專利名稱：熱處理裝置及熱處理裝置的溫度測量方法
技術領域：
本發明涉及熱處理裝置及熱處理裝置的溫度測量方法。
背景技術：
在半導體器件的制造中，為了對被處理體、例如半導體晶圓實施氧化、擴散、CVD、退火等熱處理而使用各種熱處理裝置。作為其中的ー種熱處理裝置，公知有一次能夠進行多張處理體的熱處理的立式熱處理裝置。該立式熱處理裝置包括處理容器，其是由石英制成的，在下部具有開ロ部；蓋體，其用于開閉該處理容器的開ロ部；保持器，其設在該蓋體上，用于將多張被處理體沿著上下方向隔開規定的間隔保持；爐主體，其設在上述處理容器的周圍，安裝有用于加熱被輸入到處理容器內的上述被處理體。然而，以往以來，為了高精度地控制爐主體內的溫度，還開發有如下這樣的技術將爐主體內的空間劃分成多個區域，在區域中設置爐內溫度傳感器，并且將加熱器按照各區域分割，從而細微地控制各區域的溫度。在將爐主體內劃分成多個區域并針對各區域細微地進行控制的情況下，需要針對各區域設置爐內溫度傳感器。將K熱電偶或者R熱電偶用作這樣的爐內溫度傳感器，但K熱電偶在測量溫度變化較大的情況下塞貝克(Seebeck)系數(相對于溫度變化而發生的電動勢的程度)有時發生變化，在測量溫度發生變化的情況下需要校正來自K熱電偶的電動勢。另ー方面，R熱電偶和S熱電偶的塞貝克系數不發生變化，但這些R熱電偶和S熱電偶的價格高，導致成本增加。
發明內容
本發明是考慮到這一點而做成的，其目的在于提供具有包括熱電偶的多個爐內溫度傳感器、并且不需要毎次對來自各熱電偶的測量溫度進行校正、還能夠謀求減少設置成本的熱處理裝置及熱處理裝置的溫度測量方法。本實施方式提供ー種熱處理裝置，其特征在干，該熱處理裝置包括爐主體，其在內周面上設有加熱部；處理容器，其配置在爐主體內，在該處理容器與爐主體之間形成有包括多個區域的空間，并且用于在內部收容多個被處理體；爐內溫度傳感器，其與空間的各區域相對應地設置；爐內溫度計算部，其用于基于來自各爐內溫度傳感器的信號來求得爐內溫度；控制部，其用于基于利用爐內溫度計算部求得的爐內溫度來控制加熱部，設在空間中的基準區域中的爐內溫度傳感器包括由R熱電偶或者S熱電偶構成的第I熱電偶、由除了R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成的第2熱電偶，設在其他的區域中的爐內溫度傳感器包括第2熱電偶，爐內溫度計算部具有電動勢差電路，其與基準區域的第2熱電偶、其他的區域的第2熱電偶連接，用于求得基準區域與其他的區域的溫度差；第I熱電偶電動勢測量電路，其與基準區域的第I熱電偶連接，用于基于來自該第I熱電偶的信號來求得基準區域的溫度；加算器，其與第I熱電偶電動勢測量電路、其他的區域所對應的電動勢差電路連接，用于將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自該電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。本實施方式提供ー種熱處理裝置，其特征在干，該熱處理裝置包括爐主體，其在內周面上設有加熱部；處理容器，其配置在爐主體內，在該處理容器與爐主體之間形成有空間，并且在內部形成有多個區域且用于收容多個被處理體；處理容器內溫度傳感器，其與處理容器的各區域相對應地設置；處理容器內溫度計算部，其用于基于來自各處理容器內溫度傳感器的信號來求得處理容器內溫度；控制部，其用于基于利用處理容器內溫度計算部求得的處理容器內溫度來控制加熱部，設在處理容器內的基準區域中的處理容器內溫度傳感器包括第I熱電偶，其由R熱電偶或者S熱電偶構成；第2熱電偶，其由除了 R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成，設在其他的區域中的處理容器內溫度傳感器包括第2熱電偶，處理容器內溫度計算部具有電動勢差電路，其與基準區域的第2熱電偶、其他的區域的第2熱電偶連接，用于求得基準區域與其他的區域的溫度差；第I熱電偶電動勢測量電路，其與基準區域的第I熱電偶連接，用于基于來自該第I熱電偶的信號來求得基準區域的溫度；加算器，其與第I熱電偶電動勢測量電路、其他的區域所對應的電動勢差電路連接，用于將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自該電動勢差電路的信號相加而求得其他的 區域的溫度。