一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管及其制造方法

            文檔序號:6791964閱讀:271來源:國知局
            專利名稱:一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管及其制造方法
            技術領域
            本發明涉及微電子領域,尤其涉及一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管及其制造方法。
            背景技術
            單一 BJT(Bipolar Junction Transistor,雙載子晶體管電路)中已經有很多寄生三極管的制備工藝,然而隨著半導體設計與工藝的高速發展要求,如果能集成更多功能的晶體管,并集中了單、雙極型器件的優點,才能滿足射頻芯片越來越多的功能應用需求。SiGe BiCMOS (硅鍺雙載子互補金氧半導體)工藝就集合了 CMOS (互補金屬氧化物半導體)和三極管的射頻性能而越來越應用于射頻電路中。SiGe BiCMOS工藝器件通常包含CMOS、異質結NPN管和寄生的PNP管,常規寄生的PNP管設計通常采用CMOS的P阱作為PNP管的集電極,異質結NPN管的集電極N型外延層作為PNP管的基極,而異質結NPN管的基區P型SiGe外延層作為PNP管的發射極,該寄生的PNP管為橫向PNP管為對稱型結構,其基區寬度較寬,因此電流放大系數和頻率特征較低。SiGe BiCMOS (硅鍺雙載子互補金氧半導體)工藝通常集成了高型能的SiGe異質結NPN管、3.3v CMOS管、以及寄生的橫向PNP晶體管,使得該器件能滿足射頻電路的需求,因此研究PNP晶體管的制造方法顯得尤其重要。
            ·
            中國專利(公開號:CN 101170128 A)公開了一種橫向PNP型晶體管及其制造方法,在P型發射器和N型埋層之間設置二氧化硅埋層,其制造方法是在N型外延層生長完成之后,緊接著在N型外延層中局部注入氧離子,注入氧離子的位置在N型埋層和將要形成的P型發射區之間,注入的氧離子在后續的熱過程中可使得N型埋層和P型發射區之間形成局部二氧化硅埋層,該發明的目的是提供一種橫向PNP型晶體管,用以提高集晶體管電極的收集效率和晶體管的電流增益,但是現有的PNP型晶體管一般都包括有一隔離區,因此PNP晶體管的基區寬度Wb較寬,而且PNP晶體管也受到現有工藝制造水平的限制造成面積和尺寸比較大,對產品的使用效果造成了一定影響。中國專利(公開號:CN 102299070 A)公開了一種橫向PNP晶體管的制造方法,包括提供半導體襯底;在半導體襯底注入離子且擴散,形成N型埋層區域,在N型埋層區域上形成N型外延層,在N型外延層上形成氧化層,刻蝕N型氧化層和N型外延層,形成發射極開口和集電極開口,其中N型外延層未被刻穿,向發射極開口和集電極開口內填充P型外延層,形成發射極和集電極,去除氧化層,該發明是提供一種橫向PNP晶體管的制造方法,但是該制造方法在實際生產過程中需要單獨對PNP晶體管進行一定工藝的生產制造,同時制造出來的PNP晶體管也只具有發射極和集電極,在實際應用過程中具有一定的局限型。圖1所示為現有技術SiGe異質結NPN管示意圖,如圖所示,該PNP晶體管通常采用外延層作為集電極,P型多晶硅SiGe外延層2作為基區,N型高濃度摻雜的發射極多晶硅作為發射極3 ;而寄生的橫向PNP晶體管設計通常采用P阱作為集電極,N型外延層作為基極,P型基區外延層作為發射極,該寄生的PNP晶體管其基區寬度較寬,因此電流放大系數和頻率特征較低進而影響了產品的良率及產品的性能。圖2所示為現有寄生于SiGe BiCMOS工藝中的橫向PNP晶體管的截面圖,如圖所示,現有技術中寄生的PNP晶體管為對稱結構,由于現有技術中的PNP晶體管阱區與埋層相接觸,降低了 PNP晶體管電流放大系數和頻率特征,對產品及性能造成一些不利的影響。

            發明內容
            本發明根據現有技術的不足提供了一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管及其制造方法,采用特殊的制造工藝將寄生型PNP晶體管制造為為非對稱型的PNP晶體管,因此基區寬度Wb較窄,有較高的電流放大系數和頻率特型,而且非對稱寄生PNP晶體管面積較對稱型PNP晶體管尺寸大大降低。本發明采用的技術方案為:
            一種在SiGe Bi·CMOS工藝中寄生的PNP管,其中,包括一 P型襯底,所述P型襯底的部分上表面形成有一 N型掩埋層,所述掩埋層的上表面及襯底的部分上表面還沉積有一 N型外延層,所述掩埋層形成于所述襯底頂部的局部區域和外延層底部的局部區域;并且利用形成在所述外延層、襯底中的深隔離溝槽層在所述外延層、襯底之中分隔出一個孤立的隔離區,在所述隔離區內形成隔離襯底和外延層,所述外延層中還包括有一個遠離所述掩埋層的P型阱區;
            所述隔離區內的外延層部分上表面以及隔離層的上表面形成有多個間隔層;部分所述間隔層的部分上表面及所述外延層的部分上表面沉積有一絕緣層,所述絕緣層中還形成有一暴露出所述外延層的開口,所述絕緣層的上表面生長有一 SiGe層,所述SiGe層還填充所述開口;
            其中,所述PNP管為一橫向非對稱型PNP管,所述橫向非對稱型PNP管的基區寬度小于對稱型PNP管的基區寬度,且所述橫向非對稱型PNP管尺寸小于所述對稱型PNP管的尺寸。上述的一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管,其中,所述P型阱區的部分上表面到達所述外延層的上表面,所述P型阱區的下表面與所述隔離襯底的上表面接觸。上述的一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管,其中,所述間隔層為氧化層,所述氧化層部分位于所述外延層內,部分所述氧化層之間位于所述外延層內形成有重摻雜的N型摻雜區,以及在部分所述氧化層之間位于所述外延層內形成有重摻雜的P型摻雜區。上述的一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管,其中,所述絕緣層與所述SiGe層形成所述PNP管的發射極,所述N型摻雜區的上表面形成所述PNP管的基極接觸區,所述P型摻雜區的上表面形成所述PNP管的集電極接觸區。