一種基片傳輸方法和系統的制作方法
【專利摘要】本發明實施例提供了一種基片傳輸方法和系統，以解決目前的技術在載板上未擺滿電池片時工作效率低下的問題。方法包括：當基片從上料臺傳輸到載板時，獲取載板上需要放置基片的位置，載板為M行×N列的載板；根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片，所述龍門架為M行×1列的龍門架；從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上需要放置基片的位置；判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未放置基片的位置，若存在，則返回根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片的步驟。本發明實施例提高了基片從上料臺傳輸到載板以及從載板傳輸到下料臺時的效率。
【專利說明】一種基片傳輸方法和系統
【技術領域】
[0001] 本發明實施例涉及設備工藝控制【技術領域】，特別是涉及一種基片傳輸方法和系 統。
【背景技術】
[0002] 在設備工藝控制過程中，涉及到基片的傳輸。例如，在太陽能電池片的制作過程 中，上料時需要將電池片（即基片）從上料臺向載板傳輸，下料時需要將電池片從載板向下 料臺傳輸，等等。
[0003] 以等離子體增強化學氣相沉積（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition， PECVD)為例，PECVD是指借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等 離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。
[0004] 在太陽能電池片的制作過程中，多采用PECVD工藝。參照圖1，為PECVD系統的基 本架構圖，該系統可以包括：1、裝載臺；2、裝載腔；3、工藝腔；4、卸載腔；5、卸載臺；6、回收 系統。在PECVD系統中，電池片(基片）在裝載臺區域被裝載到載板上，進入裝載腔室進行 預熱處理，當基片達到工藝溫度要求后被傳送至工藝腔進行PECVD工藝，然后由卸載腔傳 出到達卸載臺（卸載臺和裝載臺都是可以升降的)，在卸載臺將載板降到下層后傳到回收系 統，然后傳輸到裝載臺下方，升到裝載臺上層。
[0005] 其中，裝載臺可以包括上料臺和下料臺，裝載臺的主要結構為龍門架，電池片從上 料臺向載板傳輸和從載板向下料臺傳輸時均使用龍門架完成。
[0006]目前，電池片從上料臺向載板傳輸時，通過機械手從上料臺取電池片，放置到傳輸 皮帶上，從載板的第一列開始，龍門架首先判斷載板上第η列需要放置電池片的位置，然后 按照該位置從傳輸皮帶上取電池片，再將電池片放置到載板的第η列上；然后按照上述方 法返回傳輸皮帶取第η+1列的電池片，將第η+1列電池片放置到載板上。電池片從載板向 下料臺傳輸時，從載板的最后一列開始，龍門架取下第η列的電池片，將第η列的電池片放 置到下料臺；然后返回載板取第η-1列的電池片，將第η-1列的電池片放置到下料臺。
[0007] 上述方法適用于載板上擺滿基片的情況。但是，當進行系統實驗或者判斷基片工 藝不均性等需求時，載板上是不需要擺滿基片的。在這種情況下，采用上述方法載板上的每 一列都需要龍門架往返運行一次，因此將會極大地降低工作效率。
【發明內容】
[0008] 本發明實施例提供了一種基片傳輸方法和系統，以解決目前的技術在載板上未擺 滿電池片時工作效率低下的問題。
[0009] 為了解決上述問題，本發明公開了一種基片傳輸方法，其特征在于，包括：
[0010] 當基片從上料臺傳輸到載板時，獲取載板上需要放置基片的位置，所述載板為Μ 行ΧΝ列的載板，Μ、Ν為正整數；
[0011] 根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基 片，所述龍門架為Μ行X1列的龍門架；
[0012] 從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上需要放置基片的 位置；
[0013] 判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未放置基片的位置，若存在，則返 回根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片的步 驟。
[0014] 可選地，所述根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從 上料臺獲取基片，包括：
[0015] 從載板的第一行開始，逐行判斷載板的當前行中是否存在需要放置基片的位置；
[0016] 若存在，則控制龍門架從上料臺獲取一個基片，并將所述一個基片放置到龍門架 上與所述載板的當前行相對應的行中。
[0017] 可選地，所述從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上需 要放置基片的位置，包括：
[0018] 當龍門架第m行存在基片時，判斷載板上第η列第m行是否為需要放置基片的位 置；
[0019] 當載板上第η列第m行為需要放置基片的位置時，判斷載板上第m行第n+1列到 第m行第N列中是否存在需要放置基片的位置；
[0020] 當載板上第m行第n+1列到第m行第N列中不存在需要放置基片的位置時，控制 龍門架將龍門架第m行的基片放置在載板上的第η列第m行；
[0021] 當載板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的位置時，控制龍 門架不將龍門架第m行的基片放置在載板上的第η列第m行；
[0022] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=l，2, 3, · · ·，N。
[0023] 另一方面，本發明還公開了一種基片傳輸方法，其特征在于，包括：
[0024] 當基片從載板傳輸到下料臺時，獲取載板上已放置基片的位置，所述載板為Μ 行ΧΝ列的載板，Μ、Ν為正整數；
[0025] 根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第Ν列開始，控制龍 門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片，并將所述基片放置到下料臺；所述龍門架 為Μ行XI列的龍門架；
[0026] 判斷載板上是否還存在未取下的基片，若存在，則返回根據載板上每一行中是否 存在已放置基片的位置，從載板的第Ν列開始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位 置取下基片的步驟。
