一種作業軌道用新型墊塊的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種作業軌道用新型墊塊，包括軌道主體，所述軌道主體的下方設有真空槽，所述真空槽內設有真空孔，所述軌道主體的中央設有第一定位孔，所述軌道主體的中央覆蓋有墊塊，所述墊塊上設有第二定位孔，所述第二定位孔與所述第一定位孔對齊固定。本實用新型提供的一種作業軌道用新型墊塊，通過更換墊塊來實現了不同產品在軌道上的作業需求，降低了生產成本。
【專利說明】一種作業軌道用新型墊塊
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體產品的作業軌道，具體涉及一種作業軌道用新型墊塊。
【背景技術】
[0002]半導體產品在機臺作業軌道上加工時，由于不同產品所對應的軌道高度不同，故在作業不同產品時需要更換軌道，但該軌道屬于熱軌道，故其在更換軌道前需等待冷卻，這樣耗費的時間一般較長，同時也降低了企業的生產速率，不利于企業實現快速生產。
[0003]申請號為200880105619.1的中國專利公開了名稱為“機臺裝置”的發明專利，其包括主底座板，分別連接于主底座板上的第一、第二主軌道且使第一、第二主軌道延長的副軌道設置于各個副底座板上，其兩片副底座板能夠相互分離，主底座板上配置有作為移動部件的起重機架，其作業過程中較為復雜，且較為費時。
實用新型內容
[0004]本實用新型目的在于提供一種作業軌道用新型墊塊，通過更換墊塊來實現了不同產品在軌道上的作業需求，降低了生產成本。
[0005]為了實現以上目的，本實用新型一種作業軌道用新型墊塊，包括軌道主體，所述軌道主體的下方設有真空槽，所述真空槽內設有真空孔，所述軌道主體的中央設有第一定位孔，本實用新型的改進之處在于，所述軌道主體的中央覆蓋有墊塊，所述墊塊上設有第二定位孔，所述第二定位孔與所述第一定位孔對齊固定。
[0006]作為一種實施方式，所述墊塊為A墊塊，所述A墊塊的數量為2塊，且兩A墊塊設置在同一水平直線上緊貼于接合處。
[0007]作為另一種實施方式，所述墊塊為B墊塊，所述B墊塊的數量為2塊，且兩B墊塊設置在同一水平直線上緊貼于接合處。
[0008]進一步的，所述A、B兩墊塊的長度相同。
[0009]進一步的，所述兩A墊塊的長度之和與所述軌道主體的長度相等。
[0010]進一步的，所述A墊塊的高度大于所述B墊塊的高度。
[0011]本實用新型提供的一種作業軌道用新型墊塊，采用兩高度不同的墊塊實現在同一軌道上作業的需求，解決了現有的不同半導體產品所對應的軌道高度不同時，需更換相應軌道的狀況，提升了生產效率，同時降低了生產成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1為軌道主體的結構示意圖；[0014]圖2為本實用新型提供的實施例一的結構示意圖；
[0015]圖3為本實用新型提供的實施例二的結構示意圖；
[0016]圖4為本實用新型提供的一種作業軌道用新型墊塊結構側視示意圖。
【具體實施方式】
[0017]本實用新型提供一種作業軌道用新型墊塊，通過更換墊塊來實現了不同產品在軌道上的作業需求，降低了生產成本。
[0018]下面將結合本實用新型中的附圖，對本實用新型中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0019]實施例一
[0020]結合圖1、圖2、圖4，一種作業軌道用新型墊塊，包括軌道主體1，所述軌道主體I的下方設有真空槽2，所述真空槽2內設有真空孔3，所述軌道主體I的中央設有第一定位孔4，所述軌道主體I的中央覆蓋有墊塊5，所述墊塊5上設有第二定位孔6，所述第二定位孔6與所述第一定位孔4對齊固定，所述墊塊為A墊塊51，所述A墊塊51的數量為2塊，且兩A墊塊設置在同一水平直線上緊貼于接合處，所述兩A兩墊塊的長度相同，且所述兩A墊塊51的長度之和與所述軌道主體I的長度相等，由于不同高度半導體產品需對應不同高度軌道，需更換軌道時，參見實施例二 ；
[0021]實施例二
[0022]結合圖1、圖3、圖4，一種作業軌道用新型墊塊，包括軌道主體1，所述軌道主體I的下方設有真空槽2，所述真空槽2內設有真空孔3，所述軌道主體I的中央設有第一定位孔4，所述軌道主體I的中央覆蓋有墊塊5，所述墊塊5上設有第二定位孔6，所述第二定位孔6與所述第一定位孔4對齊固定，所述墊塊為B墊塊52，所述B墊塊52的數量為2塊，且兩B墊塊52設置在同一水平直線上緊貼于接合處，所述B墊塊52與實施例一中A墊塊的長度相同，所述兩B墊塊的長度之和與所述軌道主體的長度相等，所述B墊塊的高度小于所述A墊塊的高度，這樣能滿足不同高度的半導體產品所需對應的不同高度的作業軌道。
[0023]通過以上描述可知，本實用新型提供的一種作業軌道用新型墊塊，采用兩高度不同的墊塊實現在同一軌道上作業的需求，解決了現有的不同半導體產品所對應的軌道高度不同時，需更換相應軌道的狀況，提升了生產效率，同時降低了生產成本。
[0024]以上內容是結合具體的優選實施方式對本實用新型所作的進一步詳細說明，不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應當視為屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種作業軌道用新型墊塊，包括軌道主體，所述軌道主體的下方設有真空槽，所述真空槽內設有真空孔，所述軌道主體的中央設有第一定位孔，其特征在于，所述軌道主體的中央覆蓋有墊塊，所述墊塊上設有第二定位孔，所述第二定位孔與所述第一定位孔對齊固定。
2.根據權利要求1所述的一種作業軌道用新型墊塊，其特征在于，所述墊塊為A墊塊，所述A墊塊的數量為2塊，且兩A墊塊設置在同一水平直線上緊貼于接合處。
3.根據權利要求1所述的一種作業軌道用新型墊塊，其特征在于，所述墊塊為B墊塊，所述B墊塊的數量為2塊，且兩B墊塊設置在同一水平直線上緊貼于接合處。
4.根據權利要求2或3所述的一種作業軌道用新型墊塊，其特征在于，所述A、B兩墊塊的長度相同。
5.根據權利要求2所述的一種作業軌道用新型墊塊，其特征在于，所述兩A墊塊的長度之和與所述軌道主體的長度相等。
6.根據權利要求4所述的一種作業軌道用新型墊塊，其特征在于，所述A墊塊的高度大于所述B墊塊的高度。
【文檔編號】H01L21/67GK203562408SQ201320561109
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年9月11日 優先權日:2013年9月11日
【發明者】敖利波 申請人:杰群電子科技（東莞）有限公司