上述的一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管,其中,所述發射極、基極接觸區和集電極接觸區的上表面還覆蓋有一層金屬硅化物。上述的一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管,其中,所述絕緣層可以為單層絕緣層,也可以為雙層絕緣層,所述單層絕緣層為單層氧化硅層,所述雙層介電層包括氧化硅層和氮化硅層,其中,所述氮化硅層覆蓋于所述氧化硅層的上表面。上述的一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管,其中,所述P型襯底為輕摻雜的娃片襯底。一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管的制造方法,其中,包括以下步驟: 步驟S1、提供一 P型襯底,于所述襯底的部分上表面沉積一層N型掩埋層,然后在所述
            掩埋層的上表面及所述襯底的部分上表面沉積一層N型外延層;
            步驟S2、刻蝕所述襯底及外延層形成深隔離溝槽層,利用所述深隔離溝槽層在所述外延層、襯底之中分隔出一個孤立的包含一部分襯底和一部分外延層的隔離區;
            步驟S3、于所述深隔離溝槽層上表面及所述外延層的部分上表面形成多個間隔開的氧化層;
            步驟S4、于所述外延層內形成一個遠離所述掩埋層的P型阱區,且所述P型阱區的上表面到達所述外延層的上表面,所述P型阱區的下表面與所述襯底相接觸;
            步驟S5、于部分所述氧化層上表面以及各氧化層之間所暴露的外延層的上表面沉積一層絕緣層,部分刻蝕所述絕緣層,在所述絕緣層中形成一暴露出所述外延層的開口,并在所述殘留絕緣層上表面及暴露出外延層開口的上表面生長一層SiGe層;
            步驟S6、部分刻蝕所述絕緣層以及SiGe層至所述外延層及氧化層的上表面形成殘留的絕緣層及SiGe層組成的混合層,形成所述PNP管的發射極; 步驟S7、在部分所述氧化層之間位于所述外延層內注入N+離子形成重摻雜的N型摻雜區,形成所述PNP管的基級接觸區,以及在部分所述氧化層之間位于所述外延層內注入P+離子形成有重摻雜的P型摻雜區,形成所述PNP管的集電極接觸區;
            步驟S8、于P型的單晶硅和多晶硅SiGe層形成所述PNP管的發射極上表面沉積金屬硅化物,同時,于所述基級接觸區和集電極接觸區的上表面形成金屬硅化物,然后所述N型摻雜區和P型摻雜區的上表面生成一層介電層,并于所述介電層內打開通孔,在所述通孔內沉積導電材料;
            其中,所述PNP管為一橫向非對稱型PNP管,所述橫向非對稱型PNP管的基區寬度小于對稱型PNP管的基區寬度,且所述橫向非對稱型PNP管尺寸小于所述對稱型PNP管的尺寸。上述的一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管的制備方法,其中,在SiGeBiCMOS工藝還在襯底和外延層中形成有CMOS及異質結NPN管,其中,所述P型阱區和CMOS的P型阱區同步注入形成;
            所述掩埋層形成之后,所述N型外延層于所述異質結NPN管的外延層同步外延生長形成,在非隔離區域的的一部分外延層用來形成所述異質結NPN管的集電極;
            離子注入形成CMOS中PMOS的P型漏源區的同時,一并注入P型的摻雜物來形成PNP管的所述P型摻雜區;
            離子注入形成CMOS中NMOS的N型漏源區的同時,一并注入N型的摻雜物來形成PNP管的所述N型摻雜區。上述的一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管,其中,當所述絕緣層最上層為單晶硅層時,在所述絕緣層上表面生長一層單晶SiGe層;當所述絕緣層最上層為多晶硅層時,在所述絕緣層上表面生長一層多晶SiGe層。綜上所述,由于本發明采用了以上技術方案,在CMOS工藝和HBT (NPN)工藝進行的同時在寄生的PNP橫向晶體管打開阱區和發射區,簡化了工藝流程,同時在本發明形PNP管形成的阱區與掩埋層相隔離,提高了 PNP晶體管的電流放大系數和頻率特征,同時降低了 PNP晶體管的尺寸,提升了生產工藝,降低了生產成本。


            圖1為現有技術中SiGe異質結NPN管示意 圖2為現有技術中寄生于SiGe BiCMOS工藝中的橫向PNP晶體管的示意 圖3為本發明一種寄生非對稱型PNP晶體管的結構示意 圖4-8為本發明一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管制造方法的流程圖。
            具體實施例方式下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明,但不作為本發明的限定。圖3為本發明一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管的截面圖,如圖所示,PNP晶體管包括包括一 P型襯底101,P型襯底101部分上表面有一 N型掩埋層102,掩埋層102的上表面及襯底101的部分上表面還沉積有一 N型外延層103,掩埋層102形成于襯底101頂部的局部區域和外延層103底部的局部區域;深隔離溝槽層105在外延層103、襯底101之中可分隔出一個孤立的包含一部分襯底101和一部分外延層103的隔離區,在隔離區內的外延層103中還設有一遠離掩埋層102的P型阱區106 ;
            其中,在隔離區內外延層103的頂面附近`和P型阱區106的頂面附近形成有多個間隔開的氧化層105,并在部分氧化層105之間所暴露出的一部分外延層103的頂部形成有重摻雜的N型摻雜區,以及在部分氧化層之間所暴露出的一部分P型阱區的頂部形成有重摻雜的P型摻雜區;
            并在部分氧化層105之間以及部分暴露的外延層103的頂面之上形成有絕緣層108,并且絕緣層108中形成有暴露出外延層103的開口,絕緣層108的上表面及開口的上表面覆蓋有一層SiGe層107 ;絕緣層108和SiGe層107形成PNP管的發射極,N型摻雜區位于外延層103的上表面形成PNP管的基極接觸區,P型摻雜區位于外延層103的上表面形成PNP管的集電極接觸區;
