基板支撐用支撐單元的制作方法
【專利摘要】公開了一種基板支撐用支撐單元，其防止在基板處理過程中基板因彎曲而發生變形的現象。本發明的基板支撐用支撐單元，在基板處理過程中，由于基板的整體面被多個支撐銷均勻地支撐，因此不會發生基板因自重而彎曲變形的現象。由此，能夠提高平板顯示器的可靠性。
【專利說明】基板支撐用支撐單元
【技術領域】
[0001]本發明涉及基板支撐用支撐單元，其在基板處理過程中防止基板因下垂發生變形的現象。
【背景技術】
[0002]基板處理裝置應用于平板顯示器的生產，并大致分為蒸鍍(Vapor D印osition)裝置和退火(Annealing)裝置。
[0003]蒸鍍裝置作為形成構成平板顯示器核心結構的透明導電層、絕緣層、金屬層或硅層的裝置，分為低壓化學氣相沉積(LPCVD:Low Pressure Chemical Vapor Deposition)或等離子體增強化學氣相沉積(PECVD:Plasma_Enhanced Chemical Vapor Deposition)等方式的化學氣相蒸鍍裝置和濺射(Sputtering)等方式的物理氣相蒸鍍裝置。
[0004]退火裝置在基板上蒸鍍膜以后，提高蒸鍍后的膜的特性，是對蒸鍍后的膜進行結晶化或相變化的熱處理裝置。
[0005]一般地，基板處理裝置分為對一個基板進行處理的單片式(SingleSubstrateType)基板處理裝置和對多個基板進行處理的批處理式(Batch Type)基板處理裝置。雖然單片式基板處理裝置結構簡單，但生產率較低，因此，在大批量的生產中多使用批處理式基板處理裝置。
[0006]批處理式基板處理裝置形成有供基板被處理的空間的腔室，腔室內設置有對裝載至腔室內的基板進行支撐的支撐單元。
[0007]但是，由于現有的支撐單元無法對基板的整體面進行支撐，基板裝載至腔室內而被處理時，基板因自重發生彎曲變形。因此，平板顯示器的顯示特性發生熱化，降低可靠性。
【發明內容】
[0008]技術問題
[0009]本發明是為了解決上述的現有技術的問題點而提出的，本發明的目的在于提供一種基板支撐用支撐單元，其在基板處理過程中能夠對基板的整體面進行支撐，從而提高平板顯示器的可靠性。
[0010]問題解決手段
[0011]為了實現上述目的，本發明的基板支撐用支撐單元包括:一對支撐橫桿，其相互平行地配置；支撐托架，其分別支撐所述支撐橫桿的一端和另一端，并且結合于對象物，以使所述支撐橫桿位于所述對象物上；晶舟，其具備:一對外側主桿，其相互隔著間隔配置，并且，一端分別被某一所述支撐橫桿支撐，另一端分別被另一所述支撐橫桿支撐；一對外側支撐桿，其直徑小于所述外側主桿的直徑，并以層疊方式分別與所述外側主桿結合，用于支撐基板的邊緣部；多個連接桿，相互連接所述一對外側主桿；多個支撐銷，形成在所述連接桿上用以支撐基板。
[0012]另外，為了實現所述目的，本發明的基板支撐用支撐單元包括:多個支撐桿，其相互隔著間隔平行地配置；支撐托架，其分別支撐所述支撐桿的一端和另一端，并且與對象物結合，以使所述支撐桿位于所述對象物上；多個支撐銷，形成在所述支撐桿上以支撐基板。
[0013]發明效果
[0014]本發明的基板支撐用支撐單元，在基板處理過程中基板的整體面被多個支撐銷均勻地支撐，因此不會發生基板因自重而彎曲變形的現象。由此，提高平板顯示器的可靠性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是使用本發明的第一實施例的基板支撐用支撐單元的基板處理裝置的立體圖。
[0016]圖2是圖1所示的基板支撐用支撐單元的立體圖。
[0017]圖3是圖2所示的基板支撐用支撐單元的立體圖。
[0018]圖4是圖3所示的晶舟的立體圖。
[0019]圖5是本發明的第二實施例的基板支撐用支撐單元的立體圖。
[0020]圖6是圖5所示的基板支撐用支撐單元的立體圖。
[0021]圖7是圖6所示的支撐桿的立體圖。
【具體實施方式】
[0022]以下，參照附圖對本發明的特定實施例進行詳細說明。通過這些實施例，所屬領域的技術人員能夠充分實施本發明。本發明的多種實施例雖然有所不同，但不應理解為相互排斥。例如，記載于此的一實施例的特定形狀、特定結構以及特性，在不超過本發明的精神以及范圍的基礎上，可以以其他實施例的形式體現。而且，應理解為，每個公開的實施例中的個別的構成要素的位置或設置，可以在不超過本發明的精神以及范圍的情況下進行變更。因此，后述的詳細的說明并非旨在限定，確定地講，本發明的范圍只限定于所有權利要求及其等同范圍。為了便于說明，附圖所示的實施例有可能對長度、面積、厚度及形態進行夸大表示。
