夾具的制作方法
【專利摘要】一種夾具，配置成夾持被支承的單元掩模的端部并且張力施加至該單元掩模，該夾具包括夾具主體和旋轉接觸部分，其中該旋轉接觸部分由夾具主體可旋轉地支承并且與單元掩模的端部直接接觸。
【專利說明】夾具
【技術領域】
[0001]本公開大體上涉及夾具。更具體地，本公開大體上涉及在有機發光層的沉積中使用的向單元掩模施加張力的夾具。
【背景技術】
[0002]作為顯示圖像的顯示裝置，有機發光二極管(OLED)顯示器近年來受到公眾的關注。
[0003]為了制造OLED顯示器，應當形成具有特定圖案的電極、有機發光層等。用于形成電極和有機發光層等的方法可以應用到使用掩模組件的沉積方法中。
[0004]更具體地說，OLED顯示器包括像素和有機發光二極管，其中像素是在襯底上顯示圖像的基本單元并且成矩陣式排列，有機發光二極管具有順序形成的陽極(第一電極)和陰極(第二電極)，用于每個像素的每個發射諸如紅色、綠色、以及藍色等光的有機發光層放置在這兩者之間。
【發明內容】
[0005]本公開的實施方式針對夾持被支承的單元掩模的端部并且張力被施加至該單元掩模的夾具，該夾具包括夾具主體和旋轉接觸部分，其中旋轉接觸部分由夾具主體可旋轉地支承并且直接與單元掩模的端部接觸。
[0006]夾具主體和旋轉接觸部分之一可以包括凹進的第二部分，夾具主體和旋轉接觸部分中的另一個可以包括插入該凹進的第二部分的旋轉軸。
[0007]該夾具還可以包括設置在凹進的第二部分與旋轉軸之間的軸承。
[0008]彈性恢復力可以產生在旋轉接觸部分與夾具主體之間。
[0009]該夾具還可以包括連接旋轉接觸部分和夾具主體并且產生彈性恢復力的復位彈簧。
[0010]該夾具還可以包括設置在旋轉接觸部分與夾具主體之間并且限制旋轉接觸部分的旋轉的止動裝置，當旋轉接觸部分與單元掩模的端部接觸時，該止動裝置能夠從旋轉接觸部分與夾具主體之間移動到夾具主體中。
[0011]旋轉接觸部分可以包括第一子旋轉接觸部分和第二子旋轉接觸部分，其中第一子旋轉接觸部分與單元掩模的端部的底側接觸，第二子旋轉接觸部分與單元掩模的端部的上側接觸。夾具主體可以包括設置在單元掩模的端部的底側中的一對第一鉗和設置在單元掩模的端部的上側中的一對第二鉗，第一鉗包括凹進的第一溝槽并且第一子旋轉接觸部分位于第一溝槽中，第二鉗在第一鉗的方向上可旋轉，并且第二鉗包括第二子旋轉接觸部分所處的凹進的第二溝槽。
[0012]該夾具還可以包括第一止動裝置和第二止動裝置，該第一止動裝置設置在第一子旋轉接觸部分與第一鉗之間以限制第一子旋轉接觸部分的旋轉，當第一子旋轉接觸部分與單元掩模的端部接觸時，第一止動裝置能夠從第一子旋轉接觸部分與第一鉗之間移動到第一鉗中，該第二止動裝置設置在第二子旋轉接觸部分與第二鉗之間以限制第二子旋轉接觸部分的旋轉，當第二子旋轉接觸部分與單元掩模的端部接觸時，第二止動裝置能夠從第二子旋轉接觸部分與第二鉗之間移動到第二鉗中。
[0013]第一鉗還可以包括第一凸起側，該第一凸起側設置在與和單元掩模的端部接觸的第一子旋轉接觸部分的第一接觸側對準的虛擬線上。第二鉗還可以包括第二凸起側，第二凸起側設置在與和第二掩模的端部接觸的第二子旋轉接觸部分的第二接觸側對準的虛擬線上。第一止動裝置可以包括第一止動裝置主體和第一彈簧，該第一止動裝置主體從第一子旋轉接觸部分與第一鉗之間以彎曲的方式延伸到第一鉗中并且穿過第一凸起側，第一彈簧位于第一鉗中并且在第一止動裝置主體與第一鉗之間產生彈性恢復力。第二止動裝置可以包括第二止動裝置主體和第二彈簧，該第二止動裝置主體從第二子旋轉接觸部分與第二鉗之間以彎曲的方式延伸到第二鉗中并且穿過第二凸起側，該第二彈簧設置在第二鉗中并且在第二止動裝置主體與第二鉗之間產生彈性恢復力。