            外延層103上表面覆蓋有一介電層115,介電層115同時將氧化層105、SiGe層107、P型阱區106、N型摻雜區和P型摻雜區予以覆蓋,并且在介電層115內還形成有多個通孔,通孔內填充有導電材料,并在至少一個通孔的底部暴露出N型摻雜區的一部分區域,在至少一個通孔的底部暴露出P型摻雜區的一部分區域,在至少一個通孔的底部暴露出多晶硅的SiGe層的一部分區域,以便使各通孔內填充的各導電材料分別與N型摻雜區、P型摻雜區、SiGe層電性接觸,發射極、基極接觸區和集電極接觸區的上表面還沉積有一金屬硅化物,其中N型摻雜區上方的通孔沉積有基級110,P型摻雜區上方的瞳孔填充有集電極112,SiGe層上方的通孔填充有發射極111 ;
            該PNP管為一橫向非對稱型PNP管,橫向非對稱型PNP管的基區寬度小于對稱型PNP管的基區寬度,且該橫向非對稱型PNP管尺寸小于所述對稱型PNP管的尺寸。
            圖4-8為本發明一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管制造方法的流程圖,包括以下步驟:
            步驟S1:提供一 P型硅片襯底101,在P型襯底101的部分上表面形成一 N型掩埋層102,并在掩埋層的上表面及襯底的部分上表面形成一 N型外延層,掩埋層102形成之后,N型外延層103與異質結NPN管的外延層同步外延生長形成,掩埋層形成于襯底101頂部的局部區域和外延層103底部的局部區域。步驟S2、刻蝕硅片襯底101和外延層103,利用形成在外延層103、襯底101中的深隔離溝槽層104在外延層103、襯底101之中分隔出一個孤立的包含一部分襯底101和一部分外延層103的隔離區。步驟S3、在隔離區內外延層103的部分上表面形成有多個間隔開的氧化層105,其中,該步驟完成后形成圖4所示結構。步驟S4、進行CMOS工藝阱區工藝打開寄生型PNP晶體管的阱區,在進行CMOS工藝阱區工藝的同時也對寄生的橫向型PNP進行注入進行阱區工藝,在寄生的PNP晶體管的外延層103內形成一遠離N型掩埋層102的P型阱區106,該步驟完成后形成如圖5所示結構。步驟S5、于氧化層105上表面以及各氧化層105之間外延層103所暴露的部分上表面形成一層絕緣層108,該絕緣層可以為單層氧化硅層,同時也可為氧化硅層和氮化硅層組成的雙層絕緣層,其中,氮化硅層覆蓋在氧化硅層的上表面;進行HBT (NPN)工藝管基區窗口刻蝕打開NPN基區,同時寄生的橫向型PNP晶體管也通過HBT (NPN)工藝打開發射極窗口刻蝕掉部分絕緣層,在絕緣層中形成有一暴露出外延層103的開口,然后在絕緣層108的上表面及開口上表面沉積SiGe層,其中,當絕緣層最上層為單晶硅層時,沉積單晶SiGe層在絕緣層及開口的上表面;當絕緣層最上層為多晶硅時,沉積多晶硅SiGe層在絕緣層及開口的上表面,該步驟完成后形成圖5所示結構。步驟S6、部分刻蝕絕緣層以及多晶硅的SiGe層至外延層及氧化層的上表面,形成殘留SiGe層107'及殘留絕緣層108'組成的混合層,形成PNP管的發射極,該步驟完成后形成圖6所示結構。步驟S7、在部分氧化層之間位于外延層內注入N+離子形成重摻雜的N型摻雜區,形成PNP管的基級接觸區,以及在部分氧化層之間位于外延層內注入P+離子形成有重摻雜的P型摻雜區,形成PNP管的集電極接觸區,該步驟完成后形成圖7所示結構。步驟S8、于發射極、集電接觸區和基級接觸區的上表面形成一層金屬硅化物并進行退火工藝,然后在N型外延層103之上覆蓋有一介電層115,介電層115同時將氧化層105、多晶硅的SiGe層107和P型阱區106、N型摻雜區和P型摻雜區予以覆蓋,然戶在介電層115內形成有多個通孔,并在至少一個通孔的底部暴露出N型摻雜區的一部分區域,在至少一個通孔的底部暴露出P型摻雜區的一部分區域,在至少一個通孔的底部暴露出多晶硅的SiGe層的一部分區域,以便使各通孔內填充的各導電材料分別與N型摻雜區、P型摻雜區、多晶硅的SiGe層電性接觸,然后于底部暴露出N型摻雜區部分區域的通孔內填充集電極110,在底部暴露出P型摻雜區部分區域的通孔內填充基級112,在底部暴露出多晶硅的SiGe層部分區域的通孔內填充發射極111,上述步驟全部完成后形成圖8所示結構,由于采用本發明提供的技術防寒制造 出的PNP管為橫向非對稱型PNP管,該橫向非對稱型PNP管的基區寬度小于現有技術中對稱型PNP管的基區寬度,且本發明的PNP管尺寸小于對稱型PNP管的尺寸,相比較傳統的對稱型PNP晶體管提高了電流放大系數和頻率特征,進而提高了器件的性能。在上述步驟中,在SiGe BiCMOS工藝還在隔離區外的襯底和外延層中形成有CMOS及異質結NPN管,其中,P型阱區106和CMOS的P型阱區同步注入形成;
            掩埋層形成之后,N型外延層103于異質結NPN管的外延層同步外延生長形成,在非隔離區域的的一部分外延層用來形成異質結NPN管的集電極;
            離子注入形成CMOS中PMOS的P型漏源區的同時,一并注入P型的摻雜物來形成PNP管的P型摻雜區;
            離子注入形成CMOS中NMOS的N型漏源區的同時,一并注入N型的摻雜物來形成PNP管的N型摻雜區。綜上所述,采用本發明一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管的制造方法,利用SiGe BiCMOS工藝形成一橫向型非對稱性晶體管,該非對稱性晶體管的基區寬度小于現有技術制造出來的PNP晶體管基區寬度,且本發明的PNP管的尺寸小于現有技術制造出來的PNP晶體管的尺寸,相比較傳統的對稱型PNP晶體管提高了電流放大系數和頻率特征,提升了生產工藝,提高了產品良率及器件的性能,同時降低了生產成本。以上所述僅為本發明較佳的實施例,并非因此限制本發明的實施方式及保護范圍,對于本領域技術人 員而言,應當能夠意識到凡運用本發明說明書及圖示內容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案,均應當包含在本發明的保護范圍內。
            權利要求
