接合裝置及薄膜狀基板保持單元的制作方法

接合裝置及薄膜狀基板保持單元的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種能夠簡(jiǎn)單且迅速地應(yīng)對(duì)壓接在基板上的對(duì)象的薄膜狀基板的形狀改變的情況的接合裝置。本發(fā)明的接合裝置具備：壓接頭（13），其具備將薄膜狀基板（3）的外部連接用端子組（3a）壓接在基板（2）上的壓接工具（23）及使壓接工具（23）升降的壓接工具升降機(jī)構(gòu)（22）；薄膜狀基板保持單元（26），其在外部連接用端子組（3a）位于壓接工具（23）的下方的狀態(tài)下保持薄膜狀基板（3）。薄膜狀基板保持單元（26）具備多個(gè)配置在與薄膜狀基板（3）的形狀相應(yīng)的位置的吸附部（54、65），且拆裝自如地安裝于壓接頭（13）。
【專(zhuān)利說(shuō)明】接合裝置及薄膜狀基板保持單元

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及將在邊緣部分形成有外部連接用端子組的薄膜狀基板壓接在基板上的接合裝置及在該接合裝置中使用的薄膜狀基板保持單元。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，作為將在邊緣部分形成有外部連接用端子組的薄膜狀基板壓接在基板上的接合裝置，已知有具備將壓接工具和保持薄膜狀基板的吸附部一體設(shè)置的壓接頭的構(gòu)成。在該接合裝置中，通過(guò)壓接工具吸附形成有外部連接用端子組的線部分，通過(guò)多個(gè)吸附部吸附從邊緣部分延伸的部分以保持薄膜狀基板。由于多個(gè)吸附部配置在與薄膜狀基板的形狀相應(yīng)的位置，故而即使是復(fù)雜形狀的薄膜狀基板也能夠可靠地進(jìn)行吸附(例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。
[0003]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:(日本)特開(kāi)2000 - 77898號(hào)公報(bào)
[0004]但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I記載的接合裝置中，匹配壓接在基板上的對(duì)象的薄膜狀基板的形狀而準(zhǔn)備了專(zhuān)用的壓接頭。因此，每當(dāng)薄膜狀基板的形狀改變時(shí)就必須更換整個(gè)壓接頭。另外，壓接頭的更換作業(yè)需要平行度的調(diào)整及吸附部的位置調(diào)整等多個(gè)工序，存在必須使接合裝置的工作長(zhǎng)時(shí)間停止的問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠簡(jiǎn)單且迅速應(yīng)對(duì)壓接在基板上的對(duì)象的薄膜狀基板的形狀改變的情況的接合裝置。
[0006]另外，本發(fā)明的目的在于提供一種可與各種形狀的薄膜狀基板對(duì)應(yīng)的薄膜狀基板保持單元。
[0007]本發(fā)明的接合裝置將在邊緣部分形成有外部連接用端子組的薄膜狀基板壓接在基板上，其中，具備:壓接頭，其具有將所述薄膜狀基板的所述外部連接用端子組壓接在所述基板上的壓接工具及使所述壓接工具升降的壓接工具升降裝置；薄膜狀基板保持單元，其在所述外部連接用端子組位于所述壓接工具的下方的狀態(tài)下保持所述薄膜狀基板，所述薄膜狀基板保持單元具備多個(gè)配置在與所述薄膜狀基板的形狀對(duì)應(yīng)的位置的吸附部，且拆裝自如地安裝在所述壓接頭。
[0008]另外，本發(fā)明的薄膜狀基板保持單元，在具備將在邊緣部分形成有外部連接用端子組的薄膜狀基板壓接在基板上的壓接頭的接合裝置中，保持所述薄膜狀基板，其中，具備:基座部，其安裝在所述壓接頭具備的安裝部；多個(gè)臂，其將一端部設(shè)于所述基座部，在另一端部具有吸附所述薄膜狀基板的吸附部，所述多個(gè)臂的至少一個(gè)，其所述一端部通過(guò)軸部件相對(duì)于所述基座部轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝，在設(shè)于所述一端部與所述另一端部之間的關(guān)節(jié)部自如彎曲。
[0009]在本發(fā)明中，設(shè)置壓接頭、和具備配置在與薄膜狀基板的形狀對(duì)應(yīng)的位置的多個(gè)吸附部的薄膜狀基板保持單元，將薄膜狀基板保持單元拆裝自如地安裝在壓接頭上，因此，在壓接在基板上的對(duì)象的薄膜狀基板的形狀改變的情況下，僅在壓接頭安裝與變更后的薄膜狀基板的形狀對(duì)應(yīng)的薄膜狀保持單元就能夠簡(jiǎn)單且迅速應(yīng)對(duì)。
