將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于涂膠顯影和半導(dǎo)體晶片加工的【技術(shù)領(lǐng)域】，具體為將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置。包括驅(qū)動裝置、傳動滑塊、傳動滑塊導(dǎo)軌、從動滑塊及上下運(yùn)動導(dǎo)軌，其中傳動滑塊導(dǎo)軌設(shè)置于傳動滑塊上、并與水平面呈夾角設(shè)置，所述從動滑塊的兩端分別與傳動滑塊導(dǎo)軌和上下導(dǎo)軌滑動連接，所述傳動滑塊與驅(qū)動裝置連接、并通過驅(qū)動裝置驅(qū)動橫向運(yùn)動，從動滑塊通過傳動滑塊的帶動、兩端分別沿傳動滑塊導(dǎo)軌和上下運(yùn)動導(dǎo)軌上下滑動。本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)中需要?dú)飧咨舷逻\(yùn)動但空間有限問題。
【專利說明】將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于涂膠顯影和半導(dǎo)體晶片加工的【技術(shù)領(lǐng)域】，具體為將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，技術(shù)先進(jìn)的涂膠顯影(TRACK)設(shè)備主要由上下料組塊、工藝組塊、接口組塊等三種組塊構(gòu)成，其中:上下料組塊主要是由上下料盒、盒站機(jī)器人(或稱CS-R)等組成；工藝組塊主要有覆涂單元(或稱C0T/BAC/TAC)和/或顯影單元(或稱DEV)、工藝機(jī)器人(或稱PS-R)、工藝熱處理塔(或稱0VENRACK)等組成，工藝熱處理塔內(nèi)裝載了冷盤(或稱CP)、熱盤(或稱HP及HHP)、增粘單元(或稱AD)、復(fù)合熱盤、對中單元、轉(zhuǎn)換裝置(TP)等；接口組塊主要是由接口進(jìn)出料載體(或稱IFS)、接口機(jī)器人(或稱IF-R)、邊部曝光裝置(或稱WEE)、進(jìn)出料緩存裝置(或稱IFB)、轉(zhuǎn)換裝置(TP)等組成。
[0003]晶片通過盒站機(jī)器人從上下料組塊的晶片盒傳送到工藝組塊的對中單元或中間載體，再由工藝機(jī)器人送到各工藝單元；經(jīng)工藝處理后的晶片由工藝機(jī)器人傳送到接口組塊的IFS、TP，再由接口機(jī)器人送到另一臺設(shè)備的載片臺上。
[0004]由于有些特殊工藝的要求，晶片要從一個工藝單元內(nèi)部有升降或單元需要門上下開關(guān)等動作，傳統(tǒng)的做法是用氣缸或電機(jī)等直接驅(qū)動其上下運(yùn)動，這樣驅(qū)動部件的體積往往決定單元的厚度，在無法減低單元厚度時只能增加機(jī)器人行程或犧牲單元數(shù)量來解決，這樣勢必會減低產(chǎn)能增加設(shè)備成本。如果工藝處理塔內(nèi)各單元高度過高就會影響機(jī)器人的行程和單元數(shù)量，如果單元高度得以壓縮就可以在單位高度的機(jī)器人環(huán)境下多配置工藝單元，就代表著產(chǎn)能的進(jìn)一步提高(機(jī)器人速度允許)或可以進(jìn)行更多的工藝項(xiàng)目處理。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)中需要?dú)飧咨舷逻\(yùn)動但空間有限問題。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0007]—種將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置，包括驅(qū)動裝置、傳動滑塊、傳動滑塊導(dǎo)軌、從動滑塊及上下運(yùn)動導(dǎo)軌，其中傳動滑塊導(dǎo)軌設(shè)置于傳動滑塊上、并與水平面呈夾角設(shè)置，所述從動滑塊的兩端分別與傳動滑塊導(dǎo)軌和設(shè)置于傳動滑塊一側(cè)的上下運(yùn)動導(dǎo)軌滑動連接，所述傳動滑塊與驅(qū)動裝置連接、并通過驅(qū)動裝置驅(qū)動橫向運(yùn)動，從動滑塊通過傳動滑塊的帶動、兩端分別沿傳動滑塊導(dǎo)軌和上下運(yùn)動導(dǎo)軌上下滑動。
