專利名稱：基于mems的多通道可調(diào)諧光纖激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光器,具體涉及一種基于微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystems) MEMS的多通道可調(diào)諧光纖激光器。
背景技術(shù)：
隨著激光技術(shù)在通信、傳感、生物醫(yī)學(xué)、儀器測試、自動(dòng)控制等領(lǐng)域的大力發(fā)展，人們對(duì)可調(diào)諧激光器的需求增長迅速。這類激光器不但可以代替多個(gè)固定波長激光器以節(jié)省成本，還在諸多新型激光系統(tǒng)中發(fā)揮著不可替代的作用。例如在光通信密集波分復(fù)用系統(tǒng)中，采用多通道多波長可調(diào)諧激光器將大大降低系統(tǒng)的運(yùn)營成本和備份成本。此外，這類可調(diào)諧激光器還可實(shí)現(xiàn)全光波長變換、波長路由、光包交換以及基于波長的個(gè)人虛擬網(wǎng)絡(luò)等功能，為網(wǎng)絡(luò)帶來前所未有的靈活性和動(dòng)態(tài)性能。因此多波長調(diào)諧、多通道輸出的高性能價(jià)格比的可調(diào)諧激光器成為人們的研究熱點(diǎn)。近年來，世界各著名公司和研究機(jī)構(gòu)如美國IPG、英國SPI、加拿大NortelNetworks、Stanford大學(xué)，Bell實(shí)驗(yàn)室等積極開展可調(diào)諧光纖激光器的研發(fā)工作。2010年美國IPG公司因掌握核心技術(shù)，研發(fā)的各類光纖激光器在市場份額中占70%，英國SPI激光器公司和德國的IPHT公司也是重要光纖激光器供應(yīng)商，隨后美國相干、德國羅芬等激光器巨頭也紛紛涌入。目前，人們對(duì)多通道波長可調(diào)諧光纖激光器的研究主要集中在如何獲得穩(wěn)定、波長可連續(xù)調(diào)諧、波長間隔可控、輸出波長數(shù)目足夠多且各波長功率均衡的多波長激射。為實(shí)現(xiàn)以上要求，國內(nèi)外研究者對(duì)多波長調(diào)諧技術(shù)進(jìn)行了大量的研究，提出了諸多方法來實(shí)現(xiàn)，包括光纖布拉格光柵(高雙折射光纖上寫入布拉格光柵，取樣布拉格光柵，少量模光纖光柵等)、光纖型法布里-玻羅腔、聲光可調(diào)光學(xué)濾波器、高雙折射薩格納克(Sagnac)光纖環(huán)鏡干涉儀和基于光波導(dǎo)的馬赫-曾德爾(Mach-Zehnder)干涉儀等。現(xiàn)有調(diào)諧技術(shù)存在的問題和不足之處在于(I)采用光纖布拉格光柵需要通過熱效應(yīng)或者外加應(yīng)力來實(shí)現(xiàn)波長調(diào)諧，因此激光器易受環(huán)境因素的干擾，導(dǎo)致其封裝成本很高，另外波長調(diào)節(jié)范圍也有限；(2)光纖型法布里-玻羅腔在實(shí)現(xiàn)單波長調(diào)諧過程中需要把法布里-玻羅F-P腔的自由光譜范圍設(shè)為激光器的可調(diào)諧范圍，否則易出現(xiàn)多縱模起振，這就需要另一個(gè)選頻元件來選擇其中的單縱模，然而，前者的F-P腔長必須做得很短，從而導(dǎo)致光學(xué)濾波效果差，影響激光器的性能，后者需要附加額外的選頻元件，增加器件成本；(3)光纖聲光可調(diào)光學(xué)濾波器在聲光轉(zhuǎn)換過程中會(huì)產(chǎn)生微小頻移，另外聲光轉(zhuǎn)換對(duì)偏振敏感也難以克服；(4)基于Sagnac環(huán)形腔和Mach-Zehnder干涉儀等需要克服外界環(huán)境因素導(dǎo)致的波長漂移；(5)電液晶調(diào)制器也是常用的調(diào)諧元件，不足之處表現(xiàn)為偏振相關(guān)性等方面。