[0010]另外，在本發(fā)明中，薄膜狀基板保持單元具備的多個(gè)臂中的至少一個(gè)相對(duì)于基座部自如轉(zhuǎn)動(dòng)且自如彎曲，能夠使相對(duì)于該基座部轉(zhuǎn)動(dòng)自如且在關(guān)節(jié)部彎曲自如的臂的吸附部向任意位置移動(dòng)而使多個(gè)吸附部的位置與薄膜狀基板的形狀相應(yīng)，因此，即使在壓接在基板上的對(duì)象的薄膜狀基板的形狀改變的情況下也能夠同樣使用薄膜狀基板保持單元。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本發(fā)明一實(shí)施方式中的接合裝置的主要部分側(cè)面圖；
[0012]圖2是表示本發(fā)明一實(shí)施方式中的接合裝置具備的壓接頭和薄膜狀基板保持單元的立體圖；
[0013]圖3是表示本發(fā)明一實(shí)施方式中的壓接頭和薄膜狀基板保持單元的局部分解立體圖；
[0014]圖4 (a)、(b)是表示本發(fā)明一實(shí)施方式中的壓接頭和薄膜狀基板保持單元的側(cè)面圖；
[0015]圖5是本發(fā)明一實(shí)施方式中的薄膜狀基板保持單元的立體圖；
[0016]圖6是本發(fā)明一實(shí)施方式中的薄膜狀基板保持單元的局部剖面正面圖；
[0017]圖7 (a)、(b)、(c)是本發(fā)明一實(shí)施方式中的薄膜狀基板保持單元具備的自由臂的部分剖面圖；
[0018]圖8是本發(fā)明一實(shí)施方式中的薄膜狀基板保持單元具備的自由臂的部分剖面圖；
[0019]圖9 (a)、(b)、(C)、(d)是本發(fā)明一實(shí)施方式中的薄膜狀基板保持單元的平面圖；
[0020]圖10是表示本發(fā)明一實(shí)施方式中的接合裝置的控制系統(tǒng)的框圖；
[0021]圖11 (a)、(b)是說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明一實(shí)施方式中的接合裝置將薄膜狀基板壓接在基板上的順序的圖；
[0022]圖12 (a)、(b)是說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明一實(shí)施方式中的接合裝置將薄膜狀基板壓接在基板上的順序的圖。
[0023]標(biāo)記說(shuō)明
[0024]1:接合裝置
[0025]2:基板
[0026]3:薄膜狀基板
[0027]3a:外部連接用端子組
[0028]13:壓接頭
[0029]22:壓接工具升降機(jī)構(gòu)(壓接工具升降裝置)
[0030]23:壓接工具
[0031]24:安裝部升降缸(安裝部升降裝置)
[0032]25:安裝部
[0033]26:薄膜狀基板保持單元
[0034]32b:吸入端口
[0035]33:對(duì)位銷(xiāo)(引導(dǎo)部)
[0036]41:基座部
[0037]41a:開(kāi)口(吸入開(kāi)口)
[0038]42:固定臂(臂)
[0039]43:自由臂(臂)
[0040]54:吸附部
[0041]65:吸附部
[0042]63:第一軸部件(軸部件)
[0043]64:第二軸部件(關(guān)節(jié)部)
[0044]81:第一內(nèi)部吸引路(內(nèi)部吸引路)
[0045]82:第二內(nèi)部吸引路(內(nèi)部吸引路)

【具體實(shí)施方式】
[0046]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1所示的接合裝置I為將形成于薄膜狀基板3的邊緣部分的外部連接用端子組3a壓接在設(shè)于基板2的端部的薄膜狀基板被壓接部2a的裝置，其具備:基板保持臺(tái)11，其保持基板2 ;中繼臺(tái)12，其設(shè)于基板保持臺(tái)11的前后方向(圖1的紙面左右方向。設(shè)為Y軸方向)的后方，在從未圖示的薄膜狀基板供給部供給的薄膜狀基板3壓接于基板2前暫時(shí)載置薄膜狀基板3 ;壓接頭13，其沿水平面內(nèi)方向移動(dòng)自如地設(shè)于基板保持臺(tái)11及中繼臺(tái)12的上方區(qū)域，吸附載置于中繼臺(tái)12的薄膜狀基板3并壓接在保持于基板保持臺(tái)11的基板2上；支承臺(tái)14，其設(shè)于基板保持臺(tái)11和中繼臺(tái)12之間的區(qū)域，在通過(guò)壓接頭13將薄膜狀基板3壓接在基板2上時(shí)支承基板2的下面?zhèn)龋徽障鄼C(jī)15，其在支承臺(tái)14的后方鄰接設(shè)置，從下方拍攝壓接頭13吸附的狀態(tài)的薄膜狀基板3的外部連接用端子組3a附近的識(shí)別標(biāo)志及形成于被基板保持臺(tái)11保持的基板2的薄膜狀基板被壓接部2a的識(shí)別標(biāo)志。
