專利名稱：元件上的電極結構及其制造方法
技術領域：
本發明關于一種元件上的電極結構及其制造方法，尤其是光伏元件(photovoltaic device)上的正面電極結構(front electrode)及其制造方法。
背景技術：
“元件”在此指電子元件、光電元件、光伏元件等。這些“元件”的表面上皆需電極結構。以光伏元件為例，光伏元件的正表面(也就是所謂的入光面)上需形成正面電極結構，以收集電子或電洞。一般正面電極結構包含多條平行且線寬較細的指狀電極(fingerelectrode)以及至少一條與指狀電極垂直且線寬較粗的匯流排電極(bus bar)。匯流排電極供光伏元件本身與其他光伏元件串聯時焊接用。正面電極的品質直接影響光伏元件的光電轉換效率。關于制造正面電極的先前技術有應用兩次網版印刷技術，印刷出寬度較窄、高度較高的匯流電極。但是，此先前技術利用兩次網版印刷是印刷相同圖案，會產生圖案對準誤差。另有先前技術利用兩次網印刷制造正面電極，第一次網版印刷形成該些指狀電極的底部，第二次網版印刷形成該些指狀電極的頂部及該些匯流電極。然而，在這些利用兩次網版印刷的先前技術中，金屬漿會滲入網版上纖維與纖維的交結處，導致印刷對應正面電極的金屬漿圖案會產生擴墨現象。因此，利用兩次網版印刷的先前技術制造正面電極，會制造單一電極的線寬粗細不均勻，導致正面電極的品質不良，尤其是線寬較細的指狀電極。運用這些先前技術，若要讓指狀電極保有基本的導電性，則需放寬指狀電極的線寬，如此作法則增加正面電極在光伏元件上的遮蔽率，也會降低光伏元件整體的光電轉換效率。制造光伏元件上的正面電極的先前技術也有利用模版(stencil)，一次即印刷完成對應正面電極的圖案化金屬漿。模版上形成多條對應指狀電極以及匯流排電極的鏤空溝槽。模版上相鄰兩溝槽間的金屬條在 模版印刷過程中有可能發生變形，導致印刷金屬漿形成的導電條有可能粗細不等。因此，利用模版印刷的先前技術也有在每一溝槽內保有多個懸空的橋接部。然而，此種利用一次印刷的先前技術每次印刷，會有金屬漿沒有溢流至橋接部下方的情況發生，導致印刷品質不佳。此外，此先前技術運用的模版其橋接部需額外加工，導致此模版的制造成本增加。顯而易見地，目前對于細長電極的制造，尤其是對光伏元件上正面電極結構的制造仍有改善的空間，特別是對應正面電極結構的圖案化金屬漿的印刷制造仍需改善。
發明內容
因此，本發明所欲解決的技術問題在于提供一種制造元件上的電極結構的方法，尤其是制造光伏元件的正面電極的方法。根據本發明的方法所制造的正面電極具有優良的品質，有助于提升光伏元件整體的轉換效率。本發明第一技術方案提供了一種于元件的表面上制造電極結構的方法，其中該電極結構包含多條平行的條狀電極以及垂直該些條狀電極的至少一條匯流排電極，該方法包含下列步驟:利用具有多列平行的鏤空溝槽的模版，印刷第一金屬漿于該表面上，以形成多列平行的第一導電條，其中每一鏤空溝槽對應一條第一導電條，該模版上同一列相鄰的鏤空溝槽間具有橋接部；利用具有多列平行的橋接網孔區域以及至少一行長條狀網孔區域的網版，印刷第二金屬漿于該表面上，以形成多列平行的橋接導電部以及至少一條第二導電條，其中每一橋接網孔區域對應一個橋接導電部，每一行長條狀網孔區域對應一條第二導電條，每一橋接導電部銜接同一列兩相鄰的第一導電條；以及烘干并燒結該多列平行的第一導電條、該多列平行的橋接導電部以及該至少一條第二導電條，進而形成該多條平行的條狀電極以及該至少一條匯流排電極，其中每一條狀電極由一列燒結的第一導電條以及同一列燒結的橋接導電部所構成，每一條匯流排電極由一條燒結的第二導電條所構成。較佳的，該橋接部的厚度與該模版的厚度相等。