專利名稱：實現肖特基二極管功能的雙極集成電路結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體技術領域，特別涉及雙極集成電路技術領域，具體是指ー種實現肖特基ニ極管功能的雙極集成電路結構。
背景技術：
利用金屬和半導體整流接觸特性制成的ニ極管稱為肖特基勢壘ニ極管，它和PN結ニ極管具有類似的電流和電壓關系，即它們都有單向導電性。一般采用金屬與輕摻雜的N型硅接觸來制作肖特基ニ極管。該肖特基ニ極管的特性取決于幾個因素，包括金屬組成、 硅摻雜、邊緣效應、退火條件以及是否存在表面污染物等。在雙極集成電路設計中，為了節省成本，需要把一般外接的肖特基ニ極管集成在電路內部，這需要肖特基ニ極管的制造エ藝與雙極集成電路エ藝兼容。在現有技術中，通常采用在N型外延淀積特殊金屬(如鈦，鉬和鈀等)的方法來形成肖特基勢壘，因為在保持低接觸電阻的同時確保了足夠的勢壘高度，且具有穩定性高和重復性好的特點。N型硅構成肖特基ニ極管的陰極，而金屬構成陽扱。此外，肖特基ニ極管需要形成通過厚場氧化層的接觸，而穿透厚場氧化層的接觸刻蝕會使基區接觸和發射區接觸出現過腐蝕。因此，一般需要執行兩步連續的氧化層去除エ藝避免出現過腐蝕現象首先減薄肖特基接觸上的場氧化層厚度，然后再形成實際的接觸孔。這樣制造的肖特基ニ極管需要増加一次光刻。因此，一般雙極エ藝制作高性能的肖特基ニ極管的方法是首先，在刻蝕孔時增加一次肖特基接觸的光刻；然后，在淀積金屬布線時把常用的鋁硅銅濺射換成鈦、鉬和鈀等特殊金屬的濺射。増加光刻次數會帶來芯片成本的上升，而鈦，鉬和鈀等特殊金屬也是價格昂貴。用該方法來制作肖特基ニ極管，エ序復雜，制作的エ藝成本高昂。
實用新型內容本實用新型的目的是克服了上述現有技術中的缺點，提供ー種無需額外的肖特基接觸光刻，也無需采用鈦、鉬和鈀等貴金屬，同時保持這些特殊金屬形成的肖特基勢壘所具有的穩定性和重復性，制造エ藝簡單，生產成本低廉，應用范圍較為廣泛的實現肖特基ニ極管的雙極集成電路結構。為了實現上述的目的，本實用新型的實現肖特基ニ極管功能的雙極集成電路結構包括襯底；分別生成于所述的襯底內的N埋層和P埋層；生成于所述的襯底上的外延層；分別生成于所述的外延層內的上隔離層和深磷層；分別生成于所述的外延層內N阱、基區和P-層；生成于所述的深磷層上的發射區；通過一次蝕刻形成于所述的基區內的肖特基接觸孔；以及通過蒸發鋁形成于所述的肖特基接觸孔內的硅化合物肖特基勢壘層。采用了該實用新型的實現肖特基ニ極管的雙極集成電路結構，其具有利用準等平面エ藝形成的外延層內的N阱、基區和P-層；并具有通過一次蝕刻形成肖特基接觸孔；以及通過蒸發鋁形成于肖特基接觸孔內的硅化合物肖特基勢壘層。從而保證該エ藝無需額外的肖特基接觸光刻，也無需采用鈦、鉬和鈀等貴金屬，同時保持由鈦、鉬和鈀等貴金屬形成的肖特基勢壘所具有的穩定性和重復性，與通用的雙極集成電路生產工藝兼容，且本實用新型的實現肖特基二極管的雙極集成電路結構的生產工藝流程簡單，生產成本低廉，應用范圍也較為廣泛。
圖I為本實用新型的實現肖特基二極管功能的雙極集成電路結構的截面圖。圖2為采用本實用新型的實現肖特基二極管功能的雙極集成電路結構的制造方法步驟流程圖。圖3為本實用新型電路結構的制造方法在實際應用中的的步驟流程示意圖。
