專利名稱：機械手的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種機械手，尤其涉及一種用于抓取單晶硅的機械手。
背景技術：
在生產制造硅片時，需要將用來固定單晶硅的晶硅夾具、樹酯以及單晶硅通過膠水按序粘接起來。目前，在國內，將所述晶硅夾具、樹酯以及單晶硅粘接起來是通過手工來實現的。這樣使得硅片的生產效率比較低下、生產成本較高，不利于實現硅片的大規模生產。而要實現硅片的大規模自動化生產，則必須解決單晶硅的取放問題。又由于單晶硅上具有灰塵，從而使得單晶硅與樹酯粘接時不牢固。鑒于上述問題，有必要提供一種機械手，以解決上述問題。
發明內容
針對現有技術的不足，本發明解決的技術問題是提供一種機械手，該機械手能夠對單晶硅進行清洗。為解決上述技術問題，本發明的技術方案是這樣實現的:
一種機械手，包括主機械手、安裝在所述主機械手上的副機械手以及安裝在所述主機械手上的清洗裝置，所述主機械手包括主氣缸、安裝在所述主氣缸上的主連接件以及安裝在所述主連接件上的主吸盤；所述副機械手包括副氣缸、安裝在所述副氣缸上的副連接件以及安裝在所述副連接件上的副吸盤；所述清洗裝在安裝在所述主連接件上。進一步地,所述副氣缸在安裝在所述主連接件的一側。
進一步地，所述主吸盤的數量為三。進一步地，所述副吸盤的數量為二。本發明的有益效果是:相較于現有技術，本發明所述機械手不僅能夠抓取單晶硅，還能對單晶硅進行清洗。
圖1為本發明機械手的立體示意圖。
具體實施例方式為了使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，下面結合附圖和具體實施例對本發明進行詳細描述。請參閱圖1所示，本發明機械手100包括主機械手10、安裝在所述主機械手10上的副機械手20以及安裝在所述主機械手10上的清洗裝置30。所述主機械手10包括主氣缸11、安裝在所述主氣缸11上的主連接件12以及安裝在所述主連接件12上的主吸盤13，所述主連接件12可以在所述主氣缸11的作用下進行上下運動，所述主吸盤13用來吸住單晶硅40。所述副機械手20包括副氣缸21、安裝在所述副氣缸21上的副連接件22以及安裝在所述副連接件22上的副吸盤23，所述副連接件22可以在所述副氣缸21的作用下進行上下運動。所述副氣缸21安裝在所述主連接件12的一側。在本實施例中，所述主吸盤13的數量為三，所述副吸盤23的數量為二。所述清洗裝置30安裝在所述主連接12上，其所使用清洗液為酒精。當使用本發明機械手100時，如果要吸取較大的單晶硅時，則使用主機械手10 ;當要吸取較小的單晶硅時，則使用副機械手20。當需要清洗單晶硅時，則打開所述清洗裝置30對單晶硅進行清洗。相較于現有技術，本發明所述機械手100不僅能夠抓取單晶硅，還能對單晶硅進行清洗。特別需要指出，對于本領域的普通技術人員來說，在本發明的教導下所作的針對本發明的等效變化， 仍應包含在本發明申請專利范圍所主張的范圍中。
權利要求
1.一種機械手，其特征在于:所述機械手包括主機械手、安裝在所述主機械手上的副機械手以及安裝在所述主機械手上的清洗裝置，所述主機械手包括主氣缸、安裝在所述主氣缸上的主連接件以及安裝在所述主連接件上的主吸盤；所述副機械手包括副氣缸、安裝在所述副氣缸上的副連接件以及安裝在所述副連接件上的副吸盤；所述清洗裝在安裝在所述主連接件上。
2.如權利要求1所述的機械手，其特征在于:所述副氣缸在安裝在所述主連接件的一側。
3.如權利要求2所述的機械手，其特征在于:所述主吸盤的數量為三。
4.如權利要求3所 述的機械手，其特征在于:所述副吸盤的數量為二。
全文摘要
本發明揭示了一種機械手，包括主機械手、安裝在所述主機械手上的副機械手以及安裝在所述主機械手上的清洗裝置，所述主機械手包括主氣缸、安裝在所述主氣缸上的主連接件以及安裝在所述主連接件上的主吸盤；所述副機械手包括副氣缸、安裝在所述副氣缸上的副連接件以及安裝在所述副連接件上的副吸盤；所述清洗裝在安裝在所述主連接件上。與現有技術相比，本發明所述機械手不僅能夠抓取單晶硅，還能對單晶硅進行清洗。
文檔編號H01L21/683GK103227139SQ20131015499
公開日2013年7月31日 申請日期2013年4月28日 優先權日2013年4月28日
發明者李佳 申請人:蘇州工業園區高登威科技有限公司