            1.一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管,其特征在于,包括一 P型襯底,所述P型襯底的部分上表面形成有一 N型掩埋層,所述掩埋層的上表面及襯底的部分上表面還沉積有一 N型外延層,所述掩埋層形成于所述襯底頂部的局部區域和外延層底部的局部區域;并且利用形成在所述外延層、襯底中的深隔離溝槽層在所述外延層、襯底之中分隔出一個孤立的隔離區,在所述隔離區內形成隔離襯底和外延層,所述外延層中還包括有一個遠離所述掩埋層的P型阱區; 所述隔離區內的外延層部分上表面以及隔離層的上表面形成有多個間隔層;部分所述間隔層的部分上表面及所述外延層的部分上表面沉積有一絕緣層,所述絕緣層中還形成有一暴露出所述外延層的開口,所述絕緣層的上表面生長有一 SiGe層,所述SiGe層還填充所述開口 ; 其中,所述PNP管為一橫向非對稱型PNP管,所述橫向非對稱型PNP管的基區寬度小于對稱型PNP管的基區寬度,且所述橫向非對稱型PNP管尺寸小于所述對稱型PNP管的尺寸。
            2.根據權利要求1所述的一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管,其特征在于,所述P型阱區的部分上表面到達所述外延層的上表面,所述P型阱區的下表面與所述隔離襯底的上表面接觸。
            3.根據權利要求1所述的一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管,其特征在于,所述間隔層為氧化層,所述氧化層部分位于所述外延層內,部分所述氧化層之間位于所述外延層內形成有重摻雜的N型摻雜區,以及在部分所述氧化層之間位于所述外延層內形成有重摻雜的P型摻雜區。
            4.根據權利要求1和3所述的一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管,其特征在于,所述絕緣層與所述SiGe層形成所述PNP管的發射極,所述N型摻雜區的上表面形成所述PNP管的基極接觸區,所述P型摻雜區的上表面形成所述PNP管的集電極接觸區。
            5.根據權利要求4所述的一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管,其特征在于,所述發射極、基極接觸區和集電極接觸區的上表面還覆蓋有一層金屬硅化物。
            6.根據權利要求1所述的一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管,其特征在于,所述絕緣層可以為單層絕緣層,也可以為雙層絕緣層,所述單層絕緣層為單層氧化硅層,所述雙層介電層包括氧化硅層和氮化硅層,其中,所述氮化硅層覆蓋于所述氧化硅層的上表面。
            7.根據權利要求1所述的一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管,其特征在于,所述P型襯底為輕摻雜的硅片襯底。
            8.一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管的制造方法,其特征在于,包括以下步驟: 步驟S1、提供一 P型襯底,于所述襯底的部分上表面沉積一層N型掩埋層,然后在所述掩埋層的上表面及所述襯底的部分上表面沉積一層N型外延層; 步驟S2、刻蝕所述襯底及外延層形成深隔離溝槽層,利用所述深隔離溝槽層在所述外延層、襯底之中分隔出一個孤立的包含一部分襯底和一部分外延層的隔離區; 步驟S3、于所述深隔離溝槽層上表面及所述外延層的部分上表面形成多個間隔開的氧化層; 步驟S4、于所述外延層內形成一個遠離所述掩埋層的P型阱區,且所述P型阱區的上表面到達所述外延層的上表面,所述P型阱區的下表面與所述襯底相接觸; 步驟S5、于部分所述氧化層上表面以及各氧化層之間所暴露的外延層的上表面沉積一層絕緣層,部分刻蝕所述絕緣層,在所述絕緣層中形成一暴露出所述外延層的開口,并在所述殘留絕緣層上表面及暴露出外延層開口的上表面生長一層SiGe層; 步驟S6、部分刻蝕所述絕緣層以及SiGe層至所述外延層及氧化層的上表面形成殘留的絕緣層及SiGe層組成的混合層,形成所述PNP管的發射極; 步驟S7、在部分所述氧化層之間位于所述外延層內注入N+離子形成重摻雜的N型摻雜區,形成所述PNP管的基級接觸區,以及在部分所述氧化層之間位于所述外延層內注入P+離子形成有重摻雜的P型摻雜區,形成所述PNP管的集電極接觸區; 步驟S8、于P型的單晶硅和多晶硅SiGe層形成所述PNP管的發射極上表面沉積金屬硅化物,同時,于所述基級接觸區和集電極接觸區的上表面形成金屬硅化物,然后所述N型摻雜區和P型摻雜區的上表面生成一層介電層,并于所述介電層內打開通孔,在所述通孔內沉積導電材料; 其中,所述PNP管為一橫向非對稱型PNP管,所述橫向非對稱型PNP管的基區寬度小于對稱型PNP管的基區寬度,且所述橫向非對稱型PNP管尺寸小于所述對稱型PNP管的尺寸。
            9.根據權利要求8所述的一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管的制備方法,其特征在于,在SiGe BiCMOS工藝還在襯底和外延層中形成有CMOS及異質結NPN管,其中,所述P型阱區和CMOS的P型阱區同步注入形成; 所述掩埋層形成之后,所述N型外延層于所述異質結NPN管的外延層同步外延生長形成,在非隔離區域的的一部分外延層用來形成所述異質結NPN管的集電極; 離子注入形成CMOS中PMOS的P型漏源區的同時,一并注入P型的摻雜物來形成PNP管的所述P型摻雜區; 離子注入形成CMOS中NMO·S的N型漏源區的同時,一并注入N型的摻雜物來形成PNP管的所述N型摻雜區。
            10.根據權利要求8所述的一種在SiGeBiCMOS工藝中寄生的PNP管,其特征在于,當所述絕緣層最上層為單晶硅層時,在所述絕緣層上表面生長一層單晶SiGe層;當所述絕緣層最上層為多晶硅層時,在所述絕緣層上表面生長一層多晶SiGe層。
            全文摘要
            本發明涉及微電子領域,尤其涉及一種在SiGe BiCMOS工藝中寄生的PNP管及其制造方法,包括一P型襯底,所述P型襯底之上形成有一N型外延層,并在所述外延層和襯底之間包含一N型掩埋層,所述掩埋層形成于襯底頂部的局部區域和外延層底部的局部區域;所述外延層中形成有一個所述遠離掩埋層的P型阱區。本發明通過在CMOS工藝和HBT(NPN)工藝進行的同時在寄生的PNP橫向晶體管打開阱區和發射區,簡化了工藝流程,同時在本發明形成PNP管成的阱區與掩埋層相隔離,提高了PNP晶體管的電流放大和頻率特型,降低了PNP晶體管的尺寸,提升了生產工藝,降低了生產成本。
