專利名稱：晶圓盒抓扣器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體生產過程中的運輸裝置，尤其涉及一種晶圓盒的抓扣器。
背景技術：
半導體晶圓在生產制造的過程中，需要在密封無塵的條件下進行。傳統以潔凈室生產晶圓的方式是將生產設備置于潔凈室內，然而建設一個一級的潔凈室需要昂貴的建設成本，并且還需要額外的運營及凈化服務成本以維護該設施。為了提高生產效率，降低晶圓廠的建設和運營費用，標準機械界面(SMIF, Standard Mechanical Interface)技術得以應 用和推廣。在標準機械界面中，晶圓盒抓扣器設在晶圓傳輸裝置中，通過抓扣器抓住晶圓盒，然后通過一系列的機械運動載入到后續的工藝中，請參考圖1，現有技術中的抓扣器包括一個抓扣片101，抓扣片101上設有一個彎折部，當抓扣器在載入晶圓盒100時，抓扣片101與和晶圓盒100的接觸點只是一個點，由于重力的作用，隨著傳輸抓扣器使用時間的增長，抓扣器的抓扣能力會慢慢減退，進而導致晶圓盒的滑脫。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種抓扣能力更強的晶圓盒抓扣器。為了解決這一技術問題，本實用新型提供了一種晶圓盒抓扣器，安裝于標準機械界面的操作臂上，包括緩沖卡座和抓扣片，所述緩沖卡座設置于操作臂的下表面，所述抓扣片設置于所述操作臂末端的立面外側，所述抓扣片包括連接臂、第一彎折部與第二彎折部，所述連接臂的一端與操作臂的末端側面活動連接，所述連接臂的另一端與所述第一彎折部的一端連接，所述第一彎折部的另一端與所述第二彎折部的一端連接，所述第一彎折部相對所述連接臂朝所述緩沖卡座方向彎折，所述第二彎折部相對所述第一彎折部朝所述緩沖卡座方向彎折。優選的，所述抓扣片通過一伸縮塊與操作臂活動連接。優選的，所述第二彎折部與第一彎折部之間的夾角為145度。優選的，所述抓扣片為一體成型的部件。優選的，所述抓扣片為金屬材質。本實用新型通過在抓扣片的末端增加一個彎折部，即第二彎折部，改變了抓扣片運輸過程中的受力狀況，有效地提升了抓扣器的抓扣能力，同時增加了傳輸過程中的安全系數，不僅如此，兩個彎折部的設計使得抓扣器在長期的受力運動中不容易變形，進一步避免了晶圓盒脫落的風險。
圖I是現有技術的抓扣器的結構示意圖；[0012]圖2是本實用新型一實施例的晶圓盒抓扣器的結構示意圖；圖3是本實用新型一實施例的晶圓盒抓扣器的使用狀態的結構示意圖；圖4是本實用新型一實施例的緩沖卡座的結構示意圖圖I中，100—晶圓盒；102—抓扣片；圖2至4中，201—操作臂；202—伸縮塊；203—連接臂；204—第一彎折部；205—第二彎折部；206—緩沖卡座；207—限位部；208—晶圓盒；209—緩沖卡座的上表面；210—提手處。
具體實施方式
以下將結合圖2和圖4，對本實用新型的一實施例進行詳細的描述，其為本實用新·型的一優選的實施例，同時，將結合圖3，對使用本實用新型提供的晶圓盒抓扣器的使用方法進行詳細介紹。本實施例提供了一種晶圓盒抓扣器，安裝于標準機械界面的操作臂201上，包括緩沖卡座和抓扣片，所述緩沖卡座206設置于操作臂的下表面，所述抓扣片設置于所述操作臂201末端的立面外側，所述抓扣片包括連接臂203、第一彎折部204與第二彎折部205，所述連接臂203的一端與操作臂201的末端側面活動連接，所述連接臂203的另一端與所述第一彎折部204的一端連接，所述第一彎折部204的另一端與所述第二彎折部205的一端連接，所述第一彎折部204相對所述連接臂203朝所述緩沖卡座260方向彎折，所述第二彎折部205相對所述第一彎折部204朝所述緩沖卡座260方向彎折。本實用新型提供的晶圓盒抓扣器通過在第一彎折部204的末端增加了第二彎折部205，增加了抓扣片與晶圓盒208的接觸點，有效地提升了抓扣器的抓扣能力，同時增加了傳輸過程中的安全系數，不僅如此，兩個彎折部的設計使得抓扣器在長期的受力運動中不容易變形，進一步避免了晶圓盒208脫落的風險。在本實施例中，如圖2所示，第二彎折部205設在第一彎折部204的末端，兩者分別相對于連接臂203與第一彎折部204環繞著緩沖卡座沿著順時針的方向彎折。其有利于第一彎折部204與第二彎折部205與晶圓盒208充分接觸。