專利CN202465967U指出目前管式擴散方塊電阻的不均勻性5%的原因是進氣方式不合理、反應氣體沒有充分混合造成的，該專利提出在擴散管前端增加混氣裝置。該裝置需要在原有設備上進行改造，在實際應用中很難實施。
[0004]作為一種連續擴散設備，鏈式連續擴散爐已經問世很多年，它是使用金屬網帶循環進出爐子傳輸硅片，并且用一定濃度的磷酸溶液(廉價安全)作為磷源替代了危險的三氯氧磷，將磷酸均勻噴涂到硅片上，將硅片在鏈式擴散爐中高溫處理生成PN結。金屬網帶在使用過程中容易受應力的影響發生跑偏等問題，易污染擴散物，還由于這種連續化設備爐內環境氣氛潔凈度不容易保證等原因，采用鏈式擴散爐制備的太陽電池效率比管式擴散爐制備的太陽電池的效率低0.1-0.2%。且金屬網帶需要經常維護，更換起來也非常困難；當傳送帶離開爐體時，還會將熱量帶走，設備耗能高。[0005]專利EP1010960A1涉及一個用于制備太陽電池的擴散爐，加熱方式是紅外加熱，
磷酸也是被預制在硅片表面，指明硅片可以采用金屬網帶被傳送，也可高純陶瓷輥道代替鎳鉻合金金屬網帶傳輸電池片。金屬網帶式爐的缺點前面已有描述。該專利也介紹了一種用高純陶瓷輥道代替鎳鉻合金金屬網帶傳輸電池片的方法，其描述的輥軸至少一部分由一系列透明輥軸連續排列組成，輥軸帶有驅動可自行旋轉，并按部件行進方向同步轉動，部件可通過輥軸的摩擦力從一個輥軸運動到另一個輥軸。但該專利沒有涉及如何保持爐內環境氣氛的潔凈度來保證擴散效果的問題，并且該設備沒有SE功能。
[0006]專利CN1936474A中闡述了一種輥道爐床熱處理爐中的防塵裝置，在該爐體側壁上、比輥子管穿孔高的上方位置，安裝著設有開口的清潔空氣管道，防止爐體以外的塵埃進入爐體，該專利通入的潔凈氣體僅僅在爐體二側起到防止外部灰塵進入爐內的保護作用，并不能從根本上改善爐內氣氛和環境。
[0007]專利CN1602554A闡述了一種烘箱，用于由半導體材料制成的光電裝置，其特點是半導體材料的傳輸通過一系列陶瓷材料制成的輥子實現且輥子繞其自身的軸線旋轉，作為一個對半導體材料進行熱處理的連續化生產設備，該專利同樣沒有涉及如何保持爐內環境氣氛的潔凈度來保證使用效果的問題，該設備也沒有SE功能。
[0008]目前，現有技術存在PN結和選擇發射區(簡稱SE)摻雜不能一次完成、連續化擴散設備生產的產品轉換效率低、以及連續化擴散設備難以保證擴散環境氣氛的潔凈度等問題。
【發明內容】
[0009]本實用新型的目的是提供一種具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，不僅有效解決了 PN結和SE摻雜一次完成、連續化生產的問題，而且解決了連續化擴散設備爐內環境氣氛的潔凈度問題。
[0010]本實用新型所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備是:在所述擴散設備中，設置有至少一個制備含有摻雜物質涂層的裝置，通過該涂層制備裝置可以在被擴散物表面PN結區域和SE區域分別制備出密度或濃度或組分不同的含有摻雜物質的涂層，表面附著了上述涂層的被擴散物，始終保持其擴散面朝上，在水平輥道的傳輸下水平移動，依次連續通過高溫處理裝置，不間斷、一次性完成PN結和SE的摻雜。
[0011]優選的是，在所述擴散設備中，通過設置的涂層制備裝置可以在被擴散物表面PN結區域和SE區域分別制備出密度或濃度或組分不同的含有摻雜物質的涂層，表面附著了上述涂層的被擴散物，始終保持其擴散面朝上，通過由若干條水平排列、可以沿軸線方向往復轉動的輥軸的摩擦力的作用下依次從上一個輥軸水平移動至下一個輥軸，被擴散物通過水平移動、依次連續通過高溫處理裝置，不間斷、一次性完成PN結和SE的摻雜。輥軸間距設計要能夠實現被擴散物在摩擦力的作用下依次從上一個輥軸水平移動至下一個輥軸。
[0012]該設備由上片區、含有摻雜物質的涂層區、預熱烘干區、高溫擴散區、冷卻區和出片區等多個基本單元組成，必要時可增加一個含有摻雜物質的涂層區，在各個單元之間可設立緩沖區，各個單元的排列順序可以根據需要前后調整。即含有摻雜物質的涂層區可以為一個或者兩個。