較佳的，該多列平行的第一導電條是在該多列平行的橋接導電部以及該至少一條第二導電條形成之前先行形成并烘干，或者該多列平行的橋接導電部以及該至少一條第二導電條是在該多列平行的第一導電條形成之前先行形成并烘干。本發明的第二技術方案提供了一種于元件的表面上制造電極結構的方法，該方法包含下列步驟:利用具有一列鏤空溝槽的模版，印刷第一金屬漿于該表面上，以形成一列導電條，其中每一鏤空溝槽對應一條導電條，該模版上相鄰的鏤空溝槽間具有橋接部；利用具有一列橋接網孔區域的網版，印刷第二金屬漿于該表面上，以形成一列橋接導電部，其中每一橋接網孔區域對應一個橋接導電部，每一橋接導電部銜接兩相鄰的導電條；以及烘干并燒結該列導電條以及該列橋接導電部，進而形成該條狀電極，其中該條狀電極是由該列且燒結的導電條以及該列且燒結的橋接導電部所構成。較佳的，該橋接部·的厚度與該模版的厚度相等。較佳的，該列導電條是在該列橋接導電部形成之前先行形成并烘干，或者該列橋接導電部是在該列導電條形成之前先行形成并烘干。本發明的第三技術方案提供了一種電極結構，形成于兀件的表面上，該電極結構包含:多條條狀電極，每一條狀電極是由一列彼此不相連的第一導電條以及一列彼此不相連的橋接導電部所構成，每一橋接導電部銜接同一列兩相鄰第一導電條；以及至少一條匯流排電極，連接該些條狀電極，每一條匯流排電極是由一條第二導電條所構成；其中該多列的第一導電條是利用模版印刷第一金屬漿于該元件的表面上所形成；其中該至少一條第二導電條以及該多列橋接導電部是利用網版印刷第二金屬漿于該元件的表面上所形成。較佳的，該多條條狀電極彼此平行，該至少一條匯流排電極垂直該些條狀電極。較佳的，該多列的第一導電條以及該多列橋接導電部是經烘干、燒結即成該多條條狀電極，該至少一條第二導電條是經烘干、燒結即成該至少一條匯流排電極。較佳的，每一第二導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第一導電條上，每一橋接導電的邊緣部分覆蓋在其相鄰的第一導電條上。較佳的，每一第一導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第二導電條上或相鄰的橋接導電部上。本發明的第四技術方案提供一種于元件的表面上制造電極結構的方法，該電極結構包含第一條狀電極、第二條狀電極以及匯流排電極，該第一條狀電極與該第二條狀電極彼此分離，該匯流排電極連接該第一條狀電極與第二條狀電極，該方法包含下列步驟:制備模版，該模版具有一列第一鏤空溝槽以及一列第二鏤空溝槽，兩相鄰的第一鏤空溝槽間具有第一橋接部，兩相鄰的第二鏤空溝槽間具有第二橋接部；制備網版，該網版具有一列第一橋接網孔區域、一列第二橋接網孔區域以及一長條狀網孔區域；利用該模版，印刷第一金屬漿于該表面上，以形成一列第一導電條以及一列第二導電條，其中每一第一鏤空溝槽對應一條第一導電條，每一第二鏤空溝槽對應一條第二導電條；以及利用該網版，印刷第二金屬衆于該表面上，以形成一列第一橋接導電部、一列第二橋接導電部以及一第三導電條，其中每一第一橋接網孔區域對應一個第一橋接導電部，每一第二橋接網孔區域對應一個第二橋接導電部，該長條狀網孔區域對應該第三導電條，每一第一橋接導電部銜接兩相鄰的第一導電條，每一第二橋接導電部銜接兩相鄰的第二導電條；其中該第一條狀電極由該列第一導電條以及該列第一橋接導電部所構成，該第二條狀電極由該列第二導電條以及該列第二橋接導電部所構成，該匯流排電極由該第三導電條所構成。較佳的，該列第一導電條以及該列第一橋接導電部經烘干、燒結即成該第一條狀電極，該列第二導電條以及該列第二橋接導電部經烘干、燒結即成該第二條狀電極，該第三導電條經烘干、燒結即成該匯流排電極。