實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)目前可調(diào)諧激光器在調(diào)諧性、靈活性、穩(wěn)定性、調(diào)諧范圍、多波長功率均衡性等方面的不足，本實(shí)用新型提出一種基于微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystems)MEMS的多通道波長寬帶可調(diào)諧光纖激光器。該激光器的核心器件MEMS處理器是一種利用微精細(xì)加工的超大規(guī)模集成電路，即處理器的芯片上集成超過10萬個(gè)元件數(shù)。通過在芯片上施加尋址電壓，驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)元件(像素)特性發(fā)生變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)光波的有效調(diào)制，從而達(dá)到在放大器的整個(gè)增益譜范圍內(nèi)任意調(diào)諧一個(gè)或者多個(gè)波長的目的。本實(shí)用新型的目的在于提供一種基于MEMS的多通道可調(diào)諧光纖激光器。本實(shí)用新型的基于MEMS的多通道可調(diào)諧光纖激光器包括n個(gè)光纖光學(xué)模塊和一個(gè)體光學(xué)模塊；n個(gè)光纖光學(xué)模塊中的每一個(gè)包括光纖放大器、光纖耦合器、光纖和雙尾纖準(zhǔn)直器，η個(gè)雙尾纖準(zhǔn)直器構(gòu)成雙尾纖準(zhǔn)直器陣列；體光學(xué)模塊包括第一透鏡、光柵、第二透鏡和MEMS處理器，MEMS處理器為設(shè)置有MEMS芯片的超大規(guī)模集成電路，MEMS芯片上集成有像素陣列，并與η個(gè)雙尾纖準(zhǔn)直器相對(duì)應(yīng)地劃分為η個(gè)工作區(qū)；其中，η個(gè)光纖光學(xué)模塊中的每一個(gè)光纖放大器發(fā)出自發(fā)輻射譜，分別經(jīng)光纖耦合器，一小部分的光作為激光輸出，大部分的光通過光纖進(jìn)入雙尾纖準(zhǔn)直器，入射光隨后經(jīng)過第一透鏡聚焦至光柵上，在一級(jí)衍射方向上發(fā)生空間色散，該色散光通過第二透鏡平行照射在MEMS芯片的相對(duì)應(yīng)的工作區(qū)，且不同波長的光落在工作區(qū)的不同的像素的區(qū)域，通過分別對(duì)每個(gè)工作區(qū)的某區(qū)域的像素加載尋址電壓，驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的像素的特性發(fā)生變化，構(gòu)成二維“閃耀”光柵，使得落在該區(qū)域的像素上的對(duì)應(yīng)波長的光發(fā)生衍射，并調(diào)整MEMS處理器的偏轉(zhuǎn)方向，確保衍射光分別沿原路返回耦合入與工作區(qū)相對(duì)應(yīng)的準(zhǔn)直器的另一個(gè)光纖中，經(jīng)過光纖放大器的增益和多次循環(huán)之后輸出高品質(zhì)的單模激光，其中，η為自然數(shù)且η >2。本實(shí)用新型在結(jié)構(gòu)中摒棄了常見的多通道光纖激光器內(nèi)部由多個(gè)獨(dú)立激光器簡單組合的笨拙方案，巧妙地采用多個(gè)光纖光學(xué)模塊共享同一個(gè)體光學(xué)模塊，實(shí)現(xiàn)僅利用一塊MEMS處理器同時(shí)獨(dú)立調(diào)諧多路激光輸出的目的。下面以其中的第m路激光通道為例說明本實(shí)用新型的工作原理，其中，m為自然數(shù)，且Iη。第m光纖放大器發(fā)出自發(fā)輻射譜，經(jīng)第m光纖耦合器，一小部分的光作為激光輸出，大部分的光通過第m光纖進(jìn)入第m雙尾纖準(zhǔn)直器，入射光隨后經(jīng)過第一透鏡聚焦至光柵上，在一級(jí)衍射方向上發(fā)生空間色散，該色散光通過第二透鏡平行照射在MEMS芯片的第m工作區(qū)，且自發(fā)輻射譜中的不同波長的光落在第m工作區(qū)的不同的像素的區(qū)域。