[0013]優選的是，所述涂層的制備裝置，為絲網印刷裝置或霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置或旋涂裝置；所述含有摻雜物質的涂層區為一個或兩個，其中，涂層區為一個時(以A涂層區表示)，通過絲網印刷裝置或激光噴涂裝置中的任意一種涂層制備裝置在被擴散物表面PN結區域和SE區域一次分別制備出密度或濃度不同的含有摻雜物質的涂層；涂層區為兩個時(以A涂層區、B涂層區表示)，前一涂層區采用絲網印刷裝置或激光噴涂裝置制備含有摻雜物質的SE圖形，然后在后一涂層區通過絲網印刷裝置、霧化噴涂裝置、激光噴涂裝置或旋涂裝置中的任意一種序層制備裝置制備PN結涂層，二步操作在被擴散物表面PN結區域和SE區域分別制備出密度或濃度或組分不同的含有摻雜物質的涂層。
[0014]優選的是，所述A涂層區的制備裝置，可以是絲網印刷裝置或激光噴涂裝置；所述B涂層區的制備裝置，可以是絲網印刷裝置或霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置或旋涂裝置。其中，在A涂層區的絲網印刷裝置中，用來進行絲網印刷的網版針對SE區域和PN結區域有不同的印刷特性，即SE區域印刷的涂層密度或濃度高于PN結區域印刷的涂層密度或濃度，實現一次印刷分別在SE區域和PN結區域形成不同密度或濃度的涂層；這種印刷效果是通過一種特殊的絲網印刷網版來實現的，即SE區域由互相貫通的鏤空圖案組成，PN結區域由若干不連通的圖案組成，該不連通的圖案包括圓形(點狀)、或線性、或方形、或三角形、或菱形或其他任何不連通的圖形；或者，所述絲網印刷裝置中的絲網印刷網版，SE區域刻蝕程度高于PN結區域刻蝕程度。在B涂層區中，霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置設置在水平輥道的上方，被擴散物在水平輥道的傳輸下水平移動過程中，依次經過霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置的下方時，完成所述涂層的噴涂作業。
[0015]優選的是，本實用新型中傳輸被擴散物的輥道至少一部分尤其是在爐膛內部的輥道由空心輥軸組成，在空心輥軸上被擴散物經過的部位沿徑向方向設置有若干通氣孔，在空心輥軸的至少一端通過旋轉接頭與進氣管連接，從進氣管可以通入潔凈的氮氣、壓縮空氣或為了改善擴散效果而添加的其他必要的氣體，通過空心輥軸上的通氣孔進入到被擴散物經過的爐膛部位，由于始終有新鮮潔凈的氣體從空心輥軸的通氣孔中噴出，而被擴散物一直從空心輥軸的通氣孔上部經過，因而不斷噴出的潔凈氣體將被擴散物包圍、阻止了外來氣體接近被擴散物，從而在被擴散物周圍形成了局部非常潔凈的小環境，因此，不會因為擴散爐爐體密封不嚴、外來雜質氣體進入爐膛而影響熱處理工作環境的潔凈度，因此，可對擴散環境起到保護作用。其中，在空心輥軸上被擴散物經過的設置有若干通氣孔的部位，還可以設置有至少一個中間凹、兩邊凸的臺階，被擴散物在兩邊凸起臺階的支撐和摩擦力作用下水平移動，被擴散物與通氣孔之間離開一定距離，氣體可以無障礙地從被擴散物下面進入爐膛，以便于氣體均勻地到達被擴散物周圍；在空心輥軸上沿徑向方向設置的若干通氣孔，可以是同種孔徑和不同孔徑、可以是均勻間距或不均勻間距，以達到氣體的均勻分布。作為空心輥軸的材質可以是石英玻璃管、石英陶瓷管、氧化鋁陶瓷管、氮化硅陶瓷管等對被擴散物或擴散工藝不造成污染的材料。
[0016]本實用新型的有益效果如下:
