專利名稱：網膜處理系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種網膜(web)處理系統，更特別地，涉及ー種便于網膜的傳送、夾持和引導的網膜處理系統。
背景技術：
柔性顯示器指的是由諸如塑料基板的可彎曲基板組成的平板顯示器。因為柔性顯示器可以彎曲、卷起或纏繞成卷而不會使其顯示特性惡化，因此，柔性顯示器作為下一代的平板顯示器越來越受關注。此類平板顯示器使用薄且柔韌的基板制造，該基板可像紙張ー樣被卷起、彎曲或纏繞成幾厘米而不會使顯示特性惡化。不像采用典型玻璃基板制成的硬顯示器，柔性顯示器是纖細的，具有很輕的重量和很高的沖擊阻力并可以自由地彎曲。根據應用和功能，柔性顯示器可以分成加固(rugged)顯示器、可彎曲(bendable)顯示器和軟性(rollable)顯示器。此類輕質的、剛性的和可彎曲顯示器可用于多種移動設備，諸如DMB電話、WiBix)単元、PDA等等，并且可以預見此類顯示器將發展為軟性顯示器。為了通過輥對輥エ藝制造柔性液晶顯示器，在靜止狀態下在網膜的一面上執行包括諸如聚酰亞胺薄膜的定向膜的形成、間隔(spacer)分配、密封/短分配、液晶分配或液晶注入等等的多道エ藝。由于此類エ藝在網膜的一面上執行以制造柔性液晶顯示器，故在這些エ藝期間，典型的傳送裝置基本被阻止與網膜的這一面接觸，并且用干支撐網膜的邊緣區域的軋輥可致使網膜起伏或傾斜。因此，典型的傳送裝置或軋輥不適用于網膜的傳送。此夕卜，當在施加張カ期間執行エ藝時，很難獲得上下板的精確對準。因此，需要便于網膜的傳送、夾持和引導的改進型網膜處理系統。
發明內容
本發明提供一種適用于輥對輥エ藝的網膜處理系統。本發明還提供ー種便于網膜的傳送、夾持和引導的網膜處理系統。本發明還提供一種允許在靜止狀態下在網膜的ー個表面輕松地執行特定エ藝的網膜處理系統。本發明還提供一種便于制造柔性液晶顯示器的輥對輥型網膜處理系統。根據本發明的ー個方面，提供了一種用于處理網膜的網膜處理系統，該網膜包括彼此相対的一面和另一面。該系統包括吸引所述網膜的所述另一面或使所述網膜的所述另一面浮起的多孔夾持板；以及夾持裝置，其包括夾持外殼，該夾持外殼包圍所述多孔夾持板的側面和底面，并且該夾持外殼中形成有連接到所述多孔夾持板的通風孔。所述夾持板可包括多個子夾持板，并且所述通風孔可包括分別連接到所述多個子夾持板的多個子通風孔。進ー步地，所述多個子夾持板可通過這些子夾持板之間所限定的分隔空間彼此隔開。所述夾持外殼可進一歩包括填充所述分隔空間的隔板，并且所述夾持外殼可進一歩包括形成 在與所述多個子夾持板相對應的位置處的多個子流管，用于通過所述多個子夾持板真空排氣或吹氣。所述夾持板可包括多孔碳材料、多孔陶瓷材料和多孔金屬材料中的至少ー種。所述夾持裝置可進ー步包括形成在所述夾持板的局部表面上的靜電夾頭和用于填充在所述靜電夾頭與所述夾持板之間限定的分隔空間的隔板。所述夾持板可由單個夾持板組成，并且所述通風孔可由連接到所述單個夾板的多個子通風孔組成。所述網膜處理系統可進一歩包括調節所述網膜的張カ的張カ調節器。所述張カ調節器可包括向所述網膜施加張カ的張カ輥；支撐被所述張カ輥擠壓的所述網膜的支撐輥；和連接至張カ輥以調節施加到所述網膜的張カ的測壓元件。所述網膜處理系統可進一歩包括網膜輸送器，所述網膜輸送器包括網膜保持單元，其在傳送所述網膜期間在所述網膜的邊緣或非處理區域保持所述網膜；探測所述網膜的位置的傳感器；和電機，其移動或旋轉由所述網膜保持単元保持的所述網膜。所述網膜保持単元可以是夾具、輥或真空夾頭。