本實施方式提供ー種熱處理裝置的溫度測量方法，該熱處理裝置包括爐主體，其在內周面上設有加熱部；處理容器，其配置在爐主體內，在該處理容器與爐主體之間形成包括多個區域的空間，并且用于在內部收容多個被處理體；爐內溫度傳感器，其與空間的各區域相對應地設置；爐內溫度計算部，其用于基于來自各爐內溫度傳感器的信號來求得爐內溫度；控制部，其用于基于利用爐內溫度計算部求得的爐內溫度來控制加熱部，設在空間中的基準區域中的爐內溫度傳感器包括第I熱電偶，其由R熱電偶或者S熱電偶構成；第2熱電偶，其由除了 R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成，設在其他的區域中的爐內溫度傳感器包括第2熱電偶，該熱處理裝置的溫度測量方法的特征在于，該熱處理裝置的溫度測量方法包括以下エ序基于來自基準區域的第2熱電偶和其他的區域的第2熱電偶的信號，利用電動勢差電路求得基準區域與其他的區域的溫度差；基于來自基準區域的第I熱電偶的信號，利用第I熱電偶電動勢測量電路求得基準區域的溫度；通過用加算器將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。本實施方式提供ー種熱處理裝置的溫度測量方法，該熱處理裝置包括爐主體，其在內周面上設有加熱部；處理容器，其配置在爐主體內，在該處理容器與爐主體之間形成空間，并且在內部形成多個區域且用于收容多個被處理體；處理容器內溫度傳感器，其與處理容器的各區域相對應地設置；處理容器內溫度計算部，其用于基于來自各處理容器內溫度傳感器的信號來求得處理容器內溫度；控制部，其用于基于利用處理容器內溫度計算部求得的處理容器內溫度來控制加熱部，設在處理容器中的基準區域中的處理容器內溫度傳感器包括第I熱電偶，其由R熱電偶或者S熱電偶構成；第2熱電偶，其由除了 R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成，設在其他的區域中的處理容器內溫度傳感器包括第2熱電偶，該熱處理裝置的溫度測量方法的特征在于，該熱處理裝置的溫度測量方法包括以下エ序基于來自基準區域的第2熱電偶和其他的區域的第2熱電偶的信號，利用電動勢差電路求得基準區域與其他的區域的溫度差；基于來自基準區域的第I熱電偶的信號，利用第I熱電偶電動勢測量電路求得基準區域的溫度；通過用加算器將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
圖I是概略地表示本發明的熱處理裝置的實施方式的縱剖視圖。圖2是表示爐主體內的隨著時間經過的溫度變化的圖。圖3是表示爐主體的每個單位區域的溫度的概略圖。圖4是表示溫度計算部的圖。 圖5是表示溫度計算部的變形例的圖。圖6是概略地表示本發明的變形例的熱處理裝置的縱剖視圖。
具體實施例方式以下參照
本發明的實施方式。在圖I中，立式的熱處理裝置I具有能夠一次收容多數張被處理體、例如半導體晶圓W并實施氧化、擴散、減壓CVD等熱處理的立式的熱處理爐2。該熱處理爐2包括爐主體5，其在內周面上設有發熱電阻(加熱器)18A ;處理容器3，其配置在爐主體5內，在該處理容器3與爐主體5之間形成空間33，并且該處理容器3用于收容晶圓W而進行熱處理。另外，將爐主體5與處理容器3之間的空間33沿著縱向劃分成多個單位區域(也簡稱為區域)、例如川個單位區域ム”“ム^ん人為人為為。。另外，加熱器18A與該10個單位區域A1.... Altl相對應地設于各単位區域，而且，如下所述針對各単位區域K、··· Aw分別設有用于測量該單位區域A1.. . . A10的溫度的爐內溫度傳感器50。另外，各爐內溫度傳感器50經由信號線50a與后述的溫度計算部50A連接。