專利名稱：太陽能電池擴散用石英舟裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能裝置，尤其是涉及一種太陽能電池擴散用石英舟裝置。
背景技術：
現有的太陽能電池擴散用石英舟有102個垂直槽，每個垂直槽放置2片硅片，工業生產采用2舟/次的方式使用，即其裝載量為102X2X2=408片/次，硅片裝載量偏低，使單位硅片的制造成本偏高；而且由于現有擴散石英舟的硅片裝載量與PECVD石墨舟的裝載量不匹配，造成工業化生產中硅片流程混亂，往往在出現異常時不能快速有效地追蹤產品的處理設備，使得產品的優劣不能正確地反饋設備的運行狀況，加大了異常發生和處理時間，給公司造成較大的利潤損失。
發明內容本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種結構簡單、成本低、并能快速推廣應用的太陽能電池擴散用石英舟裝置。為了解決上述技術問題，本實用新型是通過以下技術方案實現的一種太陽能電池擴散用石英舟裝置，包括由石英材料制成的載片體、頂桿、底桿以及腳桿，所述載片體有四根，與所述頂桿、底桿和腳桿合圍成矩形結構。為了能夠固定硅片，進一步地，所述四根載片桿的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽。為了能夠提升擴散方塊電阻均勻性，進一步地，所述垂直槽由采用5°設計的上槽和下槽組成。為了能夠提高石英舟的裝載量，進一步地，所述垂直槽的槽間距為4. 41mm。為了能夠提高石英舟的裝載量，再進一步地，所述垂直槽數量為110個。為了便于石英舟裝卸料，更進一步地，所述頂桿為中空式的。與現有技術相比，本實用新型的有益之處是這種太陽能電池擴散用石英舟裝置實現了石英舟裝載量和PECVD石墨舟的匹配，徹底杜絕了硅片混亂，縮短了異常發生和處理時間，為公司減少了不必要利潤損失，并且降低了單位硅片的制造成本。
以下結合附圖對本實用新型進一步說明。圖I是本實用新型太陽能電池擴散用石英舟裝置截面示意圖；圖2是圖I中A-A剖視圖。圖中1、載片桿；2、頂桿；3、底桿；4、腳桿；5、垂直槽；51、上槽；52、下槽。
具體實施方式
以下結合附圖及具體實施方式
對本實用新型進行詳細描述圖I所示一種太陽能電池擴散用石英舟裝置，包括由石英材料制成的載片體I、頂桿2、底桿3以及腳桿4，所述載片體I有四根，與所述頂桿2、底桿3和腳桿4合圍成矩形結構；為了能夠固定硅片，所述四根載片桿I的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽5，所述垂直槽5由上槽51和下槽52組成，采用5°設計；并且該垂直槽5可以防止在運動中因硅片移位而造成碎片，也防止了因移位而造成擴散方塊電阻的不均勻性，使操作更為簡單、便捷；所述頂桿2采用中空設計，便于石英舟裝卸料操作；腳桿4使石英舟在送入石英管后處于支撐狀態，可起到防止污染的作用，同時有助于腳桿4下部氣體的循環，可進一步提高方塊電阻的均勻性。在基本不影響擴散方塊電阻的基礎上，將現有4. 76mm的石英垂直槽間距優化到4. 41mm ;優化后石英舟有110個垂直槽5，其裝載量為110X 2X2=440片/次，但因熱場和氣流的影響，每個舟的頭尾位置方塊電阻波動較大，為此，通常在這四個位置放置假片來代替硅片，防止了對方塊電阻的影響(假片可重復利用)，所以其裝載量為440-4X2=432片/次，與PECVD石墨舟的裝載量(216 X 2=432片)一致。這種太陽能電池擴散用石英舟裝置實現了石英舟裝載量和PECVD石墨舟的匹配，徹底杜絕了硅片混亂，縮短了異常發生和處理時間，為公司減少了不必要利潤損失；在基本不影響擴散方塊電阻的基礎上，將石英垂直槽間距優化，石英舟的裝載量增大，降低了單位娃片的制造成本。需要強調的是以上僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。
權利要求1.一種太陽能電池擴散用石英舟裝置，其特征在于包括由石英材料制成的載片體(I)、頂桿(2)、底桿(3)以及腳桿(4)，所述載片體(I)有四根，與所述頂桿(2)、底桿(3)和腳桿(4)合圍成矩形結構。
2.根據權利要求I所述的太陽能電池擴散用石英舟裝置，其特征在于所述四根載片桿(I)的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽(5)。
3.根據權利要求2所述的太陽能電池擴散用石英舟裝置，其特征在于所述垂直槽(5)由采用5°設計的上槽(51)和下槽(52)組成。
4.根據權利要求2所述的太陽能電池擴散用石英舟裝置，其特征在于所述垂直槽(5)的槽間距為4. 41mm。
5.根據權利要求2所述的太陽能電池擴散用石英舟裝置，其特征在于所述垂直槽(5)數量為110個。
6.根據權利要求I所述的太陽能電池擴散用石英舟裝置，其特征在于所述頂桿(2)為中空式的。
專利摘要本實用新型涉及一種太陽能電池擴散用石英舟裝置，包括由石英材料制成的載片體、頂桿、底桿以及腳桿，所述載片體有四根，與所述頂桿、底桿和腳桿合圍成矩形結構；所述四根載片桿的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽；所述垂直槽由采用5°設計的上槽和下槽組成；所述垂直槽的槽間距為4.41mm；所述垂直槽數量為110個；所述頂桿為中空式的。本實用新型的優點是，這種太陽能電池擴散用石英舟裝置實現了石英舟裝載量和PECVD石墨舟的匹配，徹底杜絕了硅片混亂，縮短了異常發生和處理時間，為公司減少了不必要利潤損失，并且降低了單位硅片的制造成本。
文檔編號H01L21/673GK202633360SQ201220135068
公開日2012年12月26日 申請日期2012年4月1日 優先權日2012年4月1日
發明者劉志敏, 王龍飛, 錢小鋒 申請人:南京遠景新能源有限公司