[0014]第一止動裝置可以包括第三止動裝置主體和第三彈簧，該第三主體從第一子旋轉接觸部分與第一鉗之間以彎曲的方式延伸到第一鉗中，然后以朝第一鉗的外側彎曲的方式凸起，該第三彈簧設置第一鉗中并且在第三主體與第一鉗之間產生彈性恢復力。第二止動裝置可以包括第四止動裝置主體和第四彈簧，該第四止動裝置主體從第二子旋轉接觸部分與第二鉗之間延伸到第二鉗中，然后以朝第二鉗的外側彎曲的方式凸起并且與第三止動裝置主體交疊，該第四彈簧設置第二鉗中并且在第四止動裝置主體與第二鉗之間產生彈性恢復力。第一鉗還可以包括在第二鉗的方向上凸起的凸起件。第二鉗還可以包括能夠由凸起件升起的重物、從重物延伸并且由第二鉗支承的杠桿軸、以及包括從杠桿軸延伸至第四止動裝置的鉤的杠桿臂。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是使用根據示例性實施方式的夾具制造的掩模組件的立體圖；
[0016]圖2示出使用根據示例性實施方式的夾具施加有張力的單元掩模；
[0017]圖3是圖2所示的根據示例性實施方式的夾具的剖視圖；
[0018]圖4是圖3中的“A”的俯視平面圖；
[0019]圖5是根據另一示例性實施方式的夾具的剖視圖；
[0020]圖6是圖5中的“B ”的俯視平面圖；
[0021]圖7是根據另一示例性實施方式的夾具的剖視圖；
[0022]圖8是根據另一示例性實施方式的夾具的剖視圖。
【具體實施方式】
[0023]在下文中將參照示出本發明的示例性實施方式的附圖更加全面地描述各種實施方式。本文中描述的實施方式可以以各種不同的方式進行修改，并且所有的這些實施方式都不背離本發明的精神或范圍。
[0024]因此，附圖和說明書本質上應認為是說明性的而非限制性的。在整個說明書中，相同的附圖標記表示相同的元件。
[0025]另外，具有由相同的附圖標記表示的相同的部件的配置將代表性地在各種示例性實施方式中的一個中進行描述，而與該不例性實施方式不同的其他部件將在隨后的不例性實施方式進行描述。
[0026]此外，為了便于理解和描述方便起見，隨意地示出了附圖中的每一個組件的尺寸
和厚度。
[0027]另夕卜，除非明確地相反地說明，術語“包括(comprise)”及其變型如“包括(comprises)”或“包括(comprising)”應理解為是指包括所述元件而非排出任何其他元件。此外，應當理解當元件如層、膜、區域、或基底被認為是“位于”另一元件上時，其可以直接位于另一元件上或者還可以存在插入的元件。
[0028]在下文中，將參照圖1至圖4描述根據示例性實施方式的夾具。
[0029]圖1是使用根據示例性實施方式的夾具制造的掩模組件的立體圖。
[0030]如圖1所示，使用根據示例性實施方式的夾具制造的掩模組件包括多個單元掩模10和框架20。
[0031]圖2示出使用根據示例性實施方式的夾具施加有張力的單元掩模。
[0032]如圖1和圖2所示，每個單元掩模10形成為在第一方向，即長度方向上延伸的帶的形狀，并且當使用根據示例性實施方式的夾具1000在第一方向上對單元掩模10施加張力時，單元掩模10的兩端IOa由框架20支承。單元掩模10設有多個，并且該多個單元掩模10沿第二方向，即與第一方向相交的寬度方向相互鄰近地設置。單兀掩模10的兩端IOa可形成為中間區域呈凹形的馬蹄鐵的形狀，但是其他形狀也是可能的。單元掩模10的兩端IOa可以形成為平的。