[0027] 可選地，所述根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第Ν列 開始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片，包括：
[0028] 當載板上第m行存在已放置基片的位置時，判斷載板上第η列第m行是否為已放 置基片的位置；
[0029] 當載板上第η列第m行為已放置基片的位置時，判斷龍門架的第m行是否存在基 片；
[0030] 當龍門架的第m行不存在基片時，控制龍門架取下載板上第η列第m行的基片，并 將所述載板上第η列第m行的基片放置到龍門架的第m行；
[0031] 當龍門架的第m行存在基片時，控制龍門架不取下載板上第η列第m行的基片；
[0032] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=N，N_l，N-2, · · ·，1。
[0033] 另一方面，本發明還公開了一種基片傳輸系統，其特征在于，包括：
[0034] 上料位置獲取模塊，用于當基片從上料臺傳輸到載板時，獲取載板上需要放置基 片的位置，所述載板為Μ行XN列的載板，M、N為正整數；
[0035] 基片獲取模塊，用于根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍 門架從上料臺獲取基片，所述龍門架為Μ行XI列的龍門架；
[0036] 基片放置模塊，用于從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載 板上需要放置基片的位置；
[0037] 位置判斷模塊，用于判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未放置基片的 位置；
[0038] 當所述位置判斷模塊的判斷結果為存在時，所述基片獲取模塊再次根據載板上每 一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片。
[0039] 可選地，所述基片獲取模塊包括：
[0040] 逐行判斷子模塊，用于從載板的第一行開始，逐行判斷載板的當前行中是否存在 需要放置基片的位置；
[0041] 獲取子模塊，用于當所述逐行判斷子模塊的判斷結果為存在時，控制龍門架從上 料臺獲取一個基片，并將所述一個基片放置到龍門架上與所述載板的當前行相對應的行 中。
[0042] 可選地，所述基片放置模塊包括：
[0043] 第一上料判斷子模塊，用于當龍門架第m行存在基片時，判斷載板上第η列第m行 是否為需要放置基片的位置；
[0044] 第二上料判斷子模塊，用于當所述第一上料判斷子模塊判斷出載板上第η列第m 行為需要放置基片的位置時，判斷載板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要 放置基片的位置；
[0045] 放置子模塊，用于當所述第二上料判斷子模塊判斷出載板上第m行第n+1列到第 m行第N列中不存在需要放置基片的位置時，控制龍門架將龍門架第m行的基片放置在載 板上的第η列第m行；當所述第二上料判斷子模塊判斷出載板上第m行第n+1列到第m行 第N列中存在需要放置基片的位置時，控制龍門架不將龍門架第m行的基片放置在載板上 的第η列第m行；
[0046] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=l，2, 3, · · ·，N。
[0047] 另一方面，本發明還公開了一種基片傳輸系統，其特征在于，包括：
[0048] 下料位置獲取模塊，用于當基片從載板傳輸到下料臺時，獲取載板上已放置基片 的位置，所述載板為Μ行XN列的載板，Μ、N為正整數；
[0049] 基片取下模塊，用于根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的 第Ν列開始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片，并將所述基片放置到 下料臺；所述龍門架為Μ行X1列的龍門架；
[0050] 基片判斷模塊，用于判斷載板上是否還存在未取下的基片；
[0051] 當所述基片判斷模塊的判斷結果為存在時，所述基片取下模塊再次根據載板上每 一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第N列開始，控制龍門架依次從載板上已放 置基片的位置取下基片。
[0052] 可選地，所述基片取下模塊包括：
[0053] 第一下料判斷子模塊，用于當載板上第m行存在已放置基片的位置時，判斷載板 上第η列第m行是否為已放置基片的位置；
[0054] 第二下料判斷子模塊，用于當所述第一下料判斷子模塊判斷出載板上第η列第m 行為已放置基片的位置時，判斷龍門架的第m行是否存在基片；
[0055] 取下子模塊，用于當所述第二下料判斷子模塊判斷出龍門架的第m行不存在基片 時，控制龍門架取下載板上第η列第m行的基片，并將所述載板上第η列第m行的基片放置 到龍門架的第m行；當所述第二下料判斷子模塊判斷出龍門架的第m行存在基片時，控制龍 門架不取下載板上第η列第m行的基片；
[0056] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=N，N_l，N-2, · · ·，1。
[0057] 與現有技術相比，本發明實施例包括以下優點：
[0058] 首先，本發明實施例中當基片從上料臺傳輸到載板時，可以首先獲取載板上需要 放置基片的位置；然后控制龍門架根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置從上 料臺獲取基片；最后從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上需要 放置基片的位置。通過上述方法龍門架可以不再針對載板上每一列需要放置基片的位置都 往返運行一次將基片放置到載板上，而是在一次放片過程中，根據載板上需要放置基片的 位置的總行數獲取基片，然后一次性將這些基片放置到載板上，從而極大地提高了基片從 上料臺傳輸到載板時的效率。