[0047]在圖1中，基板保持臺(tái)11通過(guò)基板保持臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)IlM沿水平面內(nèi)方向及上下方向移動(dòng)，中繼臺(tái)12通過(guò)中繼臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)12M沿水平面內(nèi)方向移動(dòng)。壓接頭13具有通過(guò)頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)13M在水平面內(nèi)移動(dòng)的頭基座21、設(shè)于頭基座21的壓接工具升降機(jī)構(gòu)22、通過(guò)壓接工具升降機(jī)構(gòu)22而相對(duì)于頭基座21升降的壓接工具23、安裝于壓接工具23的背面?zhèn)鹊陌惭b部升降缸24、通過(guò)安裝部升降缸24而升降的安裝部25、以及拆裝自如地安裝于安裝部25的薄膜狀基板保持單元26。
[0048]壓接工具23由安裝于壓接工具升降機(jī)構(gòu)22的活塞桿22a下端的內(nèi)裝有加熱用加熱器的加熱塊23a、工具主體23b、將工具主體23b固定在加熱塊23a上的工具主體保持部23c構(gòu)成。工具主體23b通過(guò)來(lái)自加熱塊23a的熱傳導(dǎo)被加熱至進(jìn)行熱壓接所需的溫度。壓接工具23通過(guò)壓接工具升降機(jī)構(gòu)22的活塞桿22a向下方的伸縮動(dòng)作而升降。
[0049]在圖2、圖3及圖4中，安裝部25具有與安裝部升降缸24的活塞桿24a的下端結(jié)合的水平部31及從水平部31的后緣向垂直上方延伸設(shè)置的垂直部32。垂直部32的背面32R被加工成垂直且平坦。在垂直部32的左右方向(與圖1的紙面正交的方向)的兩端部向后方延伸設(shè)有一對(duì)對(duì)位銷(xiāo)33。
[0050]在圖3、圖4及圖5中，薄膜狀基板保持單元26具有安裝于安裝部25的垂直部32的背面32R側(cè)的基座部41，在基座部41，作為在前端設(shè)有用于吸附保持薄膜狀基板3的吸附部的多個(gè)臂，安裝有固定臂42和自由臂43兩種臂?；?1由具有被平坦加工的前面51F的抵接部51、和與抵接部51的下端連接且沿左右方向(與圖1的紙面正交的方向。設(shè)為X軸方向)延伸的臂連結(jié)部52構(gòu)成。在臂連結(jié)部52的中央部，固定臂42向Y方向前方延伸，在其前端部的下面?zhèn)染邆湮讲?4。另外，在臂連結(jié)部52的兩端部安裝有自由臂43。薄膜狀基板保持單元26使抵接部51的前面5IF與安裝部25的垂直部32的背面32R緊密貼合并進(jìn)行安裝。
[0051]在基座部41的抵接部51的左右兩端設(shè)有一對(duì)切口部55，抵接部51通過(guò)使這一對(duì)切口部55插通設(shè)于安裝部25的垂直部32的前述的一對(duì)對(duì)位銷(xiāo)33，從而以與安裝部25的垂直部32抵接的狀態(tài)進(jìn)行定位。在該狀態(tài)下，設(shè)于安裝部25的垂直部32的背面32R側(cè)的螺紋孔32a和貫通抵接部51而設(shè)置的貫通孔56對(duì)齊，故而使貫通貫通孔56的安裝螺栓57的螺紋部57S擰入螺紋孔32a后，抵接部51 (即薄膜狀基板保持單元26)成為固定于安裝部25進(jìn)行安裝的狀態(tài)(圖4 (a)—圖4 (b))。
[0052]在圖3、圖5及圖6中，薄膜狀基板保持單元26的自由臂43由第一聯(lián)桿61和第二聯(lián)桿62構(gòu)成。第一聯(lián)桿61的一端部通過(guò)第一軸部件63與基座部41的臂連結(jié)部52的左右端部連結(jié)，第二聯(lián)桿62的一端部通過(guò)第二軸部件64與第一聯(lián)桿61的另一端部連結(jié)。在第二聯(lián)桿62的另一端部的下表面設(shè)有吸附部65。
