專利名稱：一種ebr擋板的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體技術領域，尤其涉及一種EBR擋板，用以EBR工藝中的清洗溶劑防濺防滴。
背景技術：
邊緣光刻膠的去除(Edge Bead Removal，全文簡稱EBR)，指涂布光刻膠工藝在勻膠后晶圓邊緣的正反兩面都會有光刻膠的堆積，如果采用的是接觸式曝光，那么掩模板和晶片之間就會有間隙，造成曝光出現虛影，因此要去除掉晶圓邊緣的光刻膠。邊緣的光刻膠一般涂布不均勻，不能得到很好的圖形，且容易發生剝離(Peeling)而影響其它部分的圖形。EBR方法主要有以下兩種:a、化學方法(Chemical EBR)，軟烘后，用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乙酸-2-甲氧基乙酯(EGMEA)去邊溶劑，噴出少量在正反面邊緣處，并小心控制不要到達光刻膠有效區域；b、光學方法(Optical EBR)，即晶片邊緣曝光(Wafer EdgeExposure,簡稱WEE),在完成圖形的曝光后，用激光曝光晶片邊緣，然后在顯影或特殊溶劑中溶解。EBR工藝采用有機溶劑沖洗掉晶圓邊緣的光刻膠，有機溶劑從管路中噴到晶圓上會有液滴濺起，影響晶圓內的有效管芯，以至影響制品的良率。為避免這種現象，通常在有機溶劑噴管出口處，加一塊塑料擋板，避免液滴濺到晶圓內。但有機溶劑會粘附在塑料擋板上不斷累積，達到一定量便會滴下，影響晶圓內管芯。發生這種狀況，就需要設備維修人員加強維護，避免有效溶劑的過量累積，增加了勞動者強度。由于需要增加設備維護，機器的有效使用時間減少，使得效益也相應的下降。因此，針對上述技術問題，有必要提供一種具有改良結構的EBR擋板，以克服上述缺陷。
實用新型內容有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種新型的EBR擋板，對傳統的EBR擋板結構進行改良，不僅可以對EBR清洗溶劑進行防濺，還可以防止清洗溶劑沿擋板的滴落。現有的EBR擋板僅包括一塊塑料板體，可以避免有機溶劑液滴濺到晶圓內。但有機溶劑會粘附在塑料擋板上不斷累積，達到一定量便會滴下，影響晶圓內管芯。導流槽在很多設備中被應用，并取得了不錯的引導液體流向的效果，考慮將導流槽借鑒到現有的EBR擋板上，通過合理的設計和組合，將有機溶劑液滴收集并導流出去，便不會有滴落現象發生。為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案:一種EBR擋板，包括一板體和設于所述板體同一側面的至少一條導流槽。優選的，所述板體側面底部設有一條導流槽。 所述的導流槽橫截面為U字型或V字形。[0012]所述的導流槽橫截面為U字型，更有利于有機溶劑液滴匯聚后的流動。所述的導流槽縱切面為“一”字型或“人”字型。所述的導流槽縱切面為“人”字型。中部段高，兩邊端低的“人”字型結構，更方便有機溶劑液滴依靠自身的重力沿導流槽下落，不至于會有部分有機溶劑液滴長期停留在導流槽內。進一步的，所述EBR擋板由氟塑料制成，可以防止清洗用有機溶劑對擋板的腐蝕。特別的，還可以在所述板體設有導流槽的一面設置吸附材料，進一步提高EBR擋板的防濺效果。本實用新型還提供了一種EBR清洗裝置，包括溶劑噴嘴、支架和所述的EBR擋板，所述EBR擋板傾斜安裝在支架上。特別的，所述EBR擋板傾斜30度安裝在支架上。從上述技術方案可以看出，本實用新型的EBR擋板，通過增加導流槽，將設有導流槽的EBR擋板側面置于清洗溶劑噴嘴側，便于回濺的有機溶劑向晶圓外流，杜絕了有機溶劑對圓晶的污染，省卻了設備維護，保證了生產效率。
為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關本實用新型的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本實用新型的EBR擋板的結構示意圖；圖2是本實用新型的EBR擋板的導流槽縱切面為“人”字型的剖面圖；圖3是安裝有本實用新型的EBR擋板的EBR清洗裝置結構示意圖。
具體實施方式