[0017]通過本實用新型提供的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，在水平輥道式連續擴散爐中引入了 SE工藝，有效解決了 PN結和SE摻雜一次完成、并且連續化生產的問題；通過空心傳輸輥軸向爐內通入潔凈氣體，解決了連續化擴散設備爐內環境氣氛的潔凈度問題。擴散效果大幅度提高，以晶硅電池為例，單晶電池效率可提高0.8%、多晶電池效率可提高0.4%;因為實現了擴散工藝在潔凈氣氛下的連續化生產，不但可大大提高產量、降低生產成本，而且保證了擴散工藝的穩定性和可靠性。本實用新型對優化太陽電池工藝流程、提高電池效率、降低生產成本都具有重要的意義。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型結構示意圖；
[0019]圖2為B涂層區和涂層裝置結構示意圖；
[0020]圖3為通氣空心輥軸的結構示意圖；
[0021]圖4為PN結和SE摻雜涂層的涂層區圖形；
[0022]圖5為被擴散物在通氣臺階空心輥軸上傳輸的示意圖；
[0023]圖中:1、上料區；2、傳輸輥軸；3、被擴散物；4、涂層區；4_1、A涂層區；4_2、B涂層區；5、緩沖區；6、預熱烘干區；7、A涂層區的涂層裝置；8、B涂層區的涂層裝置；9、高溫擴散區；10、保溫層；11、排風管；12、加熱燈管；13、冷卻區；14、冷卻風機；15、下料區；16、SE區域；17、PN結區域；18、不連通的圖案；201、軸頭；202、空心輥軸；203、通氣孔；204、通氣軸頭；205、旋轉接頭；206、進氣管；207臺階。
【具體實施方式】
[0024]以下結合實施例和附圖對本實用新型作進一步描述。
[0025]實施例1
[0026]如圖1-5所示，本實施例為具有SE功能的硅太陽電池用水平輥道式連續擴散設備，其結構示意圖見圖1，包括上料區1、傳輸輥軸2、被擴散物3、A涂層區4-1、緩沖區5、預熱烘干區6、A涂層區4-1的涂層裝置7、高溫擴散區9、保溫層10、排風管11、加熱燈管12、冷卻區13、冷卻風機14、下料區15等。該實施例只有一個涂層區。
[0027]以硅片作為被擴散物3為例，A涂層區4-1的涂層裝置7為絲網印刷機或激光噴涂裝置，當使用絲網印刷機作為涂層裝置時，使用一種含磷漿料進行印刷，采用一種特殊結構的網版在硅片上一次印刷出不同濃度或密度的SE圖形和PN結圖形磷漿，其網版結構如圖4所示。16實線部分為SE區域，該區圖形為直線，包括毫米量級以上的粗線條和垂直于粗線條的幾微米到數十微米量級的細線條和邊框，粗線可以設計為連續、部分間斷計(中間是串聯的)、鏤空等，條數為二至多條，細線條部分必須為連續，條數為數十到幾百條。邊框可以為連續或蛇形，寬度與細線條一致；17是PN結區，由空白或若干不連通的圖案組成，該不連通的圖案包括圓形(點狀)、或線性、或方形、或三角形或菱形或其他任何不連通的圖形，圖案尺寸在微米量級，間距為零到數微米。由于這種網版結構對同一種漿料有不同的透過特性，因此，一次印刷就可以分別在SE區域和PN結區域制備出濃度或密度不同的圖形，將這種印刷完磷漿涂層的硅片，在水平輥軸的傳輸下送入高溫擴散區，在700-100(TC下進行高溫處理，就形成了具有SE功能的擴散片。輥道運行速度可在12m/min以內任意可調，必要時可以往復轉動、使硅片在擴散爐內停留足夠的時間，以達到擴散效果。
[0028]當使用激光噴涂裝置作為涂層裝置時，在激光噴涂裝置中按照圖4所示圖案設置好噴涂的圖形，一次噴涂就可以分別在SE區域和PN結區域制備出濃度或密度不同的圖形，然后在水平輥軸的傳輸下送入高溫擴散區，在700-1000 V下進行高溫處理，就形成了具有SE功能的擴散片。[0029]實施例2
[0030]該實施例為具有SE功能的硅太陽電池用水平輥道式連續擴散設備，在實施例1基礎上增加了 I個B涂層區4-2和涂層裝置8，以硅片作為被擴散物3為例，通過二次噴涂分別在SE區域和PN結區域制備出濃度或密度或組分不同的含磷圖形。