[0059] 其次，本發明實施例中當基片從載板傳輸到下料臺時，可以首先獲取載板上已放 置基片的位置；然后根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第N列開 始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片；最后將所述基片放置到下料臺。 通過上述方法龍門架可以不再針對載板上每一列基片都往返運行一次將基片放置到下料 臺，而是在一次取片過程中，根據載板上已放置基片的位置的總行數從載板上取下基片，然 后一次性將這些基片放置到下料臺，從而極大地提高了基片從載板傳輸到下料臺時的效 率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0060] 圖1是現有技術中PECVD系統的基本架構圖；
[0061] 圖2是本發明實施例中執行所述基片傳輸方法的結構圖；
[0062] 圖3是本發明實施例一所述的一種基片傳輸方法的流程圖；
[0063] 圖4是本發明實施例二所述的一種基片傳輸方法的流程圖；
[0064] 圖5是本發明實施例三所述的一種基片傳輸方法的流程圖；
[0065] 圖6是本發明實施例三所述的一種載板上放置基片的示意圖；
[0066] 圖7是本發明實施例三所述的另外一種載板上放置基片的示意圖；
[0067] 圖8是采用【背景技術】中的方法針對圖6和圖7所示的情況執行上料過程的流程 圖；
[0068] 圖9是本發明實施例三中針對圖6和圖7所示的情況執行上料過程的流程圖；
[0069] 圖10是本發明實施例三中針對圖6和圖7所示的情況執行下料過程的流程圖；
[0070] 圖11是本發明實施例四所述的一種基片傳輸系統的結構框圖；
[0071] 圖12本發明實施例五所述的一種基片傳輸系統的結構框圖。
【具體實施方式】
[0072] 為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實 施方式對本發明作進一步詳細的說明。
[0073] 本發明實施例在放片以及取片的過程中，龍門架都可以根據載板上的位置情況一 次性獲取盡可能多的基片放置到載板上，或者一次性從載板上取下盡可能多的基片，從而 減少龍門架的往返運行次數，極大地提高了基片從上料臺傳輸到載板以及從載板傳輸到下 料臺時的效率。
[0074] 本發明實施例中主要以PECVD系統為例進行說明，但是本發明實施例所提出的基 片傳輸方法并不限定于應用在PECVD系統工藝中，其應用在任何其他具有基片傳輸過程的 工藝中均是可行的。其中，PECVD系統可以應用于太陽能電池片的制作過程，此時，電池片 即為基片，當然，PECVD系統也可以應用于其他工藝過程，本發明實施例對此并不加以限制。
[0075] 目前基片傳輸過程中，當基片從上料臺傳輸到載板或者從載板傳輸到下料臺時， 龍門架都是根據載板上每一列的情況，在每次往返運行過程中，從上料臺獲取對應載板上 的一列的基片，并將基片放置到載板上的對應列中；或者從載板上取下一列的基片，并將基 片放置到下料臺中。
[0076] 上述方法適用于載板上擺滿基片的情況。但是，當進行系統實驗或者判斷基片工 藝不均性等需求時，載板上是不需要擺滿基片的。在這種情況下，采用上述方法載板上的每 一列都需要龍門架往返運行一次，因此將會極大地降低工作效率。
[0077] 針對上述問題，本發明實施例提出了一種基片傳輸方法，該方法可以提高基片從 上料臺傳輸到載板以及從載板傳輸到下料臺時的效率。
[0078] 首先，介紹一下本發明實施例中執行所述基片傳輸方法的結構圖，如圖2所示。
[0079] 圖2中，機械手用于從上料臺的料盒中獲取基片，并將基片放置到傳輸皮帶上，通 過電缸控制伺服電機（圖中未標出)帶動傳輸皮帶轉動。上料時，首先，可以通過上位工控機 或電腦或可編程邏輯控制器（Programmable Logic Controller,PLC)設置好載板上需要放 置基片的位置；然后，通過電磁閥控制龍門架上的吸盤，從傳輸皮帶上吸取基片（即圖中的 電池片）；最后龍門架將基片放置到載板上；下料時，龍門架從載板上取下基片，然后將基片 放置到下料臺。
[0080] 利用圖2所示的結構，采用【背景技術】中的基片傳輸方法將基片從上料臺傳輸到載 板時，如果載板的每一列中均放置8個基片，則傳輸過程為：首先機械手從料盒獲取一個基 片后傳送到傳輸皮帶位置1上，此時傳輸皮帶在伺服電機的帶動下高速轉動，將基片傳送 到位置2 ;然后機械手再次從料盒獲取一個基片傳送到位置1，此時傳輸皮帶在伺服電機的 帶動下高速轉動，將第一個基片傳送到位置3,將第二個基片傳送到位置2 ;機械手再從料 盒獲取一個基片，此過程重復到皮帶位置8有基片為止。傳輸皮帶位置載滿后，龍門架運行 到傳輸皮帶處進行吸片，然后運行到載板上，將基片放置到載板的第一列。此后重復前面的 動作，直到載板裝滿，上料結束。
[0081] 針對載板上每一列都放滿基片的情況，采用上述方法是可行的。但是，如果載板上 需要放置的基片數量較少，則采用上述方法會降低上料和下料的效率。
[0082] 下面，分別通過以下幾個實施例論述本發明實施例中利用圖2所示的結構執行的 一種基片傳輸方法。
[0083] 實施例一：
[0084] 參照圖3,示出了本發明實施例一所述的一種基片傳輸方法的流程圖，該流程圖主 要是將基片從上料臺傳輸到載板時（即上料）的過程。
[0085] 所述方法可以包括：
[0086] 步驟301，當基片從上料臺傳輸到載板時，獲取載板上需要放置基片的位置。
[0087] 當基片從上料臺傳輸到載板時，可以通過上位工控機或電腦或PLC獲取載板上需 要放置基片的位置，然后根據獲取到的位置可以確定龍門架如何從上料臺獲取基片。
[0088] 本發明實施例中，所述載板可以為Μ行XN列的載板，所述龍門架可以為Μ行XI 列的龍門架，即所述龍門架可以沿著載板的列，一列一列地在載板上運動。其中，Μ、Ν為正 整數。
[0089] 步驟302,根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料 臺獲取基片。
[0090] 本發明實施例中，可以通過上位工控機或電腦或PLC判斷載板上每一行中是否存 在需要放置基片的位置，然后根據判斷出的情況，控制龍門架從上料臺獲取基片。
[0091] 具體的，可以首先由機械手從上料臺獲取基片，然后將基片放置到傳輸皮帶上，最 后龍門架從傳輸皮帶上獲取基片。
[0092] 例如，如果載板的第一行中存在需要放置基片的位置，則可以控制龍門架從上料 臺獲取一個基片，并將該基片放置到龍門架的第一行。對于具體的過程，將在下面的實施例 中詳細論述。
[0093] 步驟303,從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上需要放 置基片的位置。
[0094] 龍門架在通過上述步驟303獲取基片之后，即可從載板的第一列開始，依次將所 述基片放置到載板上需要放置基片的位置。
[0095] 例如，如果載板上的第一行中存在一個需要放置基片的位置，該位置為第一行第 一列，則龍門架運動到載板的第一列時，可以將自身第一行中的基片放置到載板上第一行 第一列中。對于具體的過程，將在下面的實施例中詳細論述。