較佳的，每一第一橋接部與每一第二橋接部的厚度與該模版的厚度相等。較佳的，該列第一導電條以及該列第二導電條是在該列第一橋接導電部、該列第二橋接導電部以及該第三導電條形成之前先行形成并烘干。較佳的，該列第一橋接導電部、該列第二橋接導電部以及該第三導電條是在該列第一導電條以及該列第二導電條形成之前先行形成并烘干。較佳的，利用該模版的印刷制程是在利用該網版的印刷制程之前執行，致使該第三導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第一導電條以及其連接的第二導電條上，每一第一橋接導電部的邊緣部分覆蓋在其相 鄰的第一導電條上，每一第二橋接導電部的邊緣部分覆蓋在其相鄰的第二導電條上。較佳的，利用該網版的印刷制程是在利用該模版的印刷制程之前執行，致使每一第一導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第三導電條上或其相鄰的第一橋接導電部上，每一第二導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第三導電條上或其相鄰的第二橋接導電部上。較佳的，該列第一鏤空溝槽以及該列第二鏤空溝槽均平行于一預定方向排列，該列第一橋接部與該列第二橋接部在該預定方向上的投影對齊或交錯。與先前技術相較，根據本發明的方法所制造的電極結構具有良好的解析度以及良好的品質。關于本發明的優點與精神可以藉由以下的發明詳述及所附圖式得到進一步的了解。
圖1為本發明第一較佳具體實施例的方法所采用的模版的頂視圖。圖2為元件經本發明第一較佳具體實施例的方法利用模版印刷后的頂視圖。圖3為本發明第一較佳具體實施例的方法所采用的網版的頂視圖。圖4為元件經本發明的第一較佳具體實施例的方法利用模版印刷及網版印刷后的頂視圖。
圖5為圖4中元件沿A-A線的局部剖面視圖。圖6為元件經本發明第一較佳具體實施例的方法利用模版印刷及網版印刷后再經燒結后的頂視圖。圖7為元件經本發明第二較佳具體實施例方法的網板印刷后的頂視圖。圖8為元件經本發明第二較佳具體實施例方法的網板印刷和金屬板印刷后，沿如圖4中A-A線的局部剖面視圖。圖9為本發明第三較佳具體實施例的方法所采用的模版的頂視圖。圖10為元件經本發明第三較佳具體實施例的方法利用模版印刷后的頂視圖。圖11為本發明第三較佳具體實施例的方法所采用的網版的頂視圖。圖12為元件經本發明第三較佳具體實施例的方法利用模版印刷及網版印刷后的頂視圖。圖13為元件經本發明第三較佳具體實施例的方法利用模版印刷及網版印刷后再經燒結后的頂視圖。圖14為元件先經本發明第三較佳具體實施例的網版印刷后的頂視圖。圖15為本發明第四較佳具體實施例的方法所采用的模版的頂視圖。圖16為本發明第四較佳具體實施例的方法所采用的網版的頂視圖。圖17為元件經本發明第`四較佳具體實施例的方法利用模版印刷及網版印刷后再經燒結后的頂視圖。
具體實施例方式為使對本發明的目的、構造、特征、及其功能有進一步的了解，茲配合實施例詳細說明如下。請參閱圖1至圖6，本發明第一較佳具體實施例的方法的各步驟以及采用工具示意地繪示于該些圖式中。如圖6所示，元件2表面20上的電極結構27為本發明第一較佳具體實施例方法的最后制成品。電極結構27包含多條平行的條狀電極26以及垂直該些條狀電極26的至少一條匯流排電極28。元件2可以是電子元件、光電元件或光伏元件等。當元件2為光伏元件且元件2的表面20為入光面時，電極結構27即為正面電極結構，條狀電極26即為指狀電極。