[0033]每個單元掩模10包括圖案11。
[0034]在每個單元掩模10中，圖案11沿第一方向設置。圖案單元11可以對應于單個有機發光二極管(OLED)顯示器，并且在這種情況下，形成數個OLED顯示器的多個圖案可以同時形成在母基板中，在該母基板中，OLED顯示器將使用單元掩模10通過單個過程制造。圖案單元11設置在單元掩模10中，對應于形成OLED顯示器的圖案的沉積區。圖案單元11具有穿過單元掩模10的開放圖案，該開放圖案是形成待穿過圖案單元11在母基板中形成的OLED顯示器的圖案。圖案單元11包括多個條型縫。
[0035]框架20固定并支承在第一方向上施加有張力的多個單元掩模10的每個的兩端10a。固定至框架20的單兀掩模10由框架20支承，并且單兀掩模10處于在第一方向上施加有張力的狀態下，因此沿第一方向，即單元掩模10的延伸方向產生收縮力。框架20可以由具有高強度的金屬材料，如不銹鋼形成，以防止由于單元掩模10的收縮力的變形。
[0036]圖3是根據示例性實施方式的夾具的剖視圖。
[0037]如圖3所示，根據示例性實施方式的夾具1000通過夾持單元掩模10的端部IOa向第一方向拉拽單元掩模10。在張力施加至框架20的狀態下，夾具1000夾持被支承的單元掩模10的端部10a。
[0038]夾具1000包括旋轉接觸部分100、夾具主體200、以及軸承300。
[0039]旋轉接觸部分100由夾具主體200可旋轉地支承，并且通過夾具主體200與單元掩模10的端部IOa直接接觸以直接按壓單元掩模10的端部10a。旋轉接觸部分100包括第一子旋轉接觸部分110和第二子旋轉接觸部分120。
[0040]第一子旋轉接觸部分110與單元掩模10的端部IOa的底表面接觸，并且包括形成為對應于夾具主體200的凹進的第一部分111。
[0041]第二子旋轉接觸部分120與單元掩模10的端部IOa的上表面接觸，并且包括形成為對應于夾具主體200的凹進的第二部分121。
[0042]夾具主體200通過夾持單元掩模10的端部IOa按壓單元掩模10的端部10a。夾具主體200包括一對第一鉗210和一對第二鉗220。
[0043]第一鉗210設置在單元掩模10的端部IOa的底側。第一鉗210包括第一溝槽211和第一旋轉軸212。
[0044]第一溝槽211對應于單元掩模10的端部IOa從第一鉗210的表面凹進，并且第一子旋轉接觸部分110設置在第一溝槽211中。
[0045]第一旋轉軸212從第一溝槽211朝向第一子旋轉接觸部分110凸起，并且插入形成在第一子旋轉接觸部分Iio中的凹進的第一部分111。
[0046]第二鉗220設置在單元掩模10的端部IOa上側從而能夠朝向第一鉗210的方向旋轉。第二鉗220包括第二溝槽221和第二旋轉軸222。
[0047]第二溝槽221對應于單元掩模10的端部IOa從第二鉗220的表面凹進。第二子旋轉接觸部分120設置在第二溝槽221中。
[0048]第二旋轉軸222從第二溝槽221朝向第二子旋轉接觸部分120凸起，并且插入形成在第二子旋轉接觸部分120中的凹進的第二部分121。
[0049]軸承300設置在凹進的第一部分111與第一旋轉軸212之間和凹進的第二部分121與第二旋轉軸222之間，并且第一子旋轉接觸部分110和第二子旋轉接觸部分120各自與第一鉗210和第二鉗220接合，從而第一子接觸部分110和第二子旋轉接觸部分可旋轉。
