一種半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺的制作方法
【專利摘要】本發明是一種半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，包括L型底座，在所述L型底座的水平板內側安裝兩條平行的水平直線導軌，在所述L型底座的豎直板內側安裝兩條平行的豎直直線導軌，在所述水平直線導軌上方通過滑塊設置一個楔形塊，在所述楔形塊的斜面上設置一倒楔形工作臺，所述倒楔形工作臺的豎直面與所述豎直直線導軌接觸。采用本發明技術方案獨創的楔形結構，定位升降臺小巧緊湊、可實現高精度上下方向定位，且具有較大的上下方向行程。
【專利說明】一種半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體設備領域，具體涉及一種半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺。
【背景技術】
[0002]在半導體加工【技術領域】，需要用到高精度定位要求的精密測量儀器、精密裝配機等，這些儀器上面需要配備多種高精度的定位工作臺，而一般的X軸向和Y軸向的平面定位已經不能滿足越來越復雜的定位要求，如果有一種能進行精確升降定位的工作臺來進行Z軸定位，則它們組合起來便能進行復雜的空間定位，最大限度的滿足各種定位要求。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在于克服現有技術存在的問題，提供一種半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺。
[0004]為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本發明通過以下技術方案實現:
一種半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，包括L型底座，在所述L型底座的水平板內側安裝兩條平行的水平直線導軌，在所述L型底座的豎直板內側安裝兩條平行的豎直直線導軌，在所述水平直線導軌上方通過滑塊設置一個楔形塊，在所述楔形塊的斜面上設置一倒楔形工作臺，所述倒楔形工作臺的豎直面與所述豎直直線導軌接觸。
[0005]進一步的，所述楔形塊與所述L型底座的水平板通過所述水平直線導軌相對滑動。
[0006]進一步的，所述所述倒楔形工作臺與所述所述L型底座的豎直板通過所述豎直直線導軌相對滑動。
[0007]進一步的，所述倒楔形工作臺的斜面上安裝有兩條平行的傾斜直線導軌，所述傾斜直線導軌通過滑塊與所述楔形塊接觸。
[0008]進一步的，所述楔形塊與所述倒楔形工作臺通過所述傾斜直線導軌相對滑動。
[0009]進一步的，所述楔形塊內部固定有絲杠螺母，所述絲杠螺母內通過一根滾珠絲杠，所述滾珠絲杠一端與電機相聯，所述電機安裝在電機支架上，所述電機支架安裝在所述L型底座的豎直板外側。
[0010]進一步的，所述電機驅動所述楔形塊在所述所述L型底座的水平板上作往復直線運動。
[0011]進一步的，所述楔形塊向所述L型底座的豎直板方向移動時，所述倒楔形工作臺上升，所述楔形塊背向所述L型底座的豎直板方向移動時，所述倒楔形工作臺下降。
[0012]進一步的，在所述水平直線導軌的一側安裝有傳感器。
[0013]本發明的有益效果是:
采用本發明技術方案，所獨創的楔形結構驅動升降臺，定位升降臺小巧緊湊、可實現高精度上下方向定位，定位精度達0.005mm,重復定位精度可達±0.0Olmm,作為空間定位上的Z軸，而且具有較大的上下方向行程。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為本發明的結構示意圖。
[0015]圖中標號說明:1、L型底座，2、水平直線導軌，3、豎直直線導軌，4、滑塊，5、楔形塊，6、倒楔形工作臺，7、傾斜直線導軌，8、滑塊，9、絲杠螺母，10、滾珠絲杠，11、電機，12、電機支架，13、傳感器。
【具體實施方式】
[0016]下面將參考附圖并結合實施例，來詳細說明本發明。
[0017]參照圖1所示，一種半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，L型底座1，在所述L型底座I的水平板內側安裝兩條平行的水平直線導軌2，在所述L型底座I的豎直板內側安裝兩條平行的豎直直線導軌3，在所述水平直線導軌2上方通過滑塊4設置一個楔形塊5，在所述楔形塊5的斜面上設置一倒楔形工作臺6，所述倒楔形工作臺6的豎直面與所述豎直直線導軌3接觸。
[0018]進一步的，所述楔形塊5與所述L型底座I的水平板通過所述水平直線導軌2相
對滑動。