若控制第m路激光通道輸出波長為λπ，則對(duì)第m工作區(qū)的與λ m相應(yīng)的像素加載尋址電壓，驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的像素的特性發(fā)生變化，構(gòu)成二維“閃耀”光柵，使得落在該區(qū)域的像素上的對(duì)應(yīng)波長λ m的光發(fā)生衍射，并調(diào)整MEMS處理器的偏轉(zhuǎn)方向，確保衍射光沿原路返回耦合入與第m工作區(qū)相應(yīng)的第m準(zhǔn)直器的另一個(gè)光纖中，經(jīng)過第m光纖放大器的增益和多次循環(huán)之后輸出高品質(zhì)的波長為λ m的單模激光。多路激光通道的工作原理與單路激光通道的工作原理相同，利用MEMS處理器的多通道多波長獨(dú)立調(diào)諧功能，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中利用多個(gè)光纖光學(xué)模塊共享同一個(gè)體光學(xué)模塊，有利于本實(shí)用新型向集成化、小型化、高精度、多功能方向發(fā)展。整個(gè)實(shí)驗(yàn)對(duì)環(huán)境的要求不高，操作簡單，易于產(chǎn)品化。雙尾纖準(zhǔn)直器陣列與第一透鏡以及第一透鏡與光柵的中心的距離均為第一透鏡的焦距；光柵的中心與第二透鏡以及第二透鏡與MEMS芯片之間的距離均為第二透鏡的焦距。進(jìn)一步，η個(gè)光纖光學(xué)模塊中的元件采用保偏元件，即η個(gè)光纖光學(xué)模塊中的每一個(gè)包括保偏光纖放大器、保偏光纖稱合器、保偏光纖和保偏雙尾纖準(zhǔn)直器，η個(gè)保偏雙尾纖準(zhǔn)直器構(gòu)成保偏雙尾纖準(zhǔn)直器陣列。采用保偏元件一方面確保線偏振激光的輸出，另一方面明顯提高整個(gè)系統(tǒng)的信號(hào)穩(wěn)定性。光柵的水平旋轉(zhuǎn)角位于一級(jí)衍射光在近似閃耀條件下，衍射效率最大的位置上。本實(shí)用新型的主要特點(diǎn)是(I)可同時(shí)輸出多個(gè)波長通道的激光，每個(gè)通道的激光波長均可在光纖放大器發(fā)出的波段內(nèi)連續(xù)可調(diào)，各通道之間獨(dú)立開關(guān)控制；(2)各通道的輸出波長和輸出功率均可同時(shí)獨(dú)立進(jìn)行本地或遠(yuǎn)程軟件調(diào)諧；(3)可獲得穩(wěn)定而嚴(yán)格的線偏振激光輸出；(4)各波長通道的信號(hào)線寬50pm，邊模抑制比SMSR均超過50dB ；(5)激光最大輸出功率10mW，功率調(diào)諧精度O. 02mff,波長調(diào)諧精度O. Olnm,在長期連續(xù)工作情況下的波長穩(wěn)定性優(yōu)于O. 02nm,功率穩(wěn)定性優(yōu)于O. 02dBm。本實(shí)用新型的有益效果(I)首次提出利用MEMS處理器作為光纖激光器的波長調(diào)諧元件，利用MEMS芯片的像素陣列對(duì)光束的高效率衍射來實(shí)現(xiàn)波長調(diào)諧過程，具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠、調(diào)諧快速靈活、功能模塊化、低驅(qū)動(dòng)電壓等諸多優(yōu)勢；(2)利用先進(jìn)的MEMS處理器，通過巧妙光學(xué)設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)無交叉串?dāng)_的多通道單波長或者單通道多波長的激光出射，并且激光輸出具有多波長間隔任意可調(diào)，各波長功率獨(dú)立可控，波長與通道開關(guān)不影響其他波長激射等特點(diǎn)；(3)激光器采用全保偏設(shè)計(jì)，在保證輸出激光具有良好線偏振特性的同時(shí)，大幅度提高了整機(jī)的長期工作穩(wěn)定性；(4)多通道光纖激光器在設(shè)計(jì)中摒棄了常見的多通道激光器內(nèi)部由多個(gè)獨(dú)立激光器簡單組合的笨拙方案，巧妙地采用多個(gè)光纖模塊共享同一個(gè)體光學(xué)模塊，實(shí)現(xiàn)僅利用一塊MEMS芯片調(diào)諧多通道激光的目的，并具備各通道之間獨(dú)立開關(guān)控制等功能；(5)相比較于科研和工程上常見的可調(diào)諧激光器，本實(shí)用新型有利于向集成化、小型化、高精度、多功能方向發(fā)展，整個(gè)實(shí)驗(yàn)對(duì)環(huán)境的要求不高，操作簡單，易于產(chǎn)品化。