所述網膜處理系統可進一歩包括網膜保持裝置，該網膜保持裝置包括支撐所述網膜的所述另一面的驅動輥；和固定輥，其位于所述網膜的所述一面的上方，并且可在豎直方向上移動。所述網膜保持裝置可進ー步包括位于所述網膜的右側和左側以調節所述網膜的位置的第一引導輥。所述網膜處理系統可進一歩包括位于所述網膜的右側和左側以引導所述網膜的傳送方向的第二引導輥，并且所述第二引導輥可由聚四氟こ烯或PEEK形成。所述網膜處理系統可進一歩包括真空夾頭，其吸引所述網膜的所述另一面以調節所述網膜的位置。所述網膜可以是用于柔性顯示器的柔性基板。
本發明上述和其它方面、特征和優點將通過以下結合附圖給出的實施例的描述中變得明顯，在附圖中圖I是根據本發明的一個實施例的用于網膜處理系統的網膜的平面圖；圖2和圖3是根據本發明的該實施例的網膜處理系統的示意性側截面圖，分別顯示了網膜處理系統上的處于靜止狀態和處于傳送狀態的網膜；圖4是根據本發明的一個實施例的網膜保持裝置的橫截面圖；圖5和圖6分別是根據本發明的一個實施例的夾持裝置的平面圖和側截面圖；圖7是根據本發明的另ー個實施例的夾持裝置的側截面圖；圖8是根據本發明的一個實施例的夾持外殼的透視圖；圖9是根據本發明的另ー個實施例的夾持外殼的平面圖；圖10和圖11分別是根據本發明的一個實施例的網膜輸送器的示意性側截面圖和正視圖；圖12是根據本發明的另ー個實施例的網膜輸送器的示意性側截面圖13是根據本發明的又一實施例的網膜輸送器的示意性側截面圖；圖14是根據本發明的一個實施例的張カ調節器的示意性側截面圖；圖15是根據本發明的另ー個實施例的張カ調節器的示意性側截面圖；和圖16和 圖17分別是根據本發明的一個實施例的網膜引導裝置(エ藝)的平面圖和側截面圖。
具體實施例方式現在將參考附圖詳細說明本發明的實施例。需要注意的是附圖并未精確地按比例繪制，而是可以僅為了便于描述和清楚起見而夸大線條的粗度或部件的尺寸。此外，此處所用的術語是考慮本發明的功能進行定義的，且可以根據用戶或操作者的習慣或意圖進行改變。因此，術語是根據此處所述的整個公開內容進行定義的。圖I是根據本發明的一個實施例的用于網膜處理系統的網膜的平面圖。參照圖1，網膜W有兩個彼此相対的面，并且在網膜W的一面執行包括定向膜的施カロ、間隔分配、密封分配、短分配、TFT(薄膜晶體管)形成、濾色器的形成等等的多道エ藝以形成柔性液晶顯示器。可替代地，柔性印刷電路板(FPCB)可通過繞旋轉輥纏繞柔性覆銅薄層壓板(FCCL)而不切斷柔性覆銅薄層壓板來制造。可替代地，可以執行多道エ藝以制造電子紙。網膜W可由任何柔性材料制成。例如，網膜W可由塑料、金屬、紙、橡膠或它們的組合組成。塑料材料的例子包括聚對苯ニ甲酸こニ醇酯(PET)、聚萘ニ甲酸(PEN)、聚醚砜(PES)、聚丙烯(PAR)、聚碳酸酯(PC)、環烯烴共聚物(COC)和聚酰亞胺(PI)，且并不限于此。此處，網膜中經受了上述的包括定向膜施加等等的多道エ藝的區域將被稱為處理區域Wp，在處理區域Wp之間的空間將被稱為非處理區域WQ。具體地，在圖I中，處理區域WP可由矩形AB⑶限定且非處理區域Wq可由矩形EFGH限定。另ー方面，網膜在其縱向方向上的邊緣稱為邊緣區域WE。非處理區域Wq和邊緣區域We可彼此重疊。例如，矩形DIGH可同時限定為非處理區域Wq和邊緣區域WE。圖2和圖3是根據本發明的本實施例的網膜處理系統的示意性側截面圖，分別顯示了網膜處理系統上處于靜止狀態和處于傳送狀態的網膜。此處，需要注意的是這些截面圖還顯示了嚴格意義上不能在截面圖中顯示的部件(裝置)。