[0050]在根據該示例性實施方式的夾具1000中，凹進的第一部分111和凹進的第二部分121形成在旋轉接觸部分100中，并且第一旋轉軸212和第二旋轉軸222形成在夾具主體200中。然而，在其他實施方式中，凹進的第一部分和凹進的第二部分可以形成在夾具主體中并且第一旋轉軸和第二旋轉軸可以形成在旋轉接觸部分中。
[0051]圖4是圖3中的“A”的俯視平面圖。
[0052]如圖3和圖4的(a)所示，當夾具1000被拉至第一方向并且旋轉接觸部分100與單元掩模10的端部IOa接觸時，由于沿單元掩模10的長度方向(即，第一方向)施加的張力，可能在單元掩模10長度方向或寬度方向上產生波狀物。在這種情況下，如圖4的(b)所示，當施加至單元掩模10的張力的方向改變成使產生在單元掩模10中的波狀物平滑時，由夾具主體200直接施加至單元掩模10的張力方向沒有改變，但是由與夾具主體200可旋轉地支承并與單元掩模10直接接觸的旋轉接觸部分100間接施加至單元掩模10的張力方向改變。因此，施加至整個單元掩模10的張力差異最小化從而使得由夾具1000施加的張力導致的在單元掩模10的長度方向或寬度方向上產生的波狀物可以被抑制。
[0053]在根據該實施方式的夾具1000中，由夾具主體200可旋轉地支承的旋轉接觸部分100直接與單元掩模10的端部IOa接觸。因此，雖然施加至單元掩模10的張力的方向改變成使在單元掩模10中產生的波狀物平滑，但是施加至整個單元掩模10的張力差異最小從而使得由夾具1000施加的張力所導致的在單元掩模10的長度方向或寬度方向上產生的波狀物可以被抑制。
[0054]在下文中，將參照圖5和圖6描述根據另一示例性實施方式的夾具。[0055]在下文中，將對與之前的示例性實施方式不同的具體部分進行描述。
[0056]另外，在該示例性實施方式中，為了更好的理解和便于描述，相同的組成元件由與之前的示例性實施方式相同的附圖標記表示。
[0057]圖5是根據該示例性實施方式的夾具的剖視圖。
[0058]如圖5所示，根據該實施方式的夾具1002包括旋轉接觸部分100、夾具主體200、軸承300、以及復位彈簧400。
[0059]復位彈簧400連接旋轉接觸部分100與夾具主體200以使得在旋轉接觸部分100與夾具主體200之間產生彈性恢復力。
[0060]復位彈簧400包括第一子復位彈簧410和第二子復位彈簧420。
[0061]第一子復位彈簧410設于第一溝槽211中，并且連接第一子旋轉接觸部分110與一對第一鉗210。當彈性恢復力產生在第一子旋轉接觸部分110與第一鉗210之間且第一鉗210因此與單元掩模10分離時，第一子復位彈簧410使第一子旋轉接觸部分110恢復到其初始位置。當第一子旋轉接觸部分110與單元掩模10分離時，在第一子旋轉接觸部分110恢復到初始位置后另一單元掩模被夾持時，第一子復位彈簧410抑制第一子旋轉接觸部分110的干擾。
[0062]圖6是圖5中的“B”的俯視平面圖。
[0063]更詳細地，如圖6的(a)所示，當第一子旋轉接觸部分110與單元掩模10分離并且第一子旋轉接觸部分110相對于第一鉗210旋轉時，如圖6的(b)所示彈性恢復力由第一子復位彈簧410產生從而使得第一子旋轉接觸部分110恢復到其初始位置。
[0064]第二子復位彈簧420設于第二溝槽221中，并且連接第二子旋轉接觸部分120與一對第二鉗220。第二子復位彈簧420在第二子旋轉接觸部分120與第二鉗220之間產生彈性恢復力從而當第二鉗220與單元掩模10分離時第二子旋轉接觸部分120可以恢復至其初始位置。當第二子旋轉接觸部分120與單元掩模10分離時，第二子復位彈簧420使第二子旋轉接觸部分120恢復至其初始位置以抑制當另一單元掩模被夾持時第二子旋轉接觸部分120的干擾。