同樣，將處理容器3內也沿著縱向劃分成多個單位區域(也簡稱為區域)、例如10個單位區域Ai、A2、A3、A4、A5、A6、A7、A8、A9、A1(l，并且針對各單位區域A:、. . . A10分別設有用于測量該單位區域A1.... Altl的溫度的處理容器內溫度傳感器55。各處理容器內溫度傳感器55由處理容器內溫度傳感器支承件56支承并且經由信號線55a與溫度計算部50A連接。另外，爐主體5由底板6支承,在該底板6中形成有用于供處理容器3從下方向上方插入的開ロ部7。另外，在底板6的開ロ部7處以覆蓋底板6與處理容器3之間的間隙的方式設有未圖示的絕熱件。處理容器3是由石英制成的，其具有上端密閉、下端開ロ為爐ロ 3a的縱長的圓筒狀形狀。在處理容器3的下端形成有朝外的凸緣3b，凸緣3b借助未圖示的凸緣壓緊件支承于上述底板6。另外，處理容器3的下側部設有用于將處理氣體、非活性氣體等導入到處理容器3內的導入部件(導入口)8及用于將處理容器3內的氣體排出的未圖示的排氣部件(排氣ロ)。導入部件8與氣體供給源(未圖示)連接，排氣部件與具有能夠減壓控制成例如133X600Pa 133X10-2Pa左右的真空泵的排氣系統(未圖示)連接。另外，導入部件8與在處理容器3內延伸的氣體供給管8a連接，在該氣體供給管8a上形成有氣體供給孔
8b ο在處理容器3的下方借助未圖示的升降機構能夠升降移動地設有用于封堵處理容器3的爐ロ 3a的蓋體10。在該蓋體10的上部載置有作為爐ロ的保溫部件的保溫筒11，在該保溫筒11的上部載置有作為保持器的石英制的舟皿12，該保持器用于沿著上下方向以規定的間隔搭載多張、例如100 150張左右的直徑300mm的晶圓W。在蓋體10上設有用于使舟皿12繞舟皿12的軸心線旋轉的旋轉機構13。通過蓋體10的下降移動將舟皿12從處理容器3內輸出(卸載)到下方的加載區域(未圖示)內，移換晶圓w之后，通過蓋體10的上升移動將舟皿12輸入(加載)到處理容器3內。上述爐主體5具有圓筒狀的絕熱件16和在該絕熱件16的內周面上沿軸向(在圖示例中為上下方向)形成為多層的槽狀的架部17，上述爐主體5配置有用于構成沿著各架部17針對各単位區域A1. ... Altl分別設置的加熱器18A的加熱器構件(發熱絲、發熱電阻)18。絕熱件16由含有例如ニ氧化硅、氧化鋁或者硅酸氧化鋁的無機質纖維構成。在上述圓筒狀的絕熱件16的內周面上沿著軸向以規定間距多層地形成有與該圓筒狀的絕熱件16同心的環狀的槽部21，在相鄰的上部的槽部21與下部的槽部21之間形成有沿著周向連續的環狀的上述架部17。在上述槽部21的相對于加熱器構件18的上部、下 部及槽部21的里側端壁與加熱器構件18之間設有能夠容許加熱器構件18的熱膨脹收縮及徑向的移動的充分的間隙，另外，由于這些間隙，在進行強制冷卻時從爐主體5的冷卻介質導入部40向空間33內流入的冷卻介質蔓延到加熱器構件18的背面，能夠有效地冷卻加熱器構件18。另外，作為這樣的冷卻介質，可想到空氣、氮氣。在針對各單位區域A”. . . A10分別設置的加熱器18A中，用于構成該加熱器18A的加熱器構件18與端子板22a、22b接合，借助以沿著徑向貫穿絕熱件16的方式設置的端子板22a、22b與外部的加熱器輸出部18B連接。為了保持爐主體5的絕熱件16的形狀并加強絕熱件16，如圖I所示，以金屬制、例如不銹鋼制的外皮(外層outer shell) 30覆蓋絕熱件16的外周面。在絕熱件16的頂部設有用于覆蓋該絕熱件16的頂部的上部絕熱件31，在該上部絕熱件31的上部設有用于覆蓋外皮30的頂部(上端部)的不銹鋼制的頂板32。然而，雖然例示了將帶狀的發熱電阻用作加熱器構件18、并將加熱器構件18收容在架部17內，但作為加熱器構件18，不限于這樣的結構的加熱器構件，能夠使用其他的各種結構的加熱構件。