于另一具體實施例中，元件2若是光伏元件，則光伏元件2可以是單晶硅光伏元件、多晶硅光伏元件、非晶硅薄膜光伏元件、微晶硅薄膜光伏元件、硫化鎘(CdS)薄膜光伏元件、鋪化鎘(CdTe)薄膜光伏元件、銅銦硒化物(CuInSe2, CIS)薄膜光伏元件、銅銦鎵硒化物(Cu (In，Ga)Se2,CIGS)薄膜光伏元件、染料敏化(DSSC)薄膜光伏元件、砷化鎵光伏元件，等各類型的光伏元件。本發明第一較佳具體實施例的方法包含:如圖1所示，制備具有多列平行鏤空溝槽12的模版1，且模版I具有橋接部14位在同一列相鄰的兩鏤空溝槽12之間。該多列平行鏤空溝槽12實質上均以平行于如圖1中X軸方向排列，且多列橋接部14在X軸方向上的投影均對齊，也就是說，相鄰列橋接部14實質上均以平行于如圖1中Y軸方向排列。模版I的材料可以選用金屬板材。如圖2所示，利用模版I印刷第一金屬漿于元件2的表面20上，以形成多列平行的第一導電條22。每一鏤空溝槽12對應產生一條第一導電條22。接著，烘干多列平行的第一導電條22。如圖3所示，制備具有多列平行的橋接網孔區域32以及至少一行長條狀網孔區域34的網版3。然后，如圖4所示，利用網版3印刷第二金屬漿于元件2的表面20上，以形成多列平行的橋接導電部23以及至少一條第二導電條24。每一橋接網孔區域32對應產生一個橋接導電部23。每一行長條狀網孔區域34對應產生一條第二導電條24。每一橋接導電部23銜接同一列兩相鄰的第一導電條22。接著，烘干多列平行的橋接導電部23以及至少一條第二導電條24。請參閱圖5，圖5為圖4中元件2沿A-A線的局部剖面視圖。圖5顯示上述:先利用模版I印刷第一金屬漿所形成的第一導電條22，再利用網版3印刷第二金屬漿所形成的橋接導電部23以及第二導電條24。橋接導電部23填滿兩相鄰第一導電條22之間的空隙，并且橋接導電部23的邊緣覆蓋第一導電條22的邊緣。第二導電條24與第一導電條22間也毫無空隙，并且第二導電條24的邊緣覆蓋第一導電條22的邊緣。如圖6所示，本發明第一較佳具體實施例的方法最后為燒結多列平行的第一導電條22、多列平行的橋接導電部23以及至少一條第二導電條24，進而形成多條平行的條狀電極26以及至少一條匯流排電極28。每一條狀電極26系由一列燒結的第一導電條22以及同一列燒結的橋接導電部23所構成。每一條匯流排電極28是由一條燒結的第二導電條24所構成。如圖6所示，本發明的較佳具體實施例的電極結構27，形成于元件2的表面20上。本發明的電極結構27包含多條彼此平行的條狀電極26以及至少一條垂直交會連接的匯流排電極28。每一條狀電極26由一列彼此不相連的第一導電條22以及一列彼此 不相連的橋接導電部23所構成,并且每一橋接導電部23銜接同一列兩相鄰的第一導電條22。每一條匯流排電極28由一條第二導電條24所構成，且該匯流排電極28垂直連接多條條狀電極26。該電極結構27的制造方法為:(I)利用如圖1所示的模版1，印刷第一金屬漿于元件2的表面20上以形成多列第一導電條22。(2)利用如圖3所示的網版3，印刷第二金屬漿于元件2的表面20上以形成至少一條第二導電條24以及該多列橋接導電部23。于另一具體實施例中，多列的第一導電條22以及多列橋接導電部23是經烘干、燒結即成多條條狀電極27。至少一條第二導電條24是經烘干、燒結即成至少一條匯流排電極28。本發明第二較佳具體實施例的做法:(I)先利用如圖3所示的網版3印刷第二金屬漿，先在元件2的表面20上形成多列平行的橋接導電部23以及至少一條第二導電條24，并加以烘干，如此先得到如圖7所示的半成品；(2)稍后再利用如圖1所示之模版I印刷第一金屬衆，在兀件2的表面20形成多列平行的第一導電條22,并加以烘干、燒結后，即成外觀類似圖6的最后成品。