[0065]如上所述，在根據該示例性實施方式的夾具1002中，當由夾具主體200可旋轉地支承的旋轉接觸部分100與單元掩模10的端部IOa分離時，旋轉接觸部分100恢復至其初始位置，以使得旋轉接觸部分100的干擾可以被抑制，從而提高由夾具1002進行的夾持過程的可靠性。
[0066]在下文中，將參照圖7描述根據另一示例性實施方式的夾具。
[0067]在下文中，將對與之前的示例性實施方式不同的特定部分進行描述。另外，在該示例性實施方式中，為了更好的理解和便于描述，相同的組成元件由與之前的示例性實施方式相同的附圖標記表示。
[0068]圖7是根據該示例性實施方式的夾具的剖視圖。
[0069]如圖7的(a)所示，根據該示例性實施方式的夾具1003包括旋轉接觸部分100、夾具主體200、軸承300、第一止動裝置500以及第二止動裝置600。
[0070]第一止動裝置500設置在第一子旋轉接觸部分110與一對第一鉗210之間以限制第一子旋轉接觸部分110的旋轉，并且當第一子旋轉接觸部分110與單元掩模10的端部IOa接觸時，第一止動裝置500從第一子旋轉接觸部分110與第一鉗210之間移動到第一鉗中。
[0071]第一止動裝置500包括第一止動裝置主體510和第一彈簧520。
[0072]第一止動裝置主體510從第一子旋轉接觸部分110，即第一溝槽211的內側與第一鉗210之間以彎曲的方式延伸到第一鉗210中，然后穿過第一鉗210的第一凸起側210a。第一鉗210的第一凸起側210a設置在與第一子旋轉接觸部分110與單元掩模10的端部IOa接觸的第一接觸側IlOa對準的虛擬線L上。
[0073]第一彈簧520設置在第一鉗210中，并且在第一止動裝置主體510與第一鉗210之間產生彈性恢復力。
[0074]第二止動裝置600設于第二子旋轉接觸部分120與一對第二鉗220之間以限制第二子旋轉接觸部分120的旋轉。當第二子旋轉接觸部分120與單元掩模10的端部IOa接觸時，第二止動裝置600從第二子旋轉接觸部分120與第二鉗220之間移動到第二鉗220中。
[0075]第二止動裝置600包括第二止動裝置主體610和第二彈簧620。
[0076]第二止動裝置主體610從第二子旋轉接觸部分120，即第二溝槽221的內側與第二鉗220之間以彎曲的方式延伸到第二鉗中，并且穿過第二鉗220的第二凸起側220a。第二鉗220的第二凸起側220a設置在與第二子旋轉接觸部分120接觸單位掩模10的端部IOa的第二接觸側120a對準的虛擬線L’上。
[0077]第二彈簧620設于第二鉗220中，并且在第二止動裝置主體610與第二鉗220之間產生彈性恢復力。
[0078]如圖7的(b)所示，在根據該示例性實施方式的夾具1003中，第一子旋轉接觸部分的第一接觸側IlOa和第二子旋轉接觸部分120的第二接觸側120a分別與單元掩模10接觸，分別穿過第一接觸側IlOa和第二接觸側120a的第一止動裝置主體510和第二止動裝置主體610分別由第二凸起側220a和第一凸起側210a按壓。因此，分別地，第一止動裝置500從第一子旋轉接觸部分110與第一鉗210之間移動到第一鉗210中，并且第二止動裝置600從第二子旋轉接觸部分120與第二鉗220之間移動到第二鉗220中。