            文檔編號H01L21/76GK103247674SQ201310164260
            公開日2013年8月14日 申請日期2013年5月7日 優先權日2013年5月7日
            發明者徐炯 申請人:上海華力微電子有限公司
            網友詢問留言 已有0條留言
            • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
            1
            婷婷六月激情在线综合激情,亚洲国产大片,久久中文字幕综合婷婷,精品久久久久久中文字幕,亚洲一区二区三区高清不卡,99国产精品热久久久久久夜夜嗨 ,欧美日韩亚洲综合在线一区二区,99国产精品电影,伊人精品线视天天综合,精品伊人久久久大香线蕉欧美
            亚洲精品1区 国产成人一级 91精品国产欧美一区二区 亚洲精品乱码久久久久久下载 国产精品久久久久久久伊一 九色国产 国产精品九九视频 伊人久久成人爱综合网 欧美日韩亚洲区久久综合 欧美日本一道免费一区三区 夜夜爽一区二区三区精品 欧美日韩高清一区二区三区 国产成人av在线 国产精品对白交换绿帽视频 国产视频亚洲 国产在线欧美精品 国产精品综合网 国产日韩精品欧美一区色 国产日韩精品欧美一区喷 欧美日韩在线观看区一二 国产区精品 欧美视频日韩视频 中文字幕天天躁日日躁狠狠躁97 视频一二三区 欧美高清在线精品一区二区不卡 国产精品揄拍一区二区久久 99久久综合狠狠综合久久aⅴ 亚洲乱码视频在线观看 日韩在线第二页 亚洲精品无码专区在线播放 成人亚洲网站www在线观看 欧美三级一区二区 99久久精品免费看国产高清 91麻豆国产在线观看 最新日韩欧美不卡一二三区 成人在线观看不卡 日韩国产在线 在线亚洲精品 亚洲午夜久久久久中文字幕 国产精品成人久久久久久久 精品国产一区二区在线观看 欧美精品国产一区二区三区 中文在线播放 亚洲第一页在线视频 国产午夜精品福利久久 九色国产 精品国产九九 国产永久视频 久久精品人人做人人综合试看 国产一区二区三区免费观看 亚洲精品国产电影 9999热视频 国产精品资源在线 麻豆久久婷婷国产综合五月 国产精品免费一级在线观看 亚洲国产一区二区三区青草影视 中文在线播放 国产成人综合在线 国产在线观看色 国产亚洲三级 国产片一区二区三区 久久99精品久久久久久牛牛影视 亚洲欧美日韩国产 四虎永久免费网站 国产一毛片 国产精品视频在 九九热在线精品 99精品福利视频 色婷婷色99国产综合精品 97成人精品视频在线播放 精品久久久久久中文字幕 亚洲欧美一区二区三区孕妇 亚洲欧美成人网 日韩高清在线二区 国产尤物在线观看 在线不卡一区二区 91网站在线看 韩国精品福利一区二区 欧美日韩国产成人精品 99热精品久久 国产精品免费视频一区 高清视频一区 精品九九久久 欧美日韩在线观看免费 91欧美激情一区二区三区成人 99福利视频 亚洲国产精品91 久热国产在线 精品久久久久久中文字幕女 国产精品久久久久久久久99热 成人自拍视频网 国产精品视频久久久久久 久久影院国产 国产玖玖在线观看 99精品在线免费 亚洲欧美一区二区三区导航 久久久久久久综合 国产欧美日韩精品高清二区综合区 国产精品视频自拍 亚洲一级片免费 久久久久久九九 国产欧美自拍视频 视频一区二区在线观看 欧美日韩一区二区三区久久 中文在线亚洲 伊人热人久久中文字幕 日韩欧美亚洲国产一区二区三区 欧美亚洲国产成人高清在线 欧美日韩国产码高清综合人成 国产性大片免费播放网站 亚洲午夜综合网 91精品久久一区二区三区 国产无套在线播放 国产精品视频网站 国产成人亚洲精品老王 91在线网站 国产视频97 欧美黑人欧美精品刺激 国产一区二区三区免费在线视频 久久久国产精品免费看 99re6久精品国产首页 久久精品91 国产成人一级 国产成人精品曰本亚洲 日本福利在线观看 伊人成综合网 久久综合一本 国产综合久久久久久 久久精品成人免费看 久久福利 91精品国产91久久久久久麻豆 亚洲精品成人在线 亚洲伊人久久精品 欧美日本二区 国产永久视频 国产一区二 一区二区福利 国产一毛片 亚洲精品1区 毛片一区二区三区 伊人久久大香线蕉综合影 国产欧美在线观看一区 亚洲国产欧洲综合997久久 国产一区二区免费视频 国产91精品对白露脸全集观看 久久亚洲国产伦理 欧美成人伊人久久综合网 亚洲性久久久影院 久久99国产精一区二区三区! 91精品国产欧美一区二区 欧美日韩亚洲区久久综合 日韩精品一二三区 久久久夜色精品国产噜噜 国产在线精品福利91香蕉 久久久久久久亚洲精品 97se色综合一区二区二区 91国语精品自产拍在线观看性色 91久久国产综合精品女同我 日韩中文字幕a 国产成人亚洲日本精品 久久国产精品-国产精品 久久国产经典视频 久久国产精品伦理 亚洲第一页在线视频 国产精品久久久久三级 日韩毛片网 久久免费高清视频 麻豆国产在线观看一区二区 91麻豆国产福利在线观看 国产成人精品男人的天堂538 一区二区三区中文字幕 免费在线视频一区 欧美日韩国产成人精品 国产综合网站 国产资源免费观看 亚洲精品亚洲人成在线播放 精品久久久久久中文字幕专区 亚洲人成人毛片无遮挡 国产一起色一起爱 国产香蕉精品视频在 九九热免费观看 日韩亚洲欧美一区 九九热精品在线观看 精品久久久久久中文字幕专区 亚洲欧美自拍偷拍 国产精品每日更新 久久久久国产一级毛片高清板 久久天天躁狠狠躁夜夜中文字幕 久久精品片 日韩在线毛片 国产成人精品本亚洲 国产成人精品一区二区三区 九九热在线观看 国产r级在线观看 国产欧美日韩精品高清二区综合区 韩国电影一区二区 国产精品毛片va一区二区三区 五月婷婷伊人网 久久一区二区三区免费 一本色道久久综合狠狠躁篇 亚洲综合色站 国产尤物在线观看 亚洲一区亚洲二区 免费在线视频一区 欧洲精品视频在线观看 日韩中文字幕a 中文字幕日本在线mv视频精品 91精品在线免费视频 精品国产免费人成在线观看 精品a级片 中文字幕日本在线mv视频精品 日韩在线精品视频 婷婷丁香色 91精品国产高清久久久久 国产成人精品日本亚洲直接 五月综合视频 