專利名稱：一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種直驅取放裝置，特別是涉及一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置。
背景技術：
直驅旋轉電機和音圈電機目前廣泛的應用于電子元件和半導體設備制造中。采用直接驅動的主要優點是加速度更大、速度更快、精度更高、移動質量減小、設計簡潔，無需復雜的傳輸系統，可靠性更高，不存在傳動裝置活動部件的磨損。使用直驅旋轉電機和音圈電機的直驅取放系統是TZ工作臺常用的一種直驅取放 系統類型，直驅旋轉電機負責旋轉運動，音圈電機負責垂直上下運動。整個系統的效率由直驅旋轉電機和音圈電機運動所需的時間來決定的，而因為音圈電機所需的運動距離短，運動時間短，所以關鍵的因素還是在于直驅旋轉電機的效率。現在所用的直驅取放系統，直驅旋轉電機在運動時，帶動整個音圈電機，包括固定機構一起在旋轉，要提高整個系統的性能，除了需要提高直驅旋轉電機本身的性能，還需改進其裝配方式。
實用新型內容本實用新型就是為了解決上述問題，克服現有技術中直驅取放裝置所存在的問題，本實用新型提供一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置以滿足需求。為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下—種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，包括直驅旋轉電機和音圈電機，其特征在于，所述直驅旋轉電機包括定子、轉子和反饋裝置，所述轉子設置于定子外側，所述反饋裝置設置于轉子外側，所述音圈電機包括定子和設置于定子內的動子，所述直驅旋轉電機的定子的中心設置有安裝孔，所述音圈電機的定子設置于安裝孔內，并且音圈電機的定子上設置有定子安裝面，所述定子安裝面通過螺栓連接在直驅旋轉電機的定子上。上述一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，其特征在于，所述音圈電機的定子的外徑小于直驅旋轉電機的定子上的安裝孔的直徑。上述一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，其特征在于，所述音圈電機的定子與直驅旋轉電機的定子上的安裝孔的軸心為同一直線。上述一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，其特征在于，還包括用于連接被取放物品的連接件，所述連接件包括固定模塊和移動模塊，所述固定模塊上設置有軌道，所述移動模塊設置于軌道上，所述固定模塊連接在直驅旋轉電機的轉子上，所述音圈電機的動子連接移動模塊。上述一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，其特征在于，所述音圈電機的動子的頂端設置有動子安裝面，所述移動模塊通過螺絲連接固定在動子的動子安裝面上。本實用新型的有益效果是本裝置采用的都是直驅電機，不使用任何傳導裝置直接驅動負載。本系統采用的裝配結構，有效的減輕了直驅旋轉電機運動時的負載，減少了慣量，從而提聞了直驅旋轉電機的功效，同樣提聞了整個系統的效率。
圖I是直驅旋轉電機的示意圖；圖2是音圈電機的示意圖；圖3是直驅旋轉電機和音圈電機的組裝示意圖；圖4是直驅旋轉電機和音圈電機的組裝后剖視圖；圖5為連接件的示意圖；圖6為本實用新型與連接件裝配后的剖視圖。
具體實施方式
為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。參看圖I，一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，包括直驅旋轉電機100和音圈電機200，直驅旋轉電機100帶動被取放物品沿旋轉方向旋轉，音圈電機200則帶動被取放物品沿垂直方向平移。直驅旋轉電機100包括定子110、轉子120和反饋裝置130，轉子120設置于定子110外側，反饋裝置130設置于轉子120外側，工作的時候，轉子120在定子110的作用下旋轉，反饋裝置130用于記錄轉子120的旋轉位置。參看圖2，音圈電機200包括定子210和設置于定子210內的動子220，工作的時候，動子220在定子210的作用下沿著定子210內的孔道上下運動。