[0031]涂層裝置7為絲網印刷機，涂層裝置8為霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置。硅片先經過涂層裝置7的絲網印刷機印刷了圖4中SE圖形的磷漿，在水平輥道的傳輸下依次經過霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置8的下方，霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置8再在硅片上部噴涂一層濃度低于SE區域的磷漿、或者噴涂一層與SE區域組分不同的磷漿，在同等工藝條件下，噴涂裝置8噴涂的磷漿其摻雜效果比SE區域的磷漿差，將其送入高溫擴散區在700-100(TC下進行高溫處理，就形成了具有SE功能的擴散片。
[0032]實施例3
[0033]本實施例為半導體用水平輥道連續擴散設備，與實施例1不同的是，該設備只有I個B涂層區4-2和涂層裝置8。
[0034]本設備中，被擴散物3可以是鍺片、硅片和砷化鎵片，涂層裝置8為霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置。被擴散物經過涂層裝置8時上表面全部被噴涂了摻雜物質，再依次進入烘干區、高溫擴散區進行后續處理，最終成為一般擴散片。
[0035]實施例4
[0036]在實施例1-3的基礎上，上表面附著了摻雜物質的被擴散物3，都是始終保持其擴散面朝上，通過由若干條水平排列、可以沿軸線方向往復轉動的輥軸2的摩擦力的作用下依次從上一個輥軸水平移動至下一個輥軸，被擴散物3通過水平移動、依次連續通過高溫處理裝置，不間斷、一次性連續完成PN結和SE的摻雜。
[0037]其中高溫擴散區的溫度在700-1000°C，輥道運行速度可在12m/min以內任意可調。輥軸2可以是實心軸，也可以是帶有通氣孔203的空心輥軸202，在設備的爐膛內一般采用空心輥軸202，其結構如圖3所示，201是軸頭，用于固定空心輥軸；202是空心輥軸；203是空心軸的通氣孔；205是旋轉接頭，一端與通氣軸頭204相接，另一端與進氣管205相接，從進氣管205可以通入潔凈的氮氣、壓縮空氣或其他必要的氣體，該氣體通過空心輥軸202上的通氣孔203進入被擴散物3下部和周圍，由于始終有新鮮潔凈的氣體從空心輥軸202的通氣孔203中噴出，而被擴散物3 —直從空心輥軸202的通氣孔203上部經過，因而不斷噴出的潔凈氣體將被擴散物3包圍、阻止了外來氣體接近被擴散物3，從而在被擴散物3周圍形成了局部非常潔凈的小環境，因此，不會因為擴散爐爐體密封不嚴、外來雜質氣體進入爐膛而影響熱處理工作環境的潔凈度，因此，可對擴散環境起到保護作用。
[0038]其中，在空心輥軸202上被擴散物3經過的設置有若干通氣孔203的部位，還可以設置有至少一個中間凹、兩邊凸的臺階207，被擴散物3在兩邊凸起臺階的支撐和摩擦力作用下下水平移動，被擴散物3與凸起臺階的支撐接觸的部位一般以l_2mm為宜，被擴散物3與通氣孔203之間離開一定距離，較適宜的距離是0.5-2mm，這樣氣體可以無障礙地從被擴散物3下面進入爐膛，以便于氣體均勻地到達被擴散物3周圍；在空心輥軸上沿徑向方向設置的若干通氣孔，可以是同種孔徑和不同孔徑、可以是均勻間距或不均勻間距，以達到氣體的均勻分布。
[0039]盡管本實用新型的實施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用于各種適合本實用新型的領域，對于熟悉本領域的人員而言，可容易地實現另外的修改，因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實用新型并不限于特定的細節和這里示出與描述的圖例。
【權利要求】
1.一種具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:在所述擴散設備中，設置有至少一個制備含有摻雜物質涂層的裝置，通過該涂層制備裝置可以在被擴散物表面PN結區域和SE區域分別制備出密度或濃度或組分不同的含有摻雜物質的涂層，表面附著了上述涂層的被擴散物，始終保持其擴散面朝上，在水平輥道的傳輸下水平移動，依次連續通過高溫處理裝置，不間斷、一次性完成PN結和SE的摻雜。