[0096] 步驟304,判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未放置基片的位置。
[0097] 當龍門架從載板的第一列運動到載板的第Ν列，將其上的基片全部放置到載板上 之后，可以通過上位工控機或電腦或PLC判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未 放置基片的位置。
[0098] 如果存在，則返回步驟302,控制龍門架繼續根據載板上每一行中是否存在需要放 置基片的位置，從上料臺獲取基片；如果不存在（即載板上需要放置基片的位置已全部放置 基片)，則結束基片從上料臺傳輸到載板的過程。
[0099] 本發明實施例中，上述的判斷、控制等過程并不限定于利用上位工控機或電腦或 PLC執行，還可以采用其他的設備進行控制。
[0100] 通過本發明實施例提出的上述方法，龍門架可以不再針對載板上每一列需要放置 基片的位置都往返運行一次將基片放置到載板上，而是在一次放片過程中，根據載板上需 要放置基片的位置的總行數獲取基片，然后一次性將這些基片放置到載板上，極大地提高 了基片從上料臺傳輸到載板時的效率。
[0101] 實施例二：
[0102] 參照圖4,示出了本發明實施例二所述的一種基片傳輸方法的流程圖，該流程圖主 要是將基片從載板傳輸到下料臺時（即下料）的過程。
[0103] 所述方法可以包括：
[0104] 步驟401，當基片從載板傳輸到下料臺時，獲取載板上已放置基片的位置。
[0105] 當基片從載板傳輸到下料臺時，可以通過上位工控機或電腦或PLC獲取載板上已 放置基片的位置，然后根據獲取到的位置可以確定龍門架如何從載板上取下基片。
[0106] 本發明實施例中，所述載板可以為Μ行XN列的載板，所述龍門架可以為Μ行XI 列的龍門架，即所述龍門架可以沿著載板的列，一列一列地在載板上運動。其中，Μ、Ν為正 整數。
[0107] 步驟402,根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第Ν列開 始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片，并將所述基片放置到下料臺。
[0108] 本發明實施例中，可以通過上位工控機或電腦或PLC判斷載板上每一行中是否存 在已放置基片的位置，然后根據判斷出的情況，控制龍門架從載板的第Ν列開始，依次從載 板上已放置基片的位置取下基片，并將所述基片放置到下料臺。
[0109] 例如，如果載板上的第一行中存在一個需要放置基片的位置，該位置為第一行第Ν 列，則龍門架運動到載板的第Ν列時，可以取下載板上第一行第Ν列中的基片，并將該基片 放置到龍門架的第一行。對于具體的過程，將在下面的實施例中詳細論述。
[0110] 步驟403，判斷載板上是否還存在未取下的基片。
[0111] 當龍門架從載板的第Ν列運動到載板的第一列，從載板上取下相應基片放置到下 料臺之后，可以通過上位工控機或電腦或PLC判斷載板上是否還存在未取下的基片。
[0112] 如果存在，則返回步驟402,龍門架繼續根據載板上每一行中是否存在已放置基片 的位置，從載板的第Ν列開始，控制依次從載板上已放置基片的位置取下基片；如果不存在 (即載板上的基片已全部取下)，則結束基片從載板傳輸到下料臺的過程。
[0113] 通過本發明實施例中提出的上述方法，龍門架可以不再針對載板上每一列基片都 往返運行一次將基片放置到下料臺，而是在一次取片過程中，根據載板上已放置基片的位 置的總行數從載板上取下基片，然后一次性將這些基片放置到下料臺，從而極大地提高了 基片從載板傳輸到下料臺時的效率。
[0114] 實施例三：
[0115] 參照圖5,示出了本發明實施例三所述的一種基片傳輸方法的流程圖，該流程圖主 要是基片從上料臺傳輸到載板時（即上料）以及基片從載板傳輸到下料臺時（即下料）的整 體過程。
[0116] 所述方法可以包括：
[0117] 步驟501，確定當前需要執行上料流程還是下料流程。
[0118] 如果需要執行上料流程，則執行步驟502 ;如果需要執行下料流程，則執行步驟 503。
[0119] 本發明實施例中，上料流程即為基片從上料臺傳輸到載板的過程，下料流程即為 基片從載板傳輸到下料臺的過程。
[0120] 步驟502，執行上料流程。
[0121] 該上料流程可以包括以下子步驟：
[0122] 子步驟5021，獲取載板上需要放置基片的位置。
[0123] 其中，所述載板為Μ行XN列的載板，M、N為正整數。
[0124] 子步驟5022,根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從 上料臺獲取基片。
[0125] 其中，所述龍門架為Μ行XI列的龍門架。
[0126] 該子步驟5022可以包括：
[0127] al，從載板的第一行開始，逐行判斷載板的當前行中是否存在需要放置基片的位 置。
[0128] 若存在，則執行a2 ;若不存在，則執行a3。
[0129] a2,控制龍門架從上料臺獲取一個基片，并將所述一個基片放置到龍門架上與所 述載板的當前行相對應的行中。
[0130] a3,控制龍門架不從上料臺獲取龍門架上與所述載板的當前行相對應的行中的基 片。
[0131] 子步驟5023,從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上需 要放置基片的位置。
[0132] 該子步驟5023可以包括：
[0133] b 1，當龍門架第m行存在基片時，判斷載板上第η列第m行是否為需要放置基片的 位置；
[0134] 若是，則執行b2 ;若否，則執行b4。
[0135] 當龍門架第m行不存在基片時，則可以說明載板上第m行中不存在需要放置基片 的位置，因此可以不對載板上的第m行進行判斷。
[0136] b2,判斷載板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要放置基片的位置；
[0137] 若存在，則執行b4 ;若不存在，則執行b3。
[0138] b3,控制龍門架將龍門架第m行的基片放置在載板上的第η列第m行；
[0139] b4,控制龍門架不將龍門架第m行的基片放置在載板上的第η列第m行。
[0140] 當載板上第η列第m行不是需要放置基片的位置時；或者載板上第η列第m行為 需要放置基片的位置，并且載板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的 位置時，不將龍門架第m行的基片放置在載板上的第η列第m行。