[0079]當第一子旋轉接觸部分110和第二子旋轉接觸部分120分別與單元掩模10分離時，通過第一彈簧520和第二彈簧620的每個的彈性恢復力使第一彈簧520和第二彈簧620分別在第一子旋轉接觸部分110與第一鉗210之間和在第二子旋轉接觸部分120與第二鉗220之間移動，以防止第一子旋轉接觸部分110和第二子旋轉接觸部分120的旋轉。
[0080]如上所述，在根據該示例性實施方式的夾具1003中，當旋轉接觸部分100與單元掩模10的端部IOa分離時，由夾具主體200可旋轉支承的旋轉接觸部分100的旋轉可以由第一止動裝置500和第二止動裝置600抑制。因此，只要旋轉接觸部分100不與單元掩模10的端部IOa接觸，旋轉接觸部分100的不期望的旋轉可以被防止。從而，可以提高由夾具1003進行的夾持過程的可靠性。
[0081]在下文中，將參照圖8描述根據另一示例性實施方式的夾具。
[0082]在下文中，將對與之前的示例性實施方式不同的特定部分進行描述。另外，在該示例性實施方式中，為了更好的理解和便于描述，相同的組成元件由與之前的示例性實施方式相同的附圖標記表示。
[0083]圖8是根據該示例性實施方式的夾具的剖視圖。[0084]如圖8的(a)所示，根據該示例性實施方式的夾具1004包括旋轉接觸部分100、夾具主體200、軸承300、第一止動裝置500以及第二止動裝置600。
[0085]第一止動裝置500設置在第一子旋轉接觸部分110與一對第一鉗210之間以限制第一子旋轉接觸部分110的旋轉。當第一子旋轉接觸部分110與單元掩模10的端部IOa接觸時，第一止動裝置500從第一子旋轉接觸部分110與第一鉗210之間移動到第一鉗210中。
[0086]第一止動裝置500包括第三止動裝置主體530和第三彈簧540。
[0087]第三止動裝置主體530從第一子旋轉接觸部分110，即第一溝槽211的內側與第一鉗210之間延伸到第一鉗210中，然后以朝向第一鉗210的外側彎曲的方式凸起。
[0088]第三彈簧540設于第一鉗210中，并且在第三止動裝置主體530與第一鉗210之間產生彈性恢復力。
[0089]第二止動裝置600設置在第二子旋轉接觸部分120與一對第二鉗220之間以限制第二子旋轉接觸部分120的旋轉。當第二子旋轉接觸部分120與單元掩模10的端部IOa接觸時，第二止動裝置600從第二子旋轉接觸部分120與第二鉗220之間移動到第二鉗220中。
[0090]第二止動裝置600包括第四止動裝置主體630和第四彈簧640。
[0091]第四止動裝置主體630從第二子旋轉接觸部分120，即第二溝槽221的內側與第二鉗220之間延伸到第二鉗220中，并且以朝向第二鉗220的外側彎曲的方式凸起。第四止動裝置主體630凸起成與第三止動裝置主體530交疊。
[0092]第四彈簧640設置在第二鉗220中，并且在第四止動裝置主體630與第二鉗220之間產生彈性恢復力。
[0093]第一鉗210還包括朝向第二鉗220的方向凸起的凸起件210b，并且第二鉗220還包括對應于凸起件210b并且由凸起件210b提升的重物225a、從重物225a延伸并由第二鉗220支承的杠桿軸225b，杠桿臂225具有從第四止動裝置主體630延伸至杠桿軸225b的鉤225c。