參照圖2和圖3，根據本實施例的網膜處理系統包括夾持裝置200，并且可進ー步包括網膜保持裝置100、網膜輸送器300和張カ調節器400。進ー步地，該系統可包括位于網膜的傳送方向上的引導輥(未顯示)。網膜W包括一面W1 (圖中的頂面)和另一面W2 (圖中的底面)，兩個面彼此相対。網膜的一面W1將經受多道エ藝。進ー步地，由夾持裝置200、網膜保持裝置100、網膜輸送器300和張カ調節器400組成的網膜處理系統可安裝在每個處理單元內。例如，由夾持裝置200、網膜保持裝置100、網膜輸送器300和張カ調節器400組成的網膜處理系統可安裝在定向膜敷貼器的內側或外側。進ー步地，由夾持裝置200、網膜保持裝置100、網膜輸送器300和張カ調節器400組成的網膜處理系統可安裝在密封分配器的內/外側。顯然，所有的夾持裝置200、網膜保持裝置100、網膜輸送器300和張カ調節器400沒有必要存在于每個處理單元內且上述裝置中的至少ー個可以略去。
當在網膜的一面W1執行エ藝時，網膜W由網膜保持裝置100保持且吸引在夾持裝置200上，張カ調節器400向網膜W施加張カ。當傳送網膜W吋，網膜保持裝置100釋放網膜W，且網膜輸送器300保持(hold)網膜的邊緣區域We或非處理區域Wq以使網膜移動預定的距離。此時，夾持裝置200可吹空氣或惰性氣體以使網膜浮起，且張カ調節器400可與網膜W分離以避免向網膜施加張力。圖4是根據一個實施例的網膜保持裝置的橫截面圖。本實施例中的網膜保持裝置100可包括驅動輥110 ，其支撐網膜的另一面(底面)，和固定輥120，其位于網膜一面(頂面)的上方并可在豎直方向上移動。網膜保持裝置可進ー步包括第一引導輥130，其引導網膜W的側表面以控制網膜的傳送方向或位置。驅動輥110連接至電機(未顯示)以在網膜W移動時旋轉。可替代地，驅動輥110可配置為在軸承上旋轉(用于空載旋轉)以代替連接至電機。當然，驅動輥可配置為不旋轉。然而，在此情況下，網膜W的底面經受摩擦力，這會損壞網膜W或致使對網膜的傳送方向或位置的控制失敗。因此，最好將驅動輥110配置為旋轉的。固定輥120可配置為在豎直方向上移動。當網膜W停止時，固定輥120向下移動以擠壓和固定網膜W。當網膜W傳送時，固定輥120向上移動以允許網膜W更高效地移動。當固定輥120擠壓和固定網膜W時，網膜的邊緣區域We或非處理區域Wq因此將被擠壓(見圖I)。網膜保持裝置100可進ー步包括引導網膜W的右側和左側的第一引導輥130。第一引導輥130可用于在傳送網膜W期間提供對網膜W的位置的精確控制。第一引導輥130可由聚四氟こ烯或聚醚醚酮(PEEK)組成，但并不限于此。盡管網膜保持裝置100被示出為采用輥來固定網膜，但需要理解的是本發明并不限于此。例如，固定輥120可以是條形輥，其具有橢圓形的、矩形的或三角形的橫截面來取代圓形的橫截面，且第一引導輥130也可能是條形輥。圖5和圖6分別是根據ー個實施例的夾持裝置的平面圖和側截面圖。根據本實施例的夾持裝置200可包括多孔夾持板210，其吸引網膜的另一面(底面)或使網膜的另ー面(底面)浮起；以及夾持外殼220，其包圍多孔夾持板210的側面和底面，并且夾持外殼220中形成有通風孔H，用于連接多孔夾持板210。多孔夾持板210可以是沒有分割成塊的單個夾持板。可替代地，多孔夾持板210可由分割成塊的多個子夾持板210a、210b、...210i組成，如圖5所示。當夾持板210由多個子夾持板210a、210b、. . . 210i組成從而可針對吸引和吹氣分別控制多個子夾持板210a、210b、. . . 