[0141] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=l，2, 3, · · ·，N。
[0142] 子步驟5024,判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未放置基片的位置。
[0143] 若存在，則返回子步驟5022 ;若不存在，則結束上料流程。
[0144] 步驟503，執行下料流程。
[0145] 該下料流程可以包括以下子步驟：
[0146] 子步驟5031，獲取載板上已放置基片的位置。
[0147] 子步驟5032,根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第N列 開始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片。
[0148] 該子步驟5032可以包括：
[0149] cl，當載板上第m行存在已放置基片的位置時，判斷載板上第η列第m行是否為已 放置基片的位置；
[0150] 若是，則執行c2 ;若否，則執行c4。
[0151] 當載板上第m行不存在已放置基片的位置時，則可以說明龍門架不從載板上第m 行中取下基片，因此可以不對載板上的第m行進行判斷。
[0152] c2,當載板上第η列第m行為已放置基片的位置時，判斷龍門架的第m行是否存在 基片；
[0153] 若存在，則執行c4 ;若不存在，則執行c3。
[0154] c3,控制龍門架取下載板上第η列第m行的基片，并將所述載板上第η列第m行的 基片放置到龍門架的第m行；
[0155] c4,控制龍門架不取下載板上第η列第m行的基片。
[0156] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=N，N_l，N-2, · · ·，1。
[0157] 當載板上第η列第m行不是已放置基片的位置時；或者載板上第η列第m行為已 放置基片的位置，并且龍門架的第m行存在基片時，龍門架不取下載板上第η列第m行的基 片。
[0158] 子步驟5033,控制龍門架將所述基片放置到下料臺。
[0159] 子步驟5034,判斷載板上是否還存在未取下的基片。
[0160] 若存在，則返回子步驟5032 ;如果不存在，則結束下料流程。
[0161] 下面，舉例介紹本發明實施例所述的基片傳輸方法。
[0162] 圖6為本發明實施例三所述的一種載板上放置基片的示意圖，圖7為本發明實施 例三所述的另外一種載板上放置基片的示意圖。從圖6和圖7可以看出，載板為8行X8 列的載板，則龍門架為8行X 1列的龍門架。
[0163] 如果采用【背景技術】中的方法針對圖6和圖7所示的情況執行上料過程，則流程如 圖8所示，上料過程可以包括 ：
[0164] 步驟801，機械手從上料臺犾取基片。
[0165] 步驟802,機械手將基片放置到傳輸皮帶，龍門架運動到傳輸皮帶處。
[0166] 步驟803,龍門架根據載板上第η列的基片放置情況從傳輸皮帶上獲取一個基片， 并放置到載板的第η列。
[0167] 令 η=η+1，并返回步驟 801，其中，η=1，2, · · ·，7。
[0168] 下料過程與上料過程基本相似，本發明實施例在此不再詳細論述。
[0169] 參照圖9,為本發明實施例三中針對圖6和圖7所示的情況執行上料過程的流程 圖，上料過程可以包括：
[0170] 步驟901，機械手從上料臺獲取基片，并將基片放置到傳輸皮帶。
[0171] 步驟902，龍門架根據載板上每一行需要放置基片的情況從傳輸皮帶上獲取基片。
[0172] 步驟903,龍門架運動到載板上的第η列，將相應基片放置到載板上的第η列。
[0173] 步驟904,龍門架運動到載板上的第η+1列，將相應基片放置到載板上的第η+1列， n=l，2,…，7〇
[0174] 步驟905,判斷載板上是否放置完基片。
[0175] 若是，則結束上料過程；若否，則返回步驟901。
[0176] 參照圖10,為本發明實施例三中針對圖6和圖7所示的情況執行下料過程的流程 圖，下料過程可以包括：
[0177] 步驟1001，龍門架運動到載板上的第η列，取下第η列的基片，放置到龍門架的相 應位置。
[0178] 其中，η=8,7,6, · · ·，2。
[0179] 步驟1002,龍門架從第Ν列運動到第η-1列，取下第η-1列的基片，放置到龍門架 的相應位置。
[0180] 步驟1003,將龍門架上的基片放置到下料臺。
[0181] 步驟1004,判斷載板上的基片是否已取完。
[0182] 若是，則結束下料過程；若否，則返回步驟1001。
[0183] 下面，分別針對圖6和圖7進行介紹。
[0184] 針對圖6:
[0185] 從圖6可以看出，載板上每一列中只放置一個基片，每一行中也只放置一個基片。
[0186] 針對圖6,如果采用【背景技術】提出的方法執行上料過程如下：首先，龍門架從傳輸 皮帶獲取一個基片，放置到龍門架的第一行，然后將龍門架第一行的基片放置到載板上的 第一列第一行，并返回傳輸皮帶處；然后，龍門架從傳輸皮帶獲取一個基片，放置到龍門架 的第二行，然后將龍門架第二行的基片放置到載板上的第八列第二行，并返回傳輸皮帶處， 以此類推，直至在載板上的第七列第八行放置完基片位置。
[0187] 可見，采用【背景技術】中的方法在載板上放置好基片，龍門架需要往返運行8次才 可完成。
[0188] 同樣的，對于下料過程，龍門架也是每次從載板上取下一列中的基片，然后放置到 下料臺，仍然需要往返運行8次才可完成，本發明實施例在此不再詳細論述。
[0189] 針對圖6,采用本發明實施例所述的方法執行上料過程如下：首先，機械手從上料 臺獲取8個基片，并將8個基片放置到傳輸皮帶；然后判斷出載板上每一行都需要放置一個 基片，則龍門架從傳輸皮帶獲取8個基片，并分別放置到龍門架的第一行至第八行；最后， 龍門架運動到載板的第一列，將龍門架第一行的基片放置到載板的第一列第一行，再運動 到載板的第二列，將龍門架第三行的基片放置到載板的第二列第三行。以此類推，直至運動 到載板的第八列，將龍門架第二行的基片放置到載板的第八列第二行位置。
[0190] 將龍門架第二行的基片放置到載板的第八列第二行位置之后，經過判斷，載板上 已放置完基片，此時即可結束上料過程。
[0191] 因此，針對圖6所示的情況，本發明實施例的上料過程只需龍門架往返運行一次 即可完成。
[0192] 針對圖6,采用本發明實施例所述的方法執行下料過程如下：首先，龍門架運動到 載板的第八列，取下載板上第八列第二行的基片，放置到龍門架的第二行；然后，龍門架運 動到載板的第七列，取下載板上第七列第八行的基片，放置到龍門架的第八行；以此類推， 最后龍門架運動到載板的第一列，取下載板上第一列第一行的基片，放置到龍門架的第一 行。