2.根據權利要求1所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:該設備由上片區、含有摻雜物質的涂層區、預熱烘干區、高溫擴散區、冷卻區和出片區六個基本單元組成。
3.根據權利要求2所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:所述涂層的制備裝置，為絲網印刷裝置或霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置或旋涂裝置；所述含有摻雜物質的涂層區為一個或兩個，其中，涂層區為一個時，通過絲網印刷裝置或激光噴涂裝置中的任意一種涂層制備裝置在被擴散物表面PN結區域和SE區域一次分別制備出密度或濃度不同的含有摻雜物質的涂層；涂層區為兩個時，前一涂層區采用絲網印刷裝置或激光噴涂裝置制備含有摻雜物質的SE圖形，然后在后一涂層區通過絲網印刷裝置、霧化噴涂裝置、激光噴涂裝置或旋涂裝置中的任意一種涂層制備裝置制備PN結涂層，二步操作在被擴散物表面PN結區域和SE區域分別制備出密度或濃度或組分不同的含有摻雜物質的涂層。
4.根據權利要求3所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:在所述絲網印刷裝置中，用來進行絲網印刷的網版針對SE區域和PN結區域有不同的印刷特性，即SE區域印刷的涂層密度或濃度高于PN結區域印刷的涂層密度或濃度，實現一次印刷分別在SE區域和PN結區域形成不同密度或濃度的涂層。
5.根據權利要求4所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:所述絲網印刷裝置中的絲網印刷網版，SE區域由互相貫通的鏤空圖案組成，PN結區域由若干不連通的圖案組成，該不連通的圖案包括圓形、線性、方形、三角形、菱形或其他任何不連通的圖形。
6.根據權利要求4所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:所述絲網印刷裝置中的絲網印刷網版，SE區域刻蝕程度比PN結區域刻蝕程度高。
7.根據權利要求3所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置設置在水平輥道的上方，被擴散物在水平輥道的傳輸下水平移動過程中，依次經過霧化噴涂裝置或激光噴涂裝置的下方時，完成所述涂層的噴涂作業。
8.根據權利要求1所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:傳輸被擴散物的輥道由若干條水平排列、沿軸線方向往復轉動的輥軸組成，傳輸被擴散物的輥道至少一部分是由空心輥軸組成，在空心輥軸上被擴散物經過的部位沿徑向方向設置有若干通氣孔，在空心輥軸的至少一端通過旋轉接頭與進氣管連接，從進氣管通入潔凈的氮氣、壓縮空氣或其他必要的氣體，該氣體通過空心輥軸上的通氣孔進入到被擴散物經過的爐膛部位。
9.根據權利要求8所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:在空心輥軸上被擴散物經過的設置有若干通氣孔的部位，設置有至少一個中間凹、兩邊凸的臺階，被擴散物在兩邊凸起臺階的支撐和摩擦力作用下水平移動，被擴散物與通氣孔之間離開一定距離，氣體無障礙地從被擴 散物下面進入爐膛。
10.根據權利要求8所述的具有SE功能的水平輥道式連續擴散設備，其特征在于:在空心輥軸上沿徑向方向設置的若干通氣孔，其孔徑相同或不同，其間距為均勻間距或不均勻間距 。
【文檔編號】H01L31/18GK203607443SQ201320728031
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年11月18日 優先權日:2013年11月18日
【發明者】袁向東, 許穎, 袁瑒 申請人:北京金晟陽光科技有限公司, 袁向東, 許穎