210i時，可精確地進行柔性網膜的固定。夾持板210可由任何具有透氣性的多孔材料形成。例如，夾持板可包括多孔碳板、多孔陶瓷板和多孔金屬板中的至少ー種。在一個實施例中，夾持板120可以是陶瓷夾持板，其由，例如諸如氧化鋁(A1203)、ニ氧化鈦(Ti02)、ニ氧化硅(Si02)、氧化鋯(Zr02)和沸石的熱壓和燒結陶瓷粉制成。在另ー個實施例中，夾持板120可以是多孔碳石墨板，其通過形成和燃燒諸如石油焦或從煤炭提取的浙青焦的主材料與諸如煤焦油、浙青、酚醛樹脂等等的粘合劑來制備。通風孔H可在夾持外殼220內形成且有分別對應于子夾持板210a、210b、. . . 210i的多個子通風孔Ha、Hb、. . . Hi組成。圖6中，僅顯示三個子通風孔Hb、H6、Hh。盡管如此，由于在本圖中未顯示的其他幾個子通風孔的附圖標記可輕易地獲取，故將根據需要對其進行陳述，且將以同樣的方式對其他部件進行描述。
子通風孔Ha、Hb、 Hi可連接至子通風管230a,230b, 、230i且關斷閥240a、240b、. . . 240i可被提供給子通風管230a、230b、. . .、230i以分別通過控制器(未顯示)自動地開啟或關閉。當網膜由柔性材料形成時，吸引或浮起將順序地進行。為此目的，關斷閥240a、240b、...240i可被控制器(未顯示)控制為順序地開啟或關閉。此處，開啟或關閉關斷閥的程度可被控制以調節壓カ。子通風孔Ha、Hb、 .Hi可通過單個管道連接至止回閥250、真空泵260和吹風機270。當網膜吸引到夾持板時，真空泵260可被操作為使空氣可通過在通風管230、通風孔H和多孔夾持板210內的流管被吸入。在傳送網膜期間，吹風機270被操作為吹空氣或惰性氣體以使網膜浮起。止回閥250可用于選擇真空泵260和吹風機270之一，并自動地由控制器(未顯示)進行控制。夾持外殼220可進ー步包括隔板222。具體地，隔板222可與夾持外殼220整體地形成以組成夾持外殼220的一部分。可替代地，隔板222可制備成單獨的部件，其將裝配到或附接到夾持外殼220上。如上所述，子夾持板210a、210b、. . . 210i可通過在它們之間限定的分隔空間彼此隔開。此處，分隔空間可以是空的或具有填充分隔空間的隔板222。隔板222可以阻止空氣流入彼此相鄰的子夾持板210a、210b、. . . 210i，從而便于對每個子夾持板210a、210b、 210i的吸引或浮起操作進行控制。圖7是根據本另ー個實施例的夾持裝置的側截面圖。在參照圖7對本實施例的夾持裝置的描述中，將略去或簡要提供對重復部件的描述。在本實施例中的夾持裝置200中，用于吸引網膜的另一面(底面)或使網膜的另一面(底面)浮起的多孔夾持板210可由單個夾持板構成，并且，連接至多孔夾持板210的通風孔H可由多個子通風孔組成以允許在每ー個區域進行真空排氣或吹氣操作。換言之，夾持外殼220中的通風孔H可由多個子通風孔Ha、Hb、. . .Hi組成。盡管圖7中僅顯示三個通風孔Hb、He, Hh,但本發明并不限于此。圖8是根據本發明的一個實施例的夾持外殼的透視圖。圖8中,夾持外殼220不包括隔板。夾持板210可由多個子夾持板210a、210b、...210i組成，或者可以是單個夾持板。通風孔H可由多個子通風孔Ha、Hb、. . . Hi組成，且夾持外殼220可具有包括多個子流管Ra、Rb、... Ri的流管，以用于通過子通風孔Ha、Hb,... Hi進行高效的真空排氣或吹氣操作。應當理解的是，圖8中所示的子流管Ra、Rb、... Ri的形狀僅以例示的方式提供，也可使用其它形狀的流管。