圖I為本實(shí)用新型的基于MEMS的多通道連續(xù)可調(diào)諧光纖激光器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的保偏摻鉺光纖放大器發(fā)出的C波段自發(fā)輻射譜與開環(huán)下MEMS處理器的選頻譜；圖3本實(shí)用新型的基于MEMS的多通道連續(xù)可調(diào)諧光纖激光器的一個(gè)實(shí)施例在C波段內(nèi)輸出的可調(diào)諧激光信號(hào)的光強(qiáng)的曲線圖；圖4本實(shí)用新型的基于MEMS的多通道連續(xù)可調(diào)諧光纖激光器的一個(gè)實(shí)施例的輸出信號(hào)I小時(shí)內(nèi)的波長穩(wěn)定性和功率穩(wěn)定性的散點(diǎn)圖。
具體實(shí)施方式
[0033]
以下結(jié)合附圖，通過實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。 在本實(shí)施例中，本實(shí)用新型的基于MEMS的多通道可調(diào)諧光纖激光器包括三個(gè)光纖光學(xué)模塊和一個(gè)體光學(xué)模塊。三個(gè)光纖光學(xué)模塊中的每一個(gè)包括光纖放大器I、光纖耦合器2、光纖3和雙尾纖準(zhǔn)直器，三個(gè)雙尾纖準(zhǔn)直器構(gòu)成雙尾纖準(zhǔn)直器陣列4 ;體光學(xué)模塊包括第一透鏡5、光柵6、第二透鏡7和MEMS處理器8，MEMS處理器為設(shè)置有MEMS芯片的超大規(guī)模集成電路，MEMS芯片上集成有像素陣列，并與三個(gè)雙尾纖準(zhǔn)直器相對(duì)應(yīng)地劃分為三個(gè)工作區(qū)，如圖I所示。其中，三個(gè)光纖光學(xué)模塊中的兀件均米用保偏兀件，即保偏摻鉺光纖放大器I、保偏光纖稱合器2、保偏光纖3和保偏雙尾纖準(zhǔn)直器陣列4。保偏摻鉺光纖放大器I發(fā)出C波段自發(fā)輻射譜，波長范圍153(Tl560nm，飽和輸出功率20dBm，輸出偏振消光比20dB。保偏光纖稱合器2的分光比為90:10。保偏光纖3米用熊貓型保偏光纖。第一透鏡5和第二透鏡7均采用紅外增透雙膠合透鏡，第一透鏡5的焦距為100mm，第二透鏡7的焦距為75mm。光柵6采用1200線/mm的紅外波段的閃耀刻劃光柵。MEMS處理器8的設(shè)置為O. 5英寸、1024 X 768個(gè)像素并鍍紅外增透膜。下面以其中一路激光通道為例對(duì)本實(shí)施例的實(shí)施進(jìn)行說明。保偏摻鉺光纖放大器I發(fā)出C波段自發(fā)輻射譜，通過保偏光纖耦合器2，其中10%的光作為激光輸出，90%的光通過保偏光纖3和保偏雙尾纖準(zhǔn)直器陣列4進(jìn)入體光學(xué)模塊。實(shí)驗(yàn)中通過旋轉(zhuǎn)保偏光纖3,確保光束在各光纖中的偏振方向一致。從準(zhǔn)直器出射的光束隨后經(jīng)過第一透鏡5聚焦至閃耀刻劃光柵6上，在一級(jí)衍射方向上發(fā)生空間色散。調(diào)節(jié)保偏雙尾纖準(zhǔn)直器陣列4與第一透鏡5以及第一透鏡5與閃耀刻劃光柵的中心6的距離，確保兩器件之間的距離均為第一透鏡5的焦距100mm。微調(diào)閃耀刻劃光柵6的水平旋轉(zhuǎn)角，使得一級(jí)衍射光在滿足近似閃耀條件下，衍射效率最大。調(diào)節(jié)閃耀刻劃光柵中心6與第二透鏡7以及第二透鏡7與MEMS處理器8之間的距離，確保相鄰兩器件之間距離均為第二透鏡7的焦距75mm。該色散光通過第二透鏡7平行照射到MEMS處理器8的MEMS芯片的與該路激光通道相對(duì)應(yīng)的工作區(qū)。自發(fā)輻射譜中不同波長的光落在MEMS芯片的與該路通道相對(duì)應(yīng)的工作區(qū)上不同的像素的區(qū)域。通過對(duì)某區(qū)域的像素加載尋址電壓，驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)像素的特性發(fā)生變化，構(gòu)成二維“閃耀”光柵，使得落在該區(qū)域像素上的對(duì)應(yīng)的波長的光發(fā)生一級(jí)衍射。