[0053]各自由臂43的第一聯(lián)桿61通過(guò)第一軸部件63相對(duì)于基座部41自如轉(zhuǎn)動(dòng)，第二聯(lián)桿62通過(guò)第二軸部件64相對(duì)于第一聯(lián)桿61自如轉(zhuǎn)動(dòng)。S卩，在本實(shí)施方式中，薄膜狀基板保持單元26具備一端部設(shè)于基座部41，另一端部具有吸附薄膜狀基板3的吸附部65的多個(gè)自由臂43，各自由臂43成為如下構(gòu)成:一端部通過(guò)第一軸部件63而相對(duì)于基座部41轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝，在設(shè)于一端部與另一端部之間的作為關(guān)節(jié)部的第二軸部件64自如彎曲。
[0054]圖7 (a)是自由臂43的部分(圖6虛線D部分)剖面圖，圖7 (b)、(C)是從圖7
(a)的向視V — V觀察到的剖面圖。在圖6及圖7 (a)中，在第一軸部件63的上端的螺紋部63S擰合有螺母63N，作業(yè)者通過(guò)在將螺母63N擰松的狀態(tài)下調(diào)整第一聯(lián)桿61相對(duì)于基座部41 (臂連結(jié)部52)的姿勢(shì)，之后緊固螺母63N從而能夠?qū)⒌谝宦?lián)桿61固定在基座部41。另外，在圖6及圖6虛線E部分的部分剖面圖即圖8中，在第二軸部件64的上端的螺紋部64S擰合有螺母64N，作業(yè)者通過(guò)在將螺母64N擰松的狀態(tài)下調(diào)整第二聯(lián)桿62相對(duì)于第一聯(lián)桿61的姿勢(shì)，之后緊固螺母64N而能夠?qū)⒌诙?lián)桿62固定在第一聯(lián)桿61。
[0055]在圖1中，在接合裝置I的外部設(shè)有真空源70，該真空源70經(jīng)由管路71與設(shè)于壓接工具23內(nèi)的壓接工具內(nèi)管路(未圖示)及設(shè)于安裝部25的內(nèi)部的安裝部?jī)?nèi)管路(未圖示)相連。壓接工具內(nèi)管路在工具主體23b的下端具有吸附開(kāi)口 23d，安裝部?jī)?nèi)管路具備在安裝部25的垂直部32的背面32R側(cè)開(kāi)口的兩個(gè)吸入端口 32b (圖3)。
[0056]在圖5及圖6中，在薄膜狀基板保持單元26的基座部41上設(shè)有兩個(gè)在基座部41安裝于安裝部25的狀態(tài)下與上述兩個(gè)吸入端口 32b相連的開(kāi)口 41a。從真空源70供給至壓接工具23的吸附開(kāi)口 23d的真空壓力的控制及供給至安裝部25的兩個(gè)吸入端口 32b的真空壓力的控制通過(guò)夾裝于管路71的空氣壓力控制部72 (圖1)進(jìn)行。
[0057]在圖6中，在薄膜狀基板保持單元26的基座部41上設(shè)有與一開(kāi)口 41a相連的第一基座部?jī)?nèi)吸引路81a和與另一開(kāi)口 41a相連的第二基座部?jī)?nèi)吸引路82a。第一基座部?jī)?nèi)吸引路8Ia與在固定臂42內(nèi)延伸的固定臂內(nèi)吸引路8Ib相連，第二基座部?jī)?nèi)吸引路82a與在各自由臂43內(nèi)延伸的自由臂內(nèi)吸引路82b相連。而且，設(shè)于固定臂42的吸附部54與固定臂內(nèi)吸引路81b相連，設(shè)于自由臂43的吸附部65與在該自由臂43內(nèi)延伸的自由臂內(nèi)吸引路82b相連。
[0058]這樣，第一基座部?jī)?nèi)吸引路81a和固定臂內(nèi)吸引路81b形成通過(guò)設(shè)于基座部41的一開(kāi)口 41a而與形成于安裝部25的一吸入端口 32b相連的內(nèi)部吸引路(稱(chēng)為第一內(nèi)部吸引路81)，第二基座部?jī)?nèi)吸引路82a和各自由臂43的自由臂內(nèi)吸引路82b形成通過(guò)設(shè)于基座部41的另一開(kāi)口 41a而與形成于安裝部25的另一吸入端口 32b相連的內(nèi)部吸引路(稱(chēng)為第二內(nèi)部吸引路82)。
[0059]S卩，在實(shí)施方式中，基座部41具有與形成于安裝部25的吸入端口 32b連接的開(kāi)口41a，在基座部41和自由臂43上設(shè)有從開(kāi)口 41a與吸附部(吸附部54及吸附部63)連通的內(nèi)部吸引路(第一內(nèi)部吸引路81及第二內(nèi)部吸引路82)。