參看圖3和圖4，直驅旋轉電機100的定子110的中心設置有安裝孔140，音圈電機200的定子210設置于安裝孔140內，并且音圈電機200的定子210上設置有定子安裝面230，定子安裝面230通過螺栓連接在直驅旋轉電機100的定子110上，這樣的裝配將直驅旋轉電機100和音圈電機200組合起來。如果要滿足這樣的裝配，音圈電機200的定子210的外徑小于直驅旋轉電機100的定子110上的安裝孔140的直徑，這樣才能將定子210放置到安裝孔140中。同時音圈電機200的定子210與直驅旋轉電機100的定子110上的安裝孔140的軸心為同一直線，保證了結構的穩定性和運轉的平穩性。參看圖5，在取放裝置的時候，本實用新型還包括用于連接被取放物品的連接件300，連接件300包括固定模塊310和移動模塊320，固定模塊310上設置有軌道330，移動模塊320設置于軌道330上，并能沿軌道330進行滑動。參看圖6，連接件300的固定模塊310連接在直驅旋轉電機100的轉子120上，當直驅旋轉電機100的轉子120旋轉的時候，帶動連接件300的固定模塊310旋轉，完成旋轉方向的運動，而連接件300的移動模塊320連接音圈電機200的動子220，當音圈電機200的動子220上下移動的時候帶動移動模塊320上下移動。在本實用新型的其中一個實施方式，音圈電機200的動子220的頂端設置有動子安裝面240，移動模塊320通過螺絲連接固定在動子220的動子安裝面240上。本裝置采用的都是直驅電機，不使用任何傳導裝置直接驅動負載。本系統采用的裝配結構，有效的減輕了直驅旋轉電機運動時的負載，減少了慣量，從而提高了直驅旋轉電機的功效，同樣提高了整個系統的效率。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等同物界定。
權利要求1.一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，包括直驅旋轉電機和音圈電機，其特征在于，所述直驅旋轉電機包括定子、轉子和反饋裝置，所述轉子設置于定子外側，所述反饋裝置設置于轉子外側，所述音圈電機包括定子和設置于定子內的動子，所述直驅旋轉電機的定子的中心設置有安裝孔，所述音圈電機的定子設置于安裝孔內，并且音圈電機的定子上設置有定子安裝面，所述定子安裝面通過螺栓連接在直驅旋轉電機的定子上。
2.根據權利要求I所述一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，其特征在于，所述音圈電機的定子的外徑小于直驅旋轉電機的定子上的安裝孔的直徑。
3.根據權利要求2所述一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，其特征在于，所述音圈電機的定子與直驅旋轉電機的定子上的安裝孔的軸心為同一直線。
4.根據權利要求I所述一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，其特征在于，還包括用于連接被取放物品的連接件，所述連接件包括固定模塊和移動模塊，所述固定模塊上設置有軌道，所述移動模塊設置于軌道上，所述固定模塊連接在直驅旋轉電機的轉子上，所述音圈電機的動子連接移動模塊。
5.根據權利要求4所述一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，其特征在于，所述音圈電機的動子的頂端設置有動子安裝面，所述移動模塊通過螺絲連接固定在動子的動子安裝面上。
專利摘要本實用新型涉及一種慣量少移動質量輕的直驅取放裝置，包括直驅旋轉電機和音圈電機，直驅旋轉電機包括定子、轉子和反饋裝置，轉子設置于定子外側，反饋裝置設置于轉子外側，音圈電機包括定子和設置于定子內的動子，直驅旋轉電機的定子的中心設置有安裝孔，音圈電機的定子設置于安裝孔內，并且音圈電機的定子上設置有定子安裝面，定子安裝面通過螺栓連接在直驅旋轉電機的定子上。本實用新型的有益效果是本裝置采用的都是直驅電機，不使用任何傳導裝置直接驅動負載。本系統采用的裝配結構，有效的減輕了直驅旋轉電機運動時的負載，減少了慣量，從而提高了直驅旋轉電機的功效，同樣提高了整個系統的效率。
文檔編號H01L21/683GK202513133SQ20122010693
公開日2012年10月31日 申請日期2012年3月19日 優先權日2012年3月19日
發明者周朝淵, 廖永平, 林浩元, 魏瀟春 申請人:雅科貝思精密機電(上海)有限公司