[0023]以下參照附圖來詳細說明本發明的實施例的基板支撐用支撐單元。
[0024]實施例的說明中，基板處理應理解為包括:加熱以及冷卻基板的工藝；在基板上蒸鍍規定的膜的所有蒸鍍工藝；對蒸鍍在基板上的規定的膜進行退火、結晶化或相變化的所有熱處理工藝。
[0025]第一實施例
[0026]圖1是使用本發明的第一實施例的基板支撐用支撐單元的基板處理裝置的立體圖，圖2是圖1所示的基板支撐用支撐單元的立體圖。
[0027]如圖所示，基板處理裝置大體呈直六面體形狀，并包括構成外觀的本體10，本體10的內部形成有用于處理基板50的作為封閉空間的腔室11。本體10的形狀不限于直六面體形狀，可根據基板50的形狀形成為多種形狀。
[0028]本體10的前側形成為開放的狀態，并設置有門13，門13用于開閉腔室11。S卩，在打開門13開放腔室11的狀態下，利用機械手(未圖示)等來支撐基板50并將基板50裝載至腔室11內。然后，關閉門13，在封閉腔室11的狀態下，對基板50進行處理。
[0029]本體10的上側也可以開放，為此設置有端蓋15，腔室11也可以通過端蓋15開閉。端蓋15在對設置在腔室內的、處理基板50所需的部件進行維修或更換時開放腔室11的內部。
[0030]設置在腔室11的內部的所述部件可以包括:用于搭載并支撐基板50的基板支撐用支撐單元100 ;用于加熱基板50的加熱器17 ;用于冷卻基板50的冷卻管(未圖示)等。
[0031]加熱器17的左端和右端分別被本體10的左側壁和右側壁支撐。加熱器17隔著規定的間隔從本體10的前側向后側設置多個，同時，隔著規定的間隔從本體10的上側向下側設置多個。
[0032]參照圖1至圖3對本發明的第一實施例的基板支撐用支撐單元100進行說明。圖3是圖2所示的基板支撐用支撐單元的立體圖。
[0033]如圖所示，基板支撐用支撐單元100可以包括支撐橫桿110、支撐托架120以及晶舟130。基板處理裝置上可設置有上下排列的多個本發明第一實施例的基板支撐用支撐單元100，以能夠一次性處理多個基板50。
[0034]支撐橫桿110構成為一對，并以本體10的底部為基準處于相同的高度，且相互平行。此時，一支撐橫桿110被與門13鄰接的本體10的前方兩側壁支撐,另一個支撐橫桿110被本體10的后方兩側壁支撐。
[0035]對于基板處理裝置，本體10是對支撐橫桿110進行支撐的對象物。
[0036]對支撐橫桿110被本體10支撐的結構進行詳細說明。
[0037]支撐橫桿110的左端和右端穿過本體10的左側壁和右側壁并位于本體10的外偵牝本體10的左側壁和右側壁結合有用于支撐支撐橫桿110的支撐托架120。
[0038]支撐托架120的上側分別形成有相互垂直的支撐槽121和卡槽123。自本體10外露的支撐橫桿110的端部下側插入并支撐在與支撐橫桿110平行的支撐曹121內，形成于支撐橫桿110的端部外周面的卡環111插入并支撐在與支撐橫桿Iio垂直的卡槽123內。
[0039]由于支撐橫桿110的端部插入并支撐在支撐槽121,卡環111插入并支撐在卡槽123，因此，支撐橫桿110被支撐托架120牢固地支撐。
[0040]參照圖3和圖4對本發明的第一實施例的晶舟進行說明。圖4是圖3所述的晶舟的立體圖。
[0041]優選為，晶舟130由在基板處理過程中能夠耐高溫并且結構幾乎沒有變化的石英構成。
[0042]如圖所示，晶舟130包括相互隔著間隔配置的一對外側主桿131。每個外側主桿131的前端被位于本體10 (參照圖1)的前側的某一支撐橫桿110支撐，每個后端被位于本體10的后側的另一個支撐橫桿110支撐。
[0043]為了將外側主桿131牢固地支撐在支撐橫桿110上，外側主桿131的前端分別形成有插入并結合于某一支撐橫桿110的第一入片131a,后端分別形成有被另一支撐橫桿110支撐的第二卡入片131b。此時，第二卡入片131b也可以形成在后述的連接桿135上，該連接桿135的左端和右端分別結合于一對外側主桿131以相互連接一對外側主桿131。