請參閱圖8，圖8為第二較佳具體實施例作法中元件2先經網版3印刷再經模版I印刷后且沿圖4中A-A線的局部剖面視圖。圖8顯示上述先利用網版3印刷第二金屬漿所形成的橋接導電部23和第二導電條24，及稍后再利用模版I印刷第一金屬漿所形成的第一導電條22。橋接導電部23妥善地銜接兩相鄰第一導電條22，并且第一導電條22的邊緣覆蓋橋接導電部23的邊緣。第二導電條24與第一導電條22間也毫無空隙，并且第一導電條22的邊緣覆蓋第二導電條24的邊緣。如此第二較佳具體實施例的方法的最后成品外觀雖然類似圖6所示第一較佳具體實施例的方法的最后成品，但圖8顯示第二較佳具體實施例的具體結構和圖5顯示第一較佳具體實施例的具體結構不同。請參閱圖9至圖13，本發明第三較佳具體實施例的方法的各步驟以及采用工具均示意地繪示于該些圖式中。本發明第三較佳具體實施例的方法是于元件5的表面50上制造條狀電極56。元件5可以是電子元件、光電元件或光伏元件等。如圖9所示，本發明第三較佳具體實施例的方法是利用具有一列平行的鏤空溝槽42的模版4,印刷第一金屬衆于兀件5的表面50上，以形成一列平行的導電條52,如圖10所示。每一鏤空溝槽42對應一條導電條52。模版4上位在相鄰的鏤空溝槽42間具有橋接部44。接著，本發明第三較佳具體實施例的方法為烘干該列平行的導電條52。接著，如圖11所示，利用具有一列橋接網孔區域62之網版6，印刷第二金屬漿于元件5的表面50上，以形成一列橋接導電部53,如圖12所不。每一橋接網孔區域62對應一個橋接導電部53。每一橋接導電部53銜接兩相鄰的導電條52。接著，烘干該列平行的橋接導電部53。最后，本發明第三較佳具體實施例的方法為燒結該列平行的導電條52以及該列橋接導電部53，進而形成條狀電極56，如圖13所示。條狀電極56是由該列且燒結的導電條52以及該列且燒結的橋接導電部53所構成。根據本發明第三較佳具體實施例之不同做法，在該列導電條52形成之前，該列橋接導電部53是利用如圖11所示的網版6印刷第二金屬漿，先行形成在元件5的表面50上，并且烘干，如圖14所示。該列導電條52再行利用如圖9所示的模版4印刷第一金屬漿，形成在元件5的表面50上，并且烘干，即成如圖12所示的結構。請參閱圖15至圖 17，本發明第四較佳具體實施例的方法的各步驟以及采用工具均示意地繪示于該些圖式中。本發明第四較佳具體實施例的方法是于元件9的表面90上制造電極結構99。如圖17所示，元件9表面90上的電極結構99為本發明第四較佳具體實施例方法的最后制成品。電極結構99包含多列第一條狀電極96、多列第二條狀電極97以及至少一條匯流排電極98，并且第一條狀電極96與第二條狀電極97彼此分離。每一條匯流排電極98連接第一條狀電極96與第二條狀電極97。元件9可以是電子元件、光電元件或光伏元件等。本發明第四較佳具體實施例的方法包含:如圖15所示，制備模版7。模版7具有多列第一鏤空溝槽72以及多列第二鏤空溝槽76。兩相鄰的第一鏤空溝槽72間具有第一橋接部74。兩相鄰的第二鏤空溝槽76間具有第二橋接部78。于此較佳具體實施例中，每一列第一鏤空溝槽72以及每一列第二鏤空溝槽76均以平行于如圖15中X軸方向排列，且多列第一橋接部74與多列第二橋接部78在X軸方向上的投影交錯。于另一實施例中，多列第一橋接部74與多列第二橋接部78在X軸方向上的投影對齊，類似如圖1所示模版I的相鄰列橋接部14均以平行于如圖1中Y軸方向排列。模版7的材料可以選用金屬板材。如圖16，制備網版8。網版8具有多列第一橋接網孔區域82、多列第二橋接網孔區域84以及至少一條長條狀網孔區域86。