[0060]在圖6中，各自由臂43內(nèi)的自由臂內(nèi)吸引路82b包含設(shè)于第一軸部件63內(nèi)的第一軸部件內(nèi)連通路83及設(shè)于第二軸部件64內(nèi)的第二軸部件內(nèi)連通路84 (也參照?qǐng)D7 (a)及圖8)。如圖7 (a)所示，第一軸部件內(nèi)連通路83由在第一軸部件63內(nèi)沿軸向延伸的軸向通路83a、與軸向通路83a的下端連通且沿與軸向正交的方向貫通第一軸部件63而延伸的下部貫通路83b、與軸向通路83a的上端連通且沿與軸向正交的方向貫通第一軸部件63而延伸的上部貫通路83c以及與上部貫通路83c的兩端開(kāi)口連通且繞第一軸部件63的外表面形成的槽83d構(gòu)成。軸向通路83a通過(guò)使第一軸部件63位于相對(duì)于基座部41的規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，從而經(jīng)由下部貫通路83b與在基座部41的臂連結(jié)部52內(nèi)延伸的第二基座部?jī)?nèi)吸引路82a連通，另一方面，通過(guò)上部貫通路83c及槽83d與在第一聯(lián)桿61內(nèi)延伸的自由臂內(nèi)吸引路82b連通(圖7 (a)及圖7 (b))。
[0061]如圖8所示，第二軸部件內(nèi)連通路84由在第二軸部件64內(nèi)沿軸向延伸的軸向通路84a、與軸向通路84a的上端連通而沿與軸向正交的方向貫通第二軸部件64延伸的上部貫通路84b、與上部貫通路84b的兩端開(kāi)口連通且繞第二軸部件64的外表面形成的上部槽84c、與軸向通路84a的下端連通且沿與軸向正交的方向貫通第二軸部件64延伸的下部貫通路84d以及與下部貫通路84d的兩端開(kāi)口連通且繞第二軸部件64的外表面形成的下部槽84e構(gòu)成。軸向通路84a通過(guò)上部貫通路84b及上部槽84c而與在第一聯(lián)桿61內(nèi)延伸的自由臂內(nèi)吸引路82b連通，另一方面，通過(guò)下部貫通路84d及下部槽84e而與在第二聯(lián)桿62內(nèi)延伸的自由臂內(nèi)吸引路82b連通。
[0062]這樣，形成于基座部41內(nèi)的第二基座部?jī)?nèi)吸引路82a和第一聯(lián)桿61內(nèi)的自由臂內(nèi)吸引路82b通過(guò)第一軸部件內(nèi)連通路83連接，第一聯(lián)桿61內(nèi)的自由臂內(nèi)吸引路82b和第二聯(lián)桿62內(nèi)的自由臂內(nèi)吸引路82b通過(guò)第二軸部件內(nèi)連通路84連接，如圖7 (c)所示，根據(jù)第一軸部件63相對(duì)于基座部41的旋轉(zhuǎn)位置，使第二基座部?jī)?nèi)吸引路82a和下部貫通路83b不連通，因此，第二基座部?jī)?nèi)吸引路82a和自由臂內(nèi)吸引路82b不連接。因此，通過(guò)使第一軸部件63相對(duì)于基座部41 (詳細(xì)而言為臂連結(jié)部52)位于規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，能夠截?cái)嗟诙?nèi)部吸引路82。
[0063]如上所述,作業(yè)者通過(guò)將第一聯(lián)桿61固定在基座部41,將第二聯(lián)桿62固定在第一聯(lián)桿61，從而能夠使設(shè)于各自由臂43的端部的吸附部65在一定區(qū)域內(nèi)移動(dòng)以對(duì)兩個(gè)吸附部65進(jìn)行希望的配置。壓接工具23的吸附開(kāi)口 23d吸附薄膜狀基板3的上表面中的外部連接用端子組3a的正上方的邊緣部分，故而吸附部54和吸附部65設(shè)定為如下的配置:壓接工具23的吸附開(kāi)口 23d吸附外部連接用端子組3a的正上方的邊緣部分，在吸附除此以外的部分(從邊緣部分延伸的部分)時(shí)能夠平衡地吸附保持薄膜狀基板3。
[0064]在此，關(guān)于不希望由吸附部65吸附薄膜狀基板3的自由臂43，如前所述，通過(guò)使第一軸部件63相對(duì)于基座部41位于規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，從而截?cái)嗟诙?nèi)部吸引路82。另外，在不希望來(lái)自吸附部54的吸附的情況下，從前述的空氣壓力控制部72截?cái)嗟谝换績(jī)?nèi)吸引路81a。圖9 (a)及圖9 (b)表示通過(guò)吸附部54和兩個(gè)吸附部65吸附保持薄膜狀基板3的情況下的例子，圖9 (c)表示在不進(jìn)行吸附部54的吸附的狀態(tài)下通過(guò)兩個(gè)吸附部65吸附保持薄膜狀基板3的情況的例子。另外，圖9 (d)表示通過(guò)吸附部54和一吸附部65吸附保持薄膜狀基板3的情況的例子。這樣，在本實(shí)施方式中的薄膜狀基板保持單元26中，能夠使吸附部(吸附部54及吸附部63)向任意位置移動(dòng)以進(jìn)行對(duì)應(yīng)于薄膜狀基板3的形狀的配置。