實(shí)驗(yàn)中，MEMS處理器固定于三維微動(dòng)螺旋調(diào)節(jié)架上，通過微調(diào)處理器的偏轉(zhuǎn)方向，一方面確保多通道衍射光全部無重疊均勻分布在MEMS芯片的有效的工作區(qū)，另一方面入射光經(jīng)過MEMS芯片上對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)像素的調(diào)制后，微調(diào)MEMS處理器的傾角，使得在近似閃耀條件下，多路在相應(yīng)的工作區(qū)發(fā)生一級(jí)衍射的光均近似沿原路返回雙尾纖準(zhǔn)直器陣列的相對(duì)應(yīng)的準(zhǔn)直器的光纖中，再次進(jìn)入光纖光學(xué)模塊，經(jīng)過保偏摻鉺光纖放大器I的增益和多次循環(huán)之后輸出高品質(zhì)的單模偏振激光。圖2為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的保偏摻鉺光纖放大器發(fā)出的C波段自發(fā)輻射譜與開環(huán)下MEMS處理器的選頻譜，圖中的虛線代表C波段(1530-1560nm)的自發(fā)輻射譜，實(shí)線代表開環(huán)下(即環(huán)形腔非閉合時(shí))MEMS處理器的選頻譜。圖3為閉環(huán)下單通道激光輸出信號(hào)，信號(hào)線寬50pm，邊模抑制比超過50dB，其中，圖3(a)為可調(diào)諧光纖激光器在粗調(diào)下的輸出信號(hào)，信號(hào)可從1530nm調(diào)諧至1560nm，圖3 (b)為細(xì)調(diào)下的輸出信號(hào)，調(diào)諧精度O. Olnm。實(shí)驗(yàn)中，MEMS芯片上工作區(qū)的不同位置處的像素對(duì)應(yīng)不同波長的光。通過給不同像素加載驅(qū)動(dòng)電壓，從而使該像素的區(qū)域所對(duì)應(yīng)的波長發(fā)生衍射，并返回到像素所在的工作區(qū)所對(duì)應(yīng)的準(zhǔn)直器中，從而對(duì)應(yīng)的通道輸出此波長的單色激光，可以實(shí)現(xiàn)調(diào)諧激光輸出波長的目的。在長期連續(xù)工作情況下的波長穩(wěn)定性優(yōu)于O. 02nm,功率穩(wěn)定性優(yōu)于O. 02dBm，如圖4所示。路激光通道的工作原理與單路激光通道的工作原理相同利用MEMS處理器的多通道多波長獨(dú)立調(diào)諧功能，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中利用多個(gè)光纖光學(xué)模塊共享同一個(gè)體光學(xué)模塊，有利于本實(shí)用新型向集成化、小型化、高精度、多功能方向發(fā)展。整個(gè)實(shí)驗(yàn)對(duì)環(huán)境的要求不高，操作簡單，易于產(chǎn)品化。最后應(yīng)說明的是雖然本說明書通過具體的實(shí)施例詳細(xì)描述了本實(shí)用新型使用的參數(shù)和結(jié)構(gòu)，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，本實(shí)用新型的實(shí)現(xiàn)方式不限于實(shí)施例的描述范圍，在不脫離本實(shí)用新型實(shí)質(zhì)和精神范圍內(nèi)，可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種修改和替換，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍視權(quán)利要求范圍所界定。