例如，流管可從子通風孔Ha、Hb、. . . Hi徑向地延伸而非形成矩形。進ー步地，流管的形狀可以修改成包括多邊形在內的多種形狀，諸如三角形和五角星形、圓形、橢圓形等等，而非矩形。圖9是根據另ー個實施例的夾持外殼的透視圖。在真空條件下進行用于在網膜的一面上形成多個結構或特定圖案的エ藝。在此情況下，網膜可以通過真空排氣被夾持而被不充分地固定。如圖9所示，系統可進一歩包括靜電夾頭(ESC) 280，用于當在真空或在正常壓カ下執行該エ藝時進行更精確地夾持。靜電夾頭280是配置為用靜電カ(即，在平板型電容器中的帶電平板間產生的吸引力)保持網膜的裝置。靜電夾頭280可以是單極或雙極靜電夾頭。雙極靜電夾頭包括兩個通過介電層與網膜分離的電極，從而當向兩個電極施加電壓時，在每個電極與網膜之間產生靜電吸引力。因為網膜不是電路部件，故雙極靜電夾頭具有等離子體不用作電連接的介質的優點。 盡管夾持板210在圖9中示出為包括9個靜電夾頭280，但本發明并不限于靜電夾頭的上述數量、形狀和位置。進ー步地，可在每個靜電夾頭280與多孔夾持板210之間限定分隔空間，并用隔板填充該分隔空間。隔板填充分隔空間以抑制網膜在夾持期間變形。圖10和圖11分別是根據ー個實施例的網膜輸送器的示意性側截面圖和正視圖。參照圖10和圖11，根據本實施例的網膜輸送器300可包括傳感器310、網膜保持単元320和電機330。在根據本實施例的網膜輸送器300中，傳感器310探測網膜W或網膜的邊緣區域We,網膜保持単元320在邊緣區域We或非處理區域Wq保持或固定網膜，且電機330產生移動或旋轉網膜的力。在圖10和圖11中，配置為通過夾住邊緣區域We或非處理區域Wq來固定網膜的夾具被示出為網膜保持単元320的ー個例子。當被網膜固定単元320固定吋，網膜W通過可由軌道實現的網膜傳送單元340進行傳送。網膜傳送単元340可在電機330的作用下移動或旋轉。因此，當網膜脫離期望的軌跡吋，網膜傳送単元340在傳送網膜的同時將校正或控制網膜的位置。圖12是根據另ー個實施例的網膜輸送器的示意性側截面圖，圖13是根據又ー個實施例的網膜輸送器的示意性側截面圖。在參照圖12和圖13對根據這些實施例的網膜輸送器的描述中，將略去或簡要提供對重復部件的描述。根據本實施例的網膜輸送器300中，網膜保持単元320可以是輥(見圖12)。具體地，網膜保持単元320可通過包含上輥和下輥的ー對輥來實現。因為在網膜W的一面或另一面上執行多道エ藝，故輥可設置為與網膜W的非處理區域Wq接觸而非與網膜W的其上已經完成エ藝或將執行エ藝的區域接觸。可替代地，輥可設置為僅與網膜的邊緣接觸。因此，當在網膜的一面或另一面形成特定的結構或圖案時，輥不可能與網膜的已處理區域接觸。此處，當在網膜的邊緣區域WE由軋輥固定的情況下移動或傳送網膜吋，網膜可能遭受起伏或傾斜。因此，期望將輥設置為與橫切網膜的非處理區域Wq的整個表面進行直線(linear)接觸。網膜輸送器300的網膜保持単元320可包括真空夾頭(見圖13)。真空夾頭可包括多孔夾持板，該多孔夾持板可由單個夾持板或多個子夾持板組成。網膜保持單元320可進ー步包括靜電夾頭和真空夾頭。網膜輸送器300可安裝在處理設備內或可作為單獨的裝置提供。網膜輸送器可通過夾住或真空夾持網膜的空白區域(例如網膜的邊緣或非處理區域)來傳送網膜。系統具有多個網膜輸送器。在此情況下，所有的網膜輸送器將由單個控制程序同步或被單獨控制以允許在處理設備內進行張カ調節。圖14是根據一個實施例的張カ調節器的示意性側截面圖。