[0094]如圖8的(b)所示，在根據該示例性實施方式的夾具1004中，當第一子旋轉接觸部分110和第二子旋轉接觸部分120分別與單元掩模10接觸時，凸起件210b使重物225a升高并且杠桿臂225根據重物225a的升高相對于杠桿軸225b旋轉，從而鉤225a使第四止動裝置主體630朝向凸起部分210b的方向移動。當第四止動裝置主體630朝向凸起部分210b的方向移動時，與第四止動裝置主體630交疊的第三止動裝置主體530也朝向凸出件210b的方向移動。因此，分別地，第一止動裝置500從第一子旋轉接觸部分110與第一鉗210之間移動到第一鉗210中，并且第二止動裝置600從第二子旋轉接觸部分120與第二鉗220之間移動到第二鉗220中。
[0095]當第一子旋轉接觸部分110和第二子旋轉接觸部分120分別與單元掩模10分離時，凸出件210b與重物225a分離，因此重物225a由于其重量而下落，杠桿臂225由于重物225a的下落而相對于杠桿軸225b旋轉，從而使得鉤225c朝向第二鉗220的方向移動。在這種情況下，分別地，第一止動裝置500通過彈性恢復力移回第一子旋轉接觸部分110與第一鉗210之間，第二止動裝置600通過彈性恢復力移回第二子旋轉接觸部分120與第二鉗220之間，以防止第一子旋轉接觸部分110和第二子旋轉接觸部分120的旋轉。[0096]如上所述，在根據該示例性實施方式的夾具1004中，當由夾具主體200可旋轉地支承的旋轉接觸部分100與單元掩模10的端部IOa分離時，旋轉接觸部分100的旋轉被抑制。因此，如果旋轉接觸部分100不與單元掩模10的端部IOa接觸，旋轉接觸部分100的不期望的旋轉便可以被防止，從而提高了由夾具1004進行的夾持過程的可靠性。
[0097]通過總結和回顧，形成有機發光層的有機材料非常容易被濕氣和氧氣等損壞，因而在形成有機發光層的過程中和在形成有機發光層之后，有機材料應該完全與濕氣隔離。因此，可能難以使用一般的光刻工藝來執行圖案化。相反，有機發光層和第二電極等可以使用這樣的掩模來形成，其中，該掩模上形成的用于穿過沉積材料的圖案開口僅穿過對應于每個圖案的部分。
[0098]最近，包括一種框架的掩模組件已經被使用，該框架包括開口部分和成帶狀的多個單元掩模，其中單元掩模的兩端固定至框架，與開口部分對應。在這種掩模組件中，單元掩模由框架支承并且張力在長度方向上施加至單元掩模。因此，單元掩模使用夾具拉拽，然后由框架支承。
[0099]然而，當單元掩模使用夾具拉拽時，由于由夾具在長度方向上施加至單元掩模的張力，不期望的波狀物可能會沿單元掩模的寬度方向出現在單元掩模中。
[0100]相反，本公開的實施方式可以提供這樣的夾具，該夾具可以抑制由于在長度方向上施加至單元掩模的張力而在單元掩模的寬度方向上出現波狀物的發生。
[0101]雖然已經結合目前認為是可實施的示例性實施方式描述了本公開，但是應該理解本發明并不限于所公開的實施方式，而相反地旨在涵蓋包括在所附權利要求的精神和范圍內的各種修改和等同布置。
【權利要求】
1.一種夾具，所述夾具夾持被支承的單元掩模的端部并且張力施加至所述單元掩模，所述夾具包括: 夾具主體；以及 旋轉接觸部分，由所述夾具主體可旋轉地支承并且與所述單元掩模的端部直接接觸。
2.根據權利要求1所述的夾具，其中所述夾具主體和所述旋轉接觸部分之一包括凹進的第二部分，所述夾具主體和所述旋轉接觸部分中的另一個包括插入所述凹進的第二部分的旋轉軸。
3.根據權利要求3所述的夾具，還包括設置在所述凹進的第二部分與所述旋轉軸之間的軸承。
4.根據權利要求1所述的夾具，其中在所述旋轉接觸部分與所述夾具主體之間產生彈性恢復力。
5.根據權利要求4所述的夾具，還包括復位彈簧，所述復位彈簧連接所述旋轉接觸部分與所述夾具主體并且產生所述彈性恢復力。