[0019]進一步的，所述所述倒楔形工作臺6與所述所述L型底座I的豎直板通過所述豎直直線導軌3相對滑動。
[0020]進一步的，所述倒楔形工作臺6的斜面上安裝有兩條平行的傾斜直線導軌7，所述傾斜直線導軌7通過滑塊8與所述楔形塊5接觸。
[0021]進一步的，所述楔形塊5與所述倒楔形工作臺(6)通過所述傾斜直線導軌7相對滑動。
[0022]進一步的，所述楔形塊5內部固定有絲杠螺母9，所述絲杠螺母9內通過一根滾珠絲杠10，所述滾珠絲杠10—端與電機11相聯，所述電機安裝在電機支架12上，所述電機支架12安裝在所述L型底座I的豎直板外側。
[0023]進一步的，所述電機11驅動所述楔形塊5在所述所述L型底座I的水平板上作往
復直線運動。
[0024]進一步的，所述楔形塊5向所述L型底座I的豎直板方向移動時，所述倒楔形工作臺6上升，所述楔形塊5背向所述L型底座I的豎直板方向移動時，所述倒楔形工作臺6下降。
[0025]進一步的，在所述水平直線導軌2的一側安裝有傳感器13。
[0026]本發明的原理:
在升降臺工作時，電機11通過滾珠絲杠10驅動楔形塊5在水平面上作直線運動，由于楔形塊5獨特的斜面設計，將水平位移分解成水平位移和豎直位移，豎直方向的位移帶動同樣具有斜面設計的倒楔形工作臺6上下移動，從而達到Z軸向定位的目的，同時安裝在水平直線導軌2 —側的傳感器13，可以精確的捕捉這種Z方向的位置變化，并將它們轉換為電信號反饋到主控系統，從而進行定位補償，進一步提高精度。
[0027]以上所述僅為本發明的優選實施例而已，并不用于限制本發明，對于本領域的技術人員來說，本發明可以有各種更改和變化。凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，L型底座(1)，其特征在于，在所述L型底座(I)的水平板內側安裝兩條平行的水平直線導軌(2)，在所述L型底座(I)的豎直板內側安裝兩條平行的豎直直線導軌(3)，在所述水平直線導軌(2)上方通過滑塊(4)設置一個楔形塊(5)，在所述楔形塊(5)的斜面上設置一倒楔形工作臺(6)，所述倒楔形工作臺(6 )的豎直面與所述豎直直線導軌(3 )接觸。
2.根據權利要求1所述的半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，其特征在于，所述楔形塊(5 )與所述L型底座(I)的水平板通過所述水平直線導軌(2 )相對滑動。
3.根據權利要求1所述的半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，其特征在于，所述所述倒楔形工作臺(6)與所述所述L型底座(I)的豎直板通過所述豎直直線導軌(3)相對滑動。
4.根據權利要求1所述的半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，其特征在于，所述倒楔形工作臺(6)的斜面上安裝有兩條平行的傾斜直線導軌(7)，所述傾斜直線導軌(7 )通過滑塊(8 )與所述楔形塊(5 )接觸。
5.根據權利要求4所述的半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，其特征在于，所述楔形塊(5)與所述倒楔形工作臺(6)通過所述傾斜直線導軌(7)相對滑動。
6.根據權利要求1所述的半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，其特征在于，所述楔形塊(5)內部固定有絲杠螺母(9)，所述絲杠螺母(9)內通過一根滾珠絲杠(10)，所述滾珠絲杠(10)—端與電機(11)相聯，所述電機安裝在電機支架(12)上，所述電機支架(13)安裝在所述L型底座(I)的豎直板外側。
7.根據權利要求2和6所述的半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，其特征在于，所述電機(11)驅動所述楔形塊(5 )在所述所述L型底座(I)的水平板上作往復直線運動。
8.根據權利要求1、2、3、5和7所述的半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，其特征在于，所述楔形塊(5)向所述L型底座(I)的豎直板方向移動時，所述倒楔形工作臺(6)上升，所述楔形塊(5)背向所述L型底座(I)的豎直板方向移動時，所述倒楔形工作臺(6)下降。
9.根據權利要求1所述的半導體加工設備上的楔形結構精密定位升降臺，其特征在于，在所述水平直線導軌(2)的一側安裝有傳感器(14)。
【文檔編號】H01L21/00GK103474384SQ201310401871
【公開日】2013年12月25日 申請日期:2013年9月6日 優先權日:2013年9月6日
【發明者】葉邦華 申請人:蘇州凱歐機械科技有限公司