欧美日韩在线亚洲国产人 精液呈暗黄色 亚洲乱码一区 久久精品中文字幕不卡一二区 亚洲天堂精品在线 激情婷婷综合 国产免费久久精品久久久 国产精品亚洲二区在线 久久免费播放视频 五月婷婷丁香综合 在线亚洲欧美日韩 久久免费精品高清麻豆 精品久久久久久中文字幕 亚洲一区网站 国产精品福利社 日韩中文字幕免费 亚洲综合丝袜 91精品在线播放 国产精品18 亚洲日日夜夜 伊人久久大香线蕉综合影 亚洲精品中文字幕乱码影院 亚洲一区二区黄色 亚洲第一页在线视频 一区二区在线观看视频 国产成人福利精品视频 亚洲高清二区 国内成人免费视频 精品亚洲性xxx久久久 国产精品合集一区二区三区 97av免费视频 国产一起色一起爱 国产区久久 国产资源免费观看 99精品视频免费 国产成人一级 国产精品九九免费视频 欧美91精品久久久久网免费 99热国产免费 久久精品色 98精品国产综合久久 久久精品播放 中文字幕视频免费 国产欧美日韩一区二区三区在线 精品久久蜜桃 国产小视频精品 一本色道久久综合狠狠躁篇 91在线免费观看 亚洲精品区 伊人成综合网 伊人热人久久中文字幕 伊人黄色片 99国产精品热久久久久久夜夜嗨 久久免费精品视频 亚洲一区二区三区高清不卡 久久久久国产一级毛片高清板 国产片一区二区三区 久久狠狠干 99久久婷婷国产综合精品电影 国产99区 国产精品成人久久久久 久久狠狠干 青青国产在线观看 亚洲高清国产拍精品影院 国产精品一区二区av 九九热在线免费视频 伊人久久国产 国产精品久久久久久久久久一区 在线观看免费视频一区 国产精品自在在线午夜区app 国产精品综合色区在线观看 国产毛片久久久久久国产毛片 97国产免费全部免费观看 国产精品每日更新 国产尤物视频在线 九九视频这里只有精品99 一本一道久久a久久精品综合 久久综合给会久久狠狠狠 国产成人精品男人的天堂538 欧美一区二区高清 毛片一区二区三区 国产欧美日韩在线观看一区二区三区 在线国产二区 欧美不卡网 91在线精品中文字幕 在线国产福利 国内精品91久久久久 91亚洲福利 日韩欧美国产中文字幕 91久久精品国产性色也91久久 亚洲性久久久影院 欧美精品1区 国产热re99久久6国产精品 九九热免费观看 国产精品欧美日韩 久久久久国产一级毛片高清板 久久国产经典视频 日韩欧美亚洲国产一区二区三区 欧美亚洲综合另类在线观看 国产精品自在在线午夜区app 97中文字幕在线观看 视频一二三区 精品国产一区在线观看 国产欧美日韩在线一区二区不卡 欧美一区二三区 伊人成人在线观看 国内精品91久久久久 97在线亚洲 国产在线不卡一区 久久久全免费全集一级全黄片 国产精品v欧美精品∨日韩 亚洲毛片网站 在线不卡一区二区 99re热在线视频 久久激情网 国产毛片一区二区三区精品 久久亚洲综合色 中文字幕视频免费 国产视频亚洲 婷婷伊人久久 国产一区二区免费播放 久久99国产精品成人欧美 99国产在线视频 国产成人免费视频精品一区二区 国产不卡一区二区三区免费视 国产码欧美日韩高清综合一区 久久精品国产主播一区二区 国产一区电影 久久精品国产夜色 国产精品国产三级国产 日韩一区二区三区在线 久久97久久97精品免视看 久久国产免费一区二区三区 伊人久久大香线蕉综合电影网 99re6久精品国产首页 久久激情网 亚洲成人高清在线 国产精品网址 国产成人精品男人的天堂538 香蕉国产综合久久猫咪 国产专区中文字幕 91麻豆精品国产高清在线 久久国产经典视频 国产精品成人va在线观看 国产精品爱啪在线线免费观看 日本精品久久久久久久久免费 亚洲综合一区二区三区 久久五月网 精品国产网红福利在线观看 久久综合亚洲伊人色 亚洲国产精品久久久久久网站 在线日韩国产 99国产精品热久久久久久夜夜嗨 国产综合精品在线 国产区福利 精品亚洲综合久久中文字幕 国产制服丝袜在线 毛片在线播放网站 在线观看免费视频一区 国产精品久久久精品三级 亚洲国产电影在线观看 最新日韩欧美不卡一二三区 狠狠综合久久综合鬼色 日本精品1在线区 国产日韩一区二区三区在线播放 欧美日韩精品在线播放 亚洲欧美日韩国产一区二区三区精品 久久综合久久网 婷婷六月激情在线综合激情 亚洲乱码一区 国产专区91 97av视频在线观看 精品久久久久久中文字幕 久久五月视频 国产成人福利精品视频 国产精品网址 中文字幕视频在线 精品一区二区三区免费视频 伊人手机在线视频 亚洲精品中文字幕乱码 国产在线视频www色 色噜噜国产精品视频一区二区 精品亚洲成a人在线观看 国产香蕉尹人综合在线 成人免费一区二区三区在线观看 国产不卡一区二区三区免费视 欧美精品久久天天躁 国产专区中文字幕 久久精品国产免费中文 久久精品国产免费一区 久久无码精品一区二区三区 国产欧美另类久久久精品免费 欧美精品久久天天躁 亚洲精品在线视频 国产视频91在线 91精品福利一区二区三区野战 日韩中文字幕免费 国产精品99一区二区三区 欧美成人高清性色生活 国产精品系列在线观看 亚洲国产福利精品一区二区 国产成人在线小视频 国产精品久久久久免费 99re热在线视频 久久久久久久综合 一区二区国产在线播放 成人国产在线视频 亚洲精品乱码久久久久 欧美日韩一区二区综合 精品久久久久免费极品大片 中文字幕视频二区 激情粉嫩精品国产尤物 国产成人精品一区二区视频 久久精品中文字幕首页 亚洲高清在线 国产精品亚洲一区二区三区 伊人久久艹 中文在线亚洲 国产精品一区二区在线播放 国产精品九九免费视频 亚洲二区在线播放 亚洲狠狠婷婷综合久久久久网站 亚洲欧美日韩网站 日韩成人精品 亚洲国产一区二区三区青草影视 91精品国产福利在线观看 国产精品久久久久久久久99热 国产一区二区精品尤物 久碰香蕉精品视频在线观看 亚洲日日夜夜 在线不卡一区二区 国产午夜亚洲精品 九九热在线视频观看这里只有精品 伊人手机在线视频 91免费国产精品 日韩欧美中字 91精品国产91久久久久 国产全黄三级播放 视频一区二区三区免费观看 国产开裆丝袜高跟在线观看 国产成人欧美 激情综合丝袜美女一区二区 国产成人亚洲综合无 欧美精品一区二区三区免费观看 欧美亚洲国产日韩 日韩亚州 国产欧美日韩精品高清二区综合区 亚洲午夜国产片在线观看 精品久久久久久中文字幕 欧美精品1区 久久伊人久久亚洲综合 亚洲欧美日韩精品 国产成人精品久久亚洲高清不卡 久久福利影视 国产精品99精品久久免费 久久久久免费精品视频 国产日产亚洲精品 亚洲国产午夜电影在线入口 精品无码一区在线观看 午夜国产精品视频 亚洲一级片免费 伊人久久大香线蕉综合影 国产精品久久影院 久碰香蕉精品视频在线观看 www.