參照圖14，根據本實施例的張カ調節器400可包括張カ輥410、支撐輥420、測壓元件(load cell) 430和致動器440。張カ輥410可在致動器440的作用下在豎直方向上移動。具體地，當在處于靜止狀態的網膜的一面執行某個エ藝時，致動器440向上移動張カ輥410以擠壓網膜的底面。張カ輥410與位于網膜兩側的支撐輥420合作以向網膜施加張力，且張カ可由測壓元件430進行測量以控制張力。支撐輥420可配置為在豎直方向上移動，或固定在特定位置。可替代地，支撐輥420可配置為旋轉的或非旋轉的。張カ輥420還可配置為旋轉的或非旋轉的。張カ輥410和支撐輥420可通過其他結構實現而非通過輥的結構來實現。例如，張カ輥410和支撐輥420可以通過可向網膜施加張カ或支撐網膜的桿來實現。圖15是根據另ー個實施例的張カ調節器的示意性側截面圖。參照圖15，根據本實施例的張カ調節器400可包括張カ輥410、支撐輥420、測壓元件430和致動器440。在本實施例中，張カ輥410可位于網膜的上方。
根據本實施例的張カ調節器的張カ輥410、支撐輥420、測壓元件430和致動器440可與根據上述實施例的張カ調節器的張カ輥410、支撐輥420、測壓元件430和致動器440基本相同。然而，在本實施例中，當不在網膜的另一面(底面)執行エ藝時，支撐輥420可在特定位置上進行旋轉，而不向上或向下移動。圖16和圖17分別是根據ー個實施例的網膜引導裝置(エ藝)的平面圖和側截面圖。通常，邊緣位置控制器(EPC)或中心位置控制器(CPC)用于校正網膜的傾斜。然而，盡管EPC或CPC在網膜持續移動的情形下是有利的，但它們在網膜由于特定エ藝而間歇性移動或停止的情形下是不被期望的。進ー步地，因為燃燒エ藝在網膜頂面執行，因此不期望與網膜頂面接觸且很難調節張力。因此，EPC或CPC不能適用。在本發明的一個實施例中，系統可進一歩包括用于引導網膜的第二引導輥500。即，多個第二引導輥500在網膜的傳送方向上沿網膜的任ー側布置以防止網膜脫離預設軌跡ー預定的距離。第二引導輥500可由聚四氟こ烯或聚醚醚酮(PEEK)形成，但不限于此。進ー步地，在間歇エ藝或處于靜止狀態期間，在網膜的位置或傳送方向嚴重脫離期望軌跡的情形下，僅通過第二引導輥500很難調節網膜的位置，本系統可進一歩包括用于調節網膜的位置的真空夾頭510。真空夾頭510可在電機520的作用下在豎直方向上(z方向)、水平方向上(X方向)、傳送方向上(y方向)或旋轉方向上(Q方向)移動。進ー步地，真空夾頭510可通過多孔夾持板或其它部件實現，且可進ー步地包括靜電夾頭。此處，夾持板可由單個夾持板或多個子夾持板組成。在根據本實施例的網膜處理系統中，因為通過多孔夾持板進行夾持和吹氣，外來物質可附著于網膜，從而提供污染或エ藝故障源。因此，網膜處理系統可進一歩包括在網膜傳送方向上位于夾持裝置的內側或外側的預定位置處的清潔器。清潔器的例子包括UV(或VUV)清潔器、CO2清潔器、收縮(contract)輥清潔器、UV/03清潔器，等等。根據實施例，網膜處理系統便于網膜的傳送、夾持和引導。特別地，該系統便于輥對輥エ藝，其中預定的エ藝在網膜的ー個面上執行。進ー步地，該系統便于諸如柔性液晶顯示器的柔性顯示器的制造。盡管已提供了一些實施例以闡述本發明，應當理解的是，這些實施例僅以例示的方式給出，在不背離本發明的精神和范圍的前提下可進行多種修改、變形和替換。本發明的范圍僅由附屬的權利要求及權利要求的等同物來限定。
權利要求