[0008]所述傳動滑塊為直角三角形結(jié)構(gòu)，其中一直角邊與水平面平行，另一直角邊與驅(qū)動裝置連接，所述傳動滑塊導(dǎo)軌設(shè)置于傳動滑塊的斜邊上。
[0009]所述從動滑塊的一端下方與傳動滑塊導(dǎo)軌滑動連接，另一端設(shè)有通孔，所述上下運(yùn)動導(dǎo)軌插設(shè)于該通孔內(nèi)、并與通孔滑動連接。
[0010]所述驅(qū)動裝置采用氣缸或電機(jī)。[0011]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是:
[0012]1.本發(fā)明，突破了涂膠顯影設(shè)備傳統(tǒng)的單元內(nèi)部機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動方式結(jié)構(gòu)，減少機(jī)器人加大行程帶來的成本增加，單位高度內(nèi)增加單元數(shù)量，提高設(shè)備處理能力。
[0013]2.本發(fā)明帶來了設(shè)備結(jié)構(gòu)的飛躍，該設(shè)備結(jié)構(gòu)滿足了大規(guī)模的高產(chǎn)能高潔凈質(zhì)量涂膠顯影工藝的生產(chǎn)要求。
[0014]3.本發(fā)明的結(jié)構(gòu)設(shè)備，不僅可以應(yīng)用于涂膠顯影設(shè)備，而且可以廣泛的應(yīng)用單片濕法處理設(shè)備等設(shè)備上，有極強(qiáng)的通用性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本發(fā)明的動作示意圖；
[0017]圖3為圖2的俯視圖。
[0018]其中:1為傳動滑塊導(dǎo)軌；2為驅(qū)動裝置；3為上下運(yùn)動導(dǎo)軌；4為傳動滑塊；5為從動滑塊。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細(xì)描述。
[0020]如圖1-3所示，本發(fā)明包括驅(qū)動裝置2、傳動滑塊4、傳動滑塊導(dǎo)軌1、從動滑塊5及上下運(yùn)動導(dǎo)軌3，其中傳動滑塊導(dǎo)軌I設(shè)置于傳動滑塊4上、并與水平面呈夾角設(shè)置，從動滑塊5的兩端分別與傳動滑塊導(dǎo)軌I和設(shè)置于傳動滑塊4 一側(cè)的上下運(yùn)動導(dǎo)軌3滑動連接，傳動滑塊4與驅(qū)動裝置2連接、并通過驅(qū)動裝置2驅(qū)動橫向運(yùn)動，通過傳動滑塊導(dǎo)軌I帶動從動滑塊5上下運(yùn)動，即從動滑塊5的兩端分別沿傳動滑塊導(dǎo)軌I和上下運(yùn)動導(dǎo)軌3作上下滑動。
[0021]本實(shí)施例傳動滑塊4為直角三角形結(jié)構(gòu)，其中一直角邊與水平面平行，另一直角邊與驅(qū)動裝置2連接，傳動滑塊導(dǎo)軌I設(shè)置于傳動滑塊4的斜邊上。從動滑塊5的一端下方與傳動滑塊導(dǎo)軌I滑動連接，另一端設(shè)有通孔，上下運(yùn)動導(dǎo)軌3插設(shè)于該通孔內(nèi)、并與通孔滑動連接。所述驅(qū)動裝置采用氣缸或電機(jī)。
[0022]本發(fā)明的工作過程是:
[0023]傳動滑塊4在驅(qū)動裝置2的帶動下做左右的橫向運(yùn)動，因?yàn)閭鲃踊瑝K導(dǎo)軌I與傳動滑塊4連接在一起，在傳動滑塊4左右運(yùn)動時，從動滑塊5的一端與傳動滑塊導(dǎo)軌I做相對運(yùn)動，因?yàn)閭鲃踊瑝K4與傳動滑塊導(dǎo)軌I的安裝面是一個直角三角形的斜邊，所以傳動滑塊導(dǎo)軌I連接的從動滑塊5相對于傳動滑塊導(dǎo)軌I有X、Y兩個方向的運(yùn)動。又因?yàn)閺膭踊瑝K5的另一端與上下運(yùn)動導(dǎo)軌3滑動連接，所以從動滑塊5的一端在Y向運(yùn)動時，另一端沿著上下運(yùn)動導(dǎo)軌也做Y向運(yùn)動。綜上所述，驅(qū)動裝置2的橫向驅(qū)動被轉(zhuǎn)換為從動滑塊5的上下運(yùn)動，安裝在從動滑塊5上的部件就可以在這個方向上工作。
[0024]橫向力轉(zhuǎn)換成上下運(yùn)動的力的大小可以通過三角函數(shù)計算，位移大小可以改變傳動滑塊4的斜面角度確定。根據(jù)直角三角形公式我們可以計算出所需上下行程需要匹配的驅(qū)動行程，根據(jù)驅(qū)動的力的要求可以計算出驅(qū)動部件所需的力的大小。例如，直角三角形的斜邊與平行于水平面的一直角邊b的夾角為A，夾角A的對邊為a。已知夾角A及鄰邊b上的橫向驅(qū)動力，根據(jù)正切公式tan A = *可計算出對邊a上轉(zhuǎn)換的上下運(yùn)動的力。同理驅(qū)動行程也可以同理得出。
【權(quán)利要求】
1.一種將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置，其特征在于:包括驅(qū)動裝置(2)、傳動滑塊(4)、傳動滑塊導(dǎo)軌(I)、從動滑塊(5)及上下運(yùn)動導(dǎo)軌(3)，其中傳動滑塊導(dǎo)軌(I)設(shè)置于傳動滑塊(4)上、并與水平面呈夾角設(shè)置，所述從動滑塊(5)的兩端分別與傳動滑塊導(dǎo)軌(I)和設(shè)置于傳動滑塊(4) 一側(cè)的上下運(yùn)動導(dǎo)軌(3)滑動連接，所述傳動滑塊(4)與驅(qū)動裝置(2)連接、并通過驅(qū)動裝置(2)驅(qū)動橫向運(yùn)動，從動滑塊(5)通過傳動滑塊(4)的帶動、兩端分別沿傳動滑塊導(dǎo)軌(I)和上下運(yùn)動導(dǎo)軌(3)上下滑動。
2.按權(quán)利要求1所述的將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置，其特征在于:所述傳動滑塊(4)為直角三角形結(jié)構(gòu)，其中一直角邊與水平面平行，另一直角邊與驅(qū)動裝置(2)連接，所述傳動滑塊導(dǎo)軌(I)設(shè)置于傳動滑塊(4)的斜邊上。
3.按權(quán)利要求1所述的將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置，其特征在于:所述從動滑塊(5)的一端下方與傳動滑塊導(dǎo)軌(I)滑動連接，另一端設(shè)有通孔，所述上下運(yùn)動導(dǎo)軌(3)插設(shè)于該通孔內(nèi)、并與通孔滑動連接。
4.按權(quán)利要求1或2所述的將橫向運(yùn)動轉(zhuǎn)換成為上下運(yùn)動的裝置，其特征在于:所述驅(qū)動裝置采用氣缸或電機(jī)。
【文檔編號】H01L21/67GK103791053SQ201210430388
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2012年11月1日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月1日
【發(fā)明者】魏猛 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司