為了配合如圖15所示的模版7，多列第一橋接網孔區域82與多列第二橋接網孔區域84在X軸方向上的投影交錯。于另一實施例中，多列第一橋接網孔區域82與多列第二橋接網孔區域84在X軸方向上的投影對齊，類似如圖3所示網版3的相鄰列橋接網孔區域32均平行于如圖3中Y軸方向排列。利用模版7印刷第一金屬衆于兀件9的表面90上，以形成多列第一導電條91以及多列第二導電條93。每一第一鏤空溝槽72對應一條第一導電條91，每一第二鏤空溝槽76對應一條第二導電條93。利用網版8,印刷第二金屬衆于兀件9的表面90上，以形成多列第一橋接導電部92、多列第二橋接導電部94以及至少一條第三導電條95。每一第一橋接網孔區域82對應一個第一橋接導電部92，每一第二橋接網孔區域84對應一個第二橋接導電部94。每一長條狀網孔區域86對應一條第三導電條95。每一第一橋接導電部92銜接兩相鄰的第一導電條91，每一第二橋接導電部94銜接兩相鄰的第二導電條93。多列第一導電條91以及多列第一橋接導電部92是經烘干、燒結即成多列第一條狀電極96。多列第二導電條93以及多列第二橋接導電部94是經烘干、燒結即成多列第二條狀電極97。至少一條第三導電條95是經烘干、燒結即成至少一條匯流排電極98，最后即成如圖17所示之結構。于具體實施例中，利用模版7的印刷制程是在利用網版8的印刷制程之前執行，致使每一條第三導電條95的邊緣部分覆蓋在其連接的第一導電條91以及其連接的第二導電條93上。每一第一橋接導電部92的邊緣部分覆蓋在其相鄰的第一導電條91上。每一第二橋接導電部94 的邊緣部分覆蓋在其相鄰的第二導電條93上。于另一具體實施例中，利用網版8的印刷制程是在利用模版7的印刷制成之前執行，致使每一第一導電條91的邊緣部分覆蓋在其連接的第三導電條95上或其相鄰的第一橋接導電部92上。每一第二導電條93的邊緣部分覆蓋在其連接的第三導電條95上或其相鄰的第二橋接導電部94上。根據本發明的各較佳實施例的方法所制造的條狀電極(26、56、96、97)的線寬解析度范圍為約10 45 μ m,并且粗細均勻，具有良好品質。于各實施例中，每一橋接部(14、44、74、78)的厚度與模版(1、4、7)的厚度相等。也就是說，每一橋接部(14、44、74、78)不須額外加工處理打薄。因此，與先前技術相較，本發明的方法所采用的模版(1、4、7)其成本較低。于各實施例中，第一金屬漿及第二金屬漿可以是由鋁、銀、銅、金、鉬、鈀、鋁合金、銀合金、銅合金、金合金、鉬合金、鈀合金或其混合物形成之粉末混合成的導電漿，或其他商用導電金屬衆料。于實際應用中，第一金屬衆與第二金屬衆為同一金屬衆。本發明已由上述相關實施例加以描述，然而上述實施例僅為實施本發明的范例。必需指出的是，已揭露的實施例并未限制本發明的范圍。相反地，在不脫離本發明的精神和范圍內所作的更動與潤飾，均屬本發明的專利保護范圍。
權利要求
1.一種于元件的表面上制造電極結構的方法，其中該電極結構包含多條平行的條狀電極以及垂直該些條狀電極的至少一條匯流排電極，其特征在于，該方法包含下列步驟: 利用具有多列平行的鏤空溝槽的模版，印刷第一金屬漿于該表面上，以形成多列平行的第一導電條，其中每一鏤空溝槽對應一條第一導電條，該模版上同一列相鄰的鏤空溝槽間具有橋接部； 利用具有多列平行的橋接網孔區域以及至少一行長條狀網孔區域的網版，印刷第二金屬漿于該表面上，以形成多列平行的橋接導電部以及至少一條第二導電條，其中每一橋接網孔區域對應一個橋接導電部，每一行長條狀網孔區域對應一條第二導電條，每一橋接導電部銜接同一列兩相鄰的第一導電條；以及 烘干并燒結該多列平行的第一導電條、該多列平行的橋接導電部以及該至少一條第二導電條，進而形成該多條平行的條狀電極以及該至少一條匯流排電極，其中每一條狀電極由一列燒結的第一導電條以及同一列燒結的橋接導電部所構成，每一條匯流排電極由一條燒結的第二導電條所構成。