權(quán)利要求1.一種多通道可調(diào)諧光纖激光器，其特征在于，所述激光器包括n個(gè)光纖光學(xué)模塊和一個(gè)體光學(xué)模塊；η個(gè)光纖光學(xué)模塊中的每一個(gè)包括光纖放大器(I)、光纖耦合器(2)、光纖(3)和雙尾纖準(zhǔn)直器，η個(gè)雙尾纖準(zhǔn)直器構(gòu)成雙尾纖準(zhǔn)直器陣列(4);體光學(xué)模塊包括第一透鏡(5 )、光柵(6 )、第二透鏡(7 )和MEMS處理器(8 )，MEMS處理器(8 )為設(shè)置有MEMS芯片的超大規(guī)模集成電路，MEMS芯片上集成有像素陣列，并與η個(gè)雙尾纖準(zhǔn)直器相對(duì)應(yīng)地劃分為η個(gè)工作區(qū)；其中，η個(gè)光纖光學(xué)模塊中的每一個(gè)光纖放大器(I)發(fā)出自發(fā)輻射譜，分別經(jīng)光纖耦合器(2)，一小部分的光作為激光輸出，大部分的光通過光纖(3)進(jìn)入雙尾纖準(zhǔn)直器，入射光隨后經(jīng)過第一透鏡(5)聚焦至光柵(6)上，在一級(jí)衍射方向上發(fā)生空間色散，該色散光通過第二透鏡(7)平行照射在MEMS芯片的相對(duì)應(yīng)的工作區(qū)，且不同波長的光落在工作區(qū)的不同的像素的區(qū)域，通過分別對(duì)每個(gè)工作區(qū)的某區(qū)域的像素加載尋址電壓，驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的像素的特性發(fā)生變化，構(gòu)成二維“閃耀”光柵，使得落在該區(qū)域的像素上的對(duì)應(yīng)波長的光發(fā)生衍射，并調(diào)整MEMS處理器(8)的偏轉(zhuǎn)方向，確保衍射光分別沿原路返回耦合入與工作區(qū)相對(duì)應(yīng)的準(zhǔn)直器的另一個(gè)光纖中，經(jīng)過光纖放大器的增益和多次循環(huán)之后輸出高品質(zhì)的單模激光，其中，η為自然數(shù)且η>2。
2.如權(quán)利要求I所述的激光器，其特征在于，所述雙尾纖準(zhǔn)直器陣列(4)與第一透鏡(5)以及第一透鏡(5)與光柵(6)的中心的距離均為第一透鏡的焦距。
3.如權(quán)利要求I所述的激光器，其特征在于，所述光柵(6)的中心與第二透鏡(7)以及第二透鏡(7)與MEMS芯片之間的距離均為第二透鏡的焦距。
4.如權(quán)利要求I所述的激光器，其特征在于，所述η個(gè)光纖光學(xué)模塊中的元件采用保偏元件，η個(gè)光纖光學(xué)模塊中的每一個(gè)包括保偏光纖放大器、保偏光纖耦合器、保偏光纖和保偏雙尾纖準(zhǔn)直器，η個(gè)保偏雙尾纖準(zhǔn)直器構(gòu)成保偏雙尾纖準(zhǔn)直器陣列。
5.如權(quán)利要求I所述的激光器，其特征在于，所述光柵(6)的水平旋轉(zhuǎn)角位于一級(jí)衍射光在近似閃耀條件下，衍射效率最大的位置上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種基于微機(jī)電系統(tǒng)MEMS的多通道可調(diào)諧光纖激光器。本實(shí)用新型在結(jié)構(gòu)中摒棄了常見的多通道光纖激光器內(nèi)部由多個(gè)獨(dú)立激光器簡單組合的笨拙方案，巧妙地采用多個(gè)光纖光學(xué)模塊共享同一個(gè)體光學(xué)模塊，實(shí)現(xiàn)僅利用一塊MEMS處理器同時(shí)獨(dú)立調(diào)諧多路激光輸出的目的，并有利于本實(shí)用新型向集成化、小型化、高精度、多功能方向發(fā)展。本實(shí)用新型可同時(shí)輸出多個(gè)波長通道的激光，每個(gè)通道的激光波長均可在光纖放大器發(fā)出的波段內(nèi)連續(xù)可調(diào)，各通道之間獨(dú)立開關(guān)控制；各通道的輸出波長和輸出功率均可同時(shí)獨(dú)立進(jìn)行本地或遠(yuǎn)程軟件調(diào)諧。整個(gè)實(shí)驗(yàn)對(duì)環(huán)境的要求不高，操作簡單，易于產(chǎn)品化。
文檔編號(hào)H01S3/10GK202772412SQ201220432980
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月29日
發(fā)明者陳笑, 宋菲君, 陳根祥, 顏玢玢, 桑新柱, 呂敏, 張穎, 肖峰, 卡馬爾, 王義全 申請(qǐng)人:中央民族大學(xué)