專利名稱：一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于非晶/微晶硅疊層薄膜太陽能電池領域，涉及非晶/微晶硅疊層薄膜太陽能電池的組成結構。
背景技術：
世界能源的需求使太陽電池技術得到了迅猛的發展，特別是今天，薄膜太陽能電池應用越來越廣泛，人們為了增加企業的競爭力，在太陽能電池領域開發了很多新的產品，如非晶/微晶硅疊層薄膜太陽能電池，人們對非晶/微晶硅疊層薄膜太陽能電池的背電極的制作工藝一直在摸索中前行，傳統的氧化鋅和金屬復合而成的背電極層的原材料成本還有待降低、且導電性和熱傳導性還有待提高。
發明內容本實用新型為了在現有技術的基礎上降低背電極層的原料成本、及提高背電極的導電性和熱傳導性，設計了一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，本實用新型提供的背電極具有良好的導電性和熱傳導性，且達到了降低原材料的成本的目的。本實用新型采用的技術方案是一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，結構中包括TCO玻璃、非晶硅/微晶硅疊層、背電極層、及背板玻璃，關鍵在于所述的背電極層是由4層金屬膜層組成的復合結構。所述的4層金屬膜層由里到外依次為鈦層、鎳層、銀層、及鎳釩合金層。本實用新型的關鍵在于1)鈦層，由于鈦Ti這種金屬具有好的粘附性，所以用此金屬可起到好的粘附作用，有效地防止膜層脫落；2)鎳層，鎳Ni為過渡金屬；3)銀層，起到增加光的反射；4)鎳釩合金層，主要起到防止銀層被氧化的作用。本實用新型的有益效果是其一、本實用新型中的背電極較傳統的氧化鋅和金屬復合而成的背電極層的原材料成本降低；其二、本實用新型的背電極具有良好的導電性和熱傳導性。
圖I是本實用新型的結構示意圖。附圖中，I是TCO玻璃，2是非晶硅/微晶硅疊層，3是鈦層，4是鎳層、5是銀層，6是鎳f凡合金層。
具體實施方式
一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，結構中包括TCO玻璃I、非晶硅/微晶硅疊層2、背電極層、及背板玻璃，重要的是所述的背電極層是由4層金屬膜層組成的復合結構。所述的4層金屬膜層由里到外依次為鈦層3、鎳層4、銀層5、及鎳釩合金層6。[0012]所述的鈦層3的膜層厚度為95— 120nm。所述的鎳層4的膜層厚度為80 — lOOnm。所述的銀層5的膜層厚度為280— 300nm。所述的鎳鑰;合金層6的膜層厚度為50—60nm。在具體實施時，如圖I所示，在TCO玻璃I上沉積非晶硅/微晶硅疊層2后，再在非晶硅/微晶硅疊層2上依次沉積鈦層3、鎳層4、銀層5、及鎳釩合金層6。其中，沉積鈦層3時的沉積速率15 — 20A/S，膜層厚度為95— 120nm ;之后在鈦層3上沉積鎳層4，沉積速率為5 — 10A/S，膜層厚度為80 — IOOnm ;然后在鎳層4上沉積銀層5，沉積速率為15 — 20A/S，膜層厚度為280— 300nm ;最后在銀層5上沉積一層鎳釩合金層6，沉積速率為5 — 9A/S，膜層厚度為50— 60nm。本實用新型中的背電極鍍膜工藝采用蒸發 的方法進行，可以大大地降低原材料的成本；且該背電極具有良好的導電性和熱傳導性。
權利要求1.一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，結構中包括TCO玻璃(I)、非晶硅/微晶硅疊層(2)、背電極層、及背板玻璃，其特征在于所述的背電極層是由4層金屬膜層組成的復合結構。
2.根據權利要求I所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的4層金屬膜層由里到外依次為鈦層(3)、鎳層(4)、銀層(5)、及鎳釩合金層(6)。
3.根據權利要求2所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的鈦層(3)的膜層厚度為95— 120nm。
4.根據權利要求2所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的鎳層(4)的膜層厚度為80 — lOOnm。
5.根據權利要求2所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的銀層(5)的膜層厚度為280— 300nm。
6.根據權利要求2所述的一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，其特征在于所述的鎳釩合金層(6)的膜層厚度為50— 60nm。
專利摘要一種非晶微晶硅疊層薄膜太陽能電池，結構中包括TCO玻璃、非晶硅/微晶硅疊層、背電極層、及背板玻璃，關鍵在于所述的背電極層是由4層金屬膜層組成的復合結構。本實用新型的有益效果是其一、本實用新型中的背電極較傳統的氧化鋅和金屬復合而成的背電極層的原材料成本降低；其二、本實用新型的背電極具有良好的導電性和熱傳導性。
文檔編號H01L31/0224GK202487592SQ20122013632
公開日2012年10月10日 申請日期2012年4月1日 優先權日2012年4月1日
發明者劉秀, 李兆廷, 王小軍, 邢麗芬, 陳志維 申請人:東旭集團有限公司, 成都泰軼斯太陽能科技有限公司