[0193] 取下載板上第一列第一行的基片，放置到龍門架的第一行之后，龍門架將基片放 置到下料臺。然后經過判斷，載板上的基片已取完，此時即可結束下料過程。
[0194] 因此，針對圖6所示的情況，本發明實施例的下料過程只需龍門架往返運行一次 即可完成。
[0195] 針對圖7 :
[0196] 從圖7可以看出，載板上第一列中放置兩個基片，第二行也放置兩個基片，其余每 一列中只放置一個基片，每一行中也只放置一個基片。
[0197] 針對圖7,采用本發明實施例所述的方法執行上料過程如下：首先，機械手從上料 臺獲取8個基片，并將8個基片放置到傳輸皮帶；然后判斷出載板上每一行都需要放置基 片，則龍門架從傳輸皮帶獲取8個基片，并分別放置到龍門架的第一行至第八行；最后，龍 門架運動到載板的第一列，將龍門架第一行的基片放置到載板的第一列第一行，再運動到 載板的第二列，將龍門架第二行的基片放置到載板的第二列第二行。以此類推，直至運動到 載板的第八列，將龍門架第八行的基片放置到載板的第八列第八行位置。
[0198] 將龍門架第八行的基片放置到載板的第八列第八行位置之后，經過判斷，載板上 第一列第二行還未放置基片，此時龍門架返回傳輸皮帶處獲取一個基片，放置到龍門架的 第二行，然后龍門架運動到載板的第一列，將龍門架第二行的基片放置到載板的第一列第 二行，結束上料過程。
[0199] 本發明實施例中，在上料過程中，不按照優先放置完載板上一列的情形運行，即不 首先放置載板上第一列的第一行和第二行，而是跳過第一列的第二行，在放完龍門架的所 有基片后，最后龍門架再往返運行一次放置第一列第二行的基片。
[0200] 在上料過程中，當載板上同一行出現多個基片的時候，優先將龍門架上對應該行 的基片放置到龍門架行程遠的位置。
[0201] 因此，針對圖7所示的情況，本發明實施例的上料過程只需龍門架往返運行兩次 即可完成。
[0202] 針對圖7,采用本發明實施例所述的方法執行下料過程如下：首先，龍門架運動到 載板的第八列，取下載板上第八列第八行的基片，放置到龍門架的第八行；然后，龍門架運 動到載板的第七列，取下載板上第七列第七行的基片，放置到龍門架的第七行；以此類推， 最后龍門架運動到載板的第一列，取下載板上第一列第一行的基片，放置到龍門架的第一 行。
[0203] 龍門架將基片放置到下料臺，然后經過判斷，載板上第一列第二行的基片還未取 下，此時龍門架返回載板上，取下載板上第一列第二行的基片，將基片放置到下料臺，結束 下料過程。
[0204] 本發明實施例中，在下料過程中，不按照優先取完載板上一列的情形運行，即不首 先取完第一列的第一行和第二行，而是跳過第一列的第二行，在完成龍門架的所有取片后， 最后龍門架再往返運行一次取第一列第二行的基片。
[0205] 在下料過程中，當載板上同一行出現多個基片的時候，優先取下龍門架行程遠的 位置上的基片，放置到龍門架對應的行中。
[0206] 因此，針對圖7所示的情況，本發明實施例的下料過程只需龍門架往返運行兩次 即可完成。
[0207] 本發明實施例在放片以及取片的過程中，龍門架都可以根據載板上的位置情況一 次性獲取盡可能多的基片放置到載板上，或者一次性從載板上取下盡可能多的基片，從而 減少龍門架的往返運行次數，極大地提高了基片從上料臺傳輸到載板以及從載板傳輸到下 料臺時的效率。
[0208] 實施例四：
[0209] 參照圖11，示出了本發明實施例四所述的一種基片傳輸系統的結構框圖，該系統 主要是執行基片從上料臺傳輸到載板時（即上料）的過程。該系統可以包括：上料位置獲取 模塊111、基片獲取模塊112、基片放置模塊113和位置判斷模塊114。
[0210] 其中，
[0211] 上料位置獲取模塊111，用于當基片從上料臺傳輸到載板時，獲取載板上需要放置 基片的位置，所述載板為Μ行XN列的載板，Μ、N為正整數；
[0212] 基片獲取模塊112,用于根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制 龍門架從上料臺獲取基片，所述龍門架為Μ行X 1列的龍門架；
[0213] 所述基片獲取模塊112可以包括：
[0214] 逐行判斷子模塊1121，用于從載板的第一行開始，逐行判斷載板的當前行中是否 存在需要放置基片的位置；
[0215] 獲取子模塊1122,用于當所述逐行判斷子模塊的判斷結果為存在時，控制龍門架 從上料臺獲取一個基片，并將所述一個基片放置到龍門架上與所述載板的當前行相對應的 行中。
[0216] 基片放置模塊113,用于從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到 載板上需要放置基片的位置；
[0217] 所述基片放置模塊113可以包括：
[0218] 第一上料判斷子模塊1131，用于當龍門架第m行存在基片時，判斷載板上第η列第 m行是否為需要放置基片的位置；
[0219] 第二上料判斷子模塊1132,用于當所述第一上料判斷子模塊判斷出載板上第η列 第m行為需要放置基片的位置時，判斷載板上第m行第η+1列到第m行第Ν列中是否存在 需要放置基片的位置；
[0220] 放置子模塊1133,用于當所述第二上料判斷子模塊判斷出載板上第m行第η+1列 到第m行第Ν列中不存在需要放置基片的位置時，控制龍門架將龍門架第m行的基片放置 在載板上的第η列第m行；當所述第二上料判斷子模塊判斷出載板上第m行第η+1列到第 m行第Ν列中存在需要放置基片的位置時，控制龍門架不將龍門架第m行的基片放置在載板 上的第η列第m行；
[0221] 其中，m=l，2,3，···，Μ;η=1，2,3，···，Ν。
[0222] 位置判斷模塊114,用于判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未放置基 片的位置。
[0223] 當所述位置判斷模塊的判斷結果為存在時，所述基片獲取模塊再次根據載板上每 一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片。
[0224] 本發明實施例中當基片從上料臺傳輸到載板時，可以首先獲取載板上需要放置基 片的位置；然后控制龍門架根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置從上料臺獲 取基片；最后從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上需要放置基 片的位置。通過上述方法龍門架可以不再針對載板上每一列需要放置基片的位置都往返運 行一次將基片放置到載板上，而是在一次放片過程中，根據載板上需要放置基片的位置的 總行數獲取基片，然后一次性將這些基片放置到載板上，從而極大地提高了基片從上料臺 傳輸到載板時的效率。
[0225] 實施例五：