具體實施方式
為了能夠更清楚地理解本實用新型的技術頁面，特舉以下實施例詳細說明。 請參閱圖I所示，為本實用新型的實現肖特基二極管功能的雙極集成電路結構截面圖。在一種實施方式中，該實現肖特基二極管功能的雙極集成電路結構，如圖I所示，包括襯底；分別生成于所述的襯底內的N埋層和P埋層；生成于所述的襯底上的外延層；分別生成于所述的外延層內的上隔離層和深磷層；分別生成于所述的外延層內N阱、基區和P-層；生成于所述的深磷層上的發射區；通過一次蝕刻形成于所述的基區內的肖特基接觸孔；以及通過蒸發鋁形成于所述的肖特基接觸孔內的硅化合物肖特基勢壘層。為本實用新型的實現肖特基二極管功能的雙極集成電路的制造方法，如圖2所示，包括以下步驟(I)生成襯底、襯底內的N埋層和P埋層、襯底上的外延層以及外延層內的上隔離層和深磷層；(2)利用準等平面工藝形成所述外延層內的N阱、基區和P-層，并退火；(3)通過預淀積和再擴散生成深磷層上的發射區；(4)通過一次蝕刻形成位于所述的基區內的肖特基接觸孔；( 5 )蒸發鋁，在所述的肖特基接觸孔內形成硅化合物肖特基勢壘層。優選的，所述的步驟(I)具體包括以下步驟(11)選用P型硅制備襯底，所述襯底的晶向為〈111〉，電阻率為25Q cm 50 Q cm ;(12)在襯底上生長一層厚度7000 A的氧化層，然后進行N埋層光刻、腐蝕，再進行磷淀積擴散，形成N埋層，所選用的磷的濃度P S為18 25 Q / □，結深XjN+為4 y m ;(13)在襯底上生長一層厚度1200A的薄氧化層，然后帶膠進行硼注入，注入能量為80kev，注入劑量為2. 4E14,去膠，退火形成P埋層；(14)在襯底上生長一層厚度為15 ii m的外延層,所述的外延層電阻率為4 Q ^cm 5 Q cm ；(15)在襯底上生長一層厚度為5000 A的氧化層，然后進行深磷光刻、腐蝕，再進行深磷預淀積和擴散，形成深磷層；(16)在襯底上生長一層厚度為5000 A的氧化層，然后進行隔離光刻、腐蝕，再進行隔離CVD和再擴散形成上隔離層，所述的隔離CVD濃度P s為3 5. 5 Q / ロ。進ー步優選的，所述的步驟(2)具體包括以下步驟(21)去除所述的步驟(12) (16)中生成的氧化層；(22)在所述的襯底上生長ー層厚度為500 4的薄氧化層用作注入遮擋層；(23)進行N阱光刻，而后進行N阱帶膠注入；(24)進行基區光刻，而后進行基區帶膠注入；(25)進行P-層光刻，而后進行P-層帶膠注入；(26)去膠；·(27) ニ氧化硅 CVD;(28)達到1200°C后，退火30分鐘。更進ー步優選的，所述的步驟(3)具體包括以下步驟(31)在所述的深磷層上進行光刻和腐蝕；(32)進行預淀積；(33)再擴散形成N+發射區，作為肖特基ニ極管陰極歐姆接觸區域。更優選的，所述的步驟(5)具體包括以下步驟(51)在所述的肖特基接觸孔內，蒸發形成厚度為2.5 厚的鋁層；(53)進行鋁光刻；(54)干法腐蝕形成芯片器件連接布線，并作為肖特基ニ極管的陽極；(55)進行合金和鈍化工序，形成肖特基ニ極管。