專利名稱：一種可升降加熱器的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于微納制造領域，更具體地，涉及一種可升降加熱器。
背景技術：
在半導體加工工藝中，載物臺上的樣品是需要加熱至一定溫度才能完成相關工藝，但是供其溫度的加熱器是固定不動的。而在進行測量工藝時，樣品必須保證與測量儀器之間的精確位置，這時需要載物臺能夠在外界作用下上下垂直運動進行調試距離。將加工和測量工藝結合在一起時，必須將加熱器設計成可升降機構，以保證加工和測量的順利進行。然而，目前還沒有可使加熱器升降以完成載物臺樣品加工和測量的裝置。
實用新型內容針對現有技術的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種可升降加熱器，其能夠完成半導體加工工藝和測量工藝的操作。為實現上述目的，本實用新型提供了一種可升降加熱器，包括傳送桿，載物臺，力口熱器和絲杠，加熱器和絲杠的頂部固定連接，加熱器的頂部設置有斜槽和深槽，載物臺用于承載樣品，載物臺的底部設置有彈性定位銷，側面設置有一對側面定位銷，加熱器與載物臺是通過彈性定位銷與斜槽和深槽的配合實現固定連接，用于為樣品提供溫度保證，傳送桿和載物臺固定連接，用于將載物臺從一空間初始位置水平傳送到另一空間位置上進行加工和測量工藝。加熱器和絲杠的頂部是通過滾動軸承或滑動軸承固定連接。絲杠用于通過自身旋轉實現加熱器的升降，且具有粗調和精調的功能。
載物臺是實心圓盤型或者空心圓盤型。傳送桿前部設置有凹槽結構。傳送桿和載物臺運動時，是通過側面定位銷和凹槽機構的配合來實現固定連接，傳送桿單獨運動時，側面定位銷和凹槽機構是分離的。通過本實用新型所構思的以上技術方案，與現有技術相比，本實用新型具有以下的有益效果1、因為載物臺水平運動時，難以保證準確定位與待加工或測量的位置，所以在加熱器頂部設計斜槽和深槽與定位銷來保證載物臺的水平位置。2、因為傳送桿和載物臺要實現分離單獨運動和固接一起運動，所以在傳送桿頂部設計凹槽機構與載物臺側面的側面定位銷實現分離和固接。3、因為要將加工和測量工藝結合在一起，所以通過載物臺的水平運動至待加工或測量位置，再經過升降加熱器來實現垂直上下運動，來實現工藝需求。
圖1是本實用新型可升降加熱器的主視圖。[0015]圖2是本實用新型加熱器的側視圖。圖3是本實用新型傳送桿的側視圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，
以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖1所示，本實用新型可升降加熱器包括傳送桿4，載物臺5，加熱器6和絲杠7。加熱器6和絲杠7的頂部固定連接，在本實施方式中，是通過滾動軸承或滑動軸承固定連接。絲杠7用于通過自身旋轉實現加熱器6的升降，并具有粗調和精調的功能。如圖2所示，加熱器6的頂部設置有斜槽10和深槽11。載物臺5用于承載樣品。載物臺5的底部設置有彈性定位銷8，載物臺5的側面設置有一對側面定位銷9。在本實施方式中，載物臺5是實心圓盤型或者空心圓盤型。加熱器6與載物臺5是通過彈性定位銷8與斜槽10和深槽11的配合實現固定連接，用于為樣品提供溫度保證。傳送桿4和載物臺5固定連接，用于將載物臺5從一空間初始位置水平傳送到另一空間位置上進行加工和測量工藝。如圖3所示，傳送桿4前部設置有凹槽結構12。具體而言，傳送桿4和載物臺5運動時，是通過側面定位銷9和凹槽機構12的配合來實現固定連接，傳送桿4單獨運動時，側面定位銷9和凹槽機構12是分離的。以下描述本發明的工作原理載物臺處于初始狀態與傳送桿固接在一起,傳送桿帶動載物臺運動至加熱 器上方，通過彈性定位銷確定載物臺的位置，然后加熱器在絲杠的作用下垂直上升，將載物臺脫離傳送桿的作用，抽出傳送桿，之后繼續調整載物臺的位置以便進行測量工藝。測量工藝完成之后，載物臺在加熱器的升降作用下調整到傳送位置上，此時運動傳送桿至載物臺側面的凹槽機構中，加熱器繼續下降，載物臺在重力作用下固定在傳送桿上，和傳送桿一起運動至初始位置上。本領域的技術人員容易理解，以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種可升降加熱器，其特征在于，包括傳送桿，載物臺，加熱器和絲杠；所述加熱器和所述絲杠的頂部固定連接；所述加熱器的頂部設置有斜槽和深槽；所述載物臺用于承載樣品；所述載物臺的底部設置有彈性定位銷，側面設置有一對側面定位銷；加熱器與載物臺是通過所述彈性定位銷與所述斜槽和所述深槽的配合實現固定連接， 用于為樣品提供溫度保證；所述傳送桿和所述載物臺固定連接，用于將所述載物臺從一空間初始位置水平傳送到另一空間位置上進行加工和測量工藝。
2.根據權利要求1所述的可升降加熱器，其特征在于，所述加熱器和所述絲杠的頂部是通過滾動軸承或滑動軸承固定連接。
3.根據權利要求1所述的可升降加熱器，其特征在于，所述絲杠用于通過自身旋轉實現所述加熱器的升降，且具有粗調和精調的功能。
4.根據權利要求1所述的可升降加熱器，其特征在于，所述載物臺是實心圓盤型或者空心圓盤型。
5.根據權利要求1所述的可升降加熱器，其特征在于，所述傳送桿前部設置有凹槽結構。
6.根據權利要求5所述的可升降加熱器，其特征在于，所述傳送桿和所述載物臺運動時，是通過所述側面定位銷和所述凹槽機構的配合來實現固定連接，所述傳送桿單獨運動時，所述側面定位銷和所述凹槽機構是分離的。
專利摘要本實用新型公開了一種可升降加熱器，包括傳送桿，載物臺，加熱器和絲杠，加熱器和絲杠的頂部固定連接，加熱器的頂部設置有斜槽和深槽，載物臺用于承載樣品，載物臺的底部設置有彈性定位銷，側面設置有一對側面定位銷，加熱器與載物臺是通過彈性定位銷與斜槽和深槽的配合實現固定連接，用于為樣品提供溫度保證，傳送桿和載物臺固定連接，用于將載物臺從一空間初始位置水平傳送到另一空間位置上進行加工和測量工藝，加熱器和絲杠的頂部是通過滾動軸承或滑動軸承固定連接，絲杠用于通過自身旋轉實現加熱器的升降，且具有粗調和精調的功能，傳送桿前部設置有凹槽結構。本實用新型能夠完成半導體加工工藝和測量工藝的操作。
文檔編號H01L21/67GK202888142SQ20122059072
公開日2013年4月17日 申請日期2012年11月10日 優先權日2012年11月10日
發明者陳蓉, 何文杰, 曹坤, 周濤, 鄧章, 單斌 申請人:華中科技大學