[0044]第一卡入片131a的截面形成為半圓形，并配置在支撐橫桿110上，第二卡入片131b形成為桿形狀,且搭載并支撐于支撐橫桿110。由于第一入片131a被支撐橫桿110插入并結合,第二卡入片131b被支撐橫桿110搭載并支撐,因此,晶舟130被支撐橫桿110牢固地支撐。另外，由于晶舟130的第一卡入片131a形成為半圓形并配置在支撐橫桿110上，因此，只要向上抬起晶舟130，便能將晶舟130從支撐橫桿110分離。由此，能夠容易地將晶舟130從支撐橫桿110分離。
[0045]外側支撐桿133分別與外側主桿131結合。由于外側支撐桿133分別與外側主桿131結合，因此，外側支撐桿133也構成為一對。外側支撐桿133的直徑小于外側主桿131的直徑，并以層疊方式分別與外側主桿131結合。基板50的邊緣部被外側支撐桿133支撐。
[0046]為使外側主桿131具備規定以上的剛性，外側主桿131的直徑需要較大。但是，如果將基板50接觸外側主桿131而支撐，與外側主桿131接觸的基板50的部位可能無法被均勻處理。因此，將直徑小于外側主桿131的外側支撐桿133結合在外側主桿131上，并將基板50接觸支撐于外側支撐桿133上。
[0047]外側主桿131通過多個連接桿135相互結合，連接桿135結合有用于支撐基板50的多個支撐銷136。由于基板50的整體部位被支撐銷136均勻地支撐，因此防止基板50因自重導致下垂變形的現象。
[0048]多個連接桿135中，位于外側主桿131的后端部的連接桿135上可形成有前述的第二卡入片131b。
[0049]優選為，支撐銷136可拆卸地結合在連接桿135上。如果能從連接桿135拆卸支撐銷136，就可以在基板50因自重下垂的部位集中配置支撐銷136，由此能夠完全地防止基板50的變形。支撐銷136可以形成為多種形狀，對此后述。
[0050]外側支撐桿133可分別支撐多個基板50。此時，為了防止被分別支撐的多個基板50在外側支撐桿133上移動，外側支撐桿133形成有多個擋塊133a。擋塊133a分別與基板50的側面接觸，以防止基板50分別向外側支撐桿133的長度方向移動。
[0051]優選為，擋塊133a也可拆卸地結合在外側支撐桿133上。這樣，可根據基板50的大小拆卸擋塊133a,從而能夠將各種大小的基板50支撐在外側支撐桿133上。
[0052]連接桿135和外側支撐桿133分別形成有第一結合槽135a和第二結合槽133b,支撐銷136和擋塊133a的下側可拆卸地結合于該第一結合槽135a和第二結合槽133b。
[0053]在外側支撐桿133的前端和后端可以形成有垂直于外側支撐桿133用于支撐基板50的邊緣部的支撐片133c。通過支撐片133c更加牢固地支撐基板50。當多個基板被外側支撐桿133分別支撐時，與基板50對應地，支撐片133c可以形成在外側支撐桿133的中心。
[0054]外側主桿131的前端和后端分別形成有卡勾131c，卡勾131c用于利用夾具(未圖示)鉤住晶舟130，將晶舟130裝載到腔室11 (參照圖1)，以及將晶舟130從腔室11卸載。當利用所述夾具鉤住卡勾131c時，可適當調整卡勾131c的高度，以使所述夾具不被支撐銷136和擋塊133a干擾。
[0055]圖1中未說明的附圖標記20是支撐本體10的支撐框架。
[0056]本發明的第一實施例的基板支撐用支撐單元100，由于基板50的整體面被多個支撐銷136支撐，因此基板50不會發生因自重而彎曲變形的現象。由此，提高平板顯示器的
可靠性。
[0057]第二實施例
[0058]參照圖5至圖7對本發明的第二實施例的基板支撐用支撐單元進行說明。
[0059]圖5是本發明的第二實施例的基板支撐用支撐單元的立體圖，圖6是圖5所示的基板支撐用支撐單元的立體圖，圖7是圖6所示的支撐桿的立體圖。
[0060]如圖所示，本發明的第二實施例的基板支撐用支撐單元200可以包括多個支撐桿210、支撐托架220以及多個支撐銷230。基板處理裝置可以設置有上下排列的多個本發明第二實施例的基板支撐用支撐單元200，以能夠一次性處理多個基板50。
[0061]多個支撐桿210以本體10 (參照圖1)的底部為基準處于相同的高度并相互平行。即，多個支撐桿210處于虛擬的相同水平面上，并且相互平行。支撐桿210的左端和右端分別被作為對象物的本體10的左側壁和右側壁結合并支撐。