[0065]如上述那樣，作業(yè)者進(jìn)行了使吸附部(吸附部54及兩個(gè)吸附部65)與薄膜狀基板3的形狀相應(yīng)的配置之后，將薄膜狀基板保持單元26安裝在安裝部25。在將薄膜狀基板保持單元26安裝在安裝部25上時(shí)，如前述那樣，作業(yè)者通過(guò)使設(shè)于基座部41的抵接部51的左右兩端部的一對(duì)切口部55插通從安裝部25的垂直部32的背面32R向后方延伸設(shè)置的一對(duì)對(duì)位銷(xiāo)33，從而能夠進(jìn)行薄膜狀基板保持單元26相對(duì)于安裝部25的定位。此時(shí)，在薄膜狀基板保持單元26的基座部41安裝于安裝部25時(shí)，一對(duì)對(duì)位銷(xiāo)33作為將基座部41向安裝部25側(cè)引導(dǎo)的引導(dǎo)部而起作用，因此，作業(yè)者能夠非常容易地進(jìn)行薄膜狀基板保持單元26向安裝部25的安裝。另外，作業(yè)者也能夠摸索著將薄膜狀基板保持單元26安裝在安裝部25上，因此，不用繞入壓接頭13的背面?zhèn)?，從壓接頭13的正面?zhèn)染涂梢赃M(jìn)行薄膜狀基板保持單元26向安裝部25的安裝。
[0066]這樣，在本實(shí)施方式中，薄膜狀基板保持單元26具備多個(gè)配置在與薄膜狀基板3的形狀對(duì)應(yīng)的位置的吸附部(吸附部54及吸附部65)，且拆裝自如地安裝于壓接頭13。在壓接頭13上設(shè)有安裝部25，薄膜狀基板保持單元26具備拆裝自如地安裝于安裝部25的基座部41及設(shè)于基座部41且在先端具有吸附部65的多個(gè)(在此為兩個(gè))自由臂43。而且，安裝部25具備在安裝基座部41時(shí)作為引導(dǎo)基座部41的引導(dǎo)部的一對(duì)對(duì)位銷(xiāo)33。
[0067]壓接工具23的升降動(dòng)作能夠通過(guò)壓接工具升降機(jī)構(gòu)22的動(dòng)作而進(jìn)行，安裝部25(即薄膜狀基板保持單元26)的升降動(dòng)作能夠通過(guò)作為安裝部升降裝置的安裝部升降缸24的動(dòng)作來(lái)進(jìn)行，但由于安裝部升降缸24隨著壓接工具23的升降而升降，故而薄膜狀基板保持單元26的升降動(dòng)作通過(guò)基于壓接工具升降機(jī)構(gòu)22的壓接工具23的升降動(dòng)作和基于安裝部升降缸24的安裝部25的升降的組合來(lái)進(jìn)行。
[0068]在圖10中，由基板保持臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)IlM進(jìn)行的基板保持臺(tái)11的移動(dòng)控制、由中繼臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)12M進(jìn)行的中繼臺(tái)12的移動(dòng)控制、由頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)13M進(jìn)行的壓接頭13的移動(dòng)控制、由壓接工具升降機(jī)構(gòu)22進(jìn)行的壓接工具23的升降控制、由安裝部升降缸24進(jìn)行的薄膜狀基板保持單元26相對(duì)于壓接工具23的升降控制、由空氣壓力控制部72進(jìn)行的向壓接工具23的吸附開(kāi)口 23d及薄膜狀基板保持單元26的吸附部(吸附部54及吸附部65)的真空壓力的供給控制、以及由照相機(jī)15進(jìn)行的拍攝動(dòng)作控制通過(guò)接合裝置I具備的控制裝置90進(jìn)行。另外，通過(guò)照相機(jī)15的拍攝動(dòng)作得到的圖像數(shù)據(jù)向控制裝置90發(fā)送，在控制裝置90的圖像識(shí)別部90a中進(jìn)行圖像識(shí)別。
[0069]在從已經(jīng)由基板保持臺(tái)11保持基板2且將薄膜狀基板3載置于中繼臺(tái)12的狀態(tài)將薄膜狀基板3壓接在基板2上的情況下，控制裝置90首先進(jìn)行頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)13M的動(dòng)作控制而使壓接頭13移動(dòng)，使壓接工具23的吸附開(kāi)口 23d及薄膜狀基板保持單元26的吸附部(吸附部54及吸附部65)分別位于相對(duì)載置于中繼臺(tái)12的薄膜狀基板3的目標(biāo)吸附位置的上方(圖11(a))。然后，使安裝部升降缸24動(dòng)作，使薄膜狀基板保持單元26下降(圖11