另外，如上所述，將形成在爐主體5與處理容器3之間的空間33劃分成10個單位區域K1、…A10,針對各単位區域A1.... Altl分別設有用于檢測該單位區域A1.... Altl內的溫度的溫度傳感器(爐內溫度傳感器)50，將來自該溫度傳感器50的檢測信號經由信號線50a輸送到后述的溫度計算部50A中，在該溫度計算部50A中求得爐內溫度。然后，將利用溫度計算部50A求得的爐內溫度向控制裝置(控制部)51輸送。在此情況下，溫度計算部50A起到用于檢測爐主體5與處理容器3之間的空間33的溫度的爐內溫度計算部50A的作用。另外，針對各単位區域A1, ... Altl分別設置的溫度傳感器50與溫度計算部50A連接。詳細說明該溫度計算部50A。如上所述，溫度傳感器50是針對空間33的各単位區域A1,. . . A10分別設置的用于檢測單位區域A1.. . .Altl內的溫度的溫度傳感器。將用各単位區域A1,. . . A10的溫度傳感器50檢測到的檢測信號經由信號線50a輸送到溫度計算部50A中而求得各単位區域A1,. . . A10的爐內溫度，將利用溫度計算部50A求得的爐內溫度輸送到控制裝置51中。在升溫過程、降溫過程或溫度穩定時，該控制裝置51用于使向規定的目標溫度的收束時間縮短，并高精度地接近目標溫度。接著，以下利用圖4詳細說明針對空間33內的各単位區域A1. ... Altl分別設置的爐內溫度傳感器50、基于來自該爐內溫度傳感器50的信號來求得爐內溫度的溫度計算部50A。如圖4所示，各單位區域A”. . .Altl中的最靠下方的單位區域A1為基準區域，其他的単位區域A2、. . . A10為其他的區域。另外，在圖4中詳細說明了単位區域ん、...Altl中的單位區域A” A2、A3、A4,單位區域A5、A6、A7、A8、A9、A10也具有與基準區域A1之外的其他的區域A2、A3、A4大致相同的結構。基準區域A1的爐內溫度傳感器50包括第I熱電偶81，其由即使熱歷程不同塞貝克系數的變化也較少的高價的R熱電偶或者S熱電偶構成；第2熱電偶82，其由R熱電偶或者S熱電偶之外的低價的N熱電偶、K熱電偶、E熱電偶、J熱電偶等構成。另外，在圖4中，為了方便，作為第I熱電偶81，例示了 R熱電偶，作為第2熱電偶，例示了 K熱電偶。 另外，其他的區域m A5' A6、A7、A8、A9、A10的爐內溫度傳感器50包括由低價的N熱電偶、K熱電偶或者E熱電偶等構成的第2熱電偶82。在此，表I表示用于構成第I熱電偶81的R熱電偶及S熱電偶的特性、用于構成第2熱電偶82的N熱電偶、K熱電偶、E熱電偶及J熱電偶的特性。在此，表I表示標準化的熱電偶的種類和特征。表I
權利要求
1.ー種熱處理裝置，其特征在干， 該熱處理裝置包括 爐主體，其在內周面上設有加熱部； 處理容器，其配置在爐主體內，在該處理容器與爐主體之間形成有包括多個區域的空間，并且用于在內部收容多個被處理體； 爐內溫度傳感器，其與空間的各區域相對應地設置； 爐內溫度計算部，其用于基于來自各爐內溫度傳感器的信號來求得爐內溫度； 控制部，其用于基于利用爐內溫度計算部求得的爐內溫度來控制加熱部， 設在空間中的基準區域中的爐內溫度傳感器包括由R熱電偶或者S熱電偶構成的第I熱電偶、由除了 R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成的第2熱電偶，設在其他的區域中的爐內溫度傳感器包括第2熱電偶， 爐內溫度計算部具有電動勢差電路，其與基準區域的第2熱電偶、其他的區域的第2熱電偶連接，用于求得基準區域與其他的區域的溫度差；第I熱電偶電動勢測量電路，其與基準區域的第I熱電偶連接，用于基于來自該第I熱電偶的信號來求得基準區域的溫度；カロ算器，其與第I熱電偶電動勢測量電路、其他的區域所對應的電動勢差電路連接，用于將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自該電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