[0226] 參照圖12,示出了本發明實施例五所述的一種基片傳輸系統的結構框圖，該系統 主要是執行基片從載板傳輸到下料臺時（即下料）的過程。該系統可以包括：下料位置獲取 模塊121、基片取下模塊122和基片判斷模塊123。
[0227] 其中，
[0228] 下料位置獲取模塊121，用于當基片從載板傳輸到下料臺時，獲取載板上已放置基 片的位置，所述載板為Μ行XN列的載板，M、N為正整數；
[0229] 基片取下模塊122,用于根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板 的第N列開始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片，并將所述基片放置 到下料臺；所述龍門架為Μ行X1列的龍門架；
[0230] 所述基片取下模塊122可以包括：
[0231] 第一下料判斷子模塊1221，用于當載板上第m行存在已放置基片的位置時，判斷 載板上第η列第m行是否為已放置基片的位置；
[0232] 第二下料判斷子模塊1222,用于當所述第一下料判斷子模塊判斷出載板上第η列 第m行為已放置基片的位置時，判斷龍門架的第m行是否存在基片；
[0233] 取下子模塊1223,用于當所述第二下料判斷子模塊判斷出龍門架的第m行不存在 基片時，控制龍門架取下載板上第η列第m行的基片，并將所述載板上第η列第m行的基片 放置到龍門架的第m行；當所述第二下料判斷子模塊判斷出龍門架的第m行存在基片時，控 制龍門架不取下載板上第η列第m行的基片；
[0234] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=N，N_l，N-2, · · ·，1。
[0235] 基片判斷模塊123,用于判斷載板上是否還存在未取下的基片。
[0236] 當所述基片判斷模塊的判斷結果為存在時，所述基片取下模塊再次根據載板上每 一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第N列開始，控制龍門架依次從載板上已放 置基片的位置取下基片。
[0237] 本發明實施例中當基片從載板傳輸到下料臺時，可以首先獲取載板上已放置基片 的位置；然后根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第N列開始，控制 龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片；最后將所述基片放置到下料臺。通過上 述方法龍門架可以不再針對載板上每一列基片都往返運行一次將基片放置到下料臺，而是 在一次取片過程中，根據載板上已放置基片的位置的總行數從載板上取下基片，然后一次 性將這些基片放置到下料臺，從而極大地提高了基片從載板傳輸到下料臺時的效率。
[0238] 對于上述系統實施例而言，由于其與方法實施例基本相似，所以描述的比較簡單， 相關之處參見方法實施例的部分說明即可。
[0239] 本說明書中的各個實施例均采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與 其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。
[0240] 本發明實施例可以在由計算機執行的計算機可執行指令的一般上下文中描述，例 如程序模塊。一般地，程序模塊包括執行特定任務或實現特定抽象數據類型的例程、程序、 對象、組件、數據結構等等。也可以在分布式計算環境中實踐本發明，在這些分布式計算環 境中，由通過通信網絡而被連接的遠程處理設備來執行任務。在分布式計算環境中，程序模 塊可以位于包括存儲設備在內的本地和遠程計算機存儲介質中。
[0241] 對于前述的各方法實施例，為了簡單描述，故將其都表述為一系列的動作組合，但 是本領域技術人員應該知悉，本發明并不受所描述的動作順序的限制，因為依據本發明，某 些步驟可以采用其他順序或者同時進行。其次，本領域技術人員也應該知悉，說明書中所描 述的實施例均屬于優選實施例，所涉及的動作和模塊并不一定是本發明所必須的。
[0242] 最后，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將 一個實體或者操作與另一個實體或操作區分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作 之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且，術語"包括"、"包含"或者其任何其他變體 意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、商品或者設備不僅包括 那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、商品或 者設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句"包括一個……"限定的要素，并 不排除在包括所述要素的過程、方法、商品或者設備中還存在另外的相同要素。
[0243] 以上對本發明所提供的一種基片傳輸方法和系統，進行了詳細介紹，本文中應用 了具體個例對本發明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解 本發明的方法及其核心思想；同時，對于本領域的一般技術人員，依據本發明的思想，在具 體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本發明 的限制。
【權利要求】
1. 一種基片傳輸方法，其特征在于，包括： 當基片從上料臺傳輸到載板時，獲取載板上需要放置基片的位置，所述載板為Μ行XN 列的載板，Μ、Ν為正整數； 根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片， 所述龍門架為Μ行X1列的龍門架； 從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上需要放置基片的位 置； 判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未放置基片的位置，若存在，則返回根 據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片的步驟。
2. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據載板上每一行中是否存在需要 放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片，包括： 從載板的第一行開始，逐行判斷載板的當前行中是否存在需要放置基片的位置； 若存在，則控制龍門架從上料臺獲取一個基片，并將所述一個基片放置到龍門架上與 所述載板的當前行相對應的行中。