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，該橋接部的厚度與該模版的厚度相等。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，該多列平行的第一導電條是在該多列平行的橋接導電部以及該至少一條第二導電條形成之前先行形成并烘干，或者該多列平行的橋接導電部以及該至少一條第二導電條是在該多列平行的第一導電條形成之前先行形成并烘干。
4.一種于元件的表面上制造電極結構的方法，其特征在于，該方法包含下列步驟: 利用具有一列鏤空溝槽的模版，印刷第一金屬衆于該表面上，以形成一列導電條，其中每一鏤空溝槽對應一條導電條，該模版上相鄰的鏤空溝槽間具有橋接部； 利用具有一列橋接網孔區域的網版，印刷第二金屬漿于該表面上，以形成一列橋接導電部，其中每一橋接網孔區域對應一個橋接導電部，每一橋接導電部銜接兩相鄰的導電條；以及 烘干并燒結該列導電條以及該列橋接導電部，進而形成該條狀電極，其中該條狀電極是由該列且燒結的導電條以及該列且燒結的橋接導電部所構成。
5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，該橋接部的厚度與該模版的厚度相等。
6.如權利要求4所述的方法，其特征在于，該列導電條是在該列橋接導電部形成之前先行形成并烘干，或者該列橋接導電部是在該列導電條形成之前先行形成并烘干。
7.—種電極結構,形成于兀件的表面上,其特征在于,該電極結構包含: 多條條狀電極，每一條狀電極是由一列彼此不相連的第一導電條以及一列彼此不相連的橋接導電部所構成，每一橋接導電部銜接同一列兩相鄰第一導電條；以及 至少一條匯流排電極，連接該些條狀電極，每一條匯流排電極是由一條第二導電條所構成； 其中該多列的第一導電條是利用模版印刷第一金屬漿于該元件的表面上所形成； 其中該至少一條第二導電條以及該多列橋接導電部是利用網版印刷第二金屬漿于該元件的表面上所形成。
8.如權利要求7所述的電極結構， 其特征在于，該多條條狀電極彼此平行，該至少一條匯流排電極垂直該些條狀電極。
9.如權利要求7所述的電極結構，其特征在于，該多列的第一導電條以及該多列橋接導電部是經烘干、燒結即成該多條條狀電極，該至少一條第二導電條是經烘干、燒結即成該至少一條匯流排電極。
10.如權利要求7所述的電極結構，其特征在于，每一第二導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第一導電條上，每一橋接導電的邊緣部分覆蓋在其相鄰的第一導電條上。
11.如權利要求7所述的電極結構，其特征在于，每一第一導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第二導電條上或相鄰的橋接導電部上。