1.一種網膜處理系統，用于處理包括彼此相對的一面與另一面的網膜，該網膜處理系統包括 多孔夾持板，其吸引所述網膜的所述另一面或使所述網膜的所述另一面浮起；以及夾持裝置，其包括夾持外殼，該夾持外殼包圍所述多孔夾持板的側面和底面，并且該夾持外殼中形成有連接到所述多孔夾持板的通風孔。
2.根據權利要求I所述的網膜處理系統，其中，所述夾持板包括多個子夾持板。
3.根據權利要求2所述的網膜處理系統，其中，所述通風孔包括分別連接到所述多個子夾持板的多個子通風孔。
4.根據權利要求2所述的網膜處理系統，其中，所述多個子夾持板通過在這些子夾持板之間限定的分隔空間彼此隔開。
5.根據權利要求4所述的網膜處理系統，其中，所述夾持外殼進一步包括填充所述分隔空間的隔板。
6.根據權利要求2所述的網膜處理系統，其中，所述夾持外殼進一步包括形成在與所述多個子夾持板相對應的位置處的多個子流管，用于通過所述多個子夾持板真空排氣或吹氣。
7.根據權利要求I所述的網膜處理系統，其中，所述夾持板包括多孔碳材料、多孔陶瓷材料和多孔金屬材料中的至少一種。
8.根據權利要求I所述的網膜處理系統，其中，所述夾持裝置進一步包括形成在所述夾持板的局部表面上的靜電夾頭。
9.根據權利要求8所述的網膜處理系統，其中，所述夾持裝置進一步包括用于填充在所述靜電夾頭與所述夾持板之間限定的分隔空間的隔板。
10.根據權利要求I所述的網膜處理系統，其中，所述夾持板由單個夾持板組成。
11.根據權利要求10所述的網膜處理系統，其中，所述通風孔由連接到所述單個夾持板的多個子通風孔組成。
12.根據權利要求I所述的網膜處理系統，進一步包括調節所述網膜的張力的張力調節器。
13.根據權利要求12所述的網膜處理系統，其中，所述張力調節器包括 向所述網膜施加張力的張力輥； 支撐被所述張力輥擠壓的所述網膜的支撐輥；和 連接至所述張力輥以調節向所述網膜施加的張力的測壓元件。
14.根據權利要求I所述的網膜處理系統，進一步包括網膜輸送器，所述網膜輸送器包括 網膜保持單元，其在傳送所述網膜期間在所述網膜的邊緣或非處理區域保持所述網膜； 傳感器，其探測所述網膜的位置；和 電機，其移動或旋轉由所述網膜保持單元保持的所述網膜。
15.根據權利要求11所述的網膜處理系統，其中所述網膜保持單元是夾具、輥或真空夾頭。
16.根據權利要求I所述的網膜處理系統，進一步包括網膜保持裝置，該網膜保持裝置包括 支撐所述網膜的所述另一面的驅動輥；和 固定輥，其位于所述網膜的所述一面的上方，并且可在豎直方向上移動。
17.根據權利要求16所述的網膜處理系統，其中，所述網膜保持裝置進一步包括位于所述網膜的右側和左側以調節所述網膜的位置的第一引導輥。
18.根據權利要求I所述的網膜 處理系統，進一步包括位于所述網膜的右側和左側以引導所述網膜的傳送方向的第二引導輥。
19.根據權利要求18所述的網膜處理系統，其中，所述第二引導輥由聚四氟乙烯或聚醚醚酮(PEEK)形成。
20.根據權利要求I所述的網膜處理系統，進一步包括真空夾頭，其吸引所述網膜的所述另一面以調節所述網膜的位置。
21.根據權利要求I所述的網膜處理系統，其中，所述網膜是用于柔性顯示器的柔性基板。
全文摘要
本發明公開了一種網膜處理系統。該系統包括吸引網膜的另一面或使網膜的另一面浮起的夾持板；和夾持裝置，其包括夾持外殼，該夾持外殼包圍多孔夾持板的側面和底面，并且夾持外殼中形成有連接到多孔夾持板的通風孔。
文檔編號H01L21/677GK102621732SQ201210020318
公開日2012年8月1日 申請日期2012年1月29日 優先權日2011年1月27日
發明者李鎮煥 申請人:Ap系統股份有限公司