半導體集成電路生產中晶圓制造調度方法及調度系統的制作方法
【專利摘要】本發明提出一種半導體集成電路生產中晶圓制造調度方法及調度系統，所述半導體集成電路生產中調度系統包括應用計算機軟、硬件連接的產品信息單元、時刻表單元、產品監控單元、優先級計算單元、優先級標準單元、顯示單元；所述調度方法按交貨緊急程度計算出各個產品和批次優先級，更加清楚、簡單地體現出不同產品和批次的緊急程度，根據優先級從高到低對生產線上有限的產能資源進行調度，達到對生產目標和生產效率的有效控制，提升生產效率和按時交貨的成功率。
【專利說明】半導體集成電路生產中晶圓制造調度方法及調度系統
【技術領域】
[0001] 本發明屬于半導體集成電路制造與信息技術的交叉領域，具體涉及到一種半導體 集成電路生產中晶圓制造調度方法及調度系統。
【背景技術】
[0002] 通常，半導體集成電路制造系統分為四個部分：晶圓制造（Wafer Fab，也叫前段工 序)、晶圓檢測（Wafer Probe)、切割封裝和最終測試。其中晶圓制造是指將單晶娃晶圓光板 加工成集成電路，其生產線是整個半導體集成電路制造中最核心和復雜的生產制造系統， 由于不同客戶的產品種類、工藝流程、參數需求各不相同，因此對晶圓制造的調度管理也相 當困難和復雜。
[0003] 晶圓制造生產線往往由近千個工作站點組成，又需要同時加工不同批次和數量的 幾十種產品，對各個產品的調度受到多方面的影響，生產率、工藝周期等半導體集成電路生 產線重要的評價指標受調度管理的影響很大，并且直接影響到按時交貨率。選取合適的調 度方法來決定不同產品不同批次的進行次序，追求最大化產出和最小化的訂單延遲時間， 提升整個生產線的運行效益是每個晶圓制造工廠的研究課題。
[0004] 目前，現有的以生產管理人員憑主觀意識組織生產的調度系統無法有效的控制每 一個生產線上產品的交貨緊急程度，生產管理人員無法直觀簡便的完成對產品的調度。在 對生產線上的產品進行調度時，只能手動更改對應產品的優先級，更改時間是隨機的，最終 結果受生產管理人員主觀判斷影響很大。由于生產線24小時連續運轉，不同班次的生產管 理人員的調度風格又各不相同，這樣使控制每個產品的出貨進度變得非常復雜和煩瑣，影 響生產效率和交付產品的日期。
【發明內容】
[0005] 本發明所要解決的技術問題是，根據交貨緊急程度為晶圓制造生產線提供簡單直 觀的調度系統，提高生產效率。
[0006] 為解決上述問題，本發明公開一種半導體集成電路生產中晶圓制造調度方法及調 度系統。一種半導體集成電路生產中調度系統，包括應用計算機軟、硬件連接的產品信息單 元、時刻表單元、產品監控單元、優先級計算單元、優先級標準單元、顯示單元；
[0007] 所述產品信息記錄單元用于存儲不同產品對應的工藝流程的相關數據；所述的時 刻表單元用于存儲各個產品批次的投入生產線的日期和按時交貨到期日；所述產品監控單 元用于記錄每個產品當前的經過的工藝步驟和狀態；所述優先級計算單元根據產品信息單 元、時刻表單元和產品監控單元的數據計算出各個產品的優先級系數；所述優先級標準單 元用于記錄和設定優先級系數對應的優先級；所述顯示單元根據計算出的優先級系數在優 先級標準單元中找到對應的優先級以約定好的形式顯示出來。
[0008] 可選的，所述優先級標準單元中還設定了次級優先級的標準的數據，在優先級相 同的情況下按次級優先級執行調度。
[0009] 進一步的，本發明半導體集成電路生產中調度系統的半導體集成電路生產中調度 方法，首先，所述優先級計算單元根據產品信息單元和時刻表單元分別計算出產品的生產 周期到期日和按時交貨到期日，選出其中較近的一個作為該產品的到期日；所述生產周期 到期日=晶圓投入生產線的日期+(生產周期*光刻層數）+庫存的時間；所述按時交貨到 期日為時刻表單元記錄的交貨到期日；
[0010] 然后，計算出優先級系數，所述優先級系數=需求傳輸系數/標準傳輸系數；根據 產品信息單元的數據計算出所述標準傳輸系數，為產品需要經過的站點總數八生產周期 *光刻層數）；根據產品信息單元和產品監控單元的數據計算所述需求傳輸系數，為產品剩 余的站點數/離到期日剩余的天數；
[0011] 之后，顯示單元根據所述優先級系數在優先級標準單元找到對應產品的優先級以 約定好的形式顯示出來；根據優先級從高到低進行生產和調度。
[0012] 可選的，所述優先級標準單元中還設定了次級優先級的標準的數據，在優先級相 同的情況下按次級優先級執行調度。
[0013] 可選的，在優先級和次級優先級都相同的情況下根據先進先出原則或機臺利用率 進行調度。
[0014] 可選的，所述半導體集成電路生產中調度方法還設置有更新時間，在指定的時段 對產品的優先級進行更新。
[0015] 本發明的優點是：根據交貨緊急程度提供了一種半導體集成電路生產中晶圓制造 調度方法及調度系統。對生產線上的產品按交貨緊急程度進行優先級的設定，更加清楚、明 確、迅捷地體現出不同產品和批次的緊急程度。根據優先級從高到低對生產線上有限的產 能資源進行科學調度，達到對生產目標和生產效率的有效控制，提升生產效率和按時交貨 的成功率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016] 圖1所示為本發明較佳實施例的半導體集成電路生產中調度系統的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0017] 為了進一步了解本發明的技術內容，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。