12.—種于兀件的表面上制造電極結構的方法,其中該電極結構包含第一條狀電極、第二條狀電極以及匯流排電極，該第一條狀電極與該第二條狀電極彼此分離，該匯流排電極連接該第一條狀電極與第二條狀電極，其特征在于，該方法包含下列步驟: 制備模版，該模版具有一列第一鏤空溝槽以及一列第二鏤空溝槽，兩相鄰的第一鏤空溝槽間具有第一橋接部，兩相鄰的第二鏤空溝槽間具有第二橋接部； 制備網版，該網版具有一列第一橋接網孔區域、一列第二橋接網孔區域以及一長條狀網孔區域； 利用該模版，印刷第一金屬衆于該表面上，以形成一列第一導電條以及一列第二導電條，其中每一第一鏤空溝槽對應一條第一導電條，每一第二鏤空溝槽對應一條第二導電條；以及 利用該網版，印刷第二金屬漿于該表面上，以形成一列第一橋接導電部、一列第二橋接導電部以及一第三導電條，其中每一第一橋接網孔區域對應一個第一橋接導電部，每一第二橋接網孔區域對應一個第二橋接 導電部，該長條狀網孔區域對應該第三導電條，每一第一橋接導電部銜接兩相鄰的第一導電條，每一第二橋接導電部銜接兩相鄰的第二導電條； 其中該第一條狀電極由該列第一導電條以及該列第一橋接導電部所構成，該第二條狀電極由該列第二導電條以及該列第二橋接導電部所構成，該匯流排電極由該第三導電條所構成。
13.如權利要求12所述的方法，其特征在于，該列第一導電條以及該列第一橋接導電部經烘干、燒結即成該第一條狀電極，該列第二導電條以及該列第二橋接導電部經烘干、燒結即成該第二條狀電極，該第三導電條經烘干、燒結即成該匯流排電極。
14.如權利要求12所述的方法，其特征在于，每一第一橋接部與每一第二橋接部的厚度與該模版的厚度相等。
15.如權利要求12所述的方法，其特征在于，該列第一導電條以及該列第二導電條是在該列第一橋接導電部、該列第二橋接導電部以及該第三導電條形成之前先行形成并烘干。
16.如權利要求12所述的方法，其特征在于，該列第一橋接導電部、該列第二橋接導電部以及該第三導電條是在該列第一導電條以及該列第二導電條形成之前先行形成并烘干。
17.如權利要求12所述的方法，其特征在于，利用該模版的印刷制程是在利用該網版的印刷制程之前執行，致使該第三導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第一導電條以及其連接的第二導電條上，每一第一橋接導電部的邊緣部分覆蓋在其相鄰的第一導電條上，每一第二橋接導電部的邊緣部分覆蓋在其相鄰的第二導電條上。
18.如權利要求12所述的方法，其特征在于，利用該網版的印刷制程是在利用該模版的印刷制程之前執行，致使每一第一導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第三導電條上或其相鄰的第一橋接導電部上，每一第二導電條的邊緣部分覆蓋在其連接的第三導電條上或其相鄰的第二橋接導電部上。
19.如權利要求12所述的方法，其特征在于，該列第一鏤空溝槽以及該列第二鏤空溝槽均平行于一預定方向 排列，該列第一橋接部與該列第二橋接部在該預定方向上的投影對齊或交錯。
全文摘要
本發明提供一種元件上的電極及其制造方法，該電極結構包含多條平行的條狀電極以及垂直該些條狀電極的至少一條匯流排電極，該方法包含下列步驟利用具有多列平行的鏤空溝槽的模版，印刷第一金屬漿于該表面上，以形成多列平行的第一導電條；利用具有多列平行的橋接網孔區域以及至少一行長條狀網孔區域的網版，印刷第二金屬漿于該表面上，以形成多列平行的橋接導電部以及至少一條第二導電條，其中每一橋接網孔區域對應一個橋接導電部，每一行長條狀網孔區域對應一條第二導電條，每一橋接導電部銜接同一列兩相鄰的第一導電條；以及烘干并燒結該多列平行的第一導電條、該多列平行的橋接導電部以及該至少一條第二導電條。
文檔編號H01L31/0224GK103236465SQ20131011645
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月3日 優先權日2013年4月3日
發明者石正玲, 陳威廷, 許坤章 申請人:蘇州達方電子有限公司, 達泰科技股份有限公司