欧美精品 在线小视频国产 亚洲国产天堂久久综合图区 欧美一区二区三区不卡 日韩美女福利视频 九九精品免视频国产成人 不卡国产00高中生在线视频 亚洲第一页在线视频 欧美日韩在线播放成人 99re视频这里只有精品 国产精品91在线 精品乱码一区二区三区在线 国产区久久 91麻豆精品国产自产在线观看一区 日韩精品成人在线 九九热在线观看 国产精品久久不卡日韩美女 欧美一区二区三区综合色视频 欧美精品免费一区欧美久久优播 国产精品网址 国产专区中文字幕 国产精品欧美亚洲韩国日本久久 日韩美香港a一级毛片 久久精品123 欧美一区二区三区免费看 99r在线视频 亚洲精品国产字幕久久vr 国产综合激情在线亚洲第一页 91免费国产精品 日韩免费小视频 亚洲国产精品综合一区在线 国产亚洲第一伦理第一区 在线亚洲精品 国产精品一区二区制服丝袜 国产在线成人精品 九九精品免视频国产成人 亚洲国产网 欧美日韩亚洲一区二区三区在线观看 在线亚洲精品 欧美一区二区三区高清视频 国产成人精品男人的天堂538 欧美日韩在线观看区一二 亚洲欧美一区二区久久 久久精品中文字幕首页 日本高清www午夜视频 久久精品国产免费 久久999精品 亚洲国产精品欧美综合 88国产精品视频一区二区三区 91久久偷偷做嫩草影院免费看 国产精品夜色视频一区二区 欧美日韩导航 国产成人啪精品午夜在线播放 一区二区视频在线免费观看 99久久精品国产自免费 精液呈暗黄色 久久99国产精品 日本精品久久久久久久久免费 精品国产97在线观看 99re视频这里只有精品 国产视频91在线 999av视频 亚洲美女视频一区二区三区 久久97久久97精品免视看 亚洲国产成人久久三区 99久久亚洲国产高清观看 日韩毛片在线视频 综合激情在线 91福利一区二区在线观看 一区二区视频在线免费观看 激情粉嫩精品国产尤物 国产成人精品曰本亚洲78 国产成人精品本亚洲 国产精品成人免费视频 国产成人啪精品视频免费软件 久久精品国产亚洲妲己影院 国产精品成人久久久久久久 久久大香线蕉综合爱 欧美一区二区三区高清视频 99热国产免费 在线观看欧美国产 91精品视频在线播放 国产精品福利社 欧美精品一区二区三区免费观看 国产一区二区免费视频 国产午夜精品一区二区 精品视频在线观看97 91精品福利久久久 国产一区福利 国产综合激情在线亚洲第一页 国产精品久久久久久久久久久不卡 九色国产 在线日韩国产 黄网在线观看 亚洲一区小说区中文字幕 中文字幕丝袜 日本二区在线观看 日本国产一区在线观看 欧美日韩一区二区三区久久 欧美精品亚洲精品日韩专 国产日产亚洲精品 久久综合九色综合欧美播 亚洲国产欧美无圣光一区 欧美视频区 亚洲乱码视频在线观看 久久无码精品一区二区三区 九九热精品免费视频 久久99精品久久久久久牛牛影视 国产精品成久久久久三级 国产一区福利 午夜国产精品视频 日本二区在线观看 99久久网站 国产亚洲天堂 精品国产一区二区三区不卡 亚洲国产日韩在线一区 国产成人综合在线观看网站 久久免费高清视频 欧美在线导航 午夜精品久久久久久99热7777 欧美久久综合网 国产小视频精品 国产尤物在线观看 亚洲国产精品综合一区在线 欧美一区二区三区不卡视频 欧美黑人欧美精品刺激 日本福利在线观看 久久国产偷 国产手机精品一区二区 国产热re99久久6国产精品 国产高清啪啪 欧美亚洲国产成人高清在线 国产在线第三页 亚洲综合一区二区三区 99r在线视频 99精品久久久久久久婷婷 国产精品乱码免费一区二区 国产在线精品福利91香蕉 国产尤物视频在线 五月婷婷亚洲 中文字幕久久综合伊人 亚洲精品一级毛片 99国产精品电影 在线视频第一页 久久99国产精品成人欧美 国产白白视频在线观看2 成人精品一区二区www 亚洲成人网在线观看 麻豆91在线视频 色综合合久久天天综合绕视看 久久精品国产免费高清 国产不卡一区二区三区免费视 欧美国产中文 99精品欧美 九九在线精品 国产中文字幕在线免费观看 国产一区中文字幕在线观看 国产成人一级 国产精品一区二区制服丝袜 国产一起色一起爱 亚洲精品成人在线 亚洲欧美精品在线 国产欧美自拍视频 99精品久久久久久久婷婷 久99视频 国产热re99久久6国产精品 视频一区亚洲 国产精品视频分类 国产精品成在线观看 99re6久精品国产首页 亚洲在成人网在线看 亚洲国产日韩在线一区 久久国产三级 日韩国产欧美 欧美在线一区二区三区 国产精品美女一级在线观看 成人午夜免费福利视频 亚洲天堂精品在线 91精品国产手机 欧美日韩视频在线播放 狠狠综合久久综合鬼色 九一色视频 青青视频国产 亚洲欧美自拍一区 中文字幕天天躁日日躁狠狠躁97 日韩免费大片 996热视频 伊人成综合网 亚洲天堂欧美 日韩精品亚洲人成在线观看 久久综合给会久久狠狠狠 日韩精品亚洲人成在线观看 日韩国产欧美 亚洲成aⅴ人片在线影院八 亚洲精品1区 99久久精品免费 国产精品高清在线观看 国产精品久久久免费视频 在线亚洲欧美日韩 91在线看视频 国产精品96久久久久久久 欧美日韩国产成人精品 91在线亚洲 热久久亚洲 国产精品美女免费视频观看 日韩在线毛片 亚洲永久免费视频 九九免费在线视频 亚洲一区网站 日本高清二区视频久二区 精品国产美女福利在线 伊人久久艹 国产精品久久久久三级 欧美成人精品第一区二区三区 99久久精品国产自免费 在线观看日韩一区 国产中文字幕一区 成人免费午夜视频 欧美日韩另类在线 久久99国产精品成人欧美 色婷婷中文网 久久天天躁夜夜躁狠狠躁2020 欧美成人伊人久久综合网 国产精品福利资源在线 国产伦精品一区二区三区高清 国产精品亚洲综合色区韩国 亚洲一区欧美日韩 色综合视频 国语自产精品视频在线区 国产高清a 成人国内精品久久久久影 国产在线精品香蕉综合网一区 国产不卡在线看 国产成人精品精品欧美 国产欧美日韩综合精品一区二区三区 韩国电影一区二区 国产在线视频www色 91中文字幕在线一区 国产人成午夜免视频网站 亚洲综合一区二区三区 色综合视频一区二区观看 久久五月网 九九热精品在线观看 国产一区二区三区国产精品 99久热re在线精品996热视频 亚洲国产网 在线视频亚洲一区 日韩字幕一中文在线综合 国产高清一级毛片在线不卡 精品国产色在线 国产高清视频一区二区 精品日本久久久久久久久久 亚洲国产午夜精品乱码 成人免费国产gav视频在线 日韩欧美一区二区在线观看 欧美曰批人成在线观看 韩国电影一区二区 99re这里只有精品6 