(b)中所示的箭頭標(biāo)記A)，使薄膜狀基板保持單元26的吸附部(吸附部54及吸附部65)與薄膜狀基板3的上表面接觸。然后，進(jìn)行空氣壓力控制部72的控制，吸附薄膜狀基板3(圖11 (b))。
[0070]在吸附薄膜狀基板3之后，控制裝置90使安裝部升降缸24動(dòng)作以使薄膜狀基板保持單元26上升，使薄膜狀基板3與壓接工具23 (詳細(xì)而言為工具主體23b)的下端接觸。然后，進(jìn)行空氣壓力控制部72的控制，在壓接工具23的吸附開(kāi)口 23d吸附薄膜狀基板3的上表面的外部連接用端子組3a的正上方的邊緣部分。由此，薄膜狀基板3由薄膜狀基板保持單元26及壓接工具23吸附保持后，進(jìn)行頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)13M的動(dòng)作控制，使壓接頭13移動(dòng)，在使吸附的薄膜狀基板3的下表面的外部連接用端子組3a位于照相機(jī)15上方的狀態(tài)下，進(jìn)行基于照相機(jī)15的外部連接用端子組3a的拍攝(圖12 (a))。控制裝置90進(jìn)行通過(guò)照相機(jī)15的拍攝而得到的圖像數(shù)據(jù)的圖像識(shí)別來(lái)掌握外部連接用端子組3a的位置后，使壓接頭13移動(dòng)，使薄膜狀基板3的外部連接用端子組3a位于基板2的薄膜狀基板被壓接部2a的上方。然后，使壓接工具升降機(jī)構(gòu)22動(dòng)作以使壓接工具23下降(圖12 (b)中所示的箭頭標(biāo)記B。薄膜狀基板保持單元26與壓接工具23 —同下降)，將薄膜狀基板3的外部連接用端子組3a按壓在基板2的薄膜狀基板被壓接部2a上。由此，薄膜狀基板3被壓接在基板2上(圖12 (b))。
[0071]如以上說(shuō)明，在本實(shí)施方式中的接合裝置I中具備壓接頭13、具有多個(gè)配置在與薄膜狀基板3的形狀對(duì)應(yīng)的位置的吸附部(吸附部54及吸附部65)的薄膜狀基板保持單元26，薄膜狀基板保持單元26可拆裝自如地安裝在壓接頭13上。因此，在壓接在基板2上的對(duì)象的薄膜狀基板3的形狀改變的情況下，僅在壓接頭13安裝與變更后的薄膜狀基板3的形狀對(duì)應(yīng)的薄膜狀基板保持單元26就能夠簡(jiǎn)單且迅速地應(yīng)對(duì)。
[0072]另外，本實(shí)施方式中的薄膜狀基板保持單元26通過(guò)自由臂43可將其吸附部65的位置調(diào)整至與薄膜狀基板3的形狀對(duì)應(yīng)的位置，但也能夠使用僅具有以吸附部65位于與薄膜狀基板3的形狀對(duì)應(yīng)的位置的方式制成的固定臂42的薄膜狀基板保持單元26。
[0073]另外，使安裝部25升降的安裝部升降裝置如果安裝在可與壓接頭13同樣地移動(dòng)的裝置上則不必安裝在壓接工具23及與壓接工具23同時(shí)升降的部分，但如上述的實(shí)施方式那樣，如果安裝部升降裝置(安裝部升降缸24)安裝在壓接工具23及與壓接工具23 —同升降的部分，則不需要控制安裝部升降裝置與壓接工具23的升降同步，因此優(yōu)選。另外，如上述的實(shí)施方式那樣，如果安裝部升降裝置以通過(guò)壓接工具升降機(jī)構(gòu)22而與壓接工具23一同升降的方式進(jìn)行設(shè)置，則安裝部升降裝置自身進(jìn)行的安裝部25的升降行程較短即可，故而能夠使安裝部升降裝置、甚至壓接頭13整體小型化。
[0074]另外，如以上說(shuō)明地，在本實(shí)施方式中的接合裝置I中，在保持薄膜狀基板3的薄膜狀基板保持單元26中，薄膜狀基板保持單元26具備的多個(gè)臂中的至少一個(gè)(兩個(gè)自由臂43)相對(duì)于基座部41自如轉(zhuǎn)動(dòng)且自如彎曲，能夠使該自由臂43的吸附部(吸附部65)向任意位置移動(dòng)以進(jìn)行使多個(gè)吸附部(吸附部54及吸附部65)的位置與薄膜狀基板3的形狀相應(yīng)的配置。因此，即使在壓接在基板2上的對(duì)象的薄膜狀基板3的形狀改變的情況下能夠同樣使用薄膜狀基板保持單元26。另外，在本實(shí)施方式中固定臂42為一個(gè)，自由臂43為兩個(gè)，但在固定臂42至少為一個(gè)的情況下，自由臂43至少為一個(gè)即可，在沒(méi)有固定臂42的情況下，自由臂43至少為兩個(gè)即可。