[0062]具體說明支撐桿210被本體10結合并支撐的結構。
[0063]支撐桿210的左側和右側穿過本體10的左側壁和右側壁并位于本體10的外側，本體10的左側壁和右側壁結合有用于支撐支撐桿210的支撐托架220。
[0064]支撐托架220的上側分別形成有相互垂直的支撐槽221和卡槽223。自本體10外露的支撐桿210的端部下側插入并支撐于與支撐桿210平行的支撐槽221。此外，形成在支撐桿210的端部外周面的卡環211插入并支撐于與支撐桿210垂直的卡槽223。
[0065]由于支撐桿210的端部插入并支撐在支撐槽221,卡環211插入并支撐在卡槽223，因此，支撐桿210被支撐托架220牢固地支撐。
[0066]支撐銷230在每個支撐桿210上形成多個，并支撐基板50。S卩，支撐銷230的下側與支撐桿210結合，基板50被支撐銷230的上端支撐。由于多個支撐銷230分別與多個支撐桿210結合，因此，基板50的整體部位被支撐銷230均勻地支撐。由此，可防止基板50因自重導致下垂變形的現象。
[0067]支撐桿210形成有結合槽213，支撐銷230可拆卸地結合于結合槽213。由于支撐銷230可從支撐桿210拆卸，因此在處理基板50的過程中，可以在基板50因自重下垂的部位集中配置支撐銷230。由此可以完全地防止基板50變形的現象。
[0068]支撐銷230的下側截面可以形成為圓形、橢圓形或方形等多種形狀。此時，供支撐銷230插拔的結合槽213的形狀與支撐銷230的下側截面形狀對應。
[0069]當支撐銷231的截面形狀以及結合槽213a的形狀為圓形時，支撐銷231可以以支撐桿210為基準進行旋轉。此外，當支撐銷233的截面形狀和結合槽213b的形狀為橢圓形時，或者支撐銷235的截面形狀和結合槽213c的形狀為方形時，可以防止支撐銷233、235以支撐桿210為基準旋轉的現象。
[0070]支撐銷231可以形成為，中間部折彎231a，并且，分別穿過接觸并支撐基板50的支撐銷231的上側部以及插入并結合于支撐桿210的支撐銷231的下側部的長度方向中心的虛擬直線L1、L2相互平行。此時，當支撐銷231的下側部形成為圓形而支撐銷231可進行旋轉時，支撐銷231無需插拔于結合槽213a，可通過旋轉支撐銷231而簡單地支撐基板50下垂的部位。
[0071]根據需要，支撐銷231的折彎部231a可以多次折彎。
[0072]本發明的第二實施例的基板支撐用支撐單元200，在處理基板50的過程中，由于基板50的整體面被多個支撐銷230支撐，因此基板50不會因自重而彎曲變形。由此，提高平板顯示器的可靠性。
[0073]本發明的第一實施例的支撐銷136 (參照圖4)也可以構成與第二實施例的支撐銷230相同的結構。[0074]具體地講，與第二實施例的支撐銷231、233、235相同地，本發明第一實施例的支撐銷136的下側截面形狀也可以形成為圓形、橢圓形或方形。此時，形成在連接桿135上的第一結合槽135的形狀當然與支撐銷136的截面形狀對應。
[0075]此外，也可以是，與第二實施例的支撐銷231相同地，本發明第一實施例的支撐銷136的中間部折彎，并且分別穿過支撐銷136的下側部的長度方向中心以及支撐基板50的支撐銷136的上側部的長度方向中心的虛擬直線相互平行。此時，支撐銷136的下側部可旋轉地插入并結合于連接桿135，并且中間部可以多次折彎。
[0076]上述的本發明的實施例的附圖省略了詳細的輪廓線條，以便于理解屬于本發明的技術思想的部分。并且，上述的實施例不能限定本發明的技術思想，其僅僅是為了理解包含在本發明權利范圍內的技術事項的參考事項。
【權利要求】
1.一種基板支撐用支撐單元，其包括: 一對支撐橫桿，其相互平行地配置； 支撐托架，其分別支撐所述支撐橫桿的一端和另一端，并且結合于對象物，以使所述支撐橫桿位于所述對象物上； 晶舟，其具備:一對外側主桿，其隔著間隔配置，且一端分別被某一所述支撐橫桿支撐，另一端分別被另一所述支撐橫桿支撐；一對外側支撐桿，其直徑小于所述外側主桿的直徑，并以層疊方式分別與所述外側主桿結合，用于支撐基板的邊緣部；多個連接桿，相互連接所述一對外側主桿；多個支撐銷，形成在所述連接桿上用以支撐所述基板。
2.根據權利要求1所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 在所述支撐橫桿的端部外周面分別形成有卡環，在所述支撐托架分別形成有供所述支撐橫桿的端部插入并支撐的支撐槽和供所述卡環插入并結合的卡槽。