[0018] 參見圖1所示的半導體集成電路生產中調度系統的結構示意圖，所述半導體集 成電路生產中調度系統包括與應用計算機軟、硬件連接的產品信息單元101、時刻表單元 102、產品監控單元103、優先級計算單元104、優先級標準單元105、顯示單元106。
[0019] 所述產品信息記錄單元101用于存儲不同產品對應的工藝流程的相關數據，例 如，包括產品的需要經過的站點數，各個站點理論上的工藝時間，需要光刻的層數，生產周 期等數據。
[0020] 所述時刻表單元102用于存儲各個產品批次的投入生產線的日期和按時交貨到 期日。
[0021] 所述產品監控單元103用于記錄每個產品當前的經過的工藝步驟和狀態，例如， 包括正在進行的工藝步驟，已經經過的站點數量，是否在正常的工藝流程中等數據。
[0022] 所述優先級計算單元104用于根據產品信息單元、時刻表單元和產品監控單元的 數據計算出各個產品的優先級系數。
[0023] 所述優先級標準單元105用于記錄和設定優先級系數對應的優先級，生產規劃人 員可以根據具體情況調整分級的數量和系數區間。具體的，本實施例中將優先級分為十個 等級，對應數字1?10,數字越小，表示該批次的產品優先級越高，優選的，如表1，為本實施 例優先級系數與優先級的分配方法，將其中等級3?7根據優先級系數來分配，預留出等級 1?2給需要指定特殊加急的批次，例如表1中將特快（bullet)的批次設置為優先級1，將 緊急（hot)的批次設置為優先級2,預留出8?10給出現特殊原因需要延遲處理的批次或 生產線上非產品批次，如優先級8為需要工程師進行處理暫緩生產（slowdown，Eng)的批 次，優先級9為工藝或其他原因需要報廢（Scrap)的批次，優先級10為用于測機等非產品 批次的控檔片（CDW，controlanddummywafer)。當然，本領域技術人員也可根據各生產線 具體的情況設置預留出的優先級個數和等級。
【權利要求】
1. 一種半導體集成電路生產中調度系統，其特征在于，包括與應用計算機軟、硬件連接 的產品信息單元、時刻表單元、產品監控單元、優先級計算單元、優先級標準單元及顯示單 元； 所述產品信息單元用于存儲不同產品對應的工藝流程的相關數據；所述的時刻表單元 用于存儲各個產品批次的投入生產線的日期和按時交貨到期日；所述產品監控單元用于記 錄每個產品當前的經過的工藝步驟和狀態；所述優先級計算單元根據產品信息單元、時刻 表單元和產品監控單元的數據計算出各個產品的優先級系數；所述優先級標準單元用于記 錄和設定優先級系數對應的優先級；所述顯示單元根據計算出的優先級系數在優先級標準 單元中找到對應的優先級以約定好的形式顯示出來。
2. 如權利要求1所述的半導體集成電路生產中調度系統，其特征在于，所述優先級標 準單元中還設定了次級優先級的標準的數據，在優先級相同的情況下按次級優先級執行調 度。
3. 如權利要求1所述的半導體集成電路生產中調度系統，其特征在于，所述優先級標 準單元中優先級設定為十個等級。
4. 如權利要求1所述的半導體集成電路生產中調度系統，其特征在于，所述顯示單元 以數字的形式顯示優先級。
5. 如權利要求4所述的半導體集成電路生產中調度系統，其特征在于，所述顯示單元 還結合顏色標示不同的優先級。
6. -種使用如權利要求1?5中任一項所述的半導體集成電路生產中調度系統的半導 體集成電路生產中調度方法，包括： 首先，所述優先級計算單元根據產品信息單元和時刻表單元分別計算出產品的生產周 期到期日和按時交貨到期日，選出其中較近的一個作為該產品的到期日；所述生產周期到 期日=晶圓投入生產線的日期+ (生產周期*光刻層數）+庫存的時間；所述按時交貨到期 日為時刻表單元記錄的交貨到期日； 然后，計算出優先級系數，所述優先級系數=需求傳輸系數/標準傳輸系數；根據產品 信息單元的數據計算出所述標準傳輸系數，為產品需要經過的站點總數八生產周期*光刻 層數）；根據產品信息單元和產品監控單元的數據計算所述需求傳輸系數，為產品剩余的 站點數/離到期日剩余的天數； 之后，顯示單元根據所述優先級系數在優先級標準單元找到對應產品的優先級以約定 好的形式顯示出來；根據優先級從高到低進行生產和調度。
7. 如權利要求6所述的半導體集成電路生產中調度方法，其特征在于，所述優先級標 準單元中還設定了次級優先級的標準的數據，在優先級相同的情況下按次級優先級執行調 度。
8. 如權利要求6所述的半導體集成電路生產中調度方法，其特征在于，在優先級和次 級優先級都相同的情況下根據先進先出原則或機臺利用率進行調度。
9. 如權利要求6所述的半導體集成電路生產中調度方法，其特征在于，所述半導體集 成電路生產中調度方法還設置有更新時間，在指定的時段對產品的優先級進行更新。
【文檔編號】H01L21/67GK104423331SQ201310365494
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年8月20日 優先權日:2013年8月20日
【發明者】王冕 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司