2.根據權利要求I所述的熱處理裝置，其特征在干， 爐內溫度計算部還具有用于將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號變換成第2熱電偶用的信號的第I變換器，用加算器將來自第I變換器的信號、來自與其他的區域相對應的電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
3.根據權利要求I所述的熱處理裝置，其特征在干， 爐內溫度計算部還具有用于將來自電動勢差電路的信號變換成第I熱電偶用的信號的第2變換器，利用加算器將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號、來自與其他的區域相對應的第2變換器的信號相加而求得其他的區域的溫度。
4.ー種熱處理裝置，其特征在干， 該熱處理裝置包括 爐主體，其在內周面上設有加熱部； 處理容器，其配置在爐主體內，在該處理容器與爐主體之間形成有空間，并且在內部形成有多個區域且用于收容多個被處理體； 處理容器內溫度傳感器，其與處理容器的各區域相對應地設置； 處理容器內溫度計算部，其用于基于來自各處理容器內溫度傳感器的信號來求得處理各器內溫度； 控制部，其用于基于利用處理容器內溫度計算部求得的處理容器內溫度來控制加熱部， 設在處理容器內的基準區域中的處理容器內溫度傳感器包括第I熱電偶，其由R熱電偶或者S熱電偶構成；第2熱電偶，其由除了 R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成，設在其他的區域中的處理容器內溫度傳感器包括第2熱電偶， 處理容器內溫度計算部具有電動勢差電路，其與基準區域的第2熱電偶、其他的區域的第2熱電偶連接，用于求得基準區域與其他的區域的溫度差；第I熱電偶電動勢測量電路，其與基準區域的第I熱電偶連接，用于基于來自該第I熱電偶的信號來求得基準區域的溫度；加算器，其與第I熱電偶電動勢測量電路、其他的區域所對應的電動勢差電路連接，用于將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自該電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
5.根據權利要求4所述的熱處理裝置，其特征在干， 處理容器內溫度計算部還具有用于將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號變換成第2熱電偶用的信號的第I變換器，用加算器將來自第I變換器的信號與來自其他的區域所對應的電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
6.根據權利要求4所述的熱處理裝置，其特征在干， 處理容器內溫度計算部還具有用于將來自電動勢差電路的信號變換成第I熱電偶用的信號的第2變換器，用加算器將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自其他的區域所對應的第2變換器的信號相加而求得其他的區域的溫度。
7.ー種熱處理裝置的溫度測量方法，該熱處理裝置包括爐主體，其在內周面上設有加熱部；處理容器，其配置在爐主體內，在該處理容器與爐主體之間形成包括多個區域的空間，并且用于在內部收容多個被處理體；爐內溫度傳感器，其與空間的各區域相對應地設置；爐內溫度計算部，其用于基于來自各爐內溫度傳感器的信號來求得爐內溫度；控制部，其用于基于利用爐內溫度計算部求得的爐內溫度來控制加熱部，設在空間中的基準區域中的爐內溫度傳感器包括第I熱電偶，其由R熱電偶或者S熱電偶構成；第2熱電偶，其由除了 R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成，設在其他的區域中的爐內溫度傳感器包括第2熱電偶，該熱處理裝置的溫度測量方法的特征在干， 該熱處理裝置的溫度測量方法包括以下エ序 基于來自基準區域的第2熱電偶和其他的區域的第2熱電偶的信號，利用電動勢差電路求得基準區域與其他的區域的溫度差； 基于來自基準區域的第I熱電偶的信號，利用第I熱電偶電動勢測量電路求得基準區域的溫度； 通過用加算器將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