3.根據權利要求1所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 所述外側支撐桿分別支撐多個所述基板，在所述外側支撐桿形成有多個擋塊，所述多個擋塊與所述基板的側面接觸以防止所述基板沿著所述外側支撐桿的長度方向移動。
4.根據權利要求3所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 在所述連接桿和所述外側支撐桿分別形成有第一結合槽和第二結合槽， 所述支撐銷的一端和所述擋塊的一端分別可插拔地結合于所述第一結合槽和所述第二結合槽。
5.根據權利要求4所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 所述支撐銷的一端的截面形成為圓形、橢圓形和方形中的任一形狀， 所述第一結合槽形成為與所述支撐銷的形狀對應。
6.根據權利要求4所述基板支撐用支撐單元，其特征在于， 所述支撐銷的一端可旋轉地結合于所述連接桿， 所述支撐銷的中間部折彎， 穿過插入于所述連接桿的所述支撐銷的一端的長度方向中心的虛擬直線，與穿過支撐所述基板的所述支撐銷的另一端的長度方向中心的虛擬直線相互平行。
7.根據權利要求6所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 所述支撐銷的中間部多次折彎。
8.根據權利要求1所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 在所述外側主桿的一端分別形成有被某一所述支撐橫桿插入并結合的第一卡入片，在所述外側主桿的另一端或結合于所述外側主桿的另一端的所述連接桿上形成有被另一所述支撐橫桿支撐的第二卡入片。
9.根據權利要求1所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 在所述外側支撐桿形成有支撐片，所述支撐片與所述外側支撐桿垂直且用于支撐所述基板的邊緣部。
10.根據權利要求1所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 所述外側主桿的一端和另一端分別形成有卡勾，所述卡勾利用夾具鉤住所述晶舟以搬送所述晶舟。
11.一種基板支撐用支撐單元，其包括:多個支撐桿，其隔著間隔平行地配置； 支撐托架，其分別支撐所述支撐桿的一端和另一端，并且結合于對象物，以使所述支撐桿位于所述對象物上； 多個支撐銷，形成在所述支撐桿上用以支撐基板。
12.根據權利要求11所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 在所述支撐桿的端部外周面分別形成有卡環， 在所述托架分別形成有供所述支撐桿的端部插入并支撐的支撐槽和供所述卡環插入并結合的卡槽。
13.根據權利要求11所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 在所述支撐桿形成有結合槽， 所述支撐銷的一端可插拔地結合于所述支撐桿。
14.根據權利要求13所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 所述支撐銷的一端的截面形成為圓形、橢圓形和方形中的任一形狀， 所述結合槽形成為與所述支撐銷的形狀對應。
15.根據權利要求13所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 所述支撐銷可旋轉地支撐于所述支撐桿， 所述支撐銷的中間部折彎， 穿過插入于所述支撐桿的所述支撐銷的一端的長度方向中心的虛擬直線，與穿過支撐所述基板的所述支撐銷的另一端的長度方向中心的虛擬直線相互平行。
16.根據權利要求15所述的基板支撐用支撐單元，其特征在于， 所述支撐銷的中間部多次折彎。
【文檔編號】H01L21/324GK103477426SQ201280017748
【公開日】2013年12月25日 申請日期:2012年4月9日 優先權日:2011年4月13日
【發明者】康浩榮, 趙炳鎬, 樸珠泳, 金徹鎬 申請人:泰拉半導體株式會社