[0075]另外，在上述的實(shí)施方式中，薄膜狀基板保持單元26的基座部41 (即薄膜狀基板保持單元26)拆裝自如地安裝于通過(guò)壓接頭13升降的部件(具體而言為安裝部25)，但如果薄膜狀基板保持單元26安裝于壓接頭13上則不必安裝于通過(guò)壓接頭13升降的部件上。另外，在上述的實(shí)施方式中，薄膜狀基板保持單元26成為在壓接頭13 (具體而言為安裝部25)上拆裝自如的結(jié)構(gòu)，但這不是必須的，也可以相對(duì)于壓接頭13固定。但如果薄膜狀基板保持單元26可拆裝自如地安裝在壓接頭13上，則即使在壓接在基板2上的對(duì)象的薄膜狀基板3的形狀改變的情況下，僅在壓接頭13安裝與變更后的薄膜狀基板3的形狀對(duì)應(yīng)的薄膜狀基板保持單元26就能夠簡(jiǎn)單且迅速應(yīng)對(duì)，因此優(yōu)選。
[0076]工業(yè)上的可利用性
[0077]本發(fā)明提供一種能夠簡(jiǎn)單且迅速地應(yīng)對(duì)壓接在基板上的對(duì)象的薄膜狀基板的形狀改變的情況的接合裝置。
[0078]另外，本發(fā)明提供一種可對(duì)應(yīng)各種形狀的薄膜狀基板的薄膜狀基板保持單元。
【權(quán)利要求】
1.一種接合裝置，將在邊緣部分形成有外部連接用端子組的薄膜狀基板壓接在基板上，其特征在于，具備: 壓接頭，其具有將所述薄膜狀基板的所述外部連接用端子組壓接在所述基板上的壓接工具及使所述壓接工具升降的壓接工具升降裝置； 薄膜狀基板保持單元，其在所述外部連接用端子組位于所述壓接工具的下方的狀態(tài)下保持所述薄膜狀基板， 所述薄膜狀基板保持單元具備多個(gè)配置在與所述薄膜狀基板的形狀對(duì)應(yīng)的位置的吸附部，且拆裝自如地安裝在所述壓接頭。
2.如權(quán)利要求1所述的接合裝置，其特征在于， 在所述壓接頭設(shè)有安裝部，所述薄膜狀基板保持單元具備拆裝自如地安裝于所述安裝部的基座部及設(shè)于所述基座部且在前端具有所述吸附部的多個(gè)臂。
3.如權(quán)利要求2所述的接合裝置，其特征在于， 所述安裝部具備在安裝所述基座部時(shí)引導(dǎo)所述基座部的引導(dǎo)部。
4.如權(quán)利要求2或3所述的接合裝置，其特征在于， 所述壓接頭具備使所述安裝部升降的安裝部升降裝置。
5.如權(quán)利要求2或3所述的接合裝置，其特征在于， 所述壓接頭具備使所述安裝部升降的安裝部升降裝置，所述安裝部升降裝置通過(guò)所述壓接工具升降裝置與所述壓接工具一同升降。
6.一種薄膜狀基板保持單元，在具備將在邊緣部分形成有外部連接用端子組的薄膜狀基板壓接在基板上的壓接頭的接合裝置中，保持所述薄膜狀基板，其特征在于，具備: 基座部，其安裝在所述壓接頭所具備的安裝部； 多個(gè)臂，其將一端部設(shè)于所述基座部，在另一端部具有吸附所述薄膜狀基板的吸附部， 所述多個(gè)臂的至少一個(gè)，其所述一端部通過(guò)軸部件相對(duì)于所述基座部轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝，在設(shè)于所述一端部與所述另一端部之間的關(guān)節(jié)部自如彎曲。
7.如權(quán)利要求6所述的薄膜狀基板保持單元，其特征在于， 所述基座部具有與形成于所述安裝部的吸入端口連接的吸入開(kāi)口，在所述基座部和所述臂設(shè)有從所述吸入開(kāi)口與所述吸附部連通的內(nèi)部吸引路。
8.如權(quán)利要求7所述的薄膜狀基板保持單元，其特征在于， 通過(guò)使所述軸部件相對(duì)于所述基座部位于規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，能夠?qū)⑾鄬?duì)于所述基座部轉(zhuǎn)動(dòng)自如且在所述關(guān)節(jié)部彎曲自如的所述臂的所述內(nèi)部吸引路截?cái)唷?br> 9.如權(quán)利要求6?8中任一項(xiàng)所述的薄膜狀基板保持單元，其特征在于， 所述基座部拆裝自如地安裝于所述壓接頭。
【文檔編號(hào)】H01L21/603GK104051290SQ201310741059
【公開(kāi)日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月12日
【發(fā)明者】龜田明, 浜田隆二, 山田真五, 味村好裕 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社