3. 根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述從載板的第一列開始，控制龍門架依 次將所述基片放置到載板上需要放置基片的位置，包括： 當龍門架第m行存在基片時，判斷載板上第η列第m行是否為需要放置基片的位置； 當載板上第η列第m行為需要放置基片的位置時，判斷載板上第m行第n+1列到第m 行第N列中是否存在需要放置基片的位置； 當載板上第m行第n+1列到第m行第N列中不存在需要放置基片的位置時，控制龍門 架將龍門架第m行的基片放置在載板上的第η列第m行； 當載板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的位置時，控制龍門架 不將龍門架第m行的基片放置在載板上的第η列第m行； 其中，m=l，2,3，···，M;n=l，2,3，···，N。
4. 一種基片傳輸方法，其特征在于，包括： 當基片從載板傳輸到下料臺時，獲取載板上已放置基片的位置，所述載板為Μ行X N列 的載板，Μ、Ν為正整數； 根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第Ν列開始，控制龍門架 依次從載板上已放置基片的位置取下基片，并將所述基片放置到下料臺；所述龍門架為Μ 行XI列的龍門架； 判斷載板上是否還存在未取下的基片，若存在，則返回根據載板上每一行中是否存在 已放置基片的位置，從載板的第Ν列開始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取 下基片的步驟。
5. 根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述根據載板上每一行中是否存在已放 置基片的位置，從載板的第Ν列開始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基 片，包括： 當載板上第m行存在已放置基片的位置時，判斷載板上第η列第m行是否為已放置基 片的位置； 當載板上第η列第m行為已放置基片的位置時，判斷龍門架的第m行是否存在基片； 當龍門架的第m行不存在基片時，控制龍門架取下載板上第η列第m行的基片，并將所 述載板上第η列第m行的基片放置到龍門架的第m行； 當龍門架的第m行存在基片時，控制龍門架不取下載板上第η列第m行的基片； 其中，m=l，2,3, · · ·，Μ ;n=N，N-l，N-2, · · ·，1。
6. -種基片傳輸系統，其特征在于，包括： 上料位置獲取模塊，用于當基片從上料臺傳輸到載板時，獲取載板上需要放置基片的 位置，所述載板為Μ行XN列的載板，M、N為正整數； 基片獲取模塊，用于根據載板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架 從上料臺獲取基片，所述龍門架為Μ行X 1列的龍門架； 基片放置模塊，用于從載板的第一列開始，控制龍門架依次將所述基片放置到載板上 需要放置基片的位置； 位置判斷模塊，用于判斷載板上需要放置基片的位置中是否還存在未放置基片的位 置； 當所述位置判斷模塊的判斷結果為存在時，所述基片獲取模塊再次根據載板上每一行 中是否存在需要放置基片的位置，控制龍門架從上料臺獲取基片。
7. 根據權利要求6所述的系統，其特征在于，所述基片獲取模塊包括： 逐行判斷子模塊，用于從載板的第一行開始，逐行判斷載板的當前行中是否存在需要 放置基片的位置； 獲取子模塊，用于當所述逐行判斷子模塊的判斷結果為存在時，控制龍門架從上料臺 獲取一個基片，并將所述一個基片放置到龍門架上與所述載板的當前行相對應的行中。
8. 根據權利要求6所述的系統，其特征在于，所述基片放置模塊包括： 第一上料判斷子模塊，用于當龍門架第m行存在基片時，判斷載板上第η列第m行是否 為需要放置基片的位置； 第二上料判斷子模塊，用于當所述第一上料判斷子模塊判斷出載板上第η列第m行為 需要放置基片的位置時，判斷載板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要放置 基片的位置； 放置子模塊，用于當所述第二上料判斷子模塊判斷出載板上第m行第n+1列到第m行 第N列中不存在需要放置基片的位置時，控制龍門架將龍門架第m行的基片放置在載板上 的第η列第m行；當所述第二上料判斷子模塊判斷出載板上第m行第n+1列到第m行第N 列中存在需要放置基片的位置時，控制龍門架不將龍門架第m行的基片放置在載板上的第 η列第m行； 其中，111=1，2,3，...，]\1;11=1，2,3，··.，?^。
9. 一種基片傳輸系統，其特征在于，包括： 下料位置獲取模塊，用于當基片從載板傳輸到下料臺時，獲取載板上已放置基片的位 置，所述載板為Μ行XN列的載板，M、N為正整數； 基片取下模塊，用于根據載板上每一行中是否存在已放置基片的位置，從載板的第N 列開始，控制龍門架依次從載板上已放置基片的位置取下基片，并將所述基片放置到下料 臺；所述龍門架為Μ行X1列的龍門架； 基片判斷模塊，用于判斷載板上是否還存在未取下的基片； 當所述基片判斷模塊的判斷結果為存在時，所述基片取下模塊再次根據載板上每一行 中是否存在已放置基片的位置，從載板的第N列開始，控制龍門架依次從載板上已放置基 片的位置取下基片。
10.根據權利要求9所述的系統，其特征在于，所述基片取下模塊包括： 第一下料判斷子模塊，用于當載板上第m行存在已放置基片的位置時，判斷載板上第η 列第m行是否為已放置基片的位置； 第二下料判斷子模塊，用于當所述第一下料判斷子模塊判斷出載板上第η列第m行為 已放置基片的位置時，判斷龍門架的第m行是否存在基片； 取下子模塊，用于當所述第二下料判斷子模塊判斷出龍門架的第m行不存在基片時， 控制龍門架取下載板上第η列第m行的基片，并將所述載板上第η列第m行的基片放置到 龍門架的第m行；當所述第二下料判斷子模塊判斷出龍門架的第m行存在基片時，控制龍門 架不取下載板上第η列第m行的基片； 其中，m=l，2,3, · · ·，Μ ;n=N，N-l，N-2, · · ·，1。
【文檔編號】H01L21/677GK104103564SQ201310129916
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2013年4月15日 優先權日:2013年4月15日
【發明者】趙海洋 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司