日韩精品一区二区三区视频 99re6久精品国产首页 亚洲欧美一区二区三区导航 欧美色图一区二区三区 午夜精品视频在线观看 欧美激情在线观看一区二区三区 亚洲热在线 成人国产精品一区二区网站 亚洲一级毛片在线播放 亚洲一区小说区中文字幕 亚洲午夜久久久久影院 国产自产v一区二区三区c 国产精品视频免费 久久调教视频 国产成人91激情在线播放 国产精品欧美亚洲韩国日本久久 久久亚洲日本不卡一区二区 91中文字幕网 成人国产在线视频 国产视频91在线 欧美成人精品第一区二区三区 国产精品福利在线 久久综合九色综合精品 欧美一区二区三区精品 久久国产综合尤物免费观看 久久99青青久久99久久 日韩精品免费 久久国产精品999 91亚洲视频在线观看 国产精品igao视频 色综合区 在线亚洲欧国产精品专区 国产一区二区三区在线观看视频 亚洲精品成人在线 一区二区国产在线播放 中文在线亚洲 亚洲精品第一国产综合野 国产一区二区精品久久 一区二区三区四区精品视频 99热精品久久 中文字幕视频二区 国产成人精品男人的天堂538 99精品影视 美女福利视频一区二区 久久午夜夜伦伦鲁鲁片 综合久久久久久久综合网 国产精品国产欧美综合一区 国产99视频在线观看 国产亚洲女在线精品 婷婷影院在线综合免费视频 国产亚洲3p一区二区三区 91成人爽a毛片一区二区 亚洲一区二区高清 国产欧美亚洲精品第二区首页 欧美日韩导航 亚洲高清二区 欧美激情观看一区二区久久 日韩毛片在线播放 亚洲欧美日韩高清中文在线 亚洲日本在线播放 国产精品一区二区制服丝袜 精品国产一区二区三区不卡 国产不卡在线看 国产欧美网站 四虎永久在线观看视频精品 国产黄色片在线观看 夜夜综合 一本色道久久综合狠狠躁篇 欧美亚洲综合另类在线观看 国产91在线看 伊人久久国产 欧美一区二区在线观看免费网站 国产精品久久久久三级 久久福利 日韩中文字幕a 亚洲午夜久久久久影院 91在线高清视频 国产亚洲一区二区三区啪 久久人精品 国产精品亚洲午夜一区二区三区 综合久久久久久 久久伊人一区二区三区四区 国产综合久久久久久 日韩一区精品视频在线看 国产精品日韩欧美制服 日本精品1在线区 99re视频 无码av免费一区二区三区试看 国产视频1区 日韩欧美中文字幕一区 日本高清中文字幕一区二区三区a 亚洲国产欧美无圣光一区 国产在线视频一区二区三区 欧美国产第一页 在线亚洲欧美日韩 日韩中文字幕第一页 在线不卡一区二区 伊人久久青青 国产精品一区二区在线播放 www.五月婷婷 麻豆久久婷婷国产综合五月 亚洲精品区 久久国产欧美另类久久久 99在线视频免费 伊人久久中文字幕久久cm 久久精品成人免费看 久久这里只有精品首页 88国产精品视频一区二区三区 中文字幕日本在线mv视频精品 国产在线精品成人一区二区三区 伊人精品线视天天综合 亚洲一区二区黄色 国产尤物视频在线 亚洲精品99久久久久中文字幕 国产一区二区三区免费观看 伊人久久大香线蕉综合电影网 国产成人精品区在线观看 日本精品一区二区三区视频 日韩高清在线二区 久久免费播放视频 一区二区成人国产精品 国产精品免费精品自在线观看 亚洲精品视频二区 麻豆国产精品有码在线观看 精品日本一区二区 亚洲欧洲久久 久久中文字幕综合婷婷 中文字幕视频在线 国产成人精品综合在线观看 91精品国产91久久久久福利 精液呈暗黄色 香蕉国产综合久久猫咪 国产专区精品 亚洲精品无码不卡 国产永久视频 亚洲成a人片在线播放观看国产 一区二区国产在线播放 亚洲一区二区黄色 欧美日韩在线观看视频 亚洲精品另类 久久国产综合尤物免费观看 国产一区二区三区国产精品 高清视频一区 国产精品igao视频 国产精品资源在线 久久综合精品国产一区二区三区 www.五月婷婷 精品色综合 99热国产免费 麻豆福利影院 亚洲伊人久久大香线蕉苏妲己 久久电影院久久国产 久久精品伊人 在线日韩理论午夜中文电影 亚洲国产欧洲综合997久久 伊人国产精品 久草国产精品 欧美一区精品二区三区 亚洲成人高清在线 91免费国产精品 日韩精品福利在线 国产一线在线观看 国产不卡在线看 久久99青青久久99久久 亚洲精品亚洲人成在线播放 99久久免费看国产精品 国产日本在线观看 青草国产在线视频 麻豆久久婷婷国产综合五月 国产中文字幕一区 91久久精品国产性色也91久久 国产一区a 国产欧美日韩成人 国产亚洲女在线精品 一区二区美女 中文字幕在线2021一区 在线小视频国产 久久这里只有精品首页 国产在线第三页 欧美日韩中文字幕 在线亚洲+欧美+日本专区 精品国产一区二区三区不卡 久久这里精品 欧美在线va在线播放 精液呈暗黄色 91精品国产手机 91在线免费播放 欧美视频亚洲色图 欧美国产日韩精品 日韩高清不卡在线 精品视频免费观看 欧美日韩一区二区三区四区 国产欧美亚洲精品第二区首页 亚洲韩精品欧美一区二区三区 国产精品视频免费 在线精品小视频 久久午夜夜伦伦鲁鲁片 国产无套在线播放 久热这里只精品99re8久 欧美久久久久 久久香蕉国产线看观看精品蕉 国产成人精品男人的天堂538 亚洲人成网站色7799在线观看 日韩在线第二页 一本色道久久综合狠狠躁篇 国产一区二区三区不卡在线观看 亚洲乱码在线 在线观看欧美国产 久久福利青草精品资源站免费 国产玖玖在线观看 在线亚洲精品 亚洲成aⅴ人在线观看 精品91在线 欧美一区二三区 日韩中文字幕视频在线 日本成人一区二区 日韩免费专区 国内精品在线观看视频 久久国产综合尤物免费观看 国产精品系列在线观看 一本一道久久a久久精品综合 亚洲免费播放 久久精品国产免费 久久人精品 亚洲毛片网站 亚洲成a人一区二区三区 韩国福利一区二区三区高清视频 亚洲精品天堂在线 一区二区三区中文字幕 亚洲国产色婷婷精品综合在线观看 亚洲国产成人久久笫一页 999国产视频 国产精品香港三级在线电影 欧美日韩一区二区三区四区 日韩国产欧美 国产精品99一区二区三区 午夜国产精品理论片久久影院 亚洲精品中文字幕麻豆 亚洲国产高清视频 久久免费手机视频 日韩a在线观看 五月婷婷亚洲 亚洲精品中文字幕麻豆 中文字幕丝袜 www国产精品 亚洲天堂精品在线 亚洲乱码一区 国产日韩欧美三级 久久999精品 伊人热人久久中文字幕 久热国产在线视频 国产欧美日韩在线观看一区二区三区 国产一二三区在线 日韩国产欧美 91精品国产91久久久久 亚洲一区小说区中文字幕 精品一区二区免费视频 国产精品视频免费 国产精品亚洲综合色区韩国 亚洲国产精品成人午夜在线观看 欧美国产日韩精品 中文字幕精品一区二区精品