專利名稱:一種旋轉驅動的變節距夾具的制作方法
技術領域:
本實用新型屬于光伏硅片生產設備技術領域,尤其涉及光伏硅片生產設備中的用于倒片的旋轉驅動的變節距夾具。
背景技術:
為了提高光伏硅片擴散工藝的產能,在不改變工藝主設備的情況下,將硅片載具石英舟節距變小(如從4. 76mm變為4. 05mm)是最為便捷和廣泛采用的方法。擴散工藝進行之前,硅片需要從另一種載具花籃倒入石英舟;工藝完成之后,硅片需要從石英舟倒入花籃以便將硅片傳送到下一道工藝。因為工藝間的硅片傳送都采用4. 76mm的花籃,所以當石英舟節距為4. 76mm時,人工倒片時,只需將兩個載具對齊就可以將硅片從一個載具推至另一個載具。但是當石英舟節距不是4. 76_時,就不能采用這種方法。目前采用的人工倒片方 法是用吸盤一片一片將硅片從一個載具吸起然后插入另外一個載具。這種方法效率低下,勞動強度大,且碎片率不可控。
實用新型內容為此,本實用新型所要解決的技術問題是提供一種旋轉驅動的變節距夾具,該變節距夾具可以快速、平穩、方便地在兩種不同節距載具間進行倒片,以克服現有技術存在的不足。為解決上述技術問題,本實用新型采用如下的技術方案一種旋轉驅動的變節距夾具,其特征在于包括由頂板、底板以及兩側板圍成的框架、位于框架內的沿兩側板內表面能夠上下滑動的多層硅片擱置板以及兩根撥桿,所述多層硅片擱置板之間具有間隙,每層間隙兩端均設有間距墊片;所述間距墊片首端為薄部,尾端為厚部,中間為漸變斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述間隙中;每根撥桿依次穿過同一側的所有間距墊片的卡孔。所述兩根撥桿由同步帶進行連接。所述卡孔和所述撥桿的截面均為方形。在本實用新型的具體實施方式
中,所述側板內表面具有兩道豎向的滑槽,所述硅片擱置板兩端分別具有兩個位于所述滑槽內的凸出滑塊。這樣,側板能夠約束硅片擱置板沿側板內表面上下豎向滑動。為了減小與硅片的摩擦,以使得硅片能夠容易和方便的推入和推出硅片擱置板,所述硅片擱置板具有掏空區域。采用上述技術方案,本實用新型的旋轉驅動的變節距夾具可以快速變換硅片之間的間距,從而能夠實現快速、平穩、方便地在兩種不同節距載具間進行倒片。
以下結合附圖
和具體實施方式
對本實用新型進行詳細說明[0012]圖I為本實用新型的結構示意圖。圖2為本實用新型的側板結構示意圖;圖3為本實用新型的硅片擱置板的結構示意圖;圖4為本實用新型的間距墊片的結構示意圖;圖5為本實用新型的撥桿的結構示意圖。
具體實施方式
如圖I所示,本實用新型的旋轉驅動的變節距夾具,包括框架、多層硅片擱置板 200、多塊間距墊片300以及兩根撥桿501。其中,框架由ー個頂板、ー個底板以及兩塊分立于左右兩側的側板130合圍而成, 框架的前后形成開ロ,可以讓硅片進出(圖I中頂板和底板未顯示)。如圖2所示,側板130的內表面位于兩側具有豎向延伸的滑槽131,中間具有豎向 延伸的條狀缺ロ 132。如圖3所示,姆塊娃片擱置板200的厚度為2mm,兩端分別具有兩個凸出滑塊201。 裝配時,該硅片擱置板200的凸出滑塊201位于側板130的滑槽131內。這樣,硅片擱置板 200在側板130的滑槽131的約束下,可沿著側板130上下運動。為減小與硅片的摩擦,以 使得硅片能夠方便容易的推入和推出硅片擱置板,硅片擱置板200的前后側均具有掏空區 域 202。如圖4所示,間距墊片300為圓形,中間具有方形的卡孔305。裝配吋,結合圖I所 示,每塊間距墊片300的薄部是插入相鄰硅片擱置板200形成的間隙中。如圖5所示,撥桿501的截面為方形。結合圖I所示,每根撥桿501依次穿過同一 側的所有間距墊片300的卡孔305。兩根撥桿501之間的通過同步帶(圖I中未顯示)連接。兩根撥桿501之間安裝 有同步帶實現了撥桿501能同時驅動間距墊片300旋轉,保證兩側的間距墊片300的厚部 302能夠同時插入或拔出硅片擱置架之間的間隙。以上就是本實用新型的旋轉驅動的變節距夾具,結合圖I所示,其工作方式如下旋動撥桿501,進而驅動兩側的間距墊片300同時旋轉,使得間距墊片的薄部和厚 部可以交替進入硅片擱置板之間的間隙。在起始狀態,間距墊片的薄部位于硅片擱置板之間的間隙中,這時,擱置在硅片擱 置板上的上下硅片之間的距離為4. 05_。通過旋轉,當間距墊片的厚部插入硅片擱置板之間的間隙中吋,這時擱置在硅片 擱置板上的上下硅片之間的距離就變為4. 76mm。再通過旋轉,當間距墊片的薄部位于硅片擱置板之間的間隙吋,這時擱置在硅片 擱置板上的上下硅片之間的距離又變回4. 05mm。通過上述詳細描述,可以看出,本實用新型的旋轉驅動的變節距夾具可以快速變 換硅片之間的間距,從而能夠實現快速、平穩、方便地在兩種不同節距載具間進行倒片。
權利要求1.一種旋轉驅動的變節距夾具,其特征在于包括由頂板、底板以及兩側板圍成的框架、位于框架內的沿兩側板內表面能夠上下滑動的多層硅片擱置板以及兩根撥桿,所述多層硅片擱置板之間具有間隙,每層間隙兩端均設有間距墊片;所述間距墊片首端為薄部,尾端為厚部,中間為漸變斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述間隙中;每 >根撥桿依次穿過同一側的所有間距墊片的卡孔。
2.根據權利要求1所述的旋轉驅動的變節距夾具,其特征在于所述兩根撥桿由同步帶進行連接。
3.根據權利要求1所述的旋轉驅動的變節距夾具,其特征在于所述卡孔和所述撥桿的截面均為方形。
4.根據權利要求1所述的旋轉驅動的變節距夾具,其特征在于所述側板內表面具有兩道豎向的滑槽,所述硅片擱置板兩端分別具有兩個位于所述滑槽內的凸出滑塊。
5.根據權利要求1所述的旋轉驅動的變節距夾具,其特征在于所述硅片擱置板具有掏空區域。
專利摘要本實用新型公開了一種旋轉驅動的變節距夾具,包括由頂板、底板以及兩側板圍成的框架、位于框架內的沿兩側板內表面能夠上下滑動的多層硅片擱置板以及兩根撥桿,所述多層硅片擱置板之間具有間隙,每層間隙兩端均設有間距墊片;所述間距墊片首端為薄部,尾端為厚部,中間為漸變斜面并具有卡孔,所述薄部插入所述間隙中;每根撥桿依次穿過同一側的所有間距墊片的卡孔。本實用新型的旋轉驅動的變節距夾具可以快速變換硅片之間的間距,從而能夠實現快速、平穩、方便地在兩種不同節距載具間進行倒片。
文檔編號H01L21/687GK202839582SQ201220518668
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月11日 優先權日2012年10月11日
發明者朱紹明, 戴軍 申請人:蘇州羅博特科自動化設備有限公司