在實際應用中，本實用新型制作肖特基ニ極管時對雙極エ藝的改進思路是首先，采用準等平面技術，盡可能的減小氧化層臺階和厚度，這樣在刻蝕氧化層時，即使沒有額外的肖特基接觸光刻也能保證基區接觸和發射區接觸不會過腐蝕，因此僅需一次孔刻蝕就可以達到一般需兩次刻蝕的效果。其次，采用純鋁蒸發エ藝，而非鋁硅銅濺射エ藝，通過鋁與輕摻雜N型硅形成肖特基勢壘。由于鋁層較厚，同時是通過高溫蒸發エ藝形成的，保證了鋁與硅接觸形成的肖特基勢壘的穩定性和重復性。具體如圖3所示，包括以下步驟第一歩，使用常規雙極エ藝形成N埋、P埋、外延、上隔離和深磷等エ藝層次。第二歩，使用準等平面技木，帶膠注入N阱、基區和P-等層次，并退火。第三歩，發射區預淀積和再擴散。第四歩，孔和肖特基接觸刻蝕。第五歩，純鋁蒸發，形成硅化合物的肖特基勢壘。本實用新型的進ー步改進是第二步在去除氧化層后不先生長厚的場氧化層，而是生長ー層500 A的薄氧化層，然后帶膠注入N阱，P+，P-和基區等層次，這ー過程為準等平面技術，具有氧化層臺階小，エ序簡單的特點。由于第二步的エ藝改進，在第四步孔刻蝕時就僅需有一次刻蝕就能將肖特基接觸刻蝕出來。第五步中采用純鋁蒸發而非常規雙極エ藝中的鋁硅銅濺射。實際的生產流程包括以下步驟(I)硅襯底制備選用P型硅，晶向〈111〉，電阻率為25 50Q. cm。(2) N埋層形成先生長ー層7000 A的氧化層，然后進行N埋層光刻、腐蝕，再進行磷淀積擴散，選用的磷濃度P S為18 25 Q / □，結深XjN+為4 m。[0055](3)P埋形成薄氧氧化生成1200A的氧化層，然后帶膠進行硼注入，注入能量為80kev,注入劑量為2. 4E14,隨后去膠，退火形成P埋層次。(4)外延生長一層厚度為15 U m,電阻率約4 5 Q cm的外延層。(5)深磷形成先生長一層5000 A的氧化層，然后進行深磷光刻、腐蝕，再進行深磷預淀積和擴散形成深磷層次。(6)隔離形成先生長一層5000 A的氧化層，然后進行隔離光刻、腐蝕，再進行隔尚CVD和再擴散形成隔尚。隔尚CVD濃度ps:3 5. 5Q/IZI。(7)準等平面技術先去除以上層次形成的氧化層，再升長一層500 A的薄氧化層用作注入遮擋層，然后進行N阱、基區和P-等層次的帶膠注入，然后進行退火，退火條件是1200°C，30分鐘。具體實施步驟如下薄氧化層一〉N阱光刻一〉N阱注入一〉基區光刻一〉基區注入一〉P-光刻一〉P-注入一〉去膠一〉Si02CVD—〉退火。·(8)發射區形成通過發射區光刻、腐蝕，然后發射區預淀積，發射區再擴散形成發射區N+區域。也是肖特基二極管陰極歐姆接觸區域。 (9)孔和肖特基接觸形成由于前面的準等平面工藝，使場氧化層的臺階有了明顯改善，這樣在刻蝕孔時只要刻蝕一次就可以把肖特基接觸也很好的刻蝕出來，而如果常規雙極工藝，則肯定需要兩次光刻才可以把肖特基接觸高質量的刻蝕出來。(10)金屬鋁形成采用鋁蒸發工藝，蒸發一層2. 5 厚的鋁層。隨后進行鋁光刻、干法腐蝕形成芯片器件連接的布線，同時也是肖特基二極管的陽極。最后經合金和鈍化工序后，整個高性能的肖特基二極管就制作完成。本實用新型制作肖特基二極管的工藝是在標準雙極工藝上進行了改進，因此也是制作雙極集成電路的工藝。與一般的雙極工藝制作肖特基二極管的主要區別是進行N阱，基區，P-等有源區形成是通過準等平面技術實現的，主要是通過薄氧化層做遮擋層，進行一次帶膠注入。