本實用新型公開了一種EBR擋板，包括一板體和設于所述板體同一側面的至少一條導流槽。優選的，所述板體側面底部設有一條導流槽。所述的導流槽橫截面為U字型或V字形。所述的導流槽縱切面為“一”字型或“人”字型。進一步的，所述EBR擋板由氟塑料制成。特別的，還可以在所述板體設有導流槽的一面設置吸附材料。本實用新型還提供了一種EBR清洗裝置，包括溶劑噴嘴、支架和所述的EBR擋板，所述EBR擋板傾斜安裝在支架上。 特別的，所述EBR擋板傾斜30度安裝在支架上。下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。[0033]如圖1所示，本實用新型提供的一種EBR擋板，包括一塊板體I和設于所述板體I同一側面的三條導流槽2。三條導流槽2均呈“一”字型，并水平的平行排列分布。板體I和設于其上的三條導流槽2均采用杜邦公司的特氟龍(Teflon)材料制成，由于氟塑料材料具有優異的化學性能，尤其是耐腐蝕性能，對EBR工藝中所用的去邊清洗溶劑丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乙酸-2-甲氧基乙酯(EGMEA)具有極佳的穩定性。圖1以設有三條“一”字型導流槽為例，導流槽的數量不限于三條，只要在塑料板體的一邊的底部設有一條導流槽，便可以實現將回濺的有機溶劑收集并引導向晶圓外流的基本功能和效果，根據回濺的有機溶劑實際情況，為保證效果，也可以設置多條導流槽。導流槽2橫截面通常為U字型或V字形，橫截面為U字型，更有利于有機溶劑液滴匯聚后的流動。如圖2所示，本實用新型提供的另一種EBR擋板，包括一板體I和設于所述板體I同一側面的三條導流槽2。三條導流槽2均呈“人”字型。中部段高，兩邊端低的“人”字型結構，更方便有機溶劑液滴依靠自身的重力沿導流槽下落，不至于會有部分有機溶劑液滴長期停留在導流槽內。是對圖1所示的EBR擋板的進一步優化。特別的，還可以在所述的板體導流槽側設置吸附材料，進一步提高EBR擋板的防濺效果。本實用新型的EBR擋板，板體和導流槽可以一體成型，也可以先制得板體，通過外設的方式固定導流槽到板體的同一側面。一體成型的EBR擋板在使用時整體更換，外設方式的EBR擋板可以根據需要在EBR工藝中增加或減少導流槽的數量。如圖3所示，本實用新型的EBR清洗裝置，包括溶劑噴嘴01、支架02和所述的EBR擋板03，所述的EBR擋板03傾斜安裝在支架上，在使用過程中，EBR擋板03邊緣向外傾斜的安裝在支架02上，更有利于將回濺的有機溶劑收集并引導向晶圓外流，傾斜的角度根據機臺和待清洗的圓晶的尺寸等情況綜合考慮決定，根據經驗通常在傾斜30度左右效果最佳。使用過程中，導流槽兩端也可以外接導流管，將回濺的有機溶劑收集并引導到收集裝置中，收集裝置可以是收集盤或收集瓶等，也方便了有機溶劑的回收利用，減少了有機溶劑的揮發及其對操作人員的危害。綜上所述，本實用新型的EBR擋板，通過增加導流槽，將設有導流槽的EBR擋板側面置于清洗溶劑噴嘴側，便于回濺的有機溶劑向晶圓外流，杜絕了有機溶劑對圓晶的污染，省卻了設備維護，保證了生產效率。對于本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。
權利要求1.一種EBR擋板，其特征在于:包括一板體(I)和設于所述板體(I)同一側面的至少一條導流槽(2)。
2.根據權利要求1所述的EBR擋板，其特征在于:所述的板體(I)側面底部設有一條導流槽(2)。
3.根據權利要求1所述的EBR擋板，其特征在于:所述的導流槽(2)橫截面為U字型或V字形。
4.根據權利要求1所述的EBR擋板，其特征在于:所述的導流槽(2)縱切面為“一”字型或“人”字型。
5.根據權利要求1所述的EBR擋板，其特征在于:所述的EBR擋板由氟塑料制成。
6.根據權利要求1所述的EBR擋板，其特征在于:在所述的板體(I)設有導流槽(2)的一面設有吸附材料。
7.一種EBR清洗裝置，包括溶劑噴嘴(01 )、支架(02)和權利要求1飛任一項所述的EBR擋板(03 )，所述的EBR擋板(03 )傾斜安裝在支架(02 )上。
8.根據權利要求7所述的EBR清洗裝置，其特征在于:所述的EBR擋板(03)傾斜30度安裝在支架(02)上。
專利摘要本實用新型公開了一種EBR擋板，包括一板體和設于所述板體同一側面的至少一條導流槽，不僅可以對EBR清洗溶劑進行防濺，還可以防止清洗溶劑沿擋板的滴落。本實用新型的EBR擋板，通過增加導流槽，將設有導流槽的EBR擋板側面置于清洗溶劑噴嘴側，便于回濺的有機溶劑向晶圓外流，杜絕了有機溶劑對圓晶的污染，省卻了設備維護，保證了生產效率。
文檔編號H01L21/67GK203037997SQ20132001786
公開日2013年7月3日 申請日期2013年1月14日 優先權日2013年1月14日
發明者李玉華 申請人:無錫華潤上華科技有限公司