6.根據權利要求1所述的夾具，還包括止動裝置，所述止動裝置設置在所述旋轉接觸部分與所述夾具主體之間并且限制所述旋轉接觸部分的旋轉，并且當所述旋轉接觸部分與所述單元掩模的端部接觸時，所述止動裝置能夠從所述旋轉接觸部分與所述夾具主體之間移動到所述夾具主體中。
7.根據權利要求1所述的夾具，其中: 所述旋轉接觸部分包括: 第一子旋轉接觸部分，與所述單元掩模的端部的底側接觸；以及第二子旋轉接觸部分，與所述單元掩模的端部的上側接觸， 所述夾具主體包括: 一對第一鉗，設置在所述單元掩模的端部的底側并包括凹進的第一溝槽，所述第一子旋轉接觸部分位于所述凹進的第一溝槽中；以及 一對第二鉗，設置在所述單元掩模的端部的上側從而使得所述第二鉗在朝向所述第一鉗的方向上能夠旋轉，所述第二鉗包括凹進的第二溝槽，所述第二子旋轉接觸部分位于所述凹進的第二溝槽中。
8.根據權利要求7所述的夾具，還包括: 第一止動裝置，設置在所述第一子旋轉接觸部分與所述第一鉗之間以限制所述第一子旋轉接觸部分的旋轉，并且當所述第一子旋轉接觸部分與所述單元掩模的端部接觸時，所述第一止動裝置能夠從所述第一子旋轉接觸部分與所述第一鉗之間移動到所述第一鉗中；以及 第二止動裝置，設置在所述第二子旋轉接觸部分與所述第二鉗之間以限制所述第二子旋轉接觸部分的旋轉，并且當所述第二子旋轉接觸部分與所述單元掩模的端部接觸時，所述第二止動裝置能夠從所述第二子旋轉接觸部分與所述第二鉗之間移動到所述第二鉗中。
9.根據權利要求8所述的夾具，其中: 所述第一鉗還包括第一凸起側，所述第一凸起側設置在與所述第一子旋轉接觸部分與所述單元掩模的端部接觸的第一接觸側對準的虛擬線上， 所述第二鉗還包括第二凸起側，所述第二凸起側設置在與所述第二子旋轉接觸部分與所述單元掩模的端部接觸的第二接觸側對準的虛擬線上， 所述第一止動裝置包括: 第一止動裝置主體，從所述第一子旋轉接觸部分與所述第一鉗之間以彎曲的方式延伸到所述第一鉗中并且穿過所述第一凸起側；以及 第一彈簧，位于所述第一鉗中并且在所述第一止動裝置主體與所述第一鉗之間產生彈性恢復力， 所述第二止動裝置包括: 第二止動裝置主體，從所述第二子旋轉接觸部分與所述第二鉗之間以彎曲的方式延伸到所述第二鉗中并且穿過所述第二凸起側；以及 第二彈簧，設置在所述第二鉗中并在所述第二止動裝置主體與所述第二鉗之間產生彈性恢復力。
10.根據權利要求8所述的夾具，其中: 所述第一止動裝置包括: 第三止動裝置主體，從所述第一子旋轉接觸部分與所述第一鉗之間延伸到所述第一鉗中，然后以朝向所述第一鉗的外側彎曲的方式凸起；以及 第三彈簧，設置在所述第一鉗中并在所述第三止動裝置主體與所述第一鉗之間產生彈性恢復力， 所述第二止動裝置包括: 第四止動裝置主體，從所述第二子旋轉接觸部分與所述第二鉗之間延伸到所述第二鉗中，然后以朝向所述第二鉗的外側彎曲的方式凸起并與所述第三止動裝置主體交疊；以及第四彈簧，設置在所述第二鉗中并在所述第四止動裝置主體與所述第二鉗之間產生彈性恢復力， 第一鉗還包括在所述第二鉗的方向上凸起的凸起件， 所述第二鉗還包括能夠由所述凸起件提升的重物、從所述重物延伸并由所述第二鉗支承的杠桿軸、以及包括從所述杠桿軸延伸至所述第四止動裝置的鉤的杠桿臂。
【文檔編號】H01L51/56GK103545240SQ201310239207
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年6月17日 優先權日:2012年7月9日
【發明者】李相允, 鄭盛祐 申請人:三星顯示有限公司