而一般工藝都是通過先長厚場氧化層，通過場氧化層做遮蔽層，非帶膠注入。因此，本實用新型的氧化層臺階小(基本沒有)，故在刻蝕孔時(即刻蝕氧化層)可以一次刻蝕就把肖特基接觸也刻蝕的很完美，也就是可以把肖特基接觸刻蝕等同于孔刻蝕。本實用新型在制作肖特基二極管的勢壘時，采用純鋁蒸發工藝，通過這層2. 5 y m厚的鋁與硅表面反應，形成鋁硅化合物。這種鋁硅化合物用作肖特基勢壘，替代鈦，鉬和鈀等特殊金屬與硅形成的硅化物作的肖特基勢壘。一般情況下，如果采用鋁硅銅濺射形成的硅化物作肖特基勢壘的特性比鈦，鉬和鈀等特殊金屬與硅形成的硅化物作的肖特基勢壘的特性差很多，主要是濺射鋁與硅反應一致性差，覆蓋肖特基接觸表面致密性差，硅表面容易有污染物，讓肖特基接觸的有效面積大為減小。故這種工藝制作的肖特基二極管正向壓降大，與鈦，鉬和鈀等特殊金屬制作的有明顯差距。但本實用新型采用2. 5 厚的純鋁蒸發工藝，雜質少，鋁與硅反應穩定，形成的硅化物均勻覆蓋住肖特基接觸孔，性能十分接近鈦，鉬和鈀等特殊金屬制作的肖特基二極管。采用了該實用新型的實現肖特基二極管的雙極集成電路結構，其具有利用準等平面工藝形成的外延層內的N阱、基區和P-層；并具有通過一次蝕刻形成肖特基接觸孔；以及通過蒸發鋁形成于肖特基接觸孔內的硅化合物肖特基勢壘層。從而保證該工藝無需額外的肖特基接觸光刻，也無需采用鈦、鉬和鈀等貴金屬，同時保持由鈦、鉬和鈀等貴金屬形成的肖特基勢壘所具有的穩定性和重復性，與通用的雙極集成電路生產工藝兼容，且本實用新型的實現肖特基ニ極管的雙極集成電路結構的生產エ藝流程簡單，生產成本低廉，應用范圍也較為廣泛。在此說明書中，本實用新型已參照其特定的實施例作了描述。但是，很顯然仍可以作出各種修 改和變換而不背離本實用新型的精神和范圍。因此，說明書和附圖應被認為是說明性的而非限制性的。
權利要求1.一種實現肖特基二極管功能的雙極集成電路結構，其特征在于，所述的雙極集成電路結構包括 襯底； N埋層和P埋層，分別生成于所述的襯底內； 外延層，生成于所述的襯底上； 上隔離層和深磷層，分別生成于所述的外延層內； N阱、基區和P-層，分別生成于所述的外延層內； 發射區，生成于所述的深磷層上； 肖特基接觸孔，通過一次蝕刻形成于所述的基區內；以及 硅化合物肖特基勢壘層，通過蒸發鋁形成于所述的肖特基接觸孔內。
專利摘要本實用新型涉及一種實現肖特基二極管的雙極集成電路結構，屬于半導體技術領域。該實用新型的雙極集成電路結構，其具有利用準等平面工藝形成的外延層內的N阱、基區和P-層；并具有通過一次蝕刻形成肖特基接觸孔；以及通過蒸發鋁形成于肖特基接觸孔內的硅化合物肖特基勢壘層。從而保證該工藝無需額外的肖特基接觸光刻，也無需采用鈦、鉑和鈀等貴金屬，同時保持由鈦、鉑和鈀等貴金屬形成的肖特基勢壘所具有的穩定性和重復性，與通用的雙極集成電路生產工藝兼容，且本實用新型的實現肖特基二極管的雙極集成電路結構的生產工藝流程簡單，生產成本低廉，應用范圍也較為廣泛。
文檔編號H01L29/872GK202772141SQ201220504000
公開日2013年3月6日 申請日期2012年9月27日 優先權日2012年9月27日
發明者陳冠峰, 張驍宇, 卜慧琴 申請人:無錫華潤矽科微電子有限公司