8.根據權利要求7所述的熱處理裝置的溫度測量方法，其特征在干， 利用第I變換器將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號變換成第2熱電偶用的信號，用加算器將來自第I變換器的信號與來自其他的區域所對應的電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
9.根據權利要求7所述的熱處理裝置的溫度測量方法，其特征在干， 利用第2變換器將來自電動勢差電路的信號變換成第I熱電偶用的信號，用加算器將來自第2變換器的信號與來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
10.ー種熱處理裝置的溫度測量方法，該熱處理裝置包括爐主體，其在內周面上設有加熱部；處理容器，其配置在爐主體內，在該處理容器與爐主體之間形成空間，并且在內部形成多個區域且用于收容多個被處理體；處理容器內溫度傳感器，其與處理容器的各區域相對應地設置；處理容器內溫度計算部，其用于基于來自各處理容器內溫度傳感器的信號來求得處理容器內溫度；控制部，其用于基于利用處理容器內溫度計算部求得的處理容器內溫度來控制加熱部，設在處理容器中的基準區域中的處理容器內溫度傳感器包括第I熱電偶，其由R熱電偶或者S熱電偶構成；第2熱電偶，其由除了 R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成，設在其他的區域中的處理容器內溫度傳感器包括第2熱電偶，該熱處理裝置的溫度測量方法的特征在干， 該熱處理裝置的溫度測量方法包括以下エ序 基于來自基準區域的第2熱電偶和其他的區域的第2熱電偶的信號，利用電動勢差電路求得基準區域與其他的區域的溫度差； 基于來自基準區域的第I熱電偶的信號，利用第I熱電偶電動勢測量電路求得基準區域的溫度； 通過用加算器將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號與來自電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
11.根據權利要求10所述的熱處理裝置的溫度測量方法，其特征在干， 利用第I變換器將來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號變換成第2熱電偶用的信號，用加算器將來自第I變換器的信號與來自其他的區域所對應的電動勢差電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
12.根據權利要求10所述的熱處理裝置的溫度測量方法，其特征在干， 利用第2變換器將來自電動勢差電路的信號變換成第I熱電偶用的信號，用加算器將來自第2變換器的信號與來自第I熱電偶電動勢測量電路的信號相加而求得其他的區域的溫度。
全文摘要
本發明提供熱處理裝置及熱處理裝置的溫度測量方法。該熱處理裝置謀求減少熱電偶的設置成本且不需要校正來自熱電偶的信號。基準區域(A1)的爐內溫度傳感器(50)具有由R熱電偶或者S熱電偶構成的第1熱電偶(81)、由除了R熱電偶和S熱電偶之外的熱電偶構成的第2熱電偶(82)，其他的區域(A2、...A10)的爐內溫度傳感器具有第2熱電偶。基準區域的第2熱電偶、其他的區域的第2熱電偶與電動勢差電路(83)連接，利用該電動勢差電路求得基準區域與其他的區域之間的溫度差。利用基準區域的第1熱電偶求得基準區域的溫度，利用該基準區域的溫度和利用電動勢差電路求得的溫度差求得各其他的區域的溫度。
文檔編號H01L21/67GK102646615SQ201210037049
公開日2012年8月22日 申請日期2012年2月17日 優先權日2011年2月18日
發明者菅野聰一 申請人:東京毅力科創株式會社