所述抓扣片通過一伸縮塊202與操作臂201活動連接。所述伸縮塊202為圓弧形狀，伸縮塊202的圓弧形狀的一端連接至操作臂201內部與所述操作臂201活動連接，另一端與所述連接臂203固定連接。在本實施例中，連接臂203與伸縮塊202固定連接，伸縮塊202與操作臂201內部活動連接，伸縮塊202沿其圓弧形狀的弧線進行伸縮運動，從而帶動連接臂203沿相應的弧度進行旋轉，進而帶動抓扣片的相應旋轉。所述第二彎折部205與第一彎折部204之間的夾角為145度。其僅為本實用新型一可選的實施例，是本領域技術人員通過有限次試驗得到的一實施例。在使用本實施例的晶圓盒抓扣器對晶圓盒208進行運輸的過程中，請參考圖3，操作臂201移動到晶圓盒208的上方，然后操作臂200沿豎直方向向下移動，直至緩沖卡座擠壓到晶圓盒208才停止，伸縮塊202連接到操作臂208的內部，當操作臂201停止移動后，伸縮塊202通過其沿其圓弧形狀的弧線進行伸縮運動，從而帶動抓扣片沿相應的弧線在豎直平面旋轉，使得第一彎折部204與第二彎折部205伸入晶圓盒208的提手處210，完成晶圓盒208的載入后，第二彎折部205與晶圓盒208的提手處210的上表面持平，第一彎折部204與第二彎折部205的連接處與晶圓盒208充分接觸，最后，操作臂201沿豎直方向向上運動提起晶圓盒208，進而進行后續的運輸操作。所述緩沖卡座206的一端下方設置有用于防止晶圓盒沿水平方向移動的限位塊207。請參考圖4，在本實施例中，緩沖卡座的上表面209與操作臂201固定連接，當操作臂201向下移動擠壓到晶圓盒208時，緩沖卡座起到了很好的緩沖作用，避免了由于擠壓和碰撞而造成的對晶圓盒208的損傷。也正是出于緩沖作用的考慮，本實施例中的緩沖卡座優選為塑料材質。所述抓扣片為一體成型的部件，且為金屬材質。可以有效地保證本實施例提供的抓扣片的穩固和抓扣性能。當然，所述抓扣片也可以由其它具有一定剛度的材料制成。綜上所述，本實用新型通過在抓扣片的末端增加一個彎折部，改變了抓扣片運輸過程中的受力狀況，有效地提升了抓扣器的抓扣能力，同時增加了傳輸過程中的安全系數，不僅如此，兩個彎折部的設計使得抓扣器在長期的受力運動中不容易變形，進一步避免了 晶圓盒脫落的風險。
權利要求1.一種晶圓盒抓扣器，安裝于標準機械界面的操作臂上，包括緩沖卡座和抓扣片，所述緩沖卡座設置于操作臂的下表面，所述抓扣片設置于所述操作臂末端的立面外側，其特征在于所述抓扣片包括連接臂、第一彎折部與第二彎折部，所述連接臂的一端與操作臂的末端的立面外側活動連接，所述連接臂的另一端與所述第一彎折部的一端連接，所述第一彎折部的另一端與所述第二彎折部的一端連接，所述第一彎折部相對所述連接臂朝所述緩沖卡座方向彎折，所述第二彎折部相對所述第一彎折部朝所述緩沖卡座方向彎折。
2.如權利要求I所述的晶圓盒抓扣器，其特征在于所述連接臂的一端通過一伸縮塊與操作臂活動連接。
3.如權利要求I所述的晶圓盒抓扣器，其特征在于所述第二彎折部與第一彎折部之間的夾角為145度。
4.如權利要求I所述的晶圓盒抓扣器，其特征在于所述抓扣片為一體成型的部件。
5.如權利要求I所述的晶圓盒抓扣器，其特征在于所述抓扣片為金屬。
專利摘要本實用新型提供了一種晶圓盒抓扣器，包括緩沖卡座和抓扣片，所述抓扣片包括連接臂、第一彎折部與第二彎折部，所述連接臂的一端與操作臂的末端的立面外側活動連接，所述連接臂的另一端與所述第一彎折部的一端連接，所述第一彎折部的另一端與所述第二彎折部的一端連接，所述第一彎折部相對所述連接臂朝所述緩沖卡座方向彎折，所述第二彎折部相對所述第一彎折部朝所述緩沖卡座方向彎折。本實用新型通過在抓扣片的末端增加一個彎折部，改變了抓扣片運輸過程中的受力狀況，有效地提升了抓扣器的抓扣能力，不僅如此，兩個彎折部的設計使得抓扣器在長期的受力運動中不容易變形，進一步避免了晶圓盒脫落的風險。
文檔編號H01L21/687GK202796903SQ20122052105
公開日2013年3月13日 申請日期2012年10月11日 優先權日2012年10月11日
發明者何其保, 王寅, 王鑫 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司