專利名稱：一種可避免誤動作損害的機械臂的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽電池制造領域，具體涉及一種可避免誤動作損害的機械臂。
背景技術：
等離子增強化學氣相沉積(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition ；PECVD)設備的機械臂在工作過程中，主要負責石墨舟或石墨框的傳送。在設備正常工作時，機械臂會上下左右多位置運動，將石墨舟或石墨框放在設定位置。在自動運行模式下，如果設備出現故障，機械臂會一直向下壓，由于設備上沒有相關保護裝置，下壓運動無法停止。在手動運行模式下，能使機械臂在任何情況下都可以向下運動，存在誤操作的危 險。在這兩種情況下，如果處理不及時，會將石墨舟或石墨框壓碎或者損壞設備的碳化硅槳等部件，造成經濟損失甚至人身傷害。即使按下急停按鈕，依然存在一個短暫的延時，仍可能會造成事故發生。因此，如何提供一種可避免誤動作損害的機械臂來避免機械臂的誤動作，進而避免由此產生的經濟損失和人身傷害，已成為業界亟待解決的技術問題。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種可避免誤動作損害的機械臂，通過所述機械臂可避免機械臂的誤動作，進而避免由此產生的經濟損失和人身傷害。為實現上述目的，本實用新型將提供一種可避免誤動作損害的機械臂，包括臂體以及控制臂體動作的控制模塊，所述機械臂還包括設置在臂體上的微動開關，所述微動開關包括本體、活動設置在本體中并接收機械臂誤動作的力的傳動元件、接收傳動元件做功并在超過臨界點時動作的動作簧片、設置在動作簧片末端的動觸點以及設置在本體上且在動作簧片動作時與動觸點連接狀態改變的靜觸點，所述靜觸點和動觸點電性連接至控制模塊，控制模塊在靜觸點和動觸點連接狀態改變時停止臂體的動作。在上述可避免誤動作損害的機械臂中，所述傳動元件為按銷、按鈕或杠桿。在上述可避免誤動作損害的機械臂中，所述機械臂的誤動作為下壓動作，微動開關設置在臂體上，所述微動開關的傳動元件朝下豎直設置。在上述可避免誤動作損害的機械臂中，所述動作簧片的動觸點與靜觸點在傳動元件未受壓時斷開，在傳動元件做功超過臨界點時電性連接。在上述可避免誤動作損害的機械臂中，所述動作簧片的動觸點與靜觸點在傳動元件未受壓時電性連接，在傳動元件做功超過臨界點時斷開。在上述可避免誤動作損害的機械臂中，所述機械臂為等離子增強化學氣相沉積設備的機械臂。在上述可避免誤動作損害的機械臂中，所述機械臂的臂體末端還設置有抓手。與現有技術中未在機械臂上加設任何減輕或避免誤動作損害的措施易因機械臂誤動作，從而造成經濟損失和人身傷害相比，本實用新型在機械臂的臂體上加設微動開關，當機械臂誤動作時會推動微動開關的傳動元件動作，進而推動動作簧片作動使其末端的動觸點與設置在本體上的靜觸點的連接狀態改變，從而使得與動觸點和靜觸點電性連接的控制模塊停止機械臂的動作，從而有效避免了機械臂的誤動作，避免了經濟損失和人身傷害。
圖I為本實用新型的可避免誤動作損害的機械臂的組成結構示意圖；以及圖2為本實用新型的微動開關的組成結構示意圖。
具體實施方式
下面結合具體實施例及附圖來詳細說明本實用新型的目的及功效。參見圖1，本實用新型的可避免誤動作損害的機械臂包括控制模塊I、臂體2、抓手3和微動開關4，所述抓手3設置在臂體2末端，所述控制模塊I控制臂體2和抓手3的動作。在本實施例中，所述機械臂為等離子增強化學氣相沉積設備的機械臂，所述機械臂用于抓取承載硅片進行鍍膜的石墨舟或石墨框，所述機械臂包括左側和右側的機械臂，所述微動開關4可以設置在左側、右側或兩側同時設置。參見圖I和圖2,所述微動開關4包括本體40、傳動元件41、動作簧片42和靜觸點43。在本實施例中，所述本體40設置在抓手3的外側。在其他實施例中，若微動開關4厚度體積較小且反應靈敏的話，也可以設置在抓手3的底部。所述傳動元件41活動設置在本體40中并接收機械臂2誤動作的力。所述傳動元件41為按銷、按鈕或杠桿等。在本實施例中，所述機械臂的誤動作為下壓動作，微動開關4設置在臂體2末端的抓手3上，所述微動開關4的傳動元件41朝下豎直設置，所述傳動元件41為按鈕。所述動作簧片42末端具有動觸點420，所述靜觸點43設置在本體40上，所述靜觸點43和動觸點420電性連接至控制模塊I (未圖示)，所述動作簧片42接收傳動元件41做功并在超過臨界點時動作即使動觸點420與靜觸點43斷開連接或使動觸點420與靜觸點43電性連接，控制模塊I在動觸點420與靜觸點43實現電性連接或斷開電性連接時停止臂體2的動作。在本實施例中,所述動作簧片42接收到傳動元件41做功超過臨界點其動觸點420與靜觸點43斷開電性連接，控制模塊I相應的在動觸點420與靜觸點43斷開電性連接時停止臂體2的動作。本實施例的可避免誤動作損害的機械臂在進行取放石墨舟或石墨框的作業過程中或者在手動模式下動作時，當機械臂出現朝下壓的誤動作時，誤動作的力會使傳動元件41和動作簧片42受到按壓，當動作簧片42上積蓄的能量超過其臨界點時，原本電性連接的靜觸點43和動觸點420斷開電性連接，控制模塊I感知到靜觸點43和動觸點420電性連接狀態的改變，從而停止臂體2的動作，從而停止了機械臂的誤動作。在機械臂的誤動作解除后且在機械臂回復到未使微動開關受壓的正常狀態時，動作簧片42受到自身彈性力和本體41內的其他抵靠部件的影響從而回復原位，即其末端的動觸點420與靜觸點43間恢復電性連接。綜上所述，本實用新型在機械臂的臂體上加設微動開關，當機械臂誤動作時會推動微動開關的傳動元件動作，進而推動動作簧片作動使其末端的動觸點與設置在本體上的靜觸點的連接狀態改變，從而使得與動觸點和靜觸點電性連接的控制模塊停止機械臂的動 作，從而有效避免了機械臂的誤動作，避免了經濟損失和人身傷害。
權利要求1.一種可避免誤動作損害的機械臂，包括臂體以及控制臂體動作的控制模塊，其特征在于，所述機械臂還包括設置在臂體上的微動開關，所述微動開關包括本體、活動設置在本體中并接收機械臂誤動作的力的傳動元件、接收傳動元件做功并在超過臨界點時動作的動作簧片、設置在動作簧片末端的動觸點以及設置在本體上且在動作簧片動作時與動觸點連接狀態改變的靜觸點，所述靜觸點和動觸點電性連接至控制模塊，控制模塊在靜觸點和動觸點連接狀態改變時停止臂體的動作。
2.按照權利要求I所述的可避免誤動作損害的機械臂，其特征在于，所述傳動元件為按銷、按鈕或杠桿。
3.按照權利要求I所述的可避免誤動作損害的機械臂，其特征在于，所述機械臂的誤動作為下壓動作，微動開關設置在臂體上，所述微動開關的傳動元件朝下豎直設置。
4.按照權利要求I所述的可避免誤動作損害的機械臂，其特征在于，所述動作簧片的動觸點與靜觸點在傳動元件未受壓時斷開，在傳動元件做功超過臨界點時電性連接。
5.按照權利要求I所述的可避免誤動作損害的機械臂，其特征在于，所述動作簧片的動觸點與靜觸點在傳動元件未受壓時電性連接，在傳動元件做功超過臨界點時斷開。
6.按照權利要求I所述的可避免誤動作損害的機械臂，其特征在于，所述機械臂為等離子增強化學氣相沉積設備的機械臂。
7.按照權利要求I所述的可避免誤動作損害的機械臂，其特征在于，所述機械臂的臂體末端還設置有抓手。
專利摘要本實用新型提供一種可避免誤動作損害的機械臂。現有技術未在機械臂上加設任何減輕或避免誤動作損害的措施易因機械臂誤動作而造成嚴重的經濟損失和人員傷害。本實用新型的機械臂包括臂體以及控制臂體動作的控制模塊，所述機械臂還包括設置在臂體上的微動開關，所述微動開關包括本體、活動設置在本體中并接收機械臂誤動作的力的傳動元件、接收傳動元件做功并在超過臨界點時動作的動作簧片、設置在動作簧片末端的動觸點以及設置在本體上且在動作簧片動作時與動觸點連接狀態改變的靜觸點，所述靜觸點和動觸點電性連接至控制模塊，控制模塊在靜觸點和動觸點連接狀態改變時停止臂體的動作。本實用新型可避免誤動作造成嚴重的經濟損失和人員傷害。
文檔編號H01L21/67GK202601586SQ20122013135
公開日2012年12月12日 申請日期2012年3月29日 優先權日2012年3月29日
發明者武